KR20020000768A - 센서 드리프트 교정 장치 및 방법 - Google Patents

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제임스엠. 해리스
바바크 타헤리
에롤 아킬리크
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해리스 제임스 엠
레드우드 마이크로시스템즈,인코퍼레이티드
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Abstract

센서 드리프트 교정 장치(20)는 센서 패키지(22)를 포함한다. 상기 센서 패키지(22)는 유체 콘딧(24), 비례 제어기(26), 온도 센서(28), 제 1 압력 센서(30), 일체형 제어기(32), 제 2 압력 센서(34)를 포함한다. 버스(36)는 제 1 압력 센서(30) 등을 마이크로제어기(38)에 연결하고, 상기 마이크로제어기(38)는 관련 내부나 외부 메모리(40)를 가진다. 메모리(40) 내에는 초기 매개변수 명세 모듈(42), 표준 모드 제어 모듈(44), 측정 조건 식별 모듈(46), 센서 드리프트 계산 모듈(48), 센서 드리프트 조절 모드 작동 모듈(50)이 위치한다. 이 모두는 측정 명령을 식별하도록 작용하고, 0압력 조건에 고정된 측정 전압값과 측정 온도값에 따라 센서에 대한 0압력 드리프트 교정 인자를 식별하며, 이어 이에따라 센서 출력을 조절한다.

Description

센서 드리프트 교정 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR CORRECTING SENSOR DRIFT}
압전저항 또는 충전 센서는 센서에 가해지는 물리력에 비례하는 전기저항이나 커패시턴스 변화를 발생시킨다. 이러한 센서는 실리콘막의 편향을 측정하기 위해 실리콘막에 위치한다.
이러한 센서를 밀집시킬 때 여러 문제가 발생한다. 가령, 매우 부드럽고 잘휘는 접착제를 이용하여 패키지나 기판에 실리콘 기반의 압전저항 압력 센서가 부착되어, 패키지로부터 센서까지 전달되는 잔여 응력이 존재하지 않는다. 응력이 센서로 전달될 경우, 센서 막이 편향되고, 감지 요소에서 측정된 저항값을 생성하며, 이는 측정된 압력에 변화를 나타낸다. 부착 과정으로부터의 응력은 압력유도된 막 편향의 방향과 크기에 따라 이 저항 변화에 추가될 수도 있고, 빼지게 될 수도 있다. 일반적으로 가장 일반적으로 수용되는 측정 기술은 센서를 견고한 베이스에 부착할 필요성과 측정 변화에 의해 유발되는 압력 센서의 비-이상적 행동을 적절하게 보상한다.
기존 특정 기술이 가지는 문제점은 부착 물질의 응력 해소로 인해 부착 과정으로부터의 응력이 시간에 따라 변화할 때 발생한다. 이 응력 해소는 센서의 노출, 센서 주변 환경의 변화, 부착 물질에서의 변화, 그리고 압력 및 온도 변화에 대한 베이스의 변화에 의해 유발될 수 있다. 베이스, 센서, 부착 물질의 열팽창계수가 매우 비슷하지 않을 경우, 온도 편위는 열팽창 차이 및 온도 차이에 비례하는 물질의 응력차이를 생성한다. 다이 부착 물질이 점성 및 탄성 물질일 경우, 응력이 감소하도록 하는 방식으로 시간에 따라 유동할 것이다. 이는 압전저항 막에 충격을 가할 것이고, 시간에 따라 저항값을 변화시킬 것이다.
전형적인 측정 방법은 앞서 기술된 저항값의 변화 특성을 설명할 수 없다. 대부분 센서의 저항은 온도 및 압력의 함수이다. 이 물리적 작용을 모델링하는 한가지 접근법은 다음과 같은 다항식을 이용하는 것이다.
P는 막 사이에 가해지는 압력차를 말한다. 각각의 M은 도출된 계수다. T는 센서 막의 온도고, V는 센서 구조의 저항 측정값이다. 예를 들어, V는 압전저항 요소 사이 일정한 전류에 의해 생성되는 전압일 수 있다.
특정 압력 센서에 맞추기 위해 필요한 다항식의 차수는 개별 제작 과정, 부착 기술, 그리고 요구되는 정확도 수준에 따라 좌우된다. 압력 및 온도에 대해서는 2차 맞춤으로 충분하지만, 압력에 대해 2차 맞춤, 온도에 대해서 3차 맞춤이 필요한 경우도 가끔 있다.
견고하지 않는 다이 부착 물질이 사용될 때, 방정식 I의 M0항이 시간 및 온도에 따라 변화한다. 이 항은 통상적으로 "오프셋"으로 불린다. 압력이 "0"일 때 대부분의 센서에서, 막에 편향이 없으나 신호는 0이 아님을 의미한다. 이는 휘트스톤 브리지 저항 구조를 이용하는 센서의 경우에서도 사실이다. 이 구조는 이론적으로 0 신호를 부여하도록 고안될 수 있으나, 제작 공차를 가지면서 작은 신호를 생성할 것이다.
이 에이징 현상은 대략 0.5 psi의 신호 레벨 시프트를 생성할 수 있다. 이 시프트나 드리프트는 관심있는 전체 압력 범위 상에서 상대적으로 일정하다. 40psi의 압력 수준에서, 이는 1.25%의 오차에 달하고, 5psi에서는 이것이 10%의 오차에 달한다. 이러한 오차는 대부분의 응용에서 수용불가하다.
드리프트된 압력 센서를 고객이 재측정하는 것은 실제 수용불가하다. 따라서, 드리프트 교정 능력을 가진 개선된 감지 장치를 제공하는 것이 매우 바람직하다. 이상적으로는, 이러한 센서가 필드의 고객에 의해 야기되는 상대적으로 간단한 조건 세트에 따른 드리프트를 자동적으로 자체 교정할 것이다. 완전한 기술은 전압 및 온도 조건의 함수로 센서 에이징과 같이 드리프트 인자를 보상할 것이다.
본 발명은 센서 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 센서의 드리프트 교정 기술에 관한 것이다.
도 1은 발명의 한 실시예에 따라 만들어진 센서 드리프트 측정 및 교정 장치의 도면.
도 2는 발명에 따라 사용될 수 있는 게이지 센서의 도면.
도 3은 발명의 한 실시예에 따라 사용되는 센서 및 부대 브리지 회로의 도면.
도 4는 발명의 한 실시예에 따라 실행되는 센서 드리프트 측정 및 교정 과정의 도면.
도 5는 도 4의 과정의 제 1 단계와 연관된 공정 단계의 도면.
도 6은 도 4의 과정의 두 번째 단계와 관련된 공정 단계의 도면.
센서의 드리프트를 교정하는 방법은 측정 명령을 식별하는 단계를 포함한다. 센서에 대한 0압력 센서 드리프트 교정 인자는 0압력 조건에서 고정되는 측정 온도값과 측정 전압값을 바탕으로 식별된다. 센서 출력은 0압력 조건 센서 드리프트 교정 인자에 따라 순차적으로 조절된다.
발명의 장치는 0압력 조건에서 고정된 측정 전압값과 측정 온도값에 따라 센서에 대한 0압력 센서 드리프트 교정 인자를 구축하도록 배치되는 마이크로제어기와 관련 전자 장치를 포함한다. 센서 출력은 0압력 센서 드리프트 교정 인자에 따라 마이크로제어기에 의해 순차적으로 수정된다.
발명은 압전저항 및 충전 센서에서의 드리프트를 교정하는 개선된 기술을 제공한다. 이 기술은 상대적으로 간단한 외부 조건 세트에 따른 드리프트를 자동적으로 자체 교정할 것이다. 바람직하게는, 이 기술이 0압력 조건에서 측정되는 바와 같이 전압 및 온도 조건의 함수로 센서 에이징과 같은 드리프트 인자를 보상한다. 그후 0압력 센서 드리프트 교정 인자는 센서 드리프트의 교정을 이행하기 위해 다른 압력 조건에 적용된다.
도 1은 발명의 한 실시예에 따른 센서 드리프트 교정 장치(20)를 도시한다. 교정 장치(20)는 센서 패키지(22)를 포함한다. 발명이 센서 드리프트에 대한 교정을 확립하기 때문에, 센서 패키지(22)는 비-밀폐식 패키지일 수 있다.
패키지(22)는 유체가 흐르는 콘딧(conduit)(24)을 포함한다. 콘딧(24)은 통과 유체를 감시하거나 제어하는 한 개 이상의 기능 장치를 가진다. 가령, 패키지(22)는 비례 제어기(26), 온도 센서(28), 제 1 압력 센서(30), 일체형 제어기(32), 제 2 압력 센서(34)를 포함하도록 구현될 수 있다. 발명은 제 1 압력 센서(30)와 제 2 압력 센서(34)와 같이 압력 센서의 작동을 지향한다. 당 분야의 통상의 지식을 가진 자는 각각의 압력 센서가 도 1에 도시되는 종류의 기능 장치와 연계하여, 또는 질량 흐름 제어기, 압력 제어기, 질량계, 압력계와 같이 장치 구축을 위한 기능 장치의 타조합과 연계하여 작동될 수 있다는 것을 이해할 것이다.
패키지(22) 내 위치하는 개별 기능 유닛으로부터의 신호는 개별 라인이나 버스(36)를 통해 마이크로제어기(38)로 전달된다. 마이크로제어기(38)는 관련 내부나 외부 메모리(40)를 가진다. 마이크로제어기(38)는 메모리(40)에 저장된 프로그램 세트를 실행한다. 대안으로, 마이크로제어기(38)와 메모리(40)는 응용 주문형 집적 회로(ASIC), 필드 프로그래밍 논리 장치(FPLD), 또는 당 분야에 공지된 이와 동등한 타장치일 수 있다. 이 구현에 상관없이, 발명에 따라 명령 세트가 실행된다.
도 1에 도시되는 바와 같이, 명령 세트는 초기 매개변수 명세 모듈(42), 표준 모드 제어 모듈(44), 측정 조건 식별 모듈(46), 센서 드리프트 연산 모듈(48), 센서 드리프트 조절 모드 운영 모듈(50)을 포함하는 특징을 가진다. 이들 모듈의 각 기능이 아래에 설명된다.
도 2는 발명에 따라 사용되는 압력 센서(30 또는 34)의 측면도이다. 센서(30)는 편향가능한 막(61)을 가지는 미세 게이지 센서(60)를 포함한다. 게이지 센서(60)는 견고하지 않은 접착제(63)를 통해 기판(62)에 부착된다. 콘딧(24)의 유체에 의해 생성되는 압력(화살표(64))은 막(61)을 편향시킨다. 화살표(65)의 외부압은 유체로부터의 압력에 반작용한다. 다음 설명을 위해, 외부압은 일정하다고 가정한다. 이상적으로는 어떤 외부압도 존재하지 않는다. 즉, 게이지 센서(60) 외부는 진공이다. 압전저항이나 충전 요소(66)는 막(61)의 편향에 따라 저항을 변화시킨다. 요소(66)로부터 발생되는 신호는 게이지 센서(60)로부터 리드(68)를 통해 빠져나간다.
도 3은 센서(30)의 평면도다. 도면은 게이지 센서(60)와 게이지 센서(60) 위에 놓인 압전저항/충전 요소(66)의 상부면을 도시한다. 압전저항 요소(66)는 공지된 브리지 회로(69)의 일부를 형성하는 저항으로 작용한다. 브리지 회로(69)는 저항 R1, R2, R3, R4를 포함한다. 브리지 회로(69)는 센서(60) 위에 놓이는 막에 형성될 수 있다. 출력 신호 +Vout과 -Vout은 마이크로제어기(38)로 전달된다. 저항 변화를 표시하는 신호를 얻기 위해 브리지 회로(69)와 관련 게이지 센서(60)를 이용하는 것은 당 분야에 공지되어 있다. 콘딧(64)의 유체압에 상응하는 압력에 저항하는 변화를 매핑하는 방법도 또한 공지되어 있다. 발명은 공지 기술을 지향하는 것이 아니라, 게이지 센서(60)와 같이 센서와 관련된 드리프트를 보상하고 교정하는, 이러한 신호 처리를 지향한다.
발명과 관련된 공정 단계는 도 4에서 기술된다. 도 4에 도시되는 초기 처리 단계는 0압력 조건을 바탕으로 초기 매개변수를 구축하는 것이다(단계 70). 이 작동은 초기 매개변수 명세 모듈(42)에 의해 협조될 수 있다. 이 작용은 도 5와 연계하여 또한 기술된다.
도 5에서, 초기 매개변수를 구축하는 첫 번째 단계는 감시받는 콘딧에 0압력 조건을 생성하는 것이다(단계 72). 즉, 패키지(22)의 콘딧(24)에 낮은(또는 0) 압력 조건이 적용된다. 그후, 측정된 전압과 온도값은 0압력 조건에서 고정된다(단계 74). 즉, 측정된 전압 신호를 얻기 위해 브리지 회로(69)가 사용되고, 온도값을 얻기 위해 온도 센서(28)가 사용된다. 이들 신호 각각이 버스(36)를 통해 마이크로제어기(38)에 공급된다.
0압력값, 측정된 전압값, 측정된 온도값은 방정식 I과 같은 압력 규정 다항식에 삽입된다(단계 76). 다항식에 필요한 계수의 수는 필요한 압력 및 온도 조합의 수를 규정한다. 가령, V3XT3는 16개의 데이터 점을 필요로한다. 이는 네 온도 각각에 대해 네 압력을 측정함으로서 이루어진다. 네 개의 온도는 작동 온도 범위에 걸치고 온도 범위를 약간 넘는 것이 선호된다. 마찬가지로 네 개의 압력은 작동 온도 범위에 걸치고 약간 넘는다. 압력점 중 하나는 "0"이어야 하고, 여기서 "0"이라는 것은 대략 10토르 미만(<0.2psi)의 압력을 의미한다. 따라서, 단계 76은 다항식을 위한 적절한 해를 얻기 위해 0압력 항, 0압력 항에서 측정된 전압값, 0압력에서의 온도값, 더하기 추가적인 0이 아닌 압력의 전압 및 온도값의 삽입을 고려한다. 측정된 압력이나 전압값에 대한 이어지는 기준은 여러 측정된 압력 및 전압값을 포함한다.
마이크로제어기(38)는, 초기 매개변수 명세 모듈(42)의 제어 하에서, 0압력값, 한 개 이상의 측정된 전압값, 그리고 한 개 이상의 측정된 온도값에 의존하는 압력 규정 다항식에 대한 계수를 이어 계산한다(단계78). 이는 메모리(40)에 저장되는 완전히 표현된 압력 규정 다항식을 도출한다. 대안으로, 이 계산을 실행하기 위해 분리 컴퓨터가 사용되고, 완전 표현된 압력 규정 다항식의 계수는 메모리(40)로 다운로드된다.
계수 M0-M15를 가지는 방정식 I의 다항식이 예로 제공된다. 다른 다항식이 사용될 수도 있고, 측정된 값에 대한 다항식 계수를 맞추기 위해 여러 기술이 사용될 수 있다.
도 4에서, 다음 처리 단계는 표준 모드로 센서를 작동시키는 것이다(단계80). 표준 모드에서, 표준 모드 제어 모듈(44)에 의해 제어되는 바와 같이, 측정된 전압과 온도값이 방정식 I과 같은 압력 규정 다항식에 삽입되고, 압력(P)이 마이크로제어기(38)에 의해 계산된다.
압력 센서(30)는 본 모드에서 확장된 시간 주기로 작동할 수 있다. 그러나결국에는, 센서(30)의 정확도가 드리프트를 시작한다. 따라서, 장치의 교정이 필요하다. 발명에 따라, 마이크로제어기(38)는 측정 명령을 식별하도록 배열된다(단계82). 한 예로, 마이크로제어기(38)의 측정 조건 식별 모듈은 30초보다 긴 주기동안 일체형 제어기(36)와 비례 제어기(26)에 주어진 5볼트 풀-스케일 명령과 1O토르 미만의 압력 신호 형태의 측정 명령을 식별하도록 배열될 수 있다. 서버와 관련된 기능 요소에 적용되는 다른 외부 조건들이 사용될 수도 있다. 이러한 조건에 따라, 0압력 센서 드리프트 교정 인자가 구축된다. 이 작동과 연관된 처리가 도 6과 연계하여 공개된다.
도 6에 도시되는 첫 번째 단계는 감시 콘딧에 0압력 조건을 생성하는 것이다(단계 72). 이는 도 5와 연계하여 기술된 것과 동일한 단계이다. 측정된 전압과 온도값은 0압력 조건으로 고정된다(단계74). 이 단계는 도 5와 연계하여 기술된 단계와 유사하지만, 본 사례에서, 측정된 전압값은 센서(60)의 드리프트를 반영하는 초기 판독과는 다를 것이다. 센서 드리프트 연산 모듈(48)과 연계하여 작동하는 마이크로제어기(38)는 시간 j와 온도 k에서 0압력 조건에서 전압값 V를 표시하는 전압항 V(P=0, t=j, T=k)와 같이 0압력 센서 드리프트 인자를 출력할 것이다. 대안으로, 압력 항은 압력항 P(P=0, t=j, T=k)과 같이 출력으로 사용될 수 있다. 이는 0압력 조건(P=0), 시간 j(t=j), 온도 k(T=k)에서 압력값 P를 말한다.
도 4에서, 최종 처리 단계는 0압력 센서 드리프트 교정 인자의 관점에서 센서 출력을 조절하는 것이다(단계88). 이 단계는 센서 드리프트 조절 모드 작동 모듈(50)로 구현될 수 있다. 앞서 기술한 바와 같이, 0압력 센서 드리프트 교정 인자는 전압항 V(P=0, t=j, T=k)나, 압력항 P(P=0, t=j, T=k)일 수 있다. 전압항의 경우에, 새 변수 V*가 전용 압력 규정 다항식에 삽입될 수 있다. 새 변수 V*는 다음과 같이 표현된다.
V*(P=x, t=j, T=k) = V(P=x, t=j, T=k) - V(P=0, t=j, T=k) 방정식 II
따라서, 0압력 센서 드리프트 교정 인자 V(P=0, t=j, T=k)는 현재 측정된 전압 신호 V(P=x, t=j, T=k)에서 빼기를 하게되고, 그 차이는 전용 압력 규정 다항식의 전압항으로 삽입된다. 더욱이, 압력 규정 다항식의 제 1 계수 M0는 방정식 1에서 0으로 설정된다. 초기 측정 점(t=0)에서 V*(P=0, t=0, T=k)=0임을 알 수 있다.
0압력에서 저항의 온도 의존도를 설명하기 위해, 다음 방정식을 푼다.
V(P=0, t=0, T=0) = N(P=0, t=0) + N1*Tk+ N2Tk 2방정식 III
어떤 시간 t=j에서, V(P=0, t=j, T=k)가 측정되다. N(P=0, t=j)는 방정식 III에서 V(P=0, t=0, T=k)를 대체하기 위해 V(P=0, t=j, T=k)를 이용하여 풀린다. 그후, 다음의 방정식 IV를 얻는다.
V*(P=x, t=j, T=k)
= V(P=x, t=j, T=k) - (N(P=0, t=j) + N1*Tk+ N2Tk 2) 방정식 IV
방정식 IV로부터 V*는 시간 j와 온도 k에서 압력을 얻기 위해 방정식 I로부터 원 계수로 사용된다.
전용 압력 규정 다항식은 원래 0압력 조건에 의해 규정된 계수를 가짐을 생각해보자. 이 시간에서 처리되는 전압항(V*)은 특정 온도에서 센서 드리프트를 설명한다. 이는 항 V(P=0, t=j, T=K)에서 알 수 있다.
0압력 조건의 경우 10 토르 미만의 압력이 사용되어야한다는 것을 경험적으로 알고 있다. 더 높은 "0" 압력이 사용될 경우, 측정 정확도가 저하된다. 이어지는 측정에서, "0" 압력은 원래보다 같거나 작아야 한다. 그렇지 않을 경우, 정확도가 저하된다.
앞서는 전압항의 이용을 센서 드리프트 교정 인자로 설명한다. 당분야의 통상의 지식을 가진 자는 압력 규정 다항식에 대한 초기 계수 세트가 V* 항을 이용하여 계산될 수 있다는 점을 알 수 있을 것이다. 특히, 초기 측정점(V*=0)에서 V*의 값은 방정식 I로 삽입될 수 있다. M0항은 0으로 설정되고, 계수값은 0압력항, 0압력에서 측정 온도, 그리고 추가 온도 및 압력값을 바탕으로 계산된다.
센서 드리프트 교정 인자로의 전압항의 이용이 이제부터 설명된다. 앞서 언급한 바와 같이, 압력항은 센서 드리프트 교정 인자로 사용될 수 있다. 특히, 특정 후 시간에, 원래 계수는 상기 시간의 "0" 압력 신호를 바탕으로 압력 판독을 계산하는 데 사용된다. 이 압력 P(P=0, t=j, T=k)은 이어 계산되는 모든 압력에서 빼게된다. 수학적으로, X>0인 모든 값에 대하여, 조절된 압력이 다음과 같이 계산된다.
P*(P=x, t=j, T=k) = P(P=x, t=j, T=k) - P(P=0, t=j, T=k) 방정식 V
(P=x, t=j, T=k)와 P(P=0, t=j, T=k)는 전용 압력 규정 다항식(가령 방정식 I과 같은 다항식)을 이용하여 계산된다. P*는 방정식 V를 이용하여마이크로제어기(38)에 의해 계산된다. P*는 감지되는 실제 압력으로 이용된다. 즉, P(P=0, t=j, T=k)를 얻고, 이에 따라 알고리즘이 갱신된다. 방정식 IV에 따른 과정이 이용될 경우와 유사한 방식으로 이 과정이 반복된다.

Claims (15)

  1. 센서의 드리프트를 교정하는 방법으로서, 상기 방법은,
    - 측정 명령을 식별하고,
    - 0압력 조건에서 고정된 측정 온도값과 측정 전압값을 바탕으로 상기 센서에 대한 0압력 센서 드리프트 교정 인자를 구축하며,
    - 상기 0압력 센서 드리프트 교정 인자에 따라 센서 출력을 조절하는, 이상의 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    - 상기 센서와 관련된 콘딧에서 0압력 조건을 생성하고,
    - 0압력 조건에서 측정된 전압값과 측정된 온도값을 고정시키며,
    - 0압력항, 상기 측정된 전압값, 상기 특정된 온도값을 압력 규정 다항식에 삽입하고,
    - 전용 압력 규정 다항식을 정립하기 위해 상기 압력 규정 다항식에 대한 계수를 계산하는, 이상의 단계를 상기 식별 단계 이전에 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 조절 단계는,
    보상된 전압 신호 정립을 위해 새로 측정된 전압 신호를 상기 0압력 센서 드리프트 교정 인자로 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 보상된 전압 신호를 상기 전용 압력 규정 다항식에 삽입하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 조절 단계는 측정된 압력 신호를 상기 0압력 센서 드리프트 교정 인자로 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 식별 단계는 상기 압전저항 센서와 관련된 기능 요소에 적용되는 지정 조건 세트에 반응하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 센서의 드리프트를 교정하기 위한 장치로서,
    상기 장치는 마이크로제어기를 포함하고,
    상기 마이크로제어기는 0압력 조건에 고정된 측정 전압값과 측정 온도값에 따라 센서에 대한 0압력 센서 드리프트 교정 인자를 확립하고,
    상기 마이크로제어기는 상기 0압력 센서 드리프트 교정 인자에 따라 센서 출력을 조절하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 마이크로제어기는 0압력항, 측정된 전압값, 측정된 온도값을 압력 규정다항식에 삽입하고,
    상기 마이크로제어기는 전용 압력 규정 다항식 확립을 위해 상기 압력 규정 다항식에 대한 계수를 계산하는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 마이크로제어기는 보상받은 전압 신호를 확립하기 위해 상기 0압력 센서 드리프트 교정 인자로 센서 출력을 조절하는 것을 특징으로 하는 장치.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 마이크로제어기는 상기 보상받은 전압 신호를 상기 전용 압력 규정 다항식에 삽입하는 것을 특징으로 하는 장치.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 마이크로제어기는 측정된 압력 신호를 상기 0압력 센서 드리프트 교정 인자로 조절함으로서 센서 출력을 조절하는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제 7 항에 있어서, 정해진 측정 조건 세트에 따라 상기 0압력 센서 드리프트 교정 인자를 구축하도록 상기 마이크로제어기가 배치되는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제 7 항에 있어서, 상기 마이크로제어기는 질량 흐름 제어기, 압력 제어기,질량계, 압력계로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 기능 요소에 연결되는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제 7 항에 있어서, 상기 센서가 게이지 센서인 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 게이지 센서를 덮는 비-밀폐식 패키지를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
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