KR20020019406A - 세정액 공급시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 새로운 액 탱크로부터 사용하지 않은 세정액을 제 1 세정 스테이션에 공급하고, 이 제 1 세정 스테이션에서 사용된 세정액을 사용이 끝난 액 탱크에 회수하고, 이 사용이 끝난 액 탱크로부터 사용이 끝난 세정액을 제 2 세정 스테이션에 공급하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 사용이 끝난 액 탱크는 적어도 두개 준비되어, 하나의 사용이 끝난 액 탱크로부터 제 2 세정 스테이션으로 세정액을 공급하고 있는 사이에, 다른 하나의 사용이 끝난 액 탱크에 제 2 스테이션으로부터의 세정액을 회수하고, 이후, 상기 조작을 소정 회수 번갈아 반복하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 세정 스테이션에서는 피처리기판의 예비 습윤 또는 도포 노즐의 세정을 행하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 세정 스테이션에서는 피처리기판의 가장자리끝 세정, 도포장치의 컵 안 세정 또는 도포 노즐의 건조방지용 저장조에의 용제공급을 행하는 것을 특징으로 하는 세정액 공급시스템.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액은 유기용제용액인 것을 특징으로 하는 세정액 공급시스템.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 세정액은 비점이 120℃이상(9.87 ×10-6Pa아래)인 유기용제용액인 것을 특징으로 하는 세정액 공급시스템.
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