KR100443523B1 - 미립자제거장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자를 제거하기 위한 미립자 제거장치를 개시한다. 개시된 본 발명의 미립자 제거장치는, 소정 전압이 인가됨에 따라 정전기를 발생시키는 정전 플레이트와, 상기 정전 플레이트의 양측에 각각 배치되어 웨이퍼의 유ㆍ무를 감지하는 포토센서들과, 상기 정전 플레이트에 정전기 발생용 구동전압을 인가하는 전원과, 상기 포토센서들로부터 입력되는 신호에 따라 상기 전원으로부터 상기 정전 플레이트에 인가되는 구동전압을 제어하는 콘트롤러와, 상기 정전 플레이트의 세정시에 상기 포토센서들의 출력에 의해 상기 정전 플레이트에 정전기 발생용 구동전압이 인가되는 것을 방지하기 위한 수동 스위치를 포함하며, 상기 포토센서들의 출력단들은 오아 게이트의 출력단에 입력되고, 상기 오아 게이트의 출력단과 상기 수동 스위치의 출력단은 앤드 게이트의 입력단에 연결되며, 앤드 게이트의 출력단은 상기 콘트롤러의 입력단에 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

미립자 제거장치
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자를 제거하기 위한 미립자 제거장치에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼는 집적 공정 이전이나, 또는 공정중에 그의 표면에 미립자(Particle)가 존재하게 되는데, 이러한 미립자는 반도체 소자의 내부 결함을 유발시키키거나, 또는, 집적 공정이 제대로 이루어지지 않게 하는 원인으로 작용한다. 특히, 미립자가 웨이퍼의 후면에 존재하는 경우에는 집적 공정시에 웨이퍼의 트러블(Trouble), 예를 들어, 노광공정시에 노광하고자 하는 부분의 초점이 맞지않게 되는 디포커스(Defocus)나, 또는, 식각 공정시에 웨이퍼에 발생되는 열로 인하여 포토레지스트가 타버리는 버닝(Burning) 현상 등을 유발하게 된다.
따라서, 집적 공정시에는 웨이퍼 표면에 존하하는 미립자를 제거하기 위하여 세정 공정을 실시하게 되며, 이러한 세정 공정은 다수개의 웨이퍼들이 끼워져 있는 웨이퍼 카세트를 세정액이 담긴 욕조에 침지시키는 등의 방법으로 한 번의 세정 공정으로 다수개의 웨이퍼들을 동시에 세정한다.
그러나, 상기와 같은 세정 공정은 다수개의 웨이퍼들을 동시에 세정하기 때문에 모든 웨이퍼들을 완벽하게 세정시킬 수 없으며, 이에 따라, 어느 하나의 웨이퍼 후면에 미립자가 잔류되더라도 그 자신뿐 아니라, 집적 공정시에 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 척(Chuck)을 오염시키게 됨으로써, 이후에 오염된 웨이퍼 척에 놓이는 다음 웨이퍼들까지도 오염시키게 되는 문제점이 있다.
또한, 웨이퍼 척의 오염이 발생된 경우에는 장비에 대한 세정 작업을 실시해야 하기 때문에 장비 가동 시간이 감소되어 생산성이 저하되는 문제점이 있었으며, 종래에는 웨이퍼 후면에 대한 청결도를 검사하기 위한 별도의 장비가 없었기 때문에 미립자에 의한 웨이퍼의 결함을 사전에 방지할 수 없는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼의 이동 경로에 정전기 플레이트를 구비하여 웨이퍼가 이동되는 동안에 상기 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자가 정전기 플레이트에 흡착되도록 함으로써 웨이퍼 후면에 대한 청결도를 유지시킴과 동시에 웨이퍼 척의 오염을 방지할 수 있는 미립자 제거장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 미립자 제거장치의 블록 다이어그램.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 정전 플레이트 및 포토센서들의 위치를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 미립자 제거장치의 구동방법을 설명하기 위한 도면.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
10 : 정전 플레이트 12a : 제 1 포토센서
12b : 제 2 포토센서 20 : 전원
14 : 오아 게이트 16 : 앤드 게이트
30 : 콘트롤러 40 : 수동 스위치
50 : 웨이퍼 카세트 51 : 웨이퍼
52 : 웨이퍼 척 55 : 웨이퍼 트랜스퍼 암
60 : 플랫 존 얼라이너 60a : 턴 테이블
60b : 모터
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 소정 전압이 인가됨에 따라 정전기를 발생시키는 정전 플레이트; 상기 정전 플레이트의 양측에 각각 배치되어 웨이퍼의 유ㆍ무를 감지하는 포토센서들; 상기 정전 플레이트에 정전기 발생용 구동전압을 인가하는 전원; 상기 포토센서들로부터 입력되는 신호에 따라 상기 전원으로부터 상기 정전 플레이트에 인가되는 구동전압을 제어하는 콘트롤러; 및 상기 정전 플레이트의 세정시에 상기 포토센서들의 출력에 의해 상기 정전 플레이트에 정전기 발생용 구동전압이 인가되는 것을 방지하기 위한 수동 스위치를 포함하며, 상기 포토센서들의 출력단들은 오아 게이트의 출력단에 입력되고, 상기 오아 게이트의 출력단과 상기 수동 스위치의 출력단은 앤드 게이트의 입력단에 연결되며, 앤드 게이트의 출력단은 상기 콘트롤러의 입력단에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 미립자 제거장치를 제공한다.
본 발명에 의하면, 웨이퍼의 이동 경로에 미립자를 흡착할 수 있는 정전 플레이트를 구비함으로써 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자를 손쉽게 제거할 수 있다.
(실시예)
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 미립자 제거장치의 블록 다이어그램으로서, 도시된 바와 같이, 미립자 제거장치는 세라믹 재질이며, 내부에 양극 및 음극이 구비된 정전 플레이트(10)와, 웨이퍼의 유ㆍ무를 감지하는 제 1 및 제 2 포토센서들(12a, 12b)과, 상기 정전 플레이트(10)에 정전기 발생용 구동전압을 인가하는 전원(20)과, 상기 포토센서들(12a, 12b)로부터 인가되는 신호에 따라 전원(20)으로부터 정전 플레이트(10)에 인가되는 구동전압을 제어하는 콘트롤러(30) 및 장비의 점검 또는 정전 플레이트의 세정시에 포토센서들(12a, 12b)의 출력에 따른 오동작을 방지하기 위한 수동 스위치(40)로 이루어진다.
상기에서, 제 1 및 제 2 포토센서들(12a, 12b)은 그들의 출력단이 오아(OR) 게이트(14)의 입력단에 각각 연결되어 있고, 상기 오아 게이트(14)의 출력단과 수동 스위치(16)의 동작 신호에 대한 출력단은 앤드(AND) 게이트(16)의 입력단에 각각 연결되어 있으며, 상기 앤드 게이트(16)의 출력단은 콘트롤러(30)에 연결되어 있다. 따라서, 정전 플레이트(10)는 콘트롤러(30)에 입력되는 제 1 및 제 2 포토센서들(12a, 12b)의 출력신호 및 수동 스위치(40)의 동작 신호에 따라 상기 콘트롤러(30)로부터 그의 구동전압을 제어받게 된다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 정전 플레이트 및 포토센서들의 위치를 도시한 도면으로서, 정전 플레이트(10)는 다수개의 웨이퍼들(51)이 끼워져 있는 웨이퍼 카세트(50)와 집적 공정시에 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 척(52) 사이의 웨이퍼 이동 경로에 배치되며, 자세하게는, 도시된 바와 같이, 웨이퍼를 이동시키는 웨이퍼 트랜스퍼 암(54)과 웨이퍼의 플랫 존(Flat Zone)을 정렬시키기 위한 플랫 존 얼라이너(Flat Zone Aligner : 60) 사이에 배치된다. 그리고, 제 1 및 제 2 포토센서들(12a, 12b)은 상기 정전 플레이트(10)의 양측에 각각 이격 배치된다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 미립자 제거방법을 설명하기 위한 도면으로서, 이를 설명하면 다음과 같다. 여기서, 도 1 및 도 2 와 동일한 부분은 동일한 도면부호로 표시한다.
먼저, 웨이퍼가 웨이퍼 트랜스퍼 암에 의해 플랫 존 얼라이너로 이동되는 동안에, 제 1 포토센서(12a)는 그의 상부에 웨이퍼의 유ㆍ무를 감지하고, 그 결과를 콘트롤러에 출력한다. 이때, 콘트롤러(30)는 수동 스위치(도시않됨)로부터 '온' 신호가 입력되고, 제 1 포토센서(12a)로부터는 그의 상부에 웨이퍼가 있다는 신호가 입력되면, 전원(20)을 '온' 시켜 상기 전원(20)으로부터 정전 플레이트(10)에 정전기 발생용 구동전압을 인가하여 상기 정전 플레이트(20)에 정전기가 발생되도록 한다. 이에 따라, 웨이퍼가 정전 플레이트를 지나 플랫 존 얼라이너로 이동되는 동안 상기 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자의 일부가 정전 플레이트에 흡착되게 된다.
한편, 콘트롤러(30)는 포토센서들(12a, 12b)로부터 각각 입력되는 신호들 모두가 웨이퍼가 감지되지 않은 신호인 경우에는 전원(20)을 '오프' 시켜 정전 플레이트(10)에 인가되는 구동전압을 차단하며, 이에 따라, 전력 낭비를 방지할 수 있게 된다.
이후, 도시된 바와 같이, 웨이퍼(51)가 플랫 존 얼라이너의 턴 테이블(60a) 상에 위치되면, 플랫 존 얼라이너에서는 웨이퍼(51)의 플랫 존을 맞추기 위해 장비내에 구비된 모터(60b)를 구동시켜 상기 웨이퍼(51)가 놓여져 있는 턴 테이블(60a)을 회전시키게 되고, 이에 따라, 웨이퍼(51)가 함께 회전된다. 이때, 제 1 및 제 2 포토센서들(12a, 12b)은 그들 상부에 웨이퍼(51)가 있음을 감지하여 그 결과를 콘트롤러(30)에 출력하게 되며, 수동 스위치(40)로부터 전달된 신호가 '온' 신호인 경우에는 콘트롤러(30)는 전원(20)을 '온' 시켜 상기 전원(20)으로부터 정전 플레이트(10)에 정전기 발생용 구동전압을 인가하게 되고, 이 결과, 웨이퍼(51)의 후면에 존재하는 미립자들은 상기 웨이퍼(51)가 회전됨에 따라 모두 정전 플레이트(10)에 흡착된다.
또한, 상기한 바와 같이 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자들을 모두 제거하더라도, 턴 테이블(60a)과 접촉된 웨이퍼 부분에는 여전히 미립자가 존재하게 된다. 하지만, 이러한 미립자는 웨이퍼(51)가 웨이퍼 척(도시않됨)으로 이동되는 동안에 정전 플레이트(10)를 다시 지나치게 되고, 이때, 정전 플레이트(10)에는 여전히 구동전압이 인가되어 있는 상태이기 때문에 상기 턴 테이블(60a)과 접촉된 웨이퍼 부분에 잔류된 미립자는 웨이퍼(51)가 정전 플레이트(10)를 지나는 동안에 상기정전 플레이트(10)에 흡착되게 되고, 이에 따라, 웨이퍼(10)의 후면에 존재하는 미립자들은 완전하게 제거된다.
한편, 본 발명의 미립자 제거장치는 포토센서를 정전 플레이트의 일측에만 구비하지 않고, 상기 정전 플레이트의 양측에 구비시키는데, 그 이유는 다음과 같다. 우선, 제 1 포토센서(12a)만 구비될 경우에는 턴 테이블(60a) 상에 놓여지는 웨이퍼(51)가 정확한 위치에 놓여지지 못하고 상기 제 1 포토센서(12a)의 상부를 벗어나게 되면, 제 1 포토센서(12a)는 그의 상부에 웨이퍼가 없다고 감지하여 그 결과를 콘트롤러(30)에 출력하게 됨으로써, 정전 플레이트(10)에 구동전압이 인가되지 않게 되고, 이로 인하여, 웨이퍼(51)의 후면에 존재하는 미립자들을 제거하지 못하게 된다.
반면에, 제 2 포토센서(12b)만 구비될 경우에는 플랫 존 얼라이너로부터 웨이퍼 척으로 이동될 때, 웨이퍼(51)가 정전 플레이트(10)를 완전히 지나가지 않은 상태에서 제 2 포토센서(12b)가 그 상부에 웨이퍼가 없음을 감지하여 그 결과를 콘트롤러(30)에 출력하기 때문에, 이로 인하여, 정전 플레이트(10)에 인가되는 정전기 발생용 구동전압이 미리 차단되어 완벽하게 미립자를 제거할 수 없게 된다. 따라서, 본 발명에서는 포토센서를 정전 플레이트의 양측에 각각 구비시킴으로써, 웨이퍼 후면에 존재하는 미립자들을 완전하게 제거되도록 한다.
게다가, 본 발명의 미립자 제거장치는 수동 스위치를 구비하여 장비 점검 또는 정전 플레이트의 세정시에는 포토센서들에 의해 웨이퍼가 감지된 경우에도 정전 플레이트에 정전기 발생용 구동전압이 인가되지 못하도록 함으로써, 오동작에 의한전력 낭비를 방지한다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 미립자 제거장치는 웨이퍼의 이동 경로에 정전기 플레이트를 구비하여 웨이퍼가 이동되는 동안에 상기 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자가 정전기 플레이트에 흡착되도록 함으로써, 웨이퍼 후면에 대한 청결도를 유지시킴과 동시에 웨이퍼 척의 오염을 방지할 수 있다. 또한, 사전에 웨이퍼 후면에 존재하는 미립자를 제거할 수 있기 때문에 집적 공정시에 발생되는 웨이퍼 트러블을 방지할 수 있으며, 아울러, 웨이퍼 척이 오염되는 것을 방지할 수 있기 때문에 장비 가동률을 향상시킬 수 있다.
한편, 여기에서는 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하고 도시하였지만, 당업자에 의하여 이에 대한 수정과 변형을 할 수 있다. 따라서, 이하, 특허청구의 범위는 본 발명의 진정한 사상과 범위에 속하는 한 모든 수정과 변형을 포함하는 것으로 이해할 수 있다.

Claims (2)

  1. 웨이퍼의 후면에 존재하는 미립자를 제거하기 위한 미립자 제거장치로서,
    소정 전압이 인가됨에 따라 정전기를 발생시키는 정전 플레이트;
    상기 정전 플레이트의 양측에 각각 배치되어 웨이퍼의 유ㆍ무를 감지하는 포토센서들;
    상기 정전 플레이트에 정전기 발생용 구동전압을 인가하는 전원;
    상기 포토센서들로부터 입력되는 신호에 따라 상기 전원으로부터 상기 정전 플레이트에 인가되는 구동전압을 제어하는 콘트롤러; 및
    상기 정전 플레이트의 세정시에 상기 포토센서들의 출력에 의해 상기 정전 플레이트에 정전기 발생용 구동전압이 인가되는 것을 방지하기 위한 수동 스위치를 포함하며,
    상기 포토센서들의 출력단들은 오아 게이트의 출력단에 입력되고, 상기 오아 게이트의 출력단과 상기 수동 스위치의 출력단은 앤드 게이트의 입력단에 연결되며, 앤드 게이트의 출력단은 상기 콘트롤러의 입력단에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 미립자 제거장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 정전 플레이트는 세라믹 재질이며, 내부에는 양극 및 음극이 구비된 것을 특징으로 하는 미립자 제거장치.
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