JPH0583844B2 - - Google Patents
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- JPH0583844B2 JPH0583844B2 JP60064496A JP6449685A JPH0583844B2 JP H0583844 B2 JPH0583844 B2 JP H0583844B2 JP 60064496 A JP60064496 A JP 60064496A JP 6449685 A JP6449685 A JP 6449685A JP H0583844 B2 JPH0583844 B2 JP H0583844B2
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
この発明は、圧力等の物理量を計測する装置の
零点補正装置に関する。
零点補正装置に関する。
(ロ) 従来の技術
一般に、圧力計に、半導体圧力センサが使用さ
れることが多い。この半導体圧力センサは、零点
の温度変化が問題となり、この零点変化を補正す
るための試みがこれまで種々なされてきた。特
に、マイクロコンピユータを組込んだ圧力計で
は、従来、温度センサを備えるとともに、圧力セ
ンサの温度に対する零点の変化データを予めメモ
リに記憶しておき、温度センサで温度測定をな
し、その温度に対応する補正値をメモリから読出
し、この読出した補正値を用いて零点補正を行う
ようにしている。
れることが多い。この半導体圧力センサは、零点
の温度変化が問題となり、この零点変化を補正す
るための試みがこれまで種々なされてきた。特
に、マイクロコンピユータを組込んだ圧力計で
は、従来、温度センサを備えるとともに、圧力セ
ンサの温度に対する零点の変化データを予めメモ
リに記憶しておき、温度センサで温度測定をな
し、その温度に対応する補正値をメモリから読出
し、この読出した補正値を用いて零点補正を行う
ようにしている。
(ハ) 発明が解決しようとする問題点
上記した従来の零点補正は、温度変化による零
点の変化に対しなされるものであるから、温度変
化に無関係に生じる零点ドリフト、例えばセンサ
固有の長期的なドリフトに対しては補正がなされ
ない。しかしながら、この温度変化に依存しない
ドリフトも、長期的なものも含めて、現実的には
かなりの度合で生じるものであり、誤差の原因と
なつていた。
点の変化に対しなされるものであるから、温度変
化に無関係に生じる零点ドリフト、例えばセンサ
固有の長期的なドリフトに対しては補正がなされ
ない。しかしながら、この温度変化に依存しない
ドリフトも、長期的なものも含めて、現実的には
かなりの度合で生じるものであり、誤差の原因と
なつていた。
この発明は上記に鑑み、温度変化のみならず、
種々のドリフトに対しても零点補正がなせる計測
装置の零点補正装置を提供することを目的として
いる。
種々のドリフトに対しても零点補正がなせる計測
装置の零点補正装置を提供することを目的として
いる。
(ニ) 問題点を解決するための手段
この発明の零点補正装置は、周囲温度を検出し
て電気的な温度信号に変換する温度センサと、温
度と補正値の関係を予め記憶する記憶手段と、前
記温度センサで検出される温度信号により対応す
る第１の補正値を前記記憶手段より抽出する第１
の補正値抽出手段と、被計測物理量を零入力とし
た時の物理量センサの出力（Z′2）から第１の補
正値を滅じて、第２の補正値（Z2）を抽出する第
２の補正値抽出手段とを特徴的に備え、第１の補
正値（Z1）と第２の補正値（Z2）に基づいて零点
補正を行うようにしている。
て電気的な温度信号に変換する温度センサと、温
度と補正値の関係を予め記憶する記憶手段と、前
記温度センサで検出される温度信号により対応す
る第１の補正値を前記記憶手段より抽出する第１
の補正値抽出手段と、被計測物理量を零入力とし
た時の物理量センサの出力（Z′2）から第１の補
正値を滅じて、第２の補正値（Z2）を抽出する第
２の補正値抽出手段とを特徴的に備え、第１の補
正値（Z1）と第２の補正値（Z2）に基づいて零点
補正を行うようにしている。
この零点補正装置において、第１の補正値
（Z1）は、温度変化による零点補正に、また第２
の補正値（Z2）は、温度変化に無関係なドリフト
の零点補正に使用される。従つて、両補正値の併
用により、完全な零点補正がなされる。
（Z1）は、温度変化による零点補正に、また第２
の補正値（Z2）は、温度変化に無関係なドリフト
の零点補正に使用される。従つて、両補正値の併
用により、完全な零点補正がなされる。
(ホ) 実施例
以下、実施例により、この発明をさらに詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、この発明の１実施例を示す圧力計
（圧力計測装置）のブロツク図である。同図にお
いて、入力口１に計測すべき空気圧が入力され、
圧力センサ２に加えるようになつている。圧力セ
ンサ２は、よく知られた半導体式の圧力センサで
あり、加えられる圧力値を電気信号に変換する。
圧力センサ２から出力される圧力信号は増幅器３
で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４でデジタル信号に変
換され、マイクロコンピユータ５に取り込まれる
ようになつている。また、温度センサ６は周囲温
度を検出して電気信号に変換し、この温度値は増
幅器７で増幅され、さらにＡ／Ｄ変換器４でやは
りデジタル値に変換されて、マイクロコンピユー
タ５に取り込まれるようになつている。
（圧力計測装置）のブロツク図である。同図にお
いて、入力口１に計測すべき空気圧が入力され、
圧力センサ２に加えるようになつている。圧力セ
ンサ２は、よく知られた半導体式の圧力センサで
あり、加えられる圧力値を電気信号に変換する。
圧力センサ２から出力される圧力信号は増幅器３
で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４でデジタル信号に変
換され、マイクロコンピユータ５に取り込まれる
ようになつている。また、温度センサ６は周囲温
度を検出して電気信号に変換し、この温度値は増
幅器７で増幅され、さらにＡ／Ｄ変換器４でやは
りデジタル値に変換されて、マイクロコンピユー
タ５に取り込まれるようになつている。
零点調整スイツチ８は、温度変化による以外の
ドリフトの零点補正をなす場合に操作されるスイ
ツチであり、このスイツチのON信号も、マイク
ロコンピユータ５に取り込まれるようになつてい
る。なお、９，１０は計測値出力用の印字装置及
び表示器である。
ドリフトの零点補正をなす場合に操作されるスイ
ツチであり、このスイツチのON信号も、マイク
ロコンピユータ５に取り込まれるようになつてい
る。なお、９，１０は計測値出力用の印字装置及
び表示器である。
マイクロコンピユータ５は、CPU、プログラ
ム等を記憶するROM、零点補正データや計測デ
ータを記憶するRAM、Ｉ／Ｏポート等から構成
され、圧力センサ２や温度センサ６の検出データ
を取り込む機能、温度変化による零点を算出する
機能、温度変化以外による零点ドリフトの補正値
を算出する機能等を備えている。
ム等を記憶するROM、零点補正データや計測デ
ータを記憶するRAM、Ｉ／Ｏポート等から構成
され、圧力センサ２や温度センサ６の検出データ
を取り込む機能、温度変化による零点を算出する
機能、温度変化以外による零点ドリフトの補正値
を算出する機能等を備えている。
次に、第２図乃至第４図に示すフロー図を参照
して、上記実施例圧力計の動作について説明す
る。
して、上記実施例圧力計の動作について説明す
る。
この圧力計では、第２図に示すメインフローに
より計測動作が進行し、第３図に示す温度補正割
込みにより温度変化による補正値Z1を算出し、第
４図に示す一般補正割込みにより、温度変化以外
のドリフトに対する補正値Z2が算出される。
より計測動作が進行し、第３図に示す温度補正割
込みにより温度変化による補正値Z1を算出し、第
４図に示す一般補正割込みにより、温度変化以外
のドリフトに対する補正値Z2が算出される。
計測動作は、スタート後、先ず圧力センサ２で
検出される圧力信号が、増幅器３、Ａ／Ｄ変換器
４を経て圧力データ(x)として読み込まれる（ステ
ツプST1）。続いて、この生の圧力データｘに、
温度変化の零点補正値Z1と温度変化以外のドリフ
トに対する零点補正値Z2を加算し、補正された圧
力データｘを得る（ステツプST2）。ここで使用
される補正値Z1、Z2は、それぞれ割込みによつて
求められる。
検出される圧力信号が、増幅器３、Ａ／Ｄ変換器
４を経て圧力データ(x)として読み込まれる（ステ
ツプST1）。続いて、この生の圧力データｘに、
温度変化の零点補正値Z1と温度変化以外のドリフ
トに対する零点補正値Z2を加算し、補正された圧
力データｘを得る（ステツプST2）。ここで使用
される補正値Z1、Z2は、それぞれ割込みによつて
求められる。
第３図に示す温度補正割込は、所定時間毎の時
間割込みによつて実行され、この時間割込が入る
と、Ａ／Ｄ変換器４を温度センサ６側に切替え、
温度センサ６で検出されるその時点の温度データ
を読込む（ステツプST11）。そして、この温度デ
ータより、対応する温度（例えば℃）を計算し
（ステツプST12）、予め記憶されている温度と零
点補正値のテーブルより、その温度に対応する零
点補正値Z1を計算（抽出）する（ステツプ
ST13）。このようにして割込が入る毎に、温度変
化による零点補正値が算出される。このように、
予め温度と補正値が対応して記憶されている零点
補正値のテーブルより検出された温度に対応する
零点補正値Z1をマイクロコンピユータ９５内の
RAMより読出すが、この点について具体例を説
明する。例えば入力圧を０にしたときの圧力セン
サ出力の変動が、温度25℃においてないものとす
れば、このセンサ出力を基準とし、25℃の零点補
正値Z1＝０であり、温度が25゜以外の温度に変化
した場合、25℃のときのセンサ出力に対するセン
サ出力の変動値を、それぞれの温度に対する零点
補正値Z1とし、テーブル化し、予めRAMに記憶
している。そして実測時に、測定した実測温度に
対する変動値をテーブルから読出し、零点補正値
Z1として使用する。
間割込みによつて実行され、この時間割込が入る
と、Ａ／Ｄ変換器４を温度センサ６側に切替え、
温度センサ６で検出されるその時点の温度データ
を読込む（ステツプST11）。そして、この温度デ
ータより、対応する温度（例えば℃）を計算し
（ステツプST12）、予め記憶されている温度と零
点補正値のテーブルより、その温度に対応する零
点補正値Z1を計算（抽出）する（ステツプ
ST13）。このようにして割込が入る毎に、温度変
化による零点補正値が算出される。このように、
予め温度と補正値が対応して記憶されている零点
補正値のテーブルより検出された温度に対応する
零点補正値Z1をマイクロコンピユータ９５内の
RAMより読出すが、この点について具体例を説
明する。例えば入力圧を０にしたときの圧力セン
サ出力の変動が、温度25℃においてないものとす
れば、このセンサ出力を基準とし、25℃の零点補
正値Z1＝０であり、温度が25゜以外の温度に変化
した場合、25℃のときのセンサ出力に対するセン
サ出力の変動値を、それぞれの温度に対する零点
補正値Z1とし、テーブル化し、予めRAMに記憶
している。そして実測時に、測定した実測温度に
対する変動値をテーブルから読出し、零点補正値
Z1として使用する。
第４図に示す一般補正割込は、零点調整スイツ
チ８がONされると、これに応じて実行される。
この割込が入ると、圧力センサ２の入力空気圧を
大気に開放する（ステツプST21）。そして圧力セ
ンサ２よりＡ／Ｄ変換器４を通して取込まれる、
その時点の圧力データZ′2を読込む（ステツプ
ST22）。もし、零点ドリフトが温度変化のみに依
存しているのであれば、第３図で温度補正割込が
常時行われているので、圧力データZ′2から温度
変化による零点補正値Z1を減算し、温度変化に無
関係のドリフトに対する零点補正値Z2を求め、リ
ターンする。この温度変化に無関係のドリフトに
対する零点補正値で値Z2について少し説明する。
入力圧を０としたとき、圧力センサの出力が０と
ならない変動分がZ′2であり、このときの温度を
ｔ℃とすると、Z′2には、経年変化による（セン
サの劣化等）変動と温度変化による変動分が含ま
れているので、ｔ℃のときの変動分Z1(t)を上述の
テーブルから読出し、Z′2−Z1(t)を計算すれば、
経年変化分Z2＝Z′2−Z1(t)が求められ、これを経
年変化による零点補正値として使用している。
チ８がONされると、これに応じて実行される。
この割込が入ると、圧力センサ２の入力空気圧を
大気に開放する（ステツプST21）。そして圧力セ
ンサ２よりＡ／Ｄ変換器４を通して取込まれる、
その時点の圧力データZ′2を読込む（ステツプ
ST22）。もし、零点ドリフトが温度変化のみに依
存しているのであれば、第３図で温度補正割込が
常時行われているので、圧力データZ′2から温度
変化による零点補正値Z1を減算し、温度変化に無
関係のドリフトに対する零点補正値Z2を求め、リ
ターンする。この温度変化に無関係のドリフトに
対する零点補正値で値Z2について少し説明する。
入力圧を０としたとき、圧力センサの出力が０と
ならない変動分がZ′2であり、このときの温度を
ｔ℃とすると、Z′2には、経年変化による（セン
サの劣化等）変動と温度変化による変動分が含ま
れているので、ｔ℃のときの変動分Z1(t)を上述の
テーブルから読出し、Z′2−Z1(t)を計算すれば、
経年変化分Z2＝Z′2−Z1(t)が求められ、これを経
年変化による零点補正値として使用している。
再び第２図のメインフローに戻り、説明する。
ステツプST2で圧力データｘを得ると、続いて、
この圧力データｘを所望の出力単位（例：mmHg）
で表せる値に変換するための計算を行い（ステツ
プST3）、その圧力値を印字装置９、表示器１０
より出力する（ステツプST4）。そして、電源ス
イツチがOFF、あるいは計測終了キーが押され
て計測終了となる（ステツプST5）まで、上記ス
テツプST1〜ST5の処理が繰返され、計測が続行
される。
ステツプST2で圧力データｘを得ると、続いて、
この圧力データｘを所望の出力単位（例：mmHg）
で表せる値に変換するための計算を行い（ステツ
プST3）、その圧力値を印字装置９、表示器１０
より出力する（ステツプST4）。そして、電源ス
イツチがOFF、あるいは計測終了キーが押され
て計測終了となる（ステツプST5）まで、上記ス
テツプST1〜ST5の処理が繰返され、計測が続行
される。
上記実施例では、温度変化に対する零点補正を
時間割込で所定周期毎に行い、温度変化以外のド
リフトに対する零点補正は、キースイツチの操作
により、所望の時点で行えるようにしているが、
この温度変化以外のドリフトに対する零点補正
も、周期の長い時間割込処理とするようにしても
よい。
時間割込で所定周期毎に行い、温度変化以外のド
リフトに対する零点補正は、キースイツチの操作
により、所望の時点で行えるようにしているが、
この温度変化以外のドリフトに対する零点補正
も、周期の長い時間割込処理とするようにしても
よい。
また、上記実施例は、圧力計について説明した
が、この発明は圧力計に限らず、温度変化とそれ
以外の原因による零点ドリフトの生じる物理量計
測装置の零点補正に広く適用することができる。
が、この発明は圧力計に限らず、温度変化とそれ
以外の原因による零点ドリフトの生じる物理量計
測装置の零点補正に広く適用することができる。
(ヘ) 発明の効果
この発明によれば、温度変化によるドリフト
と、温度変化に無関係のドリフトに対する零点補
正がなされるので、完全な零点補正をなすことが
でき、常に精度の高い計測を行うことができる。
と、温度変化に無関係のドリフトに対する零点補
正がなされるので、完全な零点補正をなすことが
でき、常に精度の高い計測を行うことができる。
第１図は、この発明の一実施例を示す圧力計の
ブロツク図、第２図は、同圧力計の動作を説明す
るためのメインフロー図、第３図は、同圧力計の
温度補正割込を示すフロー図、第４図は、同圧力
計の一般補正割込を示すフロー図である。 ２：圧力センサ、４：Ａ／Ｄ変換器、５：マイ
クロコンピユータ、６：温度センサ、８：零点調
整スイツチ、９：印字装置、１０：表示器。
ブロツク図、第２図は、同圧力計の動作を説明す
るためのメインフロー図、第３図は、同圧力計の
温度補正割込を示すフロー図、第４図は、同圧力
計の一般補正割込を示すフロー図である。 ２：圧力センサ、４：Ａ／Ｄ変換器、５：マイ
クロコンピユータ、６：温度センサ、８：零点調
整スイツチ、９：印字装置、１０：表示器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被計測物理量を受けて電気信号に変換するセ
ンサと、このセンサよりの電気信号に演算処理を
施す演算手段と、演算値を計測値として出力する
出力手段とからなる計測装置において、 周囲温度を検出して電気的な温度信号に変換す
る温度センサと、温度と補正値との関係を予め記
憶する記憶手段と、前記温度センサで検出される
温度信号により対応する第１の補正値を前記記憶
手段より抽出する第１の補正値抽出手段と、前記
被計測物理量を零入力とした時の前記物理量セン
サの出力から前記第１の補正値を滅じて、第２の
補正値を抽出する第２の補正値抽出手段とを備
え、前記第１と第２の補正値とに基づいて零点補
正を行うようにしたことを特徴とする計測装置の
零点補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60064496A JPS61221613A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 計測装置の零点補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60064496A JPS61221613A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 計測装置の零点補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61221613A JPS61221613A (ja) | 1986-10-02 |
| JPH0583844B2 true JPH0583844B2 (ja) | 1993-11-29 |
Family
ID=13259868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60064496A Granted JPS61221613A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 計測装置の零点補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61221613A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63218206A (ja) * | 1987-03-05 | 1988-09-12 | Kobe Steel Ltd | 圧力検出装置 |
| JPH0317524A (ja) * | 1989-06-14 | 1991-01-25 | Yamatake Honeywell Co Ltd | デイジタル式圧力検出装置 |
| US6237394B1 (en) * | 1999-02-25 | 2001-05-29 | Redwood Microsystems, Inc. | Apparatus and method for correcting drift in a sensor |
| JP2003065877A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Ulvac Japan Ltd | 超高真空計及びそれを用いた超高真空測定法 |
| JP3956877B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2007-08-08 | 株式会社デンソー | センサ用温度補正装置およびセンサの温度補正方法 |
| JP5237682B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2013-07-17 | 東レエンジニアリング株式会社 | 圧力測定デバイス |
-
1985
- 1985-03-27 JP JP60064496A patent/JPS61221613A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61221613A (ja) | 1986-10-02 |
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