KR20020063073A

KR20020063073A - 3,6-다이(3',5'-비스(트리플로오로메틸)벤젠)피로멜리틱다이안하이드라이드 및 그 제조방법

Info

Publication number: KR20020063073A
Application number: KR1020010003813A
Authority: KR
Inventors: 윤태호; 명범영
Original assignee: 광주과학기술원
Priority date: 2001-01-26
Filing date: 2001-01-26
Publication date: 2002-08-01
Also published as: JP2002226485A; US6433190B1; US20020103385A1; KR100376287B1

Abstract

본 발명은 높은 유리전이온도, 낮은 유전상수 및 우수한 가공성을 가지는 폴리이미드의 제조에 사용될 수 있는 단량체로서의 불소를 함유하는 3,6-다이(3',5'-비스(트리플로오로메틸)벤젠)피로멜리틱 다이안하이드라이드와 이의 제조방법에 관한 것이다.

Description

3,6-다이(3',5'-비스(트리플로오로메틸)벤젠)피로멜리틱 다이안하이드라이드 및 그 제조방법{3,6-di(3',5'-bis(trifluoromethyl)benzene)pyromellitic dianhydride, and process for preparing them}

폴리이미드는 높은 유리전이온도, 우수한 내열성, 우수한 기계적 특성 및 전기적 특성으로 인하여 전기, 전자, 자동차 및 항공 우주산업에 필림, 수지, 성형부품, 접착제 및 절연체 등의 다양한 형태로 사용되고 있다.

특히 전자산업 소재로서 절연성 및 열적·화학적 안정성이 우수하여 반도체 칩의 층간 절연막 등으로 그 용도가 확대되고 있다. 그러나 정밀 전자산업 소재로서 고기능화, 소형화, 경량화에 부합되는 재료로 자리매김하기 위해서는 아직도 많은 문제점을 가지고 있으며, 특히 고집적 다층구조의 전자소자용으로 사용되기 위해서 보다 낮은 유전상수, 높은 유리전이온도 및 우수한 가공성을 지닌 폴리이미드의 개발이 요구되고 있다.

최근의 연구결과에 의하면 반데르발스(Van der Waals) 반지름이 작고, 전기음성도 및 이종 원소간 결합에너지가 큰 불소를 함유하는 단량체를 사용하여 합성된 폴리이미드는 우수한 용해도, 낮은 흡습율 및 낮은 유전상수를 보인다고 알려져 있다. 하지만 불소치환기의 도입은 폴리이미드의 유리전이 온도를 낮추는 문제점을 보이고 있다. 따라서 낮은 유전상수를 유지하며 높은 유리전이 온도를 지닌 폴리이미드를 얻기 위해서는 불소를 함유하는 강직한 구조의 단량체 합성이 요구되어진다.

본 발명에서는 강직한 구조를 가지는 피로멜리틱 다이안하이드라이드 유도체에 불소함유 벤젠 치환체인 3',5'-비스트리플로오로메틸벤젠을 도입시킨 신규 단량체로서의 3,6-다이(3',5'-비스(트리플로오로메틸)벤젠)피로멜리틱 다이안하이드라이드를 합성하고, 이를 통하여 높은 유리전이온도, 낮은 유전상수, 낮은 흡습율 및 우수한 용해도를 가지는 폴리이미드를 제조하여 전자소재로서의 응용범위를 확대하고자 한다.

도 1은 본 발명의 실시예 1 ∼ 5에서 합성한 각각의 화합물에 대한 FT-IR 분석 스펙트럼이다.

도 2는 본 발명의 실시예 1 ∼ 5에서 합성한 각각의 화합물에 대한¹H-NMR 분석 스펙트럼이다.

도 3은 본 발명의 실시예 1 ∼ 5에서 합성한 각각의 화합물에 대한¹⁹F-NMR 분석 스펙트럼이다.

도 4는 본 발명의 실시예 5에서 합성한 화합물(12PMDA)의 DSC에 의한 녹는점 그래프이다.

본 발명은 다음 화학식 1로 표시되는 3,6-다이(3',5'-비스(트리플로오로메틸)벤젠)피로멜리틱 다이안하이드라이드와 이의 제조방법을 그 특징으로 한다.

상기 화학식 1에서 : R₁및R₂는 서로 같거나 다른 것으로서 불소 치환된 C₁∼C₉의 알킬기를 나타낸다.

상기 화학식 1로 표시되는 신규 단량체의 제조방법을 간략히 나타내면 다음 반응식 1과 같다.

상기 반응식 1에서 : R₁및R₂는 서로 같거나 다른 것으로서 불소 치환된 C₁∼C₉의 알킬기를 나타낸다.

상기 반응식 1에 따르면, 상기 화학식 2로 표시되는 화합물과 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물을 유기용매 하에서 테트라키스트리페닐포스핀팔라듐([(C₆H₅)₃P]₄Pd) 반응촉매, 염기 및 에탄올과 함께 환류반응시켜 상기 화학식 4로 표시되는 화합물을 얻는다. 이때, 유기용매는 통상의 것으로서 톨루엔 등을 사용할 수 있으며, 염기로는 알칼리금속 탄산염, 알칼리금속 탄산수소염 등을 사용할 수 있다. 환류온도는 사용된 용매의 비등온도이며, 바람직하기로는 90 ∼ 100 ℃이다. 또한, 상기 화학식 2로 표시되는 화합물과 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물의 화학적 반응몰비는 2 : 1이나, 화학식 2로 표시되는 화합물을 과량 사용해도 무방하다. 반응촉매의 사용량은 촉매량으로서 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물에 대하여 0.01 ∼ 0.1 몰비 범위에서 사용한다.

그런 다음, 얻어진 상기 화학식 4로 표시되는 화합물의 4개의 메틸기를 산화반응시켜 카르복실화기를 유도한다. 카르복실화기의 유도반응은 피리딘을 용매로 사용하여 증류수와 함께 과량의 과망간산칼륨(KMnO₄)과 환류반응(90 ∼ 98 ℃)시키고 이를 여과하여 완전히 건조시켜 고상의 잔사를 얻는다. 그리고, 다시 과량의 과망간산칼륨과 수산화나트륨(NaOH) 수용액과 함께 환류반응(90 ∼ 98 ℃)시켜 알카리 수용액을 얻으며 여과된 수용액에 염산(HCl)을 가해 침출된 화합물을 증류수로 세척 건조하여 상기 화학식 5로 표시되는 화합물을 얻는다.

그런 다음, 상기 화학식 5로 표시되는 화합물을 200 ∼ 300 ℃ 및 20 ∼ 40 Hg 조건하에서 감압건조하면 본 발명이 목적하는 상기 화학식 1로 표시되는 단량체를 얻을 수 있다.

한편, 상기한 반응식 1에 따른 제조방법에서 사용된 상기 화학식 2로 표시되는 화합물과 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물의 제조방법은 다음과 같다.

상기 화학식 2로 표시되는 화합물의 경우, 다음 반응식 2에 따른 제조방법에 의거하여 합성할 수 있다.

상기 반응식 2에 따른 제조방법에 의하면, 테트라히드로퓨란과 같은 유기 용매에서 마그네슘 터닝(Mg turning)과 상기 화학식 2a로 표시되는 3,5-비스플로오로알킬브로모벤젠을 0 ∼ 5 ℃에서 반응시킨 뒤 상온에서 추가로 교반 반응시켜 상기 화학식 2b로 표시되는 화합물을 얻는다. 그리고, 얻어진 상기 화학식 2b로 표시되는 화합물은 -75 ∼ -65℃에서 트리메틸보레이트(B(OCH₃)₃)와 1 : 1 몰비로 반응시키고 상온에서 추가로 교반 반응시킴으로서 그리나드(Grignard) 반응에 의한 상기 화학식 2c로 표시되는 화합물을 얻는다. 그리고, 얻어진 상기 화학식 2c로 표시되는 화합물을 0 ∼ 5℃에서 염산 수용액에 의해 가수분해시킨 후 교반 반응시켜 스즈키 커플링(Suzuki coupling) 반응을 위한 상기 화학식 2로 표시되는 화합물을 합성할 수 있다.

또한, 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물의 경우, 다음 반응식 3에 따른 제조방법에 의거하여 합성할 수 있다.

상기 반응식 3에 따른 제조방법에 의하면, 상기 화학식 3a로 표시되는 1,2,4,5-테트라메틸벤젠과 요오드(I₂)를 다이클로로메탄(CH₂Cl₂)와 같은 유기용매에 용해시킨 다음, 외부로 부터의 광(光)을 차단시킨 상태에서 브로마인(Br₂)을 서서히 첨가한 후 반응혼합물을 40 ∼ 50 ℃에서 반응시켜 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물을 얻을 수 있다. 이때, 상기 화학식 3a로 표시되는 화합물과 요오드(I₂)와 브로마인(Br₂)은 1 : 0.001 ∼ 0.01 : 2.0 ∼ 3.0 반응몰비 범위를 유지하도록 한다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명은 다음의 실시예에 의거하여 더욱 상세히 설명하겠는 바, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.

실시예 1 : 3,5-비스트리플루오로메틸벤젠보로닉산(화학식 2; 6FBB)의 제조

막대자석, 드롭핑 펀넬, 응축기 및 질소주입구가 장착된 500 mL 3구 둥근바닥 플라스크를 건조시킨 후 질소대기하의 반응기내에 9.30 g의 마그네슘 터닝(Mg tuning, 알드리치(Aldrich)사 제품)과 증류 정제된 테트라히드로퓨란 220 mL을 첨가하고 얼음 중탕을 이용하여 반응혼합물의 온도를 0 ~ 5 ℃ 이하로 낮추어 주었다. 드롭핑 펀넬을 이용하여 3,5-비스트리플루오로메틸브로모벤젠 44.0 mL를 1 시간에 걸쳐 서서히 첨가하였다. 이때, 반응혼합물의 온도는 0 ~ 5 ℃ 이하로 유지시키고, 첨가 종료 후 반응용액이 서서히 상온에 도달하도록 방치하였다. 반응물은 상온에서 16 시간동안 추가 반응시켜 짙은 갈색의 점성용액을 얻었다. 이 점성용액은 질소대기하에서 드롭핑 펀넬을 이용하여 트리메틸보레이트 28.97 mL와 반응시키며, 이때 반응기는 막대자석, 드롭핑 펀넬, 응축기 및 질소 주입구가 있는 500 mL 3구 둥근바닥 플라스크를 이용하였다. 반응혼합물의 온도는 드라이아이스와 아세톤을 이용하여 -75 ~ -65 ℃ 이하로 유지하였다.

첨가 종료 후 반응물을 상온에 이르도록 방치하고, 상온에서 24 시간동안 추가 반응시켜 갈색의 점성용액을 얻었다. 이 점성용액은 얼음을 이용하여 0 ~ 5 ℃로 유지한 채 증류수 144.5 mL에 염산 수용액(37 중량%) 63.3 mL를 혼합한 용액을 1 시간에 걸쳐 첨가한 후 24 시간 동안 추가 반응시켰다. 반응 후 얻은 검붉은 유기층과 물의 혼합액은 분별깔때기를 이용하여 분리하였다. 얻어진 유기층내의 부산물은 소량의 증류수를 가하여 세척하고 이를 다시 분별깔때기를 이용하여 분리 후 건조하였다. 건조 후 얻은 고상의 잔사는 증류수를 용매로 재결정법으로 정제하며 얻어진 백색의 결정을 포집한 후 석유에테르(petroleum ether)로 세척하고 상온/상압에서 24 시간이상 건조하여 표제 화합물 19.44 g(수율 65%)을 수득하였다.

생성화합물을 융점측정, FT-IR,¹H-NMR,¹⁹F-NMR을 이용하여 분석하였다.융점은 218.6 ∼ 220.0 ℃ 범위를 나타내었으며, 도 1에 나타난 바와 같이 FT-IR 분석에서는 1368, 1284, 1186 cm^-1에서 C-F 결합피크가 나타나며, 1612, 1418 cm^-1에서 방향족 C=C 스트레칭 피크가 나타나고, 3400 cm^-1에서 O-H의 넓은 피크를 확인할 수 있었다.¹H-NMR(용매: CDCl₃)분석에 의하면 8.215 및 7.974 ppm에서 벤젠의¹H 피크와 4.795 ppm에서 O-H의¹H 피크가 나타나며,¹⁹F-NMR(용매: CDCl₃)을 통해서는 -41.194 ppm에서 CF₃의¹⁹F의 단일 피크를 보여 표제화합물의 생성을 확인할 수 있었다.

실시예 2 : 3,6-다이브로모-1,2,4,5-테트라메틸벤젠(화학식 3; 2B4MB)

교반기, 드롭핑 펀넬, 응축기 및 질소주입구가 있는 150 mL 4구 둥근바닥 플라스크를 잘 건조시킨 후 질소 분위기하에서 반응기내에 1,2,4,5-테트라메틸벤젠 8.0 g, 요오드(I₂) 0.124 g과 다이클로로메탄(CH₂Cl₂) 23.84 mL를 첨가하고 교반하여 완전히 용해시켰다. 이 반응용액에 드롭핑 펀넬를 이용하여 브로마인(Br₂) 22.86 mL을 2 시간에 걸쳐 첨가하였다. 이때 빛에 의한 브로마인(bromine)의 부반응을 방지하기 위하여 반응기 전체를 알루미늄 호일로 싸주어 외부로부터의 빛을 차단시켜준 상태에서 반응시켰다. 첨가가 종료된 후 반응혼합물은 40 ~ 50℃에서 1 시간동안 추가 반응시키고 소량의 5N 수산화나트륨 수용액(NaOH)를 플라스크 내에 첨가하여 미반응 브로마인을 제거하였다. 얻어진 유기층과 수용액의 혼합물은 분별깔때기에 옮기고 하부의 유기층을 분리하였다. 분리된 유기층에 소량의 마그네슘설페이트(MgSO₄)를 첨가하여 잔존하는 수분을 제거한 후 이를 여과하고 다이클로로메탄(CH₂Cl₂)을 용매로 재결정으로 정제하여 순수한 백색의 결정을 얻었다. 이를 건조하여 목적화합물, 3^',6-다이브로모-1,2,4,5-테트라메틸벤젠(16.53 g, 수율 95%)을 수득하였다.

수득된 목적화합물은 융점을 측정하고, FT-IR,¹H-NMR,¹⁹F-NMR을 이용하여 분석하였다. 융점은 198.5 ∼ 199.5 ℃ 범위를 나타내었으며, 도 1에서 나타낸 바와 같이 FT-IR 분석에서는 1174 cm^-1에서 C-Br의 결합피크를 나타나고, 1413 cm^-1에서 방향족 C=C 스트레칭 피크가 나타나며, 2934 cm^-1에서 알킬 C-H의 넓은피크를 확인할 수 있었다. 또한 도 2에 나타낸 바와 같이¹H-NMR(용매 : CDCl₃) 분석에 의하면 6.92 ppm에서의 벤젠의 H¹피크가 사라지고, 2.488 ppm에서 CH₃의 H¹피크만 나타나는 것으로 보아 표제화합물이 생성되었음을 확인할 수 있었다.

실시예 3: 3,6-다이(3',5'-비스(트리플루오로메틸)벤젠)테트라메틸벤젠(화학식4; 12F4MB)

막대자석, 드롭핑 펀넬, 응축기 및 질소주입구가 있는 1000 mL 3구 둥근바닥 플라스크내에 질소대기 하에서 16.23 g의 3,6-다이브로모-1,2,4,5-테트라메틸벤젠(화학식 3)과 270 mL의 톨루엔을 넣고 교반하여 완전히 녹인 후 2N 탄산나트륨(Na₂CO₃) 135 mL과 테트라키스트리페닐포스핀팔라듐([(C₆H₅)₃P]₄Pd) 0.6422 g을 첨가한 후 균일하게 교반하여 주었다. 이 혼합물에 43 g의 3',5'-비스트리플루오로메틸벤젠보로닉산(화학식 2)을 에탄올 67.53 mL에 녹인 용액을 첨가한 다음, 이 혼합물이 비등점(98 ℃)에 이르도록 가열하여 7 일동안 반응시켰다. 이때 반응혼합물은 오렌지색에서 검붉은색으로 점차 변하게 되며, 반응 종료 후 유기층은 분별깔때기를 통하여 분리하고 잔존하는 수분을 제거하기 위해 소량의 마그네슘설페이트(MgSO₄)를 가하고 1 시간동안 교반한 후 여과하였다. 이 반응용액은 감압증류하여 고상의 잔사를 얻고 이를 에틸아세테이트 500 mL에 녹여 재결정하여 정제함으로써 3,6-다이(3',5'-비스트리플루오로메틸벤젠)-1,2,4,5-테트라메틸벤젠(22.96 g, 수율 70%)을 수득하였다.

수득된 목적화합물은 융점을 측정하고, FT-IR,¹H-NMR,¹⁹F-NMR로 분석하였다. 융점은 246.7 ∼ 246.9 ℃의 범위를 나타내었으며, 도 1에서 나타낸 바와 같이 FT-IR분석에서는 1368, 1284, 1186 cm^-1에서 C-F 결합피크가 나타나며, 1612,1418 cm^-1에서 방향족 C=C 스트레칭 피크와 2934 cm^-1에서 알킬 C-H의 넓은 피크를 확인할 수 있었다.¹H-NMR(용매: CDCl₃)분석에 의하면 7.911 ppm 및 7.652 ppm에서 페닐의¹H 피크와 11.94 ppm에서 CH₃의¹H 피크가 나타나며,¹⁹F-NMR(용매: CDCl₃)분석을 통해서는 -41.055 ppm에서 CF₃의¹⁹F의 단일 피크를 보여 표제화합물의 생성을 확인할 수 있었다.

실시예 4 : 3,6-다이(3',5'-비스(트리플루오로메틸)벤젠)-1,2,4,5-벤젠테트라카르복실산(화학식 5; 12FB4C)

교반기, 드롭핑 펀넬, 응축기가 장착된 1000 mL 3구 둥근바닥 플라스크내에 3,6-다이(3',5'-비스(트리플루오로메틸)벤젠)-1,2,4,5-테트라메틸벤젠 22.96 g을 피리딘 479.5 mL와 함께 넣고 교반하여 완전히 녹인 후, 증류수 63.93 mL을 추가로 첨가하였다. 이 반응혼합물은 가열하여 비등(95 ℃)시켰다. 이 반응용액에 드롭핑 펀넬를 이용하여 4 시간에 걸쳐 과망간산칼륨 30.73 g을 첨가하여 주고 반응용액의 색이 보라색에서 검은색으로 변하면 1 시간 추가 반응시켰다. 반응종료 후 수용액속의 과망간산염은 여과하여 제거하고 반응수용액은 감압증류하여 고상의 잔사를 얻었다. 얻어진 고상의 잔사는 교반기, 드롭핑 펀넬, 응축기가 장착된 1000 mL 3구 둥근바닥 플라스크내에 수산화나트륨 25.57 g과 증류수 400 mL와함께 가열하여 비등(95℃)시켰다. 이 반응용액에 드롭핑 펀넬를 이용하여 5 시간에 걸쳐 과망간산칼륨 30.73 g을 첨가하고 31 mL의 에탄올을 가해 미반응 과망간산칼륨을 제거한 후 침전물은 여과시켜 투명한 염기성 수용액을 얻었다. 이 수용액은 소량의 염산을 가하여 산성화 시켜주면 침출된 백색의 결정을 얻을 수 있으며 이를 여과 후 증류수로 세척하고 건조함으로써 3,6-다이(3',5'-비스(트리플루오로메틸)벤젠)-1,2,4,5-벤젠테트라카르복실산(12FB4C)(13.18 g, 수율 50%)을 수득하였다.

수득된 목적화합물은 융점을 측정하고 FT-IR,¹H-NMR,¹⁹F-NMR을 이용하여 분석하였다. 융점은 339.0 ∼ 340.2 ℃의 범위를 나타내었으며, 도 1에서 나타낸 바와 같이 FT-IR분석에서는 1368, 1284, 1186 cm^-1에서 C-F 결합피크를 1612, 1418 cm^-1에서 방향족 C=C 스트레칭 피크, 1728 cm^-1에서 카르복실 그룹의 C=O 결합피크 및 3400 cm^-1를 정점으로 O-H의 넓은 피크를 확인할 수 있었다.¹H-NMR(용매: DMSO-d₆)분석에서는 8.2646 및 7.92516 ppm에서 벤젠의¹H 피크를 확인할 수 있었으며,¹⁹F-NMR(용매: DMSO-d₆)을 통해서는 -39.579 ppm에서 CF₃의¹⁹F의 단일 피크를 보여 표제화합물의 생성을 확인할 수 있었다.

실시예 5: 3,6-다이(3',5'-비스(트리플루오로메틸)벤젠)피로멜리틱 다이안하이드라이드(화학식 1; 12FPMDA)

정제된 3,6-다이(3',5'-비스(트리플루오로메틸)벤젠)-1,2,4,5-벤젠테트라카르복실산(12FB4C)을 250 ℃, 감압(30 in Hg)하에서 12 시간동안 건조시킨 후 이를 290 ℃에서 감압(30 in Hg) 승화시켜 순수한 표제 화합물 3,6-다이(3',5'-비스(트리플루오로메틸)벤젠) 피로멜리틱 다이안하이드라이드(10 g, 수율 80%)을 수득하였다.

수득된 목적화합물은 DSC를 이용하여 융점을 측정하고, FT-IR,¹H-NMR,¹⁹F-NMR을 통한 분석을 실시하였다. 융점은 도 4에서 나타나는 바와 같이 340.37 ℃를 나타내었으며, 도 1에서 나타낸 바와 같이 FT-IR 분석에 의하면 1368, 1284, 1186 cm^-1에서 C-F 결합피크가 나타나고, 1612, 1418 cm^-1에서 방향족 C=C 스트레칭 피크와 1850 cm^-1에서 무수물 그룹의 C=O 결합피크를 확인할 수 있었다.¹H-NMR(용매: DMSO-d₆)분석에 의하면 도 2에서 나타나는 바와 같이 8.4160 ppm 및 8.1786 ppm에서 벤젠의¹H 피크가 나타나며,¹⁹F-NMR(용매: DMSO-d₆)을 통해서는 -39.583 ppm에서 CF₃의¹⁹F의 단일 피크를 보여 표제 화합물의 생성을 확인할 수 있었다.

본 발명에 따른 신규 단량체인 상기 화학식 1로 표시되는 3,6-다이비스트리플로오로메틸벤젠피로멜리틱다이안하이드라이드(12FPMDA)는 반데르발스(Van der Waals) 반지름이 작고 전기음성도 및 이종 원소간 결합에너지가 큰 불소를 함유하는 강직한 구조를 가지고 있으므로, 이를 사용하여 합성된 폴리이미드는 높은 유리전이온도, 낮은 흡습율, 낮은 유전상수 및 우수한 가공성을 가지게 되어 전자소재로서의 넓은 응용범위를 가질 것으로 기대된다.

Claims

다음 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하는 3,6-다이(3',5'-비스(트리플로오로메틸)벤젠)피로멜리틱 다이안하이드라이드.

화학식 1

상기 화학식 1에서 : R₁및R₂는 서로 같거나 다른 것으로서 불소 치환된 C₁∼C₉의 알킬기를 나타낸다.
다음 화학식 2로 표시되는 화합물과 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물을 테트라키스트리페닐포스핀 팔라듐([(C₆H₅)₃P]₄Pd) 반응촉매하에서 환류반응시켜 다음 화학식 4로 표시되는 화합물을 얻는 과정

얻어진 상기 화학식 4로 표시되는 화합물을 과량의 과망간산칼륨(KMnO₄)과 환류반응시켜 다음 화학식 5로 표시되는 화합물을 얻는 과정; 그리고

얻어진 상기 화학식 5로 표시되는 화합물을 200 ∼ 300 ℃ 및 20 ∼ 40 inch Hg 조건하에서 감압건조하여 다음 화학식 1로 표시되는 화합물을 얻는 과정이 포함되는 것을 특징으로 하는 제조방법.

상기에서 : R₁및R₂는 서로 같거나 다른 것으로서 불소 치환된 C₁∼C₉의 알킬기를 나타낸다.
제 2 항에 있어서, 상기 화학식 2로 표시되는 화합물은 마그네슘(Mg) 존재하에서 다음 화학식 2a로 표시되는 3,5-비스플로오로알킬브로모벤젠을 교반한 후에, 트리메틸보레이트(B(OCH₃)₃)와 함께 -75 ∼ -65℃에서 반응한 다음, 0 ∼ 5℃에서 염산 수용액에 의해 가수분해시켜 제조된 것을 특징으로 하는 제조방법.

상기에서 : R₁및R₂는 서로 같거나 다른 것으로서 불소 치환된 C₁∼C₉의 알킬기를 나타낸다.
제 2 항에 있어서, 상기 화학식 3으로 표시되는 화합물은 외부로 부터의 광(光)을 차단시킨 상태에서 다음 화학식 3a로 표시되는 1,2,4,5-테트라메틸벤젠을 요오드(I₂) 및 브로마인(Br₂)과 반응시켜 제조된 것임을 특징으로 하는 제조방법.