KR200184769Y1 - 증착된 알루미늄 박막의 접착력 측정장치 - Google Patents

증착된 알루미늄 박막의 접착력 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 쏘 필터에 증착된 Al 박막의 접착력 측정에 관한 것으로, 특히 정확한 접착력 측정을 하기 위하여 베이스판이 형성되고, 이 베이스판의 일단에 도르레 지지대가 형성되며, 상기 도르레 지지대 상단에 도르레가 형성되고, 상기 베이스판의 일측에 팔지지대가 형성되며, 상기 팔지지대의 상측에는 탐침팔이 형성되고, 이 탐침팔의 일단에는 탐침이 설치되며, 대향측 탐침팔의 일단에는 와이어가 도르레와 연결되고, 상기 와이어의 단부에 저울추를 형성한 것을 특징으로 하는 증착된 알루미늄 박막의 접착력 측정장치를 제공한다.

Description

증착된 알루미늄 박막의 접착력 측정장치
본 고안은 쏘 필터에 증착된 Al 박막의 접착력 측정에 관한 것으로, 특히 접착력 측정에 사용되는 Al 박막의 접착력 측정장치에 관한 것이다.
쏘 필터의 제조공정은 크게 fabrication 과 assembly 2가지로 분류할 수 있다.
fabrication의 세부공정을 순차적으로 살펴보면 다음과 같다.
기판세척-기판의 세척공정은 후공정에 큰 영향을 미치기 때문에 완벽한 세척을 해야 한다. 불완전한 세척은 Al 증착시 hillock 의 생성과 Al막의 부착력 악화등 문제가 발생한다.
Al 증착-PR Coating-노광(Expose)-현상(Develop)-에칭-PR 제거(Stripping) 과정을
거치게 된다.
전술한 바와 같이 증착된 Al 박막은 접착력을 확인하는 과정을 거치게 된다.
기존에는 이러한 접착력 확인 방법으로 증착된 박막의 표면에 테이프를 붙였다 떼어 확인하거나 날카로운 기구로 표면을 긁어 그 손상정도로 접착력을 확인하였다.
이러한 접착력 측정 방법은 박막에 인가되는 힘의 불균일성 때문에 일정한 접착력을 측정할 수 있는 문제점이 있었다.
본 고안은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 박막 표면에 일정한 힘을 인가시켜 균일한 접착력을 측정하기 위한 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 베이스판이 형성되고, 이 베이스판의 일단에 도르레 지지대가 형성되며, 상기 도르레 지지대 상단에 도르레가 형성되고, 상기 베이스판의 일측에 팔지지대가 형성되며, 상기 팔지지대의 상측에는 탐침팔이 형성되고, 이 탐침팔의 일단에는 탐침이 설치되며, 대향측 탐침팔의 일단에는 와이어가 도르레와 연결되고, 상기 와이어의 단부에 저울추를 형성한 것을 특징으로 하는 증착된 알루미늄 박막의 접착력 측정장치를 제공한다.
도 1은 측정장치.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
12 : 베이스판 14 : 도르레 지지대
16 : 도르레 18 : 팔지지대
20 : 탐침팔 22 : 탐침
24 : 와이어 26 : 저울추
28 : 웨이퍼 30 : 핀
첨부된 도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다. 도 1은 접착력 측정장치이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(28)를 올려 놓을 수 있는 베이스판(12)을 형성하고, 이 베이스판(12)의 일단에는 도르레 지지대(14)를 형성한다. 이 도르레 지지대(14)의 상단에는 도르레(16)가 형성된다. 베이스판(12)의 일측에 팔지지대(18)가 형성되고, 이 팔지지대(18)의 상부에는 베이스판(12)의 길이방향과 같은 방향으로 탐침팔(20)이 형성되며, 팔지지대(18)와 탐침팔(20)의 연결부는 핀(30)으로 고정되어 핀(30)을 축으로 상하 회동가능하다. 탐침팔(20)의 일단에는 끝이 날카로운 탐침(20)이 형성된다.
탐침팔(20)의 일단은 와이어(22)가 연결되고, 이 와이어(22)는 도르레(16)에 연결되며, 와이어(22)의 일단에는 저울추(26)가 형성된다.
상기와 같은 구성의 작용은 증착된 Al 박막의 접착력을 측정하기 위하여 저울추(26)를 조작하여 탐침압력을 설정한 다음, 저울추(26)를 들어올려 와이어(22)에 연결된 탐침팔(20)을 들어 올린다. 들어올려진 탐침(20) 하부의 베이스판(12)에 웨이퍼(28)를 올려놓고, 저울추(24)를 놓으면 탐침이 웨이퍼(28)의 일정 위치에 놓이게 된다.
이 상태에서 웨이퍼(28)를 일측 방향으로 잡아 당기면 웨이퍼(28) 표면이 탐침에 의해 스크레치가 형성되는데, 저울추의 무게를 변화시켜가면서 그에 따른 Al 박막의 접착력을 정확히 측정한다.
전술한 바와 같은 본 고안의 효과는 증착된 후 박막의 접착력을 일정한 탐침 압력을 설정한 후에 측정하므로 그에 따른 접착 강도를 정확히 측정할 수 있다.

Claims (1)

  1. 베이스판(12)이 형성되고, 이 베이스판(12)의 일단에 도르레 지지대(14)가 형성되며, 상기 도르레 지지대(14) 상단에 도르레(16)가 형성되고, 상기 베이스판(12)의 일측에 팔지지대(18)가 형성되며, 상기 팔지지대(18)의 상측에는 탐침팔(20)이 형성되고, 상기 탐침팔(20)의 일단에는 탐침(22)이 설치되며, 대향측 탐침팔(20)의 일단에는 와이어(24)가 도르레(16)와 연결되고, 상기 와이어(24)의 단부에 저울추(26)를 형성한 것을 특징으로 하는 증착된 알루미늄 박막의 접착력 측정장치.
KR2019970039350U 1997-12-20 1997-12-20 증착된 알루미늄 박막의 접착력 측정장치 KR200184769Y1 (ko)

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