JPS61221613A

JPS61221613A - 計測装置の零点補正装置

Info

Publication number: JPS61221613A
Application number: JP60064496A
Authority: JP
Inventors: Takashi Yoshioka; 隆吉岡; Takahiro Fudeyasu; 筆保　隆弘
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1985-03-27
Filing date: 1985-03-27
Publication date: 1986-10-02
Also published as: JPH0583844B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野この発明は、圧力等の物理量を計測する装置の零点補正
装置に関する。

（ロ）従来の技術一般に、圧力計に、半導体圧力センサが使用されること
が多い。この半導体圧力センサは、零点の温度変化が問
題となり、この零点変化を補正するための試みがこれま
で種々なされてきた。特に、マイクロコンピュータを組
込んだ圧力計では、従来、温度センサを備えるとともに
、圧力センサの温度に対する零点の変化データを予めメ
モリに記憶しておき、温度センサで温度測定をなし、そ
の温度に対応する補正値をメモリから読出し、この読出
した補正値を用いて零点補正を行うようにしている。

（ハ）発明が解決しようとする問題点上記した従来の零点補正は、温度変化による零点の変化
に対しなされるものであるから、温度変化に無関係に生
じる零点ドリフト、例えばセンサ固有の長期的なドリフ
トに対しては補正がなされない。しかしながら、この温
度変化に依存しないドリフトも、長期的なものも含めて
、現実的にはかなりの度合で生じるものであり、誤差の
原因となっていた。

この発明は上記に鑑み、温度変化のみならず、種々のド
リフトに対しても零点補正がなせる計測装置の零点補正
装置を提供することを目的としている。

（ニ）問題点を解決するための手段この発明の零点補正装置は、周囲温度を検出して電気的
な温度信号に変換する温度センサと、この温度センサで
検出される温度信号により対応する第１の補正値（Ｚ、
）を抽出する第１の補正値抽出手段と、被計測物理量を
零入力とした時の物理量センサの出力（Ｚ’Ｚ）から第
１の補正値を減じて、第２の補正値（Ｚｚ）を抽出する
第２の補正値抽出手段とを特徴的に備え、第１の補正値
（２＋）と第２の補正値（ｚ２）に基づいて零点補正を
行うようにしている。

この零点補正装置において、第１の補正値（Ｚ、）は、
温度変化による零点補正に、また第２の補正値（Ｚｚ）
は、温度変化に無関係なドリフトの零点補正に使用され
る。従って、再補正値の併用により、完全な零点補正が
なされる。

（ホ）実施例以下、実施例により、この発明をさらに詳細に説明する
。

第１図は、この発明の１実施例を示す圧力計（圧力計測
装置）のブロック図である。同図において、入力口１に
計測すべき空気圧が入力され、圧力センサ２に加えるよ
うになっている。圧力センサ２は、よく知られた半導体
式の圧力センサであり、加えられる圧力値を電気信号に
変換する。

圧力センサ２から出力される圧力信号は増幅器３で増幅
され、Ａ／Ｄ変換器４でデジタル信号に変換され、マイ
クロコンピュータ５に取り込まれるようになっている。

また、温度センサ６は周囲温度を検出して電気信号に変
換し、この温度値は増幅器７で増幅され、さらにＡ／Ｄ
変換器４でやはりデジタル値に変換されて、マイクロコ
ンピュータ５に取り込まれるようになっている。

零点調整スイッチ８は、温度変化による以外のドリフト
の零点補正をなす場合に操作されるスイッチであり、こ
のスイッチのＯＮ信号も、マイクロコンピュータ５に取
り込まれるようになっている。なお、９．１０は計測値
出力用の印字装置及び表示器である。

マイクロコンピュータ５は、ＣＰＵ、プログラム等を記
憶するＲＯＭ、零点補正データや計測データを記憶する
ＲＡＭ、Ｉ１０ボート等から構成。

され、圧力センサ２や温度センサ６の検出データを取り
込む機能、温度変化による零点を算出する機能、温度変
化以外による零点ドリフトの補正値を算出する機能等を
備えている。

次に、第２図乃至第４図に示すフロー図を参照して、上
記実施例圧力計の動作について説明する。

この圧力計では、第２図に示すメインフローにより計測
動作が進行し、第３図に示す温度補正割込みにより温度
変化による補正値Ｚ、を算出し、第４図に示す一般補正
割込みにより、温度変化以外のドリフトに対する補正値
Ｚ２が算出される。

計測動作は、スタート後、先ず圧力センサ２で検出され
る圧力信号が、増幅器３、Ａ／Ｄ変換器４を経て圧力デ
ータ（ｘ）として読み込まれる（ステップ５ＴＩ）。続
いて、この生の圧力データＸに、温度変化の零点補正値
Ｚ、と温度変化以外のドリフトに対する零点補正値Ｚ２
を加算し、補正された圧力データＸを得る（ステップ５
Ｔ２）。

ここで使用される補正値Ｚ１．Ｚ２は、それぞれ割込み
によって求められる。

第３図に示す温度補正割込は、所定時間毎の時間割込み
によって実行され、この時間割込が入ると９、Ａ／Ｄ変
換器４を温度センサ６側に切替え、温度センサ６で検出
されるその時点の温度データを読込む（ステップ５ＴＩ
Ｉ）。そして、この温度データより、対応する温度（例
えば℃）を計算しくステップ５Ｔ１２）、予め記憶され
ている温度と零点補正値のテーブルより、その温度に対
応する零点補正値２．を計算（抽出）する（ステ・ノブ
５Ｔ１３）。このようにして割込が入る毎に、温度変化
による零点補正値が算出される。

第４図に示す二股補正割込は、零点調整スイ・ノチ８が
ＯＮされると、これに応じて実行される。

この割込が入ると、圧力センサ２の入力空気圧を大気に
開放する（ステップＳＴ２１）、そして圧力センサ２よ
りＡ／Ｄ変換器４を通して取込まれる、その時点の圧力
データＺ’　ｔを読込む（ステップ５Ｔ２２）。もし、
零点ドリフトが温度変化のみに依存しているのであれば
、第３図で温度補正割込が常時行われているので、圧力
データｚ１２から温度変化による零点補正値２．を減算
し、温度変化に無関係のドリフトに対する零点補正値Ｚ
２を求め、リターンする。

再び第２図のメインフローに戻り、説明する。

ステップＳＴ２で圧力データＸを得ると、続いて、この
圧力データＸを所望の出力単位（例：　ａ＋ｍＨｇ）で
表せる値に変換するための計算を行い（ステップ５Ｔ３
）　、その圧力値を印字装置９、表示器１０より出力す
る（ステップ５Ｔ４）。そして、電源スィッチがＯＦＦ
、あるいは計測終了キーが押をれて計測終了となる（ス
テップ５Ｔ５）まで、上記ステップＳＴＩ〜ＳＴ５の処
理が繰返され、計測が続行される。

上記実施例では、温度変化に対する零点補正を時間割込
で所定周期毎に行い、温度変化以外のドリフトに対する
零点補正は、キースイッチの操作により、所望の時点で
行えるようにしているが、この温度変化以外のドリフト
に対する零点補正も、周期の長い時間割込処理とするよ
うにしてもよい。

また、上記実施例は、圧力計について説明したが、この
発明は圧力針に限らず、温度変化とそれ以外の原因によ
る零点ドリフトの生じる物理量計測装置の零点補正に広
く適用することができる。

（へ）発明の効果この発明によれば、温度変化によるドリフトと、温度変
化に無関係のドリフトに対する零点補正がなされるので
、完全な零点補正をなすことができ、常に精度の高い計
測を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を示す圧力計のブロック
図、第２図は、同圧力計の動作を説明するためのメイン
フロー図、第３図は、同圧力計の温度補正割込を示すフ
ロー図、第４図は、同圧力計の一般補正割込を示すフロ
ー図である。２：圧力センサ、　４　：　Ａ／Ｄ変換器、５：マイク
ロコンピュータ、６：温度センサ、　　８：零点調整スイッチ、９：印字
装置、　　１０：表示器。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被計測物理量を受けて電気信号に変換するセンサ
と、このセンサよりの電気信号に演算処理を施す演算手
段と、演算値を計測値として出力する出力手段とからな
る計測装置において、周囲温度を検出して電気的な温度信号に変換する温度セ
ンサと、この温度センサで検出される温度信号により対
応する第１の補正値を抽出する第１の補正値抽出手段と
、前記被計測物理量を零入力とした時の前記物理量セン
サの出力から前記第１の補正値を減じて、第２の補正値
を抽出する第２の補正値抽出手段とを備え、前記第１と
第２の補正値とに基づいて零点補正を行うようにしたこ
とを特徴とする計測装置の零点補正装置。