KR20020042205A - 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커에 관한 것으로, 웨이퍼 프레임에 부착되었던 테이프가 테이프 제거부에서 제거됨에 따라 테이프가 제거된 웨이퍼 프레임을 재활용할 수 있도록 차례로 적재시킬 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 설치판(4)에 고정된 복수개의 가이드봉(5)에 승강가능하게 끼워져 웨이퍼 프레임(1)이 안착되는 안착판(6)과, 상기 설치판과 안착판사이에 위치되게 각 가이드봉(5)에 끼워진 스프링(7)과, 상기 안착판상에 수직되게 복수개 고정되어 언로딩되는 웨이퍼 프레임을 안내하는 가이더(8)로 구성된 것이다.

Description

웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커{Wafer frame unloading stack device of tape removal}

본 발명은 웨이퍼 프레임에 부착되었던 테이프가 테이프 제거부에서 제거됨에 따라 테이프가 제거된 웨이퍼 프레임을 재활용할 수 있도록 차례로 적재하는 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조공정은 웨이퍼에 원하는 반도체 소자(이하 "칩"이라 함)들을 형성하는 공정과, 상기 반도체 소자들을 각각 패키지화하는 조립공정과, 완성된 패키지들의 특성 및 수명을 검사하는 검사공정으로 크게 분류할 수 있다.

상기 반도체 제조공정에 있어서, 웨이퍼상에 칩을 형성하고 나면 웨이퍼에 형성된 칩들의 전기적인 기능 검사를 실시하여 불량으로 판정된 칩에 마킹을 하게 되는데, 불량으로 처리된 칩들은 패키지공정에서 제외된다.

이와 같이 불량칩을 선별하는 검사공정을 거치고 나면 웨이퍼로부터 소정의 크기로 칩을 절단하는 소잉(sawing)공정을 실시하게 된다.

상기 소잉공정은 링형상의 웨이퍼 프레임에 접착된 테이프상에 웨이퍼의 후면을 접착시키는 웨이퍼 테이프 마운팅공정과, 다이아몬드 등과 같은 커터를 이용하여 칩을 절단하는 실질적인 소잉공정으로 구분되는데, 상기 소잉공정을 실시하여 웨이퍼로부터 칩을 분리시키더라도 테이프는 완전히 절단되지 않고 그대로 있게 되므로 각각의 칩은 테이프의 접착력에 의해 테이프로부터 산재되지 않는다.

따라서 후공정인 칩본딩공정에서 테이프에 부착되어 있던 각각의 칩을 1개씩 픽업(pick-up)하여 리드프레임의 패드상에 본딩시킬 수 있게 된다.

상기한 공정을 거쳐 테이프상에 부착되어 있던 양품의 칩을 리드프레임의 패드상에 본딩을 완료하고 나면 테이프상에는 도 1에 나타낸 바와 같이 불량칩(3)만이 남게 되므로 링형상의 웨이퍼 프레임(1)을 재활용하기 위해서는 웨이퍼 프레임으로부터 불량칩이 부착된 테이프(2)를 제거하여야 된다.

그러나 종래에는 웨이퍼 프레임으로부터 불량칩이 부착된 테이프를 자동으로 제거하는 장비가 개발되지 않아 작업자가 수작업에 의해 테이프를 제거하므로 불량칩이 파손될 경우 파손된 불량칩이 작업자의 손에 찔리는 경우가 빈번히 발생되었다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 테이프가 부착된 웨이퍼 프레임으로부터 테이프를 자동으로 제거하는 기기를 개발하여 테이프가 제거된 웨이퍼 프레임이 트랜스퍼에 의해 이송되어 옴에 따라 이를 차례로 적재할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 규격이 다른 웨이퍼 프레임을 1개의 장비를 이용하여 별도의 구조 변경없이도 규격이 달라진 웨이퍼 프레임을 차례로 적재시킬 수 있도록 하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 설치판에 고정된 복수개의 가이드봉에 승강가능하게 끼워져 웨이퍼 프레임이 안착되는 안착판과, 상기 설치판과 안착판사이에 위치되게 각 가이드봉에 끼워진 스프링과, 상기 안착판상에수직되게 복수개 고정되어 언로딩되는 웨이퍼 프레임을 안내하는 가이더로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커가 제공된다.

도 1은 웨이퍼 프레임상의 테이프에 불량칩이 부착된 상태의 사시도

도 2는 본 발명의 요부를 나타낸 사시도

도 3은 본 발명의 정면도

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 평면도로서,

도 4a는 언로딩 스택커가 언로딩포지션에 위치된 상태도

도 4b는 언로딩 스택커가 취출공간으로 이동된 상태도

도면중 주요 부분에 대한 부호의 설명

4 : 설치판5 : 가이드봉

6 : 안착판7 : 스프링

8 : 가이더14 : 구동수단

15 : 검지편17, 19a, 19b : 센서

18 : 검출편

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 2 내지 도 4를 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명의 요부를 나타낸 사시도이고 도 3은 본 발명의 정면도이며 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 평면도로서, 본 발명은 설치판(4)에 복수개의 가이드봉(5)이 고정되어 있고 상기 가이드봉에는 웨이퍼 프레임(1)이 안착되는 안착판(6)이 승강가능하게 끼워져 있다.

그리고 상기 설치판(4)과 안착판(6)사이에 위치하는 각 가이드봉(5)에는 안착판(6)상에 웨이퍼 프레임(1)이 적재됨에 따라 압축되어 웨이퍼의 언로딩 위치가 항상 일정하도록 안착판(6)을 하강시키는 스프링(7)이 끼워져 있고 상기 안착판(6)상에는 언로딩되는 웨이퍼 프레임(1)을 안내하는 복수개의 가이더(8)가 수직되게 고정되어 있다.

상기 웨이퍼 프레임(1)이 안착되는 안착판(6)상에는 언로딩되는 웨이퍼 프레임(1)의 사이즈(8", 12" 등)에 따라 가이더(8)의 위치를 조절할 수 있도록 절결홈(6a)이 형성되어 있다.

또한, 상기 안착판(6)의 상면에 웨이퍼 프레임(1)의 저면이 맞닿아공간부(9)가 형성되도록 2개의 안착편(10)이 고정되어 있는데, 이는 안착판(6)에 적재된 웨이퍼 프레임(1)의 취출시 작업자가 공간부(9)를 이용하여 안착판(6)상에 적재된 웨이퍼 프레임(1)을 용이하게 취출시킬 수 있도록 하기 위함이다.

한편, 트랜스퍼(도시는 생략함)에 의해 테이프가 제거된 웨이퍼 프레임(1)이 안착판(6)상에 가득 적재됨에 따라 작업자가 안착판(6)으로부터 웨이퍼 프레임을 용이하게 취출할 수 있도록 안착판(6)이 설치된 설치판(4)을 취출공간(11)으로 이동시킬 수 있도록 구성하는 것이 바람직한데, 이하에서는 안착판(6)상에 웨이퍼 프레임(1)이 가득 적재됨에 따라 이를 감지하여 설치판(4)을 취출공간(11)측으로 자동 이송시키는 구성에 대하여 구체적으로 설명한다.

베이스(12)에 안착판(6)의 수평 이동을 안내하는 가이드레일(13)이 고정되어 있고 상기 안착판(6)의 일측에는 언로딩되는 웨이퍼 프레임(1)의 취출시기를 검출하는 검출수단이 구비되어 있는데, 상기 안착판(6)의 일측은 검출수단이 안착판(6)상에 적재된 웨이퍼 프레임(1)의 취출시기를 검출함에 따라 안착판(6)을 취출공간(11)으로 이송시키는 구동수단(14)인 로드레스 실린더에 끼워져 있다.

상기 검출수단은 안착판(6)의 일측에 고정된 검지편(15)과, 상기 안착판(6)의 일측에 수직되게 설치된 센서 고정편(16)과, 상기 센서 고정편(16)에 설치되어 안착판(6)에 고정된 검지편(15)을 검출함에 따라 구동수단(14)을 구동시키는 센서(17)로 구성되어 있는데, 상기 센서 고정편(16)에는 수직되게 장공(16a)이 형성되어 센서(17)의 위치를 조절하도록 되어 있다.

이는, 안착판(6)에 적재되는 웨이퍼 프레임(1)의 사이즈(8", 12")에 따라 안착판(6)에 작용되는 하중이 달라져 웨이퍼 프레임(1)의 취출시기 또한 달라지므로 웨이퍼 프레임의 사이즈에 따라 취출시기를 검출하는 센서(17)의 위치를 조절하여야 되기 때문이다.

그리고 상기 안착판(6)의 일측에 검출편(18)이 고정되어 있고 웨이퍼 프레임(1)의 언로딩포지션 및 취출포지션에는 안착판(6)이 이송됨을 검출편(18)이 검출하면 구동수단(14)인 로드레스 실린더의 구동을 제어하는 센서(19a)(19b)가 설치되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 4a와 같이 언로딩 스택커가 언로딩 포지션에 위치된 상태에서 트랜스퍼(도시는 생략함)에 의해 테이프가 제거된 웨이퍼 프레임(1)이 순차적으로 이송되면 상기 웨이퍼 프레임은 가이더(8)에 안내되어 안착판(6)상에 적재된다.

이와 같이 안착판(6)상에 웨이퍼 프레임(1)이 적재됨에 따라 웨이퍼 프레임의 자중에 의해 가이드봉(5)에 끼워진 스프링(7)에 하중이 걸리게 되므로 안착판(6)은 스프링(7)을 압축시키면서 점진적으로 하강하게 되므로 웨이퍼 프레임의 언로딩 위치는 항상 일정하게 유지된다.

계속되는 웨이퍼 프레임(1)의 언로딩작업으로 스프링(7)을 압축시키면서 안착판(6)이 하강하여 상기 안착판의 일측에 고정된 검지편(15)을 센서 고정편(16)에 고정된 센서(17)가 검출하면 콘트롤러(도시는 생략함)의 제어에 따라 웨이퍼 프레임의 언로딩작업이 일시적으로 중단됨과 동시에 구동수단(14)인 로드레스 실린더가 구동하게 되므로 설치판(4)이 도 4a의 화살표방향을 따라 취출공간(11)측으로 이동하게 된다.

이와 같이 설치판(4)이 가이드레일(13)이 안내되어 도 4b와 같이 취출공간(11)으로 이동하여 설치판의 일측에 고정된 검출편(18)을 센서(19a)가 감지하면 구동수단의 구동을 중단시킴과 동시에 부저 등과 같은 알림수단에 의해 언로딩 스택커로부터 웨이퍼 프레임(1)의 취출시기를 작업자에게 알리게 된다.

따라서 작업자가 안착판(6)의 상면에 고정된 안착편(10)에 의해 형성된 공간부(9)를 통해 웨이퍼 프레임(1)을 용이하게 파지할 수 있게 되므로 언로딩 스택커로부터 웨이퍼 프레임을 취출시킬 수 있게 된다.

상기 안착판(6)으로부터 적재되어 있던 웨이퍼 프레임(1)을 취출하고 나면 스프링(7)을 압축하면서 하강하였던 안착판(6)이 스프링(7)의 복원력에 의해 초기상태와 같이 상승하여 센서 고정편(16)에 고정된 센서(17)가 검지편(15)을 검출하지 못하게 되므로 구동수단(14)의 재구동으로 설치판(4)은 센서(17)가 검출편(18)을 검지할 때까지 이동하게 되고, 이에 따라 안착판(6)상에 웨이퍼 프레임(1)을 계속해서 언로딩할 수 있게 되는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 테이프가 제거된 웨이퍼 프레임이 트랜스퍼에 의해 이송되어 언로딩 스택커내에 언로딩시 안착판이 웨이퍼 프레임의 자중에 의해 하강하여 언로딩위치를 항상 일정하게 유지하게 되므로 테이프 제거기의 자동화 실현이 가능해지게 됨은 물론 언로딩 스택커내에 웨이퍼 프레임이 전부 채워지면 설치판이 취출공간측으로 자동으로 이동하게 되므로 작업자가 언로딩 스택커로부터 웨이퍼 프레임을 용이하게 취출시킬 수 있게 되는 효과를 얻게 된다.

또한, 웨이퍼 프레임의 규격에 따라 기기의 구조를 변경하지 않고도 여러 종류의 웨이퍼 프레임을 자동으로 언로딩할 수 있게 되는 효과도 얻게 된다.

Claims (5)

1. 설치판에 고정된 복수개의 가이드봉에 승강가능하게 끼워져 웨이퍼 프레임이 안착되는 안착판과, 상기 설치판과 안착판사이에 위치되게 각 가이드봉에 끼워진 스프링과, 상기 안착판상에 수직되게 복수개 고정되어 언로딩되는 웨이퍼 프레임을 안내하는 가이더로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 안착판의 상면에 웨이퍼 프레임의 저면이 맞닿아 공간부가 형성되도록 안착편이 고정된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 안착판의 수평 이동을 안내하는 가이드레일과, 상기 안착판의 일측에 설치되어 언로딩되는 웨이퍼 프레임의 취출시기를 검출하는 검출수단과, 상기 안착판의 일측이 끼워져 검출수단이 취출시기를 검출함에 따라 안착판을 취출공간으로 이송시키는 구동수단과, 상기 웨이퍼 프레임의 언로딩포지션 및 취출포지션에 설치되어 안착판의 이동을 검출하는 검출편 및 센서가 더 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 검출수단은 안착판의 일측에 고정된 검지편과, 상기 안착판의 일측에 수직되게 설치된 센서 고정편과, 상기 고정편에 설치되어 안착판에 고정된 검지편을 검출함에 따라 구동수단을 구동시키는 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 고정편에 수직되게 장공이 형성되어 센서의 위치를 조절하도록 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임에 부착된 테이프제거기의 언로딩 스택커.