KR200159376Y1 - 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

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KR200159376Y1 KR2019960050113U KR19960050113U KR200159376Y1 KR 200159376 Y1 KR200159376 Y1 KR 200159376Y1 KR 2019960050113 U KR2019960050113 U KR 2019960050113U KR 19960050113 U KR19960050113 U KR 19960050113U KR 200159376 Y1 KR200159376 Y1 KR 200159376Y1
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Abstract

본 고안은 웨이퍼 중심방향으로 상하구동되는 구동부와, 개구된 중앙부위에 스프링과 절연물질이 순차적으로 설치되고, 하부가 상기 구동부에 접촉되면서 상기 구동부의 구동력이 전달되는 전극과, 전극의 상부에 설치되며, 상기 전극에 전달되는 구동력으로 인하여 전극에 접촉되면서 함께 구동되어 웨이퍼의 가장자리 측면을 홀딩하는 웨이퍼홀딩부와, 웨이퍼홀딩부에 전극이 접촉되면서 전극의 전류가 상기 웨이퍼홀딩부로 흐르는 것이 감지되는 감지센서로 구성된 웨이퍼 이송장치를 직렬로 연결시키어, 각각의 웨이퍼홀딩수단이 웨이퍼를 정확히 홀딩한 경우에는 각가의 웨이퍼홀딩수단과 접촉된 전극으로 부터 전류가 흐르며, 이러한 전류의 흐름은 감지센서에 의해 감지되며, 만약 각각의 웨이퍼 홀딩부 중 어느 하나라도 웨이퍼를 홀딩하지 못하면 에러를 발생시킨 것이 특징이다.

Description

웨이퍼 이송장치
제1도는 종래의 웨이퍼 이송장치를 설명하기 위한 도면이고,
제2도는 본 고안의 웨이퍼 이송장치를 설명하기 위한 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 제1이송암 11 : 제2이송암
10-1, 11-2 : 척 12 : 센서플러그
13 : 센서 20, 20' : 구동부
21, 21' : 전극 22, 22', 26, 26' : 스프링
23, 23' : 절연물질 24, 24' : 웨이퍼홀딩수단
24-1, 24'-1 : 제1턱 24-2, 24'-2 : 인입홈
25, 25' : 지지대 25-1, 25'-1 : 제2턱
본 고안은 반도체 제조장비에서 각각의 공정이 진행되는 반응챔버 내로 웨이퍼를 이송시키기 위한 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로, 웨이퍼를 홀딩(holding)하여 이송 시, 오동작으로 인하여 발생되는 웨이퍼 손상을 줄이기에 적당한 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
제1a도는 종래의 웨이퍼 이송장치의 개략도이고, 제1b도는 종래의 웨이퍼 이송장치인 각각의 제1이송암과 제2이송암이 정확하게 웨이퍼를 홀딩시킨 것을 보인 도면이고, 제1c도는 종래의 웨이퍼 이송장치인 제1이송암과 제1이송암에 연결설치된 제2이송암의 오동작으로 인하여 웨이퍼를 잘못 홀딩한 것을 보인 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 설명하겠다.
종래의 웨이퍼 이송장치는 제1a도와 같이, 웨이퍼의 가장자리 측면을 홀딩시키는 다수의 척(10-1)이 설치된 제1이송암(10)과, 제1이송암에 연결되어, 척(11-1)이 형성된 제2이송암(11)과, 제2이송암에 설치되어, 제2이송암이 이동됨에 따라 함께 이동되는 센서플러그(12)와, 센서플러그가 내부에 삽입됨에 따라 척암의 위치가 감지되는 센서(13)로 구성된다.
이와같은 구성을 갖는 종래의 웨이퍼 이송장치는 우선 먼저, 제1이송암(10)을 웨이퍼(A)에 고정시키고, 제1이송암에 형성된 척에 의해 웨이퍼 가장자리를 홀딩시킨다.
그런 후, 고정된 제1이송암에 연결설치된 제2이송암으로 제1이송암과 제2이송암(11) 사이의 간격을 조절하면서 척으로 웨이퍼 가장자리를 진공으로 홀딩시킨다.
이때, 센서(13)는 제2이송암에 설치된 센서플러그에 의해 제2이송암의 위치가 감지된다.
즉, 제1이송암과 제2이송암 사이의 간격을 통하여 센서는 웨이퍼를 정확히 고정하고 있는 지 아닌 지의 여부를 판단하게 된다.
따라서 제1b도와 같이, 제1이송암(10)과 제2이송암(11)이 정확하게 웨이퍼 가장자리 측면을 홀딩하고 있음을 감지한다.
그러나 종래의 웨이퍼 이송장치는 제1이송암과 일정간격으로 벌어진 제2이송암이 제1b도와 같은 경우에는 센서가 이를 정확히 웨이퍼를 고정하고 있음으로 인식함으로써 웨이퍼 이송 시, 웨이퍼가 손상되는 문제점이 발생된다.
따라서 본 고안은 웨이퍼 홀딩시 발생되는 오동작을 감지하지 못함으로써 발생되는 웨이퍼 손상을 방지하고자, 안전하게 웨이퍼를 홀딩할 수 있는 웨이퍼 이송장치를 목적으로 한다.
본 고안은 웨이퍼 중심방향으로 상하구동되는 구동부와, 개구된 중앙부위에 스프링과 절연물질이 순차적으로 설치되고, 하부가 상기 구동부에 접촉되면서 상기 구동부의 구동력이 전달되는 전극과, 전극의 상부에 설치되며, 상기 전극에 전달되는 구동력으로 인하여 전극에 접촉되면서 함께 구동되어 웨이퍼의 가장자리 측면을 홀딩하는 웨이퍼홀딩부와, 웨이퍼홀딩부에 전극이 접촉되면서 전극의 전류가 상기 웨이퍼홀딩부로 흐르는 것이 감지되는 감지센서로 구성된 웨이퍼 이송장치를 직렬로 연결시키어, 각각의 웨이퍼홀딩수단이 웨이퍼를 정확히 홀딩한 경우에는 각각의 웨이퍼홀딩수단과 접촉된 전극으로 부터 전류가 흐르며, 이러한 전류의 흐름은 감지센서에 의해 감지되며, 만약 각각의 웨이퍼홀딩부 중 어느 하나라도 웨이퍼를 홀딩하지 못하면 에러를 발생시킨 것이 특징이다.
제2도는 본 고안의 웨이퍼 이송장치를 설명하기 위한 도면으로, 제2a도는 본 고안의 웨이퍼 이송장치의 개략도이고, 제2b도는 본 고안의 웨이퍼 이송장치를 웨이퍼 가장자리 측면에 3개 직렬로 연결시킨 것을 보인 도면으로, 이하 첨부된 도면을 참조하여 설명하겠다.
본 고안의 웨이퍼 이송장치는 제2a, b도와 같이, 웨이퍼 중심방향으로 상하구동되는 구동부(20)(20')와, 구동부에 구동력을 주기 위한 구동원과, 중앙부위가 개구되고, 하부가 구동부에 접촉되면서 구동부의 구동력이 전달되는 전극(21)(21')과, 전극의 개구된 중앙부위에 순차적으로 설치되는 완충스프링(22)(22')과, 절연물질(23)(23')과, 전극의 상부 가장자리에 설치되며, 전극에 전달되는 구동력으로 인하여 전극에 접촉되면서 함께 구동되어 웨이퍼 가장자리 측면을 홀딩하는 웨이퍼홀딩부와, 웨이퍼홀딩부에 전극이 접촉되면서 전극에 흐르는 전류가 웨이퍼홀딩부로 통하는 것이 감지되는 감지센서로 구성되며, 이러한 구성을 갖는 웨이퍼 이송장치가 웨이퍼 가장자리에 적어도 3개 이상 직렬로 설치된다.
이때, 웨이퍼홀딩부로는 하부에는 양측 또는 가장자리에 제1턱(24-1)(24'-1)이 형성되고, 상부에는 웨이퍼 가장자리 측면이 인입되는 인입홈(24-2)(24'-2)이 형성된 웨이퍼홀딩수단(24)(24')과, 웨이퍼홀딩수단 가장자리에 설치되어, 웨이퍼홀딩수단의 상부와 대응되는 부위에 제2턱(25-1)(25'-1)이 형성되어, 웨이퍼홀딩수단의 이동범위가 제한되는 지지대(25)(25')와, 지지대에 내장되며, 제1턱과 제2턱 사이에 설치된 스프링(26)(26')이 구비되어 이루어진다.
각각의 이송장치가 직렬로 구성된 본 고안의 웨이퍼 이송장치는 각각의 웨이퍼홀딩부와 그에 대응되는 각각의 전극이 모두 접촉되어 각각의 전극에 흐르는 전류가 그에 대응되는 웨이퍼홀딩부에 전달된 경우에만, 즉 모든 웨이퍼홀딩부가 웨이퍼의 가장자리 측면을 홀딩한 경우에만 감지센서에 감지되어 웨이퍼홀딩부가 웨이퍼를 정확하게 홀딩하고 있음을 알린다.
즉, 각각의 웨이퍼홀딩부 중 어느 하나라도 웨이퍼를 홀딩시키지 못하는 경우, 감지센서는 에러신호를 발생시킨다.
다음은 본 고안의 장치를 이용하여 웨이퍼가 홀딩되는 과정 및 웨이퍼 홀딩시 이를 감지하는 감지센서의 감지동작과정을 살펴보겠다.
여기에서는 편의상 웨이퍼 가장자리에 웨이퍼를 홀딩시키는 본 고안의 홀딩장치가 3개 설치된 경우를 예로하여 설명하겠다.
우선, 구동원인 구동모터를 작동시키어 각각의 구동부(20)(20')가 웨이퍼 중심방향으로 구동되도록 한다.
이에 따라 각각의 구동부의 구동력이 그에 대응되는 전극(21)(21')과 스프링(22)(22')을 통해 절연물질에 전달되며, 이때, 절연물질이 웨이퍼홀딩부인 웨이퍼홀딩수단(24)(24') 하부에 먼저 접촉되면서 계속해서 구동되어 웨이퍼 홀딩수단을 웨이퍼 중심방향으로 밀어내어 각각의 웨이퍼홀딩수단에 형성된 인입홈(24-2)(24'-2)에 웨이퍼 가장자리 측면이 인입된다.
그리고 각각의 웨이퍼홀딩수단의 인입홈(24-2)(24'-2)에 웨이퍼 가장자리 측면이 인입된 후, 웨이퍼홀딩수단은 웨이퍼에 고정된 채 구동부가 계속해서 구동되어 결국 전극(21)(21')과 웨이퍼홀딩수단(24)(24')이 접촉하게 된다.
그리고 전극이 웨이퍼홀딩부인 웨이퍼홀딩수단 하부에 접촉 시에는 전극에 흐르는 전류가 웨이퍼홀딩부에 전달되어 이를 감지센서가 감지하여 웨이퍼홀딩수단이 웨이퍼를 홀딩하고 있음을 알린다.
이때, 3개의 웨이퍼홀딩수단 중 하나라도 웨이퍼를 홀딩하지 못한 경우 그에 해당되는 웨이퍼홀딩수단이 계속해서 웨이퍼 중심방향으로 구동되며 그에 따라 전극과 웨이퍼홀딩수단은 접촉하지 않게 된다.
따라서 감지센서는 에러신호를 발생시키어 웨이퍼가 정확하게 홀딩되지 않음을 알린다.
이와같은 원리로, 본 고안은 직렬로 연결된 3개의 웨이퍼홀딩수단으로 웨이퍼를 홀딩시키어 감지센서를 통해 확인 후, 안전하게 원하는 챔버 내로 웨이퍼를 이송시킨다.
웨이퍼 이송작업이 완료된 후, 구동부는 다시 웨이퍼 중심과 반대방향으로 구동되어 각각의 스프링을 통하여 전극과 웨이퍼홀딩수단은 초기의 상태로 되돌아가도록 간다.
상기에서 살펴본 바와 같이, 본 고안의 장치는 3개의 웨이퍼홀딩수단이 웨이퍼를 정확히 홀딩한 경우에는 각각 직렬로 연결된 각각의 웨이퍼홀딩수단과 접촉된 전극으로 부터 전류가 흐르며, 이러한 전류의 흐름은 감지센서에 의해 감지된다.
따라서 본 고안은 웨이퍼가 제대로 홀딩되지 않은 상태에서 이송장치가 작동됨으로써 발생되는 웨이퍼 손상을 방지가능하다.

Claims (3)

  1. 웨이퍼 중심방향으로 상하구동되는 구동부와, 개구된 중앙부위에 스프링과 절연물질이 순차적으로 설치되고, 하부가 상기 구동부에 접촉되면서 상기 구동부의 구동력이 전달되는 전극과, 상기 전극의 상부에 설치되며, 상기 전극에 전달되는 구동력으로 인하여 상기 전극에 접촉되면서 함께 구동되어 웨이퍼의 가장자리 측면을 홀딩하는 웨이퍼홀딩부와, 상기 웨이퍼홀딩부에 상기 전극이 접촉되면서 상기 전극의 전류가 상기 웨이퍼홀딩부로 흐르는 것이 감지되는 감지센서가 구비된 것이 특징인 웨이퍼 이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기의 이송장치를 적어도 3개 이상 직렬로 연결시키어 각각의 웨이퍼홀딩부 중 어느 하나라도 웨이퍼를 홀딩하지 못하면 상기 감지센서가 에러를 발생시킨 것이 특징인 웨이퍼 이송장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼홀딩부로는 하부에는 양측에 제1턱이 형성되고, 상부에는 웨이퍼 가장자리 부위가 인입되는 인입홈에 형성된 웨이퍼홀딩수단과, 상기 웨이퍼홀딩수단 가장자리에 설치되어, 상기 웨이퍼홀딩수단 상부와 대응되는 부위에 제2턱이 형성되어, 상기 웨이퍼홀딩수단의 이동범위가 제한되는 지지대와, 상기 지지대에 내장되며, 상기 제1턱과 상기 제2턱 사이에 설치된 스프링이 구비된 것이 특징인 웨이퍼 이송장치.
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