KR200152645Y1 - 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

반도체 제조용 웨이퍼 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 고안은 웨이퍼를 지지할 수 있도록 하며 웨이퍼의 좌우측부를 삽입하여 지지할 수 있도록 Y자형의 삽입홈이 형성된 한쌍의 안치부재와, 상기 안치부재들을 지지할 수 있도록 하는 지지프레임으로 이루어지는 지지홀더와. 상기 지지홀더를 수직, 수평 및 전후방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 이송수단을 구비하고 있는 웨이퍼 이송장치에 있어서 특히 서로 마주보는 안치부재들의 외측부가 수직 단면을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치를 제공하면 세정장치내에서 세정액이 순환되면서 웨이퍼가 안치되는 안치부재의 외측부에서 와류가 발생하지 않아, 안치부재에 지지되는 웨이퍼의 양측부에서의 P/T의 제거가 용이하게 이루어지기 때문에, 안치부재에 의한 P/T의 불완전 제거가 없이 웨이퍼의 세정을 완벽하게 하면서 다음공정 또는 장치로 이송시킬 수 있다.

Description

반도체 제조용 웨이퍼 이송장치
제1도는 일반적인 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치를 보인 사시도.
제2도는 일반적인 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치의 일부 발췌 사용상태도.
제3도는 일반적인 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치에 적용되는 아암의 지지부재의 일부 발췌 평면도.
제4도는 종래의 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치에 적용되는 아암의 지지부재의 정단면도.
제5도는 본 고안에 의한 실시예에 따른 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치에 적용되는 아암의 지지부재의 정단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
2 : 웨이퍼 4 : 지지홀더
6 : 이동수단 16,22 : 안치부재
20 : 삽입홈 24 : 수직부
본 고안은 반도체 제조공정에서 사용되는 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로 특히, 웨이퍼 세정시에 웨이퍼를 이송할 수 있도록 하는 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 상기와 같은 웨이퍼 이송장치는 첨부된 도면 제1도 내지 제3도에서 도시된 바와 같이, 웨이퍼(2)를 세정 공정에서 또 다른 공정으로 이송할 때에 사용되는 것으로, 웨이퍼(2)를 지지할 수 있도록 하는 지지홀더(4)와, 이 지지홀더(4)를 수직, 수평 및 전후방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 이송수단(6)으로 이루어져 있다.
상기한 이송수단(6)은 소정의 레일(8)을 타고 상기 지지홀더(4)를 공정과 공정으로 이동시킬 수 있도록 하는 수평이동부재(10)와, 이 수평이동부재(10)에 마련되며 상기 지지홀더(4)를 전후이동 시킬 수 있도록 하는 한 쌍의 전후이동부재(12)와, 이 전후이동부재(12)에 위치하는 상기 지지홀더(4)를 수직이동시킬 수 있도록 하는 한 쌍의 수직이동부재(14)를 포함하고 있다.
상기한 지지홀더(4)는, 상기 이동수단(6)의 수직이동부재(14)에 위치되도록 하여 마련되며 상기한 웨이퍼(2)를 좌우에서 지지할 수 있도록 좌우 한쌍으로 마련되어 있다.
이러한 지지홀더(4)는 상기 웨이퍼(2)의 좌우측부를 삽입하여 지지할 수 있도록 된 상,하 한쌍의 안치부재(16)와, 이 안치부재(16)들을 상기 수직이동부재(14)에 마련할 수 있도록 하는 지지프레임(18)으로 이루어져 있다.
상기한 안치부재(16)는 제3도에서 도시된 바와 같이, 서로 마주보는 일측부의 웨이퍼(2) 접촉부위에 상기 웨이퍼(2)의 측부가 삽입 고정될 수 있도록 된 Y자형의 삽입홈(20)이 형성되어 있다.
상기와 같이 이루어지는 웨이퍼 이송장치는 제조공정중 세정공정에서 웨이퍼(2)의 세정이 완료되면, 상기한 수평이동부재(17)와 전후이동부재(12)를 이용하여 웨이퍼(2)가 위치한 부분으로 상기 지지홀더(4)를 위치시키고, 상기 수직이동부재(14)를 이용하여 상기 안치부재(16)에 세정이 완료된 웨이퍼(2)가 안치되도록 지지홀더(4)를 하강시킨다.
상기와 같이 상기한 안치부재(16)에 웨이퍼(2)가 안치되면 상기 수직이동부재(14)를 이용하여 이 지지홀더(4)를 상승시킨 다음, 웨이퍼(2)가 안치된 지지홀더(4)를 전후이동부재(12)와 수평이동부재(10)를 이용하여 다음 단계의 반도체 제조공정 또는 장치로 이송시킨다.
상기한 바와 같이 이루어지고 작동하는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 종래의 웨이퍼 이송장치는 제4도에 도시된 바와 같이 상기한 안치부재(16)가 환봉으로 이루어져 있으며, 이 환봉형의 안치부재(16)의 서로 마주보는 일측부에 형성된 Y자형의 삽입홈(20)에 상기 웨이퍼(2)의 양측부를 수용하여 지지함으로서, 이송시킬 수 있도록 되어 있다.
그러나, 상기와 같이 이루어지는 종래의 웨이퍼 이송장치는 상기한 안치부재가 소정의 환봉으로 이루어져 있어, 세정장치내에서 세정액이 순환되면서 웨이퍼를 세정할 때에 이 세정액의 흐름으로 인한 웨이퍼와 닿지 않는 안치부재의 바깥부분으로 와류가 발생하여 안치부재의 삽입홈에 삽입되는 웨이퍼의 측부의 P/T의 제거가 되지 않고 웨이퍼내로 퍼져 나가는 문제점이 있다.
본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로, 본 고안의 목적은 상기한 웨이퍼 이송장치에 적용되는 안치부재를 개선하여 이 안치부재의 바깥부분에서 외류가 발생되지 못하도록 함으로써, 상기한 안치부재와 웨이퍼가 접촉되는 부분의 P/T를 제거할 수 있어 웨이퍼의 세정이 완벽하게 이루어질 수 있도록 하는 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 특징은, 웨이퍼를 지지할 수 있도록 하며 웨이퍼의 좌우측부를 삽입하여 지지할 수 있도록 Y자형의 삽입홈이 형성된 한쌍의 안치부재와, 상기 안치부재들을 지지할 수 있도록 하는 지지프레임으로 이루어지는 지지홀더와, 상기 지지홀더를 수직. 수평 및 전후방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 이송수단을 구비하고 있는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 서로 마주보는 안치부재들의 외측부가 수직 단면을 갖도록 형성되는 데 있다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 실시예의 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치는 제1도 내지 제3도에서 도시된 바와 같이, 웨이퍼(2)를 지지할 수 있도록 하며 웨이퍼(2)의 좌우측부를 삽입하여 지지할 수 있도록 Y자형의 삽입홈(20)이 형성된 한쌍의 안치부재(22)와, 이 안치부재(22)들을 지지할 수 있도록 하는 지지프레임(18)으로 이루어지는 지지홀더(4)와, 이 지지홀더(4)를 수직, 수평 및 전후방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 이동수단(6)을 포함하고 있다.
그리고, 상기한 안치부재(22)는 첨부된 제5도에서 도시된 바와 같이 서로 마주보는 안치부재(22)들의 외측부가 수직부(24)로 이루어져 있다.
이러한 것은 상기한 안치부재(22)의 외측부에서 세정액의 와류가 발생되지 않도록 하기 위함이다.
상기한 바와 같이 이루어지는 본 실시예의 동작 및 작용은 전술한 바와 동일함으로 생략한다.
상기와 같은 본 고안의 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치는 세정장치내에서 세정액이 순환되면서 웨이퍼가 안치되는 안치부재의 외측부에서 와류가 발생하지 않아, 안치부재에 지지되는 웨이퍼의 양측부에서의 P/T의 제거가 용이하게 이루어지기 때문에, 안치부재에 의한 P/T의 불완전 제거가 없이 웨이퍼의 세정을 완벽하게 하면서 다음공정 또는 장치로 이송시킬 수 있다.

Claims (1)

  1. 웨이퍼를 지지할 수 있도록 하며 웨이퍼의 좌우측부를 삽입하여 지지할 수 있도록 Y자형의 삽입홈이 형성된 한쌍의 안치부재와, 상기 안치부재들을 지지할 수 있도록 하는 지지프레임으로 이루어지는 지지홀더와, 상기 지지홀더를 수직, 수평 및 전후방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 이송수단을 구비하고 있는 웨이퍼 이송장치에 있어서, 서로 마주보는 안치부재들의 외측부가 수직 단면을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 웨이퍼 이송장치.
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