KR20020032300A - 종단회로 - Google Patents

Abstract

종단회로의 종단저항에, 종단전압으로서 전원을 접속한다. 제어회로는, 입력되는 제어신호에 따라, 전원이 공급하는 전압레벨을 제어한다. 또, 종단회로의 종단저항의 한쪽의 단자와 접지(GND) 사이에 릴레이를 접속한다. 제어회로는, 입력되는 제어신호에 따라, 릴레이의 ON/OFF의 전환을 제어한다.

Description

종단회로{TERMINAL CIRCUIT}

본 발명은, DUT의 종단저항의 종단전압이 가변인 종단회로(終端回路)에 관한 것이며, 또한, DUT의 종단저항의 접속/비접속이 전환 가능한 종단회로에 관한 것이다.

IC테스터에 실장되는 시험기판에 있어서, 1개의 드라이버로 복수의 피측정 디바이스[이하, DUT(Device Under Test)]를 테스트하는 방법으로서, 이른바 드라이버 코몬(driver common)이라 칭하는 방법이 있다.

그 때에, DUT에 접속되는 종단회로로서, 예를 들면, 도 4, 도 5에 나타내는 바와 같은 종단회로가 있다.

도 4는, 시험 패턴으로서 파형신호를 DUT에 부여하는 경우의 종단회로(30)를 나타내는 도면으로서, 2개의 DUT(32, 33)에, 드라이버(31)로부터 발생하는 시험패턴을 부여하는 것이다.

드라이버(31)로부터 DUT(32, 33)까지는 등길이로 접속되어 있으며, 드라이버(31)에서 발생된 시험패턴(파형신호라 한다)은, 접점 a에서 분기되어, DUT(32, 33) 각각에 인가된다.

또, DUT(32, 33)에 접속되는 저항(R34, R35)은, 반사에 의한 파형 열화를 방지하기 위한 종단저항이다.

한편, 도 5는, 리크(leak)전류를 측정하는 경우나, 큰 진폭의 파형신호를 시험패턴으로서 DUT에 부여하는 경우의 종단회로(40)를 나타내는 도면이다.

리크전류를 측정하는 경우에는, 종단저항에 리크전류가 흐르는 것을 회피하기 위해, 종단저항을 접속하지 않은 회로구성으로 할 필요가 있다.

또한, 큰 진폭의 파형신호를 인가하는 경우에도, 종단저항을 접속하지 않은 회로구성으로 할 필요가 있다.

도 5에서는, 도 4에 나타내는 종단회로(30)와 마찬가지로, 드라이버(41)로부터 DUT(42, 43)까지는 등길이로 접속되어 있으며, 드라이버(41)에서 발생하는 시험 패턴은, 접점 a에서 분기되어, DUT(42, 43) 각각에 동시에 인가된다.

그러나, 도 4, 도 5에 나타내는 종단회로(30)에는, 이하와 같은 문제가 있다.

첫째로, 도 4에 있어서의 종단회로(30)의 종단저항(R34, R35)은 GND(접지)에 접속되어 있으며, 종단전압은 고정되어 있는 것으로 된다.

그 때문에, 드라이버(31)로부터 DUT(32, 33)에 부여되는 시험패턴으로서는, 일정레벨의 패턴 밖에는 부여할 수가 없다.

이 DUT(32, 33)에 부여하는 패턴을 변화시키고자 하는 경우에는, 드라이버(31)의 출력하는 시험패턴을 변화시키는 것으로 되지만, 종단전압이 고정이기 때문에, DUT(32, 33)에 부여되는 패턴의 중앙전압레벨은 고정인 채, 파형의 형상이나 진폭치 만이 변화하는 것으로 된다.

즉, DUT(32, 33)에 부여되는 레벨의 조합(하이레벨과 로우레벨의 조합)은 한정되고 만다.

둘째로, 도 4, 도 5에 나타내는 종단회로(30, 40)에 있어서, DUT에 종단저항을 접속하는가 하지 않는가의 어느 것인가[즉, 도 4의 종단회로(30) 또는 도 5의 종단회로(40)의 어느 것인가] 밖에 선택될 수 없기 때문에, 종단저항의 접속/비접속의 양방의 상태에 대하여 테스트를 행할 수 없다는 문제가 있다.

예를 들면, DUT에 파형신호를 부여하여 테스트를 행하는 경우에는 종단저항이 필요하지만, 리크전류를 측정하는 경우에는, 종단저항에 리크전류가 흐르고 말기 때문에, 종단저항은 불필요하다.

이와 같이, 테스트 조건에 따라서는, 다른 조건에서의 측정을 행할 수 없는 일이 있다.

본 발명은, 상기 문제에 감안하여 이루어진 것이다.

본 발명의 목적은, DUT에 접속되는 종단회로에 있어서, DUT에 광범위한 레벨의 시험패턴을 부여할 수 있도록 할 수가 있다.

본 발명의 다른 목적은, DUT의 테스트 조건에 따라, 종단회로에 있어서의 종단저항의 접속/비접속 양방의 상태에 대응시켜, DUT의 측정을 가능하게 할 수가 있다.

도 1은, 본 발명의 제 1실시형태에 관한 종단회로를 나타내는 개략도.

도 2a는, 본 발명의 제 1실시형태에 관한 종단회로의 드라이버가 발생하는 시험패턴을 나타내는 도면.

도 2b는, 본 발명의 제 1실시형태에 관한 종단회로에 있어서의 종단전압이 0V인 경우에 DUT에 부여되는 패턴예를 나타내는 도면.

도 2c는, 본 발명의 제 1실시형태에 관한 종단회로에 있어서의 종단전압이 4V인 경우에 DUT에 부여되는 패턴예를 나타내는 도면.

도 3은, 본 발명의 제 2실시형태에 관한 종단회로를 나타내는 개략도.

도 4는, 선행개발기술에 있어서, 파형신호를 부여하는 경우의 종단회로를 나타내는 개략도.

도 5는, 선행개발기술에 있어서, 리크전류를 측정하는 경우의 종단회로를 나타내는 개략도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

10. 본 발명의 제 1실시형태에 관한 종단회로

20. 본 발명의 제 2실시형태에 관한 종단회로

30. 선행개발기술에 있어서의 종단회로

40. 선행개발기술에 있어서의 종단회로

12, 13, 22, 23. 피측정 디바이스(DUT)

32, 33, 42, 43. 피측정 디바이스(DUT)

R14, R15, R24, R25, R34, R35. 종단저항

16. 전원 26. 릴레이

17, 27. 제어회로

본 발명의 제 1의 문제를 해결하기 위해, 본 발명의 제 1의 측면에 의하면, 본 발명의 제 1의 종단회로[예를 들면, 도 1의 종단회로(10)]는, 일 기판상에 설치되는 복수의 피측정 디바이스 각각에 설치되고, 각 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속됨과 동시에, 다른 쪽의 단자가 일 기판상의 접지에 접속되는 종단저항[예를 들면, 도 1의 종단저항(R14, R15)]과, 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 접지 사이에, 상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따른 전압을 공급하는 전압공급수단[예를 들면, 도 1의 전원(16)]을 구비한다.

또, 본 발명의 종단회로는, 상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따라 상기 공급하는 전압을 제어하는 제어수단[예를 들면, 도 1의 제어회로(17)]을 구비하여도 된다.

이 종단회로에 의하면, DUT의 테스트 조건에 따라 종단전압을 변화시킬 수가 있으므로, DUT에, 각종의 테스트 조건에 대응한 광범위한 시험패턴을 부여할 수가 있다.

본 발명의 제 2의 측면에 의하면, 본 발명의 제 2의 종단회로는, 일 기판상에 설치되는 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속되는 종단저항과, 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 접지 사이에 접속되며, 상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따른 전압을 공급하는 전압공급수단을 구비한다.

본 발명의 제 2의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 제 3의 측면에 의하면, 본 발명의 제 3의 종단회로[예를 들면, 도 3의 종단회로(20)]는, 일 기판상에 설치되는 복수의 피측정 디바이스의 각각에 설치되고, 각 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속됨과 동시에, 다른 쪽의 단자가 일 기판상의 종단전압[예를 들면, 도 3의 GND)에 접속되는 종단저항[예를 들면, 도 3의 종단전압(R24, R25)]과, 상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따라 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 종단전압의 접속/해방을 전환하는 전환수단[예를 들면, 도 3의 릴레이(26)]을 구비한다.

또, 본 발명의 종단회로는, 상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따라 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 종단전압의 접속/해방의 전환을 제어하는 제어수단[예를 들면, 도 3의 제어회로(27)]을 구비하여도 된다.

본 종단회로에 의하면, DUT의 테스트 조건에 따라, 종단저항의 접속/비접속을 전환할 수가 있으므로, 종단저항의 필요/불필요의 양방의 상태에 대응하여 측정 가능하게 된다.

본 발명의 제 4의 측면에 의하면, 본 발명의 제 4의 종단회로는, 일 기판상에 설치되는 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속되는 종단저항과, 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 종단전압 사이에 접속되며, 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 상기 종단전압의 접속/해방을 전환하는 전환수단을 구비한다.

(실시예)

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 관한 종단회로의 실시형태를 상세히 설명한다.

(제 1의 실시형태)

도 1에는, 본 발명의 제 1의 실시형태에 관한 종단회로(10)가 나타나 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 이 종단회로(10)는, 선행개발기술에 있어서의 종단회로(30)(도 4참조)에 있어서, 종단저항과 GND(접지) 사이에, 전원(16)이 접속되어 있는 것이다.

이 종단저항(R14, R15)에 접속되는 전원(16)은, 종단저항(R14, R15)의 종단전압에 상당하는 것이며, 그 전압레벨이 변경 가능한 가변전원이다.

드라이버(11)는, 입력되는 측정신호에 따라, DUT(12, 13)에 부여되는 시험패턴(예를 들면, 파형신호)을 생성·출력한다.

또, 드라이버(11)로부터 2개의 DUT(12, 13)까지는 등길이로 접속되어 있으며, 드라이버(11)로부터 출력되는 시험패턴은, 접점 a에서 분기되어, 각각의 DUT(12, 13)에 동시에 인가된다.

2개의 종단저항(R14, R15)은, 각각의 한쪽의 단자가 DUT(12, 13)의 입력핀에, 그리고 다른 한쪽의 단자가 전원(16)에 접속되어 있고, 반사에 의한 시험패턴의 파형 열화를 방지하는 작용을 한다.

제어회로(17)는, DUT(12, 13)의 테스트 조건에 따라 입력되는 제어신호에 따라, 전원(16)이 공급하는 전압레벨을 제어한다.

따라서, 도 1에 나타내는 종단회로(10)에 있어서, 전원(16)이 공급하는 전압레벨을 변화시키는 것에 의해, 각종 레벨의 시험패턴을 DUT(12, 13)에 부여할 수 있게 된다.

예를 들면, 종단저항(R14, R15)을 같은 크기의 저항(R14 = R15 = 50Ω)으로 하고, 드라이버(11)가 출력하는 시험 패턴을, 도 2a에 나타내는 바와 같은, 로우레벨이 0V, 하이레벨이 4V의 파형신호인 것으로 한다.

그리고, 종단전압[즉, 전원(16)의 전압레벨]을 0V로 설정하면, 시험패턴은, 같은 크기의 종단저항(R14, R15)에 의해 그 전압레벨이 등분되어, DUT(12, 13) 각각에 인가된다.

즉, 도 2b에 나타내는 바와 같이, 로우레벨이 0V, 하이레벨이 2V의 패턴이 부여되는 것으로 된다.

또, 종단저항(R14, R15)의 크기, 및 드라이버(11)가 출력하는 시험패턴을 그대로, 종단전압[즉, 전원(16)의 전압레벨]을 4V로 설정하면, 상기와 마찬가지로, 시험패턴은, 종단저항(R14, R15)에 의해 그 전압레벨이 등분되어, DUT(12, 13) 각각에 인가된다.

그 때에는, 도 2c에 나타내는 바와 같이, 로우레벨 2V, 하이레벨 4V의 패턴이, 각각의 DUT(12, 13)에 부여되는 것으로 된다.

이와 같이, 전원(16)이 공급하는 전압레벨을 변화시키는 것에 의해 종단전압의 레벨을 0V로부터 4V까지 변화시키고, DUT(12, 13)에 부여하는 시험패턴(파형신호)의 중앙 전압레벨을, 1V로부터 3V까지 변화시킬 수가 있다.

또, 드라이버(11)에 입력되는 측정신호, 제어회로(17)에 입력되는 제어신호는, 종단회로(10)에 접속되는 제어장치(도시생략)에 의해 제어되고 있다.

그리고, 제어장치의 제어프로그램에 부여되는 파라미터를 변경하는 것에 의해, 드라이버(11)가 생성하는 시험패턴(파형신호)의 형상이나 레벨, 전원(16)의 전압레벨을, 용이하게 변화시킬 수가 있다.

이와 같이, 드라이버(11)가 발생하는 시험패턴 및 종단전압레벨[전원(16)의 설정전압]의 조합에 의해, 임의의 시험패턴을 DUT(12, 13)에 부여할 수가 있다.

그리고, DUT(12, 13)의 종류나 시험항목 등의 각종 테스트 조건에 대응한 테스트를 행할 수가 있다.

(제 2실시형태)

도 3에는, 본원 발명의 제 2의 실시형태에 관한 종단회로(20)가 나타나 있다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 이 종단회로(20)는, 도 4에 나타내는 선행개발기술에 있어서의 종단회로(30)에 있어서, 종단저항과 GND(접지) 사이에, 릴레이(26)가 접속되어 있는 것이다.

드라이버(21)는, 외부로부터 입력되는 측정신호에 따라, DUT(22, 23)에 부여하는 시험패턴을 생성·출력하는 것이다.

또, 드라이버(21)로부터 DUT(22, 23)까지는 등길이로 접속되어 있으며, 드라이버(21)로부터 출력되는 시험패턴은, 접점 a에서 분기되어, DUT(22, 23) 각각에 동시에 인가되는 것으로 된다.

2개의 종단저항(R24, R25)은, 각각의 한쪽의 단자가 DUT(22, 23)의 입력핀에, 그리고 다른 한쪽의 단자가 릴레이(26)에 접속되어 있으며, 반사에 의한 시험패턴의 열화를 방지하는 작용을 한다.

또, 제어회로(27)는, DUT(22, 23)의 테스트 조건에 따라 입력되는 제어신호에 따라서, 릴레이(26)의 ON/OFF의 전환을 제어한다.

종단저항(R24, R25)에 접속되는 릴레이(26)는, 제어회로(27)의 제어에 의해, 종단저항(R24, R25)과 GND의 접속(ON)/비접속(OFF)을 전환하는 동작을 한다.

이 릴레이(26)의 ON/OFF를 전환하는 것에 의해, 종단저항(R24, R25)이 GND에 접속된 상태[도 4에 나타내는 종단회로(30)에 상당], 또는, 종단저항(R24, R25)이 GND로부터 끊긴 상태[도 5에 나타내는 종단회로(40)에 상당]로 제어할 수가 있다.

이와 같이, DUT(22, 23)의 테스트 조건에 따라, 릴레이(26)의 ON/OFF를 전환할 수가 있다.

예를 들면, DUT(22, 23)에 시험패턴으로서 파형신호를 부여하는 경우, 제어회로(27)는, 릴레이(26)를 ON으로 제어하여, 종단저항(R24, R25)을 GND에 접속시킨 상태로 한다.

즉, 종단회로(20)는, 도 4에 나타내는 종단회로(30)와 같은 동작을 하는 것으로 된다.

또, 릴레이 전류를 측정하는 경우나 큰 진폭의 파형신호를 DUT에 부여하는 경우 등, 종단저항(R24, R25)이 불필요한 경우, 제어회로(27)는, 릴레이(26)를 OFF로 제어하여, 종단저항(R24, R25)을 GND로부터 끊은 상태로 한다.

즉, 종단회로(20)는, 도 5에 나타내는 종단회로(40)와 동등한 동작을 하는것으로 된다.

이와 같이, 제어신호가 입력된 제어회로(27)가 릴레이(26)를 ON/OFF 제어시키는 것에 의해, DUT의 테스트조건에 따라, 종단저항(R24, R25)의 접속/비접속을 전환할 수가 있다.

이상, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은, 이와 같은 실시형태에 한정되지 않고, 그 요지를 일탈하지 않은 범위에서 각종의 변형이 가능함은 물론이다.

예를 들면, 도 3의 종단회로(20)에 있어서, 종단전압으로서 GND에 릴레이(26)를 접속하고 있지만, 이는 임의의 전원에 접속하도록 하여도 된다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, DUT에 접속되는 종단회로에 있어서, DUT에 광범위한 레벨의 시험패턴을 부여할 수가 있도록 할 수 있다.

또한, DUT의 테스트 조건에 따라, 종단회로에 있어서의 종단저항의 접속/비접속 양방의 상태에 대응시켜, DUT의 측정을 가능하게 할 수 있다.

Claims (7)

1. 일 기판상에 설치되는 복수의 피측정 디바이스의 각각에 설치되며, 각 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속됨과 동시에, 다른 쪽의 단자가 상기 기판상의 접지에 접속되는 종단저항과,

   상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 상기 접지 사이에, 상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따른 전압을 공급하는 전압공급수단을 구비하는 종단회로.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따라 상기 공급하는 전압을 제어하는 제어수단을 구비하는 종단회로.
3. 일 기판상에 설치되는 복수의 피측정 디바이스의 각각에 설치되며, 각 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속됨과 동시에, 다른 쪽의 단자가 상기 기판상의 종단전압에 접속되는 종단저항과,

   상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따라 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 상기 종단전압의 접속/해방을 전환하는 전환수단을 구비하는 종단회로.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따라 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와상기 종단전압의 접속/해방의 전환을 제어하는 제어수단을 구비하는 종단회로.
5. 일 기판상에 설치되는 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속되는 종단저항과,

   상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 상기 기판상의 접지 사이에 접속되며, 상기 피측정 디바이스의 측정조건에 따른 전압을 공급하는 전압공급수단을 구비하는 종단회로.
6. 일 기판상에 설치되는 피측정 디바이스를 측정하는 측정단자에 한쪽의 단자가 접속되는 종단저항과,

   상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 상기 기판상의 종단전압 사이에 접속되며, 상기 종단저항의 다른 쪽의 단자와 상기 종단전압과의 접속/해방을 전환하는 전환수단을 구비하는 종단회로.
7. 제 5항 또는 제 6항에 있어서,

   상기 피측정 디바이스는 복수인 종단회로.