KR20020034750A - 와이어 피딩 장치 - Google Patents

Abstract

와이어 피딩 장치에 관한 것으로서, 본딩 와이어가 감겨져 있고 구동 모터에 의해 회전하는 와이어 스풀과; 와이어 스풀과 소정 간격 이격되어 측방에 설치되고 에어를 이용하여 본딩 와이어를 가이드하는 에어 와이어 가이드와; 에어에 의한 장력이 본딩 와이어에 직접 작용하지 않도록 와이어 스풀과 에어 와이어 가이드 사이에 설치된 와이어 가이드 샤프트와; 에어 와이어 가이드의 수직 하방으로 가이드된 본딩 와이어의 상태를 감지하고 본딩 와이어를 수직 하방으로 가이드하는 센서 브라켓과; 센서 브라켓의 하방에 설치되어 본딩 와이어가 수직으로 본딩 부재와 접촉하도록 가이드하는 와이어 가이드 핀;을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 와이어 피딩 장치.

Description

와이어 피딩 장치{Wire feeding apparatus}

본 발명은 와이어 피딩 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 본딩 와이어가 꺽이거나 휘는 것이 방지되고 진동이 감소된 와이어 피딩 장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정에 있어서 사용되는 와이어 본더(Wire bonder)는 반도체 칩위의 접속 전극과 리드 프레임을 본딩 와이어(bonding wire)로 접속하는 장치이다. 상기 와이어 본더에 있어서 본딩 와이어를 공급하는 장치를 와이어 피딩 장치(Wire feeding apparatus)라 한다.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 통상적인 와이어 피딩 장치는 본딩 와이어(1)가 감겨져 있고 구동 모터(2)에 의해 회전하는 와이어 스풀(Wire spool)(3)과, 상기 와이어 스풀(3)과 소정 간격 이격되어 하방에 설치되고 에어를 이용하여 상기 본딩 와이어(1)를 가이드하는 에어 와이어 가이드(Air wire guide)(4)와, 상기 에어 와이어 가이드(4)에 의해 가이드된 상기 본딩 와이어(1)의 상태를 감지하는 센서 브라켓(Sensor bracket)(6)과, 상기 본딩 와이어(1)가 수직으로 본딩 부재(미도시)와 접촉하도록 가이드하는 와이어 가이드 핀(Wire guide pin)(7)을 포함한다. 상기 에어 와이어 가이드(4)는 상기 에어를 이용하여 상기 본딩 와이어(1)에 일정한 장력을 유지하게 함으로써 상기 본딩 와이어(1)가 상기 와이어 스풀(3)로부터 잘 풀어지게 한다. 상기 센서 브라켓(6)은 내부에 광 센서가 설치되어 있어 본딩 와이어(1)가 많이 풀어지거나 적게 풀어지는 것을 감지하여 상기 구동 모터(2)를 회전시켜 일정하게 상기 본딩 와이어(1)가 풀어지게 한다.

이러한 와이어 피딩 장치는 본딩 와이어(1)가 자체의 마찰력에 의해 와이어 스풀(3)에 감긴 장력이 에어 와이어 가이드(4)의 에어에 의한 본딩 와이어(1)의 장력보다 클 경우에 본딩 와이어(1)가 에어 와이어 가이드(4)에 법선 방향(A)으로 풀어지지 않고 법선 방향 이상의 각도로 회전하여 풀어진다는 문제점을 가지고 있다. 이 경우에 본딩 와이어(1)가 꺽여지거나 휘게 되어 와이어 본딩시 본딩품질을 떨어뜨린다는 문제점이 있다.

또한, 와이어 피딩 장치의 전체 구성이 종으로 배열되어 있어 고속으로 운전시 진동이 많이 발생하여 본딩 와이어(1)의 떨림이 심해짐으로써 본딩 와이어가 일정하게 풀어지는 데 방해가 된다는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 와이어 본딩시 공급되는 본딩 와이어가 꺽여지거나 휘게 되는 것을 방지하고 진동이 적게 발생하게 하여 본딩 품질을 향상시키는 와이어 피딩 장치를 제공하는데 목적이 있다.

도 1a는 통상적인 와이어 피딩 장치의 개략적인 평면도,

도 1b는 통상적인 와이어 피딩 장치의 개략적인 측면도,

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 피딩 장치의 평면도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1, 11...본딩 와이어 3, 13...와이어 스풀

4, 14...에어 와이어 가이드 15...에어 가이드 샤프트

6, 16...센서 브라켓 7, 17...에어 가이드 핀

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 와이어 피딩 장치는, 본딩 와이어가 감겨져 있고 구동 모터에 의해 회전하는 와이어 스풀과; 상기 와이어 스풀과 소정 간격 이격되어 측방에 설치되고 에어를 이용하여 상기 본딩 와이어를 가이드하는 에어 와이어 가이드와; 상기 에어에 의한 장력이 상기 본딩 와이어에 직접 작용하지 않도록 상기 와이어 스풀과 상기 에어 와이어 가이드 사이에 설치된 와이어 가이드 샤프트와; 상기 에어 와이어 가이드의 수직 하방으로 가이드된 상기 본딩 와이어의 상태를 감지하고 상기 본딩 와이어를 수직 하방으로 가이드하는 센서 브라켓과; 상기 센서 브라켓의 하방에 설치되어 상기 본딩 와이어가 수직으로 본딩 부재와 접촉하도록 가이드하는 와이어 가이드 핀;을 포함하여 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 에어 와이어 가이드는 상기 본딩 와이어가 수직으로 본딩 부재와 접촉되도록 경사지게 설치된 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 와이어 피딩 장치를 상세히 설명한다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 피딩 장치는 본딩 와이어(11)가 감겨져 있는 와이어 스풀(13)과, 상기 와이어 스풀(13)과 소정 간격 이격되어 측방에 설치되고 에어를 이용하여 상기 본딩 와이어(11)를 가이드하는 에어 와이어 가이드(14)와, 상기 와이어 스풀(13)과 상기 에어 와이어 가이드(14)사이에 설치된 와이어 가이드 샤프트(15)와, 상기 에어 와이어 가이드(14)의 수직 하방으로 가이드된 상기 본딩 와이어(11)의 상태를 감지하는 센서 브라켓(16)과, 상기 센서 브라켓(16)의 하방에 설치된 와이어 가이드 핀(17)을 포함한다.

상기 와이어 스풀(13)은 구동 모터(12)를 구동시킴으로써 회전한다. 상기 와이어 스풀(13)의 회전에 의해 상기 와이어 스풀(13)에 감겨져 있는 상기 본딩 와이어(11)가 상기 와이어 스풀(11)의 법선 방향(B)으로 풀어지게 된다.

상기 에어 와이어 가이드(14)는 상기 에어를 이용하여 상기 본딩 와이어(11)에 일정한 장력을 유지하게 함으로써 상기 본딩 와이어(11)가 상기 와이어 스풀(13)로부터 잘 풀어지게 한다. 또한, 상기 에어 와이어 가이드(14)는 상기 와이어 스풀(13)의 측방에 수직에 가깝게 경사지게 설치됨으로써 전체적인 와이어 공급 장치의 구조가 횡으로 배열되게 하여 상기 구동 모터(12)의 구동에 의한 진동이 감소되게 한다.

상기 와이어 가이드 샤프트(15)는 상기 와이어 스풀(13)로부터 직접 상기 에어 와이어 가이드(14)로 상기 본딩 와이어(11)가 풀어지지 않게 상기 와이어 스풀(13)과 상기 에어 와이어 가이드(14)의 중간에 설치함으로써 상기 에어 와이어 가이드(14)의 에어에 의한 장력이 직접 상기 본딩 와이어(11)에 걸리지 않게 한다.이 경우에 상기 와이어 스풀(13)의 법선 방향(B)으로 풀어진 상기 본딩 와이어(11)가 상기 와이어 가이드 샤프트(15)의 법선 방향(C)으로 풀어짐으로써 상기 본딩 와이어(11)가 꺽여지거나 휘지 않게 한다.

상기 센서 브라켓(16)은 내부에 광 센서가 설치되어 있어 상기 본딩 와이어(11)가 많이 풀어지거나 적게 풀어지는 것을 감지하여 상기 구동 모터(12)를 회전시켜 일정하게 상기 본딩 와이어(11)가 풀어지게 한다. 또한, 상기 센서 브라켓(16)은 상기 에어 와이어 가이드(14)를 통과한 상기 본딩 와이어가 수직 하방(D)으로 가이드되도록 설치되어 수직 하방(D)과 일정 각도가 형성됨에 따른 장력 발생을 방지한다.

상기 와이어 가이드 핀(17)은 상기 센서 브라켓(16)을 통과한 상기 본딩 와이어(11)가 수직 하방(D)으로 본딩 부재(미도시)와 접촉하도록 가이드하여 상기 본딩 와이어(11)에 작용하는 장력의 변화를 최소화한다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 와이어 피딩 장치는 에어 와이어 가이드에 의한 장력이 직접 본딩 와이어에 작용하지 않도록 와이어 가이드 샤프트를 설치함으로써 본딩 와이어가 꺽여지거나 휘게 되는 것을 방지하여 본딩 품질을 향상시킨다는 이점이 있다.

또한, 와이어 피딩 장치의 전체 구성을 횡으로 배열함으로써 진동이 감소되어 본딩 와이어의 떨림을 적게 하여 본딩 품질을 향상시킨다는 이점이 있다.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (2)

1. 본딩 와이어가 감겨져 있고 구동 모터에 의해 회전하는 와이어 스풀과;

   상기 와이어 스풀과 소정 간격 이격되어 측방에 설치되고 에어를 이용하여 상기 본딩 와이어를 가이드하는 에어 와이어 가이드와;

   상기 에어에 의한 장력이 상기 본딩 와이어에 직접 작용하지 않도록 상기 와이어 스풀과 상기 에어 와이어 가이드 사이에 설치된 와이어 가이드 샤프트와;

   상기 에어 와이어 가이드의 수직 하방으로 가이드된 상기 본딩 와이어의 상태를 감지하고 상기 본딩 와이어를 수직 하방으로 가이드하는 센서 브라켓과;

   상기 센서 브라켓의 하방에 설치되어 상기 본딩 와이어가 수직으로 본딩 부재와 접촉하도록 가이드하는 와이어 가이드 핀;을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 와이어 피딩 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 에어 와이어 가이드는 상기 본딩 와이어가 수직으로 본딩 부재와 접촉되도록 경사지게 설치된 것을 특징으로 하는 와이어 피딩 장치.