KR20020037607A - 반도체 소자의 마스크 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

유리기판 상부에 스트라이프 구조의 제1 화소전극; 상기 제1 화소 전극 상부에 증착되고 제1 화소 전극의 소정부분이 노출되도록 패터닝된 절연막; 및 상기 스트라이프 구조의 제1 화소전극 사이의 절연막 상부에 증착된 제2 화소전극으로 구성된 하부기판 및 상부기판; 및상기 하부기판과 크로스된 상부기판 사이에 액정을 삽입하여 봉합시킨 LCD 패널을 이용한 마스크를 제공하는 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 소자의 마스크 및 그 제조방법{MASK IN SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF}

본 발명은 반도체 소자의 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 액정으로 구동되는 LCD 패널을 이용한 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 장치를 제조하는 과정에서는 수십 장의 마스크 패턴이 사용된다. 이와 같은 마스크 패턴은 반도체 장치를 제조하는 각 단계에서 한 단계의 공정, 예컨대 웰(well) 형성공정에는 웰 영역을 한정하는 마스크 패턴이 사용된다. 이러한 마스크 패턴을 구성하는 노광 기술 및 장비는 크게 두가지로 대변되는데, 그 두가지는 스탭퍼 또는 얼라이너로서 각 장비의 원리는 다음과 같다.

투명한 재질, 예컨데, 석영 또는 유리재질 상부에 크롬과 같은 불투명 금속막을 증착하고, 금속막 상부에 설계에 따른 감광막 패턴을 형성한다. 그런다음, 감광막 패턴을 식각 장벽으로 하여 상기 금속막을 패터닝하여 마스크를 형성한다.

그런다음, 상기 마스크를 노광 장비에 넣어서, 마스크 상에 빛을 비추면, 금속막 부분에서는 빛이 투과되지 못하고, 투명한 재질로 구성되어 있는 부분은 빛이 투과되어, 하부 기판상에 패턴을 형성한다.

그러나, 상기와 같은 스탭퍼의 경우, 하나의 패턴을 형성하기 위해서는 여러개의 마스크가 필요하며, 이러한 마스크의 조합으로 패턴을 형성한다. 또한, 상기 얼라이너는 하나의 패턴을 형성하기 위해 하나의 마스크를 사용하여 빛을 스캔하는 방식으로 패턴을 형성한다. 따라서, 상기 스탭퍼 또는 얼라이너는 각 패턴에 약간의 변형이 들어가면, 마스크가 새로 제작 되어야 한다.

이에 따라, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, LCD 패널을 이용하여 빛의 투과를 액정의 특성에 따라 선택적으로 투과하여, 패턴을 형성하는 마스크를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 반도체 소자의 마스크 및 그 제조방법을 설명하기 위한 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

10 : 유리기판 또는 석영기판

11 : 제1 화소전극

12 : 절연막

13 : 제2 화소전극

14 : 액정

100 : 상부 또는 하부기판

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 유리기판 상부에 스트라이프 구조의 제1 화소전극; 상기 제1 화소 전극 상부에 증착되고 제1 화소 전극의 소정부분이 노출되도록 패터닝된 절연막; 및 상기 스트라이프 구조의 제1 화소전극 사이의 절연막 상부에 증착된 제2 화소전극으로 구성된 하부기판 및 상부기판; 및상기 하부기판과 크로스된 상부기판 사이에 액정을 삽입하여 봉합시킨 LCD 패널을 이용한 마스크를 제공하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 다른 실시예를 살펴보면, 유리 기판 상부에 제1 화소 전극을 증착하는 단계; 상기 제1 화소전극 상부에 감광막 패턴을 형성하여 스트라이프 구조로 제1 화소전극을 패터닝 하는 단계; 상기 패터닝된 제1 화소전극 상부에 절연막과 제2 화소 전극을 차례로 증착하는 단계; 상기 제2 화소 전극 상부에 감광막 패턴을 형성하여 제1 화소전극의 소정 부분이 노출되도록 제2 화소전극 및 절연막을 차례로 식각하여 하부기판 및 상부 기판을 형성하는 단계; 상기 하부 기판 또는 상부 기판을 고분자 화합물을 이용하여 배향막 인쇄 및 러빙공정을 수행하는 단계; 및 상기 하부 기판과 크로스되게 상부 기판을 합착, 절단한 후, 그 사이에 액정을 주입 및 봉합하여 LCD 패널을 이용한 마스크를 형성하는 단계를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.

(실시예)

이하, 첨부된 도면을 참보하여 본 발명의 LCD 패널을 이용한 마스크 및 그 제조방법을 상세히 설명한다.

도 1a를 참조하면, 절연기판, 예컨데 투명성 유리기판(10) 또는 석영기판 상부에 제1 화소전극(11)을 형성한다. 그런다음, 상기 제1 화소전극(11) 상부에 감광막 패턴(도시되지 않음)을 형성하여, 제1 화소 전극(11)을 패터닝하여 스트라이프 구조의 제1 화소 전극(11)을 형성한다.

도 1b를 참조하면, 상기 스트라이프 구조의 제1 화소 전극(11) 상부에 절연막(12) 및 제2 화소 전극(13)을 차례로 증착한다. 그런다음, 상기 제2 화소 전극 상부(13)에 감광막 패턴(도시되지 않음)을 형성하고, 그 패턴을 식각 장벽으로 하여 제1 화소전극(11)의 소정 부분이 노출되도록 제2 화소전극 및 절연막을 차례로 식각하여 하부기판(100) 및 그와 동일한 구조를 갖는 상부 기판(100)을 형성한다. 그리고나서, 하부기판(100) 또는 상부기판(100)을 액정이 위치할수 있도록 고분자 화합물을 이용하여 배향막 인쇄 및 러빙공정을 수행한다.

도 1c를 참조하면, 상기 하부 기판(100)과 상부 기판(100)이 크로스 되도록 합착, 절단한 후, 하부기판과 상부기판 사이에 액정(14)을 주입 및 봉합하여 LCD 패널을 이용한 마스크를 형성한다.

따라서, 원하는 위치에 액정을 구동시키기 위하여, 상부기판과 하부기판의 각 패드부에 전압을 인가하면, LCD 패널에 원하는 액정의 모양을 형성하게 된다. 이에 따라, 액정의 특성을 이용하여, 빛의 투과를 결정할 수 있다.

이상에서 자세히 설명한 바와같이, 본 발명의 LCD 패널을 이용한 마스크 제조방법은 종래의 스탭퍼 또는 얼라이너와는 달리 각 패턴에 약간의 변형이 들어가도, 마스크를 새로 제작할 필요가 없다.

또한, 하나의 LCD 패널을 이용한 마스크를 이용하여, 반도체 프로세스에 필요한 여러 레이어를 만들수 있으므로, 레티클 또는 마스크 교환이 필요없다.

이에 따라, 액정에 전기적 신호를 인가하여 선택적으로 빛을 투과시키는 마스크를 이용함으로써, 마스크의 비용 절감 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

기타, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.

Claims (2)

1. 유리기판 상부에 스트라이프 구조의 제1 화소전극;

   상기 제1 화소 전극 상부에 증착되고 제1 화소 전극의 소정부분이 노출되도록 패터닝된 절연막;

   상기 스트라이프 구조의 제1 화소전극 사이의 절연막 상부에 증착된 제2 화소전극으로 구성된 하부기판 및 상부기판; 및

   상기 하부기판과 크로스된 상부기판 사이에 액정을 삽입하여 봉합시킨 LCD 패널을 이용한 마스크를 제공하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 마스크.
2. 유리 기판 상부에 제1 화소 전극을 증착하는 단계;

   상기 제1 화소전극 상부에 감광막 패턴을 형성하여 스트라이프 구조로 제1 화소전극을 패터닝 하는 단계;

   상기 패터닝된 제1 화소전극 상부에 절연막과 제2 화소 전극을 차례로 증착하는 단계;

   상기 제2 화소 전극 상부에 감광막 패턴을 형성하여 제1 화소전극의 소정 부분이 노출되도록 제2 화소전극 및 절연막을 차례로 식각하여 하부기판 및 상부 기판을 형성하는 단계;

   상기 하부 기판 또는 상부 기판을 고분자 화합물을 이용하여 배향막 인쇄 및 러빙공정을 수행하는 단계; 및

   상기 하부 기판과 크로스되게 상부 기판을 합착, 절단한 후, 그 사이에 액정을 주입 및 봉합하여 LCD 패널을 이용한 마스크를 형성하는 단계를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 마스크 제조방법.