KR20020006278A - 수평형 확산로의 웨이퍼 얼라인 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼를 가공하기 위한 수평형 확산로에 사용되는 웨이퍼 얼라인 테스트장치의 구조에 관련되는 것이다.

본 발명의 웨이퍼 얼라인 테스트장치(10)는 중심이 통공(30)되어 있는 석영재질의 통형으로 이루어지되, 그 통형 주위에 상기 통공과 수평방향으로 로드를 삽입하는 27개의 로드 홀(11),(21)이 2줄 이상으로 각각 형성되고, 상기 통형의 양 외면에 상기 통공(30)과 상기 로드 홀(11),(21)을 차폐하는 석영판(40a),(40b)이 부착된다.

상기와 같이 웨이퍼 얼라인 테스트장치(10)를 이용함으로써, 실제의 웨이퍼를 사용하여 수평형 확산로의 내부의 유체의 흐름 및 온도변화를 확인하는 것과 동일한 효과를 얻을 수 있고, 웨이퍼의 불량을 줄여 제조수율을 향상하는 효과를 얻을 수 있다.

Description

수평형 확산로의 웨이퍼 얼라인 테스트장치{align test equipment of wafer}

본 발명은 반도체 웨이퍼를 가공하기 위한 수평형 확산로에 관련된 것으로서, 더 상세히는 수평형 확산로의 유지보수를 진행하는 과정에서 실제 웨이퍼를 이용하여 프로세스 테스트를 진행하는 대신에 실제 웨이퍼와 유사한 석영 얼라인장치를 구성하여 프로세스 테스트를 진행하는 기술에 관련된 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼를 가공하기 위한 수평형 확산로는 도 1과 같이 컴퓨터 케비넷(1), 로드 스테이션(2), 프로세스 튜브(6), 소스 케비넷(7)으로 이루어지고, 상기 로드 스테이션(2)의 내부에는 소프트 렌더(3)와 웨이퍼 케리어(4)가 구성된다. 한편, 로드 스테이션(2)과 프로세스 튜브(6) 사이에는 흡입튜브(5)가 개재된다.

상기와 같이 구성되는 수평형 확산로는 로드 스테이션(2) 내부의 소프트 렌드(3)와 웨이퍼 케리어(4)를 이용하여 웨이퍼를 얼라인 하고, 프로세스 튜브(6) 및 소스 케비넷(7)을 이용하여 그 웨이퍼에 이온 및 가스 등을 주입하여 웨이퍼를 가공하는 과정을 거친다.

상기 웨이퍼의 얼라인 상태는 도 2와 같이 웨이퍼(9)를 얼라인한 웨이퍼 케리어(4)를 석영관(8)내에 넣고, 가스나 이온을 주입하여 웨이퍼를 가공한다.

그런데, 상기와 같이 구성되는 반도체 장비의 수평형 확산로는 웨이퍼를 롯트(Lot) 단위로 가공한 후 주기적으로 청소 등을 해주는 유지 관리가 필요하고, 이유지관리를 통하여 반도체 웨이퍼(9)의 품질을 균일하게 유지한다.

상기와 같이 유지관리 후, 다시 반도체 웨이퍼를 가공하고자 하는 경우에 수평 확산로의 내부 조건 특히, 로드 스테이션(2)의 내부 또는 흡입튜브(5)의 내부 상태를 확인할 수 없는 상태에서 고가인 웨이퍼를 이용하여 얼라인 상태의 조정을 하거나 이온 및 가스의 흐름을 점검할 경우 웨이퍼의 낭비가 초래되는 문제점이 있다.

이와 같은 문제점을 개선하기 위하여 도 3과 같이 석영 얼라인 테스트장치(1)를 이용하는 방법이 알려져 있다.

상기 종래의 석영 얼라인 테스트장치(10)는 25장(1Lot)의 웨이퍼를 기준으로 구성되고, 6Lot의 웨이퍼작업을 할 수 있도록 맞추어져 있다. 상기 종래 석영 얼라인 테스트장치(10)의 구조는 도 4와 같이 통형으로 구성되고, 그 통형 주위에 지름이 12mm인 로드 홀(11)이 27개 형성되고, 그 로드 홀(11)에 로드를 삽입하여 석영 얼라인 테스트장치의 무게를 실제 1Lot의 웨이퍼 무게 즉, 25장의 웨이퍼 무게와 동일하게 구성한다.

상기와 같이 두께 a가 100mm이고, 지름 b가 145mm의 통형으로 구성되어지되, 그 통형의 주위 면을 따라 로드 홀(11)이 형성되는 1Lot의 석영 얼라인 테스트장치(10)는 정기적인 유지 보수 작업을 행하기 위하여 도 3과 같이 6Lot가 웨이퍼 케리어(4) 위에 올려져 석영관(8) 내부에 세팅된다.

상기 석영 얼라인 테스트장치(10)는 웨이퍼 케리어(4)의 수평 얼라인을 확인하고, 작업공정에서의 흡입튜브(5) 등의 오염도 등을 사전에 평가하여 정상적으로판명되었을 때 실제 웨이퍼를 넣고 웨이퍼 가공 프로세스를 진행할 수 있도록 하는 역할을 한다.

그러나, 종래의 석영 얼라인 테스트장치(10)는 내부에 통공(30)이 뚤려 있어 도 3의 화살표 방향과 같이 내부의 홀을 통하여 가스나 이온이 유입됨으로써, 도 2와 같이 실제의 웨이퍼를 사용할 때와 유체의 흐름이 달라져 석영관 내부의 온도의 변화가 생기며 공급되는 이온이나 가스의 반응도 달라지게 된다.

따라서, 실제의 웨이퍼를 사용할 때와 석영 얼라인 테스트장치를 사용할 때의 조건이 일치하지 않음으로 석영 얼라인 테스트장치의 정확도가 떨어지고, 종래의 석영 얼라인 테스트장치를 사용할 경우 장비의 조건을 정확히 컨트롤할 수 없는 문제점이 있다.

또, 로드 홀(11)를 27개만 형성하기 때문에 설비의 생산능력을 향상하기 위하여, 하나의 예로 웨이퍼의 생산능력을 6Lot(웨이퍼 150장)에서 8Lot(웨이퍼 200)로 향상하고자 석영 얼라인 테스트장치를 8개 올려 사용하여야 하나 로드 홀(11)의 수가 27로 한정되어 있으므로 그 사용이 불가능한 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 석영 얼라인 테스트장치를 웨이퍼의 로트(Lot) 무게에 대응하여 선택적으로 로드를 삽입할 수 있도록 구성하고, 그 석영 얼라인 테스트장치의 양 외면에는 석영판을 부착하여 통공을 밀폐하고록 구성한다.

즉, 1개의 통형으로 이루어진 석영 얼라인 테스트장치(10)는 통형 주위에 지름이 12mm인 로드 홀(11)이 2줄로 27개가 각각 형성되고, 그 로드 홀(11)에 로드를 삽입하여 석영 얼라인 테스트장치의 무게를 실제 2Lot의 웨이퍼 무게 즉, 50장의 웨이퍼 무게와 동일하게 구성한다

본 발명의 통형의 석영 얼라인 테스트장치는 종래의 석영 얼라인 테스트장치와 같이 두께 a가 100mm이고, 지름 b가 145mm의 통형으로 구성되어지나, 종래의 석영 얼라인 테스트장치와 다른 점은 로드 홀(11)이 2줄로 27개씩 구성되는 점과 그 홀을 차폐하도록 양쪽 외측에 석영판이 부착되는 점이다.

따라서, 본 발명의 목적은 실제의 웨이퍼를 사용하여 웨이퍼 케리어(4)의 수평 얼라인을 확인하고, 수평형 확산로의 내부조건을 확인하는 것과 동일한 석영 얼라인 테스트장치를 구성하는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 웨이퍼의 롯트 수에 대응하여 석영 얼라인 테스트장치의 무게를 조절할 수 있는 구조를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼의 제조공정 프로세스에서 불량을 줄여 제조 수율을 향상하고 생산성을 향상시키는 데 있다.

도 1은 일반적인 수평형 확산로의 기술적 구성을 설명하기 위한 도면이고,

도 2는 일반적인 수평형 확산로의 로드 스테이션에 있어서, 웨이퍼의 얼라인 상태를 나타내는 도면이고,

도 3은 수평형 확산로의 로드 스테이션에 있어서, 종래의 석영 얼라인 테스트장치를 이용하여 웨이퍼의 얼라인 테스트를 실시하는 것을 설명하기 위한 도면이고,

도 4는 종래 석영 얼라인 테스트장치의 구조를 설명하기 위한 도면이고,

도 5는 본 발명의 석영 얼라인 테스트장치의 구조를 설명하기 위한 도면이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

4 - 웨이퍼 케리어 8 - 석영관

10 - 석영 얼라인 테스트장치

11,21 - 로드 홀 30 - 통공

40a,40b - 석영판

상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 수평형 확산로의 웨이퍼 얼라인 테스트장치는 중심이 통공되어 있는 석영재질의 통형으로 이루어지되, 그 통형 주위에 상기 통공과 수평방향으로 로드를 삽입하는 복수개의 로드 홀이 적어도 2줄 이상으로각각 형성되고, 상기 통형의 양 외면에 상기 통공과 상기 로드 홀을 차폐하는 석영판이 부착되는 것을 특징으로 한다.

상기 웨이퍼 얼라인 테스트장치는 두께가 100mm, 지름이 145mm로 형성되고, 로드 홀은 1줄에 27개씩 구성된다.

이하, 도 5를 주로 참고하여 본 발명의 구성, 작용 및 효과를 상세히 설명한다.

본 발명의 석영 얼라인 테스트장치(10)는 중심에 통공(30)을 갖는 통형으로 구성되고, 그 통형 주위에 그 통공(30)과 수평방향으로 형성되는 지름이 12mm인 로드 홀(11)이 1줄로 27개 형성되고, 그 로드 홀(11)의 하부에 지름이 12mm인 로드 홀(21)이 1줄로 27개 형성되어 2줄의 로드 홀이 구성된다. 또, 상기 통형의 외면에는 로드 홀(11,21)과 통공(30)을 가리도록 석영판(40a)과 석영판(40b)가 각각 부착된다.

상기 석영판이 부착된 석영 얼라인 테스트장치(10)의 외측 치수 즉, 두께 a는 100mm이고, 지름 b가 145mm로 구성된다.

상기와 같이 석영 얼라인 테스트장치를 구성함으로서 웨이퍼의 롯트 수에 대응하여 석영 얼라인 테스트장치의 무게를 효율적으로 조정할 수 있을 뿐만 아니라, 석영 얼라인 테스트장치를 이용하여 프로세스 테스트를 진행할 때 유체의 이온이나 흐름을 실제 웨이퍼를 세팅하여 놓고 진행하는 것과 동일한 조건으로 테스트할 수 있다.

즉, 상기 석영 얼라인 테스트장치(10)는 웨이퍼 케리어(4)에 실제 웨이퍼를세팅한 상태에서 수평 얼라인을 확인하는 것과 같은 효과를 얻을 수 있고, 통공(30)을 석영판으로 차폐하므로 실제의 웨이퍼가 세팅된 상태에서 이온이나 유체의 흐름을 판단하는 것과 같은 효과를 얻을 수 있다.

본 발명은 중심에 통공(30)을 갖는 통형 주위에 그 통공(30)과 수평방향으로 형성되는 지름이 12mm인 로드 홀(11)이 2줄로 27개 형성되고, 상기 통형의 외면에는 로드 홀(11,21)과 통공(30)을 가리도록 석영판(40a),(40b)을 부착하여 웨이퍼 얼라인 테스트장치를 구성함으로써, 실제의 웨이퍼를 사용하여 웨이퍼 케리어(4)의 수평 얼라인을 확인하고, 수평형 확산로의 내부조건을 확인하는 것과 동일한 효과를 얻을 수 있다.

또, 생산성 향상에 따른 웨이퍼의 작업 롯트 수 증가에 대응하여 웨이퍼 얼라인 테스트장치의 무게를 조절할 수 있는 효과를 얻을 수 있고, 웨이퍼의 불량을 줄여 제조 수율을 향상하는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (3)

1. 중심이 통공되어 있는 통형으로 이루어지되, 그 통형 주위에 상기 통공과 수평방향으로 로드를 삽입하는 복수개의 로드 홀이 적어도 2줄 이상 형성되고, 상기 통형의 양 외면에 상기 통공과 상기 로드 홀을 차폐하는 판이 부착되는 것을 특징으로 하는 수평형 확산로의 웨이퍼 얼라인 테스트장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 통형은 석영 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평형 확산로의 웨이퍼 얼라인 테스트장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 판은 석영 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평형 확산로의 웨이퍼 얼라인 테스트장치.