KR970016834A - 웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치 - Google Patents

웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치 Download PDF

Info

Publication number
KR970016834A
KR970016834A KR1019950030260A KR19950030260A KR970016834A KR 970016834 A KR970016834 A KR 970016834A KR 1019950030260 A KR1019950030260 A KR 1019950030260A KR 19950030260 A KR19950030260 A KR 19950030260A KR 970016834 A KR970016834 A KR 970016834A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer
particle
exposure system
removal device
particle removal
Prior art date
Application number
KR1019950030260A
Other languages
English (en)
Inventor
이동관
Original Assignee
문정환
Lg 반도체 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 문정환, Lg 반도체 주식회사 filed Critical 문정환
Priority to KR1019950030260A priority Critical patent/KR970016834A/ko
Publication of KR970016834A publication Critical patent/KR970016834A/ko

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 웨이퍼의 노광을 위한 반송경로 상에 웨이퍼 뒷면에 부착된 파티클이 정전기적 인력에 의해 자기 발생유니트로 흡착되어 제거되도록 하므로써 노광시의 포커스 불량을 방지할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 웨이퍼 반송핸드(2)와 프리얼라인 먼트 스테이지(3) 사이의 웨이퍼(1) 반송경로 상에 웨이퍼(1)에 부과된 파티클을 정전기적 인력으로 흡착하여 제거하기 위한 파티클 포집수단을 설치하여서 된 웨이퍼 노광시스템의 파티클 제거장치이다.

Description

웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명이 노광 시스템을 나타낸 정면도.

Claims (2)

  1. 웨이퍼 반송핸드와 프리얼라인먼트 스테이지 사이의 반송경로 상에 웨이퍼에 부착된 파티클을 정전기적 인력으로 흡착하여 제거하기 위한 파티클 포집수단을 설치하여서 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 노광시스템의 파티클 제거장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 파티클 포집수단은 음의 정전기를 띤 파티클을 흡착하여 포집하는 양자기 발생유니트와, 양의 정전기를 띤 파티클을 흡착하여 포집하는 음자기 발생유니트로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950030260A 1995-09-15 1995-09-15 웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치 KR970016834A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950030260A KR970016834A (ko) 1995-09-15 1995-09-15 웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950030260A KR970016834A (ko) 1995-09-15 1995-09-15 웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR970016834A true KR970016834A (ko) 1997-04-28

Family

ID=66615422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950030260A KR970016834A (ko) 1995-09-15 1995-09-15 웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970016834A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100443523B1 (ko) * 1997-12-11 2004-11-03 주식회사 하이닉스반도체 미립자제거장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100443523B1 (ko) * 1997-12-11 2004-11-03 주식회사 하이닉스반도체 미립자제거장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200707562A (en) Contaminant removal apparatus and method therefor
TR199902048T2 (xx) Karbonu kurumdan ay�rmak i�in metod ve cihaz.
DE3780155D1 (de) Filtergeraet, insbesondere an staubsauger.
KR900010324A (ko) 공기 청정 장치
KR970016834A (ko) 웨이퍼 노광 시스템의 파티클 제거장치
SE9904400D0 (sv) Anordning vid en dammsugare
ATE244139T1 (de) Sprühfeuchtwerk
EP0929010A3 (en) System for purging contaminants from a vacuum assisted image conditioning roll
DE69320548D1 (de) Vorrichtung zum Halten von Kontaktlinsen
JPS56165180A (en) Toner regenerating device
JPS5654467A (en) Fixing device
JPS5250730A (en) Cleaning device for light sensitive body of electrostatic copying mach ine
FR2652009B3 (fr) Dispositif electrostatique d'elimination des polluants et biocontaminants atmospheriques par ionisation negative prealable de l'air et capture complete des particules chargees.
US6635390B1 (en) Method and system for reducing particulate contamination in a pellicle air space
JPS5943576Y2 (ja) 電子写真用清掃装置
KR960021487A (ko) 필름 표면에 흡착된 이물질 제거장치
KR0129919Y1 (ko) 디바이스의 정전기 제거장치
JPS6438776A (en) Scattered toner capturing device
JPS5675679A (en) Transfer paper separating device
JPS57150871A (en) Electronic copier
SU632412A1 (ru) Способ очистки поверхности от намагничивающихс частиц
JPS5320932A (en) Cleaning device for photo-sensitive body
JPS57158675A (en) Magnetic cleaning device
Hagn et al. Damage in Pipework Due to Vibrations
JPS5346038A (en) Cleaning device for electrophotographic copier

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application