JPS62279641A - エツチング用ウエハ支持体 - Google Patents
エツチング用ウエハ支持体Info
- Publication number
- JPS62279641A JPS62279641A JP12310186A JP12310186A JPS62279641A JP S62279641 A JPS62279641 A JP S62279641A JP 12310186 A JP12310186 A JP 12310186A JP 12310186 A JP12310186 A JP 12310186A JP S62279641 A JPS62279641 A JP S62279641A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- edges
- etched
- support
- corners
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- OWNRRUFOJXFKCU-UHFFFAOYSA-N Bromadiolone Chemical compound C=1C=C(C=2C=CC(Br)=CC=2)C=CC=1C(O)CC(C=1C(OC2=CC=CC=C2C=1O)=O)C1=CC=CC=C1 OWNRRUFOJXFKCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
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- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
（産業上の利用分野）
これはＩＣの基板即ちウェハをエツチング液に浸漬する
際に使用する、ウェハを並べて支持する装置に関する改
良である。
際に使用する、ウェハを並べて支持する装置に関する改
良である。
（従来の技術）
従来のこの種ウェハ支持体は特公昭５４−１０４２９号
公報に示すように、前面板と後面板の内側に相対して多
数の案内溝を形成してその上下を開放する支持体に、ウ
ェハを挿入並列させてエツチング液に浸漬し、ウェハを
エツチングしていた。
公報に示すように、前面板と後面板の内側に相対して多
数の案内溝を形成してその上下を開放する支持体に、ウ
ェハを挿入並列させてエツチング液に浸漬し、ウェハを
エツチングしていた。
（発明が解決しようとする問題点）
このようにするとエツチング液は支持体の上下の開放部
からウェハの左右の側面に触れるにすぎず、各ウェハの
前後の端縁は案内溝に線接触して被覆され、エツチング
できない欠点があった。
からウェハの左右の側面に触れるにすぎず、各ウェハの
前後の端縁は案内溝に線接触して被覆され、エツチング
できない欠点があった。
本発明はこの欠点を改良すべくウェハの四隅を点接触で
支持し、ウェハの左右の側面および上下の端縁はいうま
でもなく前後の端縁まで迅速にエツチングすることを目
的とする。
支持し、ウェハの左右の側面および上下の端縁はいうま
でもなく前後の端縁まで迅速にエツチングすることを目
的とする。
（問題点を解決するための手段）
上端に把柄１を挿通して吊り下げた左右の側板２．２の
下方前後に上下１対づつの支持杆３ａ、３ｂおよび４ａ
、４ｂを架設すると共に各支持杆にはウェハＷの四隅を
挟持すべき多数の７字形の刻み目５を同位相に形成する
。
下方前後に上下１対づつの支持杆３ａ、３ｂおよび４ａ
、４ｂを架設すると共に各支持杆にはウェハＷの四隅を
挟持すべき多数の７字形の刻み目５を同位相に形成する
。
しかして左右の側板２．２には下半部は下方に屈折する
と共に上半部は後方に向け長く斜めにへの字状に穿つ誘
導孔６．６を相対して穿ち、この誘導孔６．６に前部上
方の支持杆３ａの両端を遊嵌する。
と共に上半部は後方に向け長く斜めにへの字状に穿つ誘
導孔６．６を相対して穿ち、この誘導孔６．６に前部上
方の支持杆３ａの両端を遊嵌する。
（作用）
前部上方の支持杆３ａをへの字状誘導孔６．６に沿いま
ず上方に持ち上げると共に斜め後方に移動させ、前部下
方の支持杆３ｂ、後部上下の支持杆４ａ、４ｂの同位相
の刻み目５にウェハＷを挿入した後、前部上方の支持杆
３ａを旧位置に戻すと、各ウェハＷの四隅は各支持杆３
ａ、３ｂおよび４ａ、４ｂのＶ字状刻み目５に点接触し
て支持される。そこで第７図に示すように約２００℃に
加熱して循環するエツチング液のタンクＴの左右の再縁
に把柄１により吊り下げて各ウェハＷをエツチングする
。
ず上方に持ち上げると共に斜め後方に移動させ、前部下
方の支持杆３ｂ、後部上下の支持杆４ａ、４ｂの同位相
の刻み目５にウェハＷを挿入した後、前部上方の支持杆
３ａを旧位置に戻すと、各ウェハＷの四隅は各支持杆３
ａ、３ｂおよび４ａ、４ｂのＶ字状刻み目５に点接触し
て支持される。そこで第７図に示すように約２００℃に
加熱して循環するエツチング液のタンクＴの左右の再縁
に把柄１により吊り下げて各ウェハＷをエツチングする
。
そしてエツチングし終えたら本発明の支持体をタンクＴ
より取り出し、前部上方の支持杆３ａを誘導孔６．６に
沿い上方斜め後方に移動させて各ウェハＷを取り出す。
より取り出し、前部上方の支持杆３ａを誘導孔６．６に
沿い上方斜め後方に移動させて各ウェハＷを取り出す。
（実施例）
各支持杆３ａ、３ｂおよび４ａ、４ｂの左右の外端は１
締付ナツト７により側板２．２に締着する。
締付ナツト７により側板２．２に締着する。
その場合支持杆３ａを誘導孔６に沿い移動するにはその
両端の締付ナツト７を緩めるとよい。
両端の締付ナツト７を緩めるとよい。
８は側板２に放射状に穿つガイド孔で、への字状誘導孔
６の下半部と共に各支持杆３ａ、３ｂおよび４ａ、４ｂ
をウェハＷの大きさに応じて移動案内する。
６の下半部と共に各支持杆３ａ、３ｂおよび４ａ、４ｂ
をウェハＷの大きさに応じて移動案内する。
左右の側板２の中間は架設杆９により連結するとよい。
１０は支持杆３ｂ、４ａ、４ｂに共通ずる座板である。
把柄ｌ、左右の側板２．２、各支持杆３ａ、３ｂ、４ａ
、４ｂ、架設杆９および座板１０は弗素樹脂のような耐
腐蝕性の強い合成樹脂により形成し、モして把柄１、架
設杆９および各支持杆には金属製の６杆を挿入して補強
する。
、４ｂ、架設杆９および座板１０は弗素樹脂のような耐
腐蝕性の強い合成樹脂により形成し、モして把柄１、架
設杆９および各支持杆には金属製の６杆を挿入して補強
する。
（発明の効果）
本発明によるときは、四隅を各支持杆３ａ、３ｂおよび
４ａ、４ｂに支持された多数のウェハＷは上下のみなら
ずその前後をも開放するので、上下にのみ開放する前記
従来品に比しエツチング液は上下、前後に流通してウェ
ハＷは迅速にむらなく浸漬できるばかりでなく、各ウェ
ハＷはその四隅のみＶ字形の刻み目５に点接触で支持さ
れるにすぎないので、左右の側面はいうまでもなく上下
前後の端縁までエンチングでき、しかも前部上方の支持
杆３ａのみを移動することにより簡単に支持体よりウェ
ハＷを取り出したり、挿入できる、という効果を生ずる
。
４ａ、４ｂに支持された多数のウェハＷは上下のみなら
ずその前後をも開放するので、上下にのみ開放する前記
従来品に比しエツチング液は上下、前後に流通してウェ
ハＷは迅速にむらなく浸漬できるばかりでなく、各ウェ
ハＷはその四隅のみＶ字形の刻み目５に点接触で支持さ
れるにすぎないので、左右の側面はいうまでもなく上下
前後の端縁までエンチングでき、しかも前部上方の支持
杆３ａのみを移動することにより簡単に支持体よりウェ
ハＷを取り出したり、挿入できる、という効果を生ずる
。
なお本発明はメッキにも使用できることはいうまでもな
い。
い。
第１図は本発明実施例の斜面図、第２図はその平面図、
第３図はその正面図、第４図はその底面図、第５図はそ
の左側面図、第６図は第３図の矢印方向の縦断側面図、
第７図は使用状態の正面ｌは把柄、２は側板、３ａ、３
ｂ、４ａ、４ｂは支持杆、５は刻み目、６は誘導孔。 代理人 牧 前部（ほか２名） 第２図 第３図 第≠図 第７図 ３ｂ
第３図はその正面図、第４図はその底面図、第５図はそ
の左側面図、第６図は第３図の矢印方向の縦断側面図、
第７図は使用状態の正面ｌは把柄、２は側板、３ａ、３
ｂ、４ａ、４ｂは支持杆、５は刻み目、６は誘導孔。 代理人 牧 前部（ほか２名） 第２図 第３図 第≠図 第７図 ３ｂ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 上端に把柄を挿通して吊り下げた左右の側板の下方前後
に上下１対づつの支持杆を架設すると共に各支持杆には
ウェハＷの四隅を挟持すべき多数のＶ字形の刻み目を同
位相に形成し、 しかして左右の側板には下半部は下方に屈折すると共に
上半部は後方に向け長く斜めにへの字状に穿つ誘導孔を
相対して穿ち、この誘導孔に前部上方の支持杆の両端を
遊嵌して成るエッチング用ウェハ支持体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12310186A JPS62279641A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | エツチング用ウエハ支持体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12310186A JPS62279641A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | エツチング用ウエハ支持体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62279641A true JPS62279641A (ja) | 1987-12-04 |
Family
ID=14852218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12310186A Pending JPS62279641A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | エツチング用ウエハ支持体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62279641A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5961771A (en) * | 1994-06-27 | 1999-10-05 | Melanesia International Trust Company Limited | Chemical milling apparatus |
-
1986
- 1986-05-28 JP JP12310186A patent/JPS62279641A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5961771A (en) * | 1994-06-27 | 1999-10-05 | Melanesia International Trust Company Limited | Chemical milling apparatus |
| US6203716B1 (en) * | 1994-06-27 | 2001-03-20 | Melanesia International Trust Company Limited | Method of chemical milling |
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