KR20010099211A - 리드프레임의 패턴인식 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명인 리드프레임의 페턴인식 검사방법은 생산된 리드를 검사하여 품질을 선별하기 위한 검사방법으로서 컴퓨터 프로그램에 의해서 리드의 배열상의 검사영역을 설정하는 방법과 이를 검사하는 방법에 대하여 시스템을 구성하는 것을 목적으로 한다.

이러한 패턴검사를 하는 방법을 설정하면 다음과 같다.

리드프레임의 이송기능에 대하여 피측정물이 카메라로 촬영하고자하는 지정된 위치에 셋팅하면 리드프레임의 상부와 하부에 동축선상에 있는 카메라에 의하여 촬영이 되고 이피사체를 취득하여 컴퓨터 영상정보 처리장치의 알고리즘으로 전송되고 이렇게 전송된 영상정보는 본 제품의 표준검사기준으로 설정되어있는 마스타 영상과 절대적 비교측정에 의해 양품과 불량품을 선별하게된다.

리드제품의 실제 검사되는 영역은 실물리드의 폭과 리드와 리드사이의 공간의 간격을 정밀검사하여 리드의 균일한 배열상태를 검사하는 수단으로서 그 세부적 검사항목은 리드의 쏠림상태 검사와 찌그러짐 검사, 요철검사 등을 수행한다.

이러한 검사기능의 제어는 컴퓨터에 저장된 프로그램 매뉴얼에 따라 마스터 영상을 규정하고 피측정물의 검사범위를 제한하여 양품과 불량품을 선별하는 방법이다.

위 검사방법의 도구는 픽셀단위수량의 기준장치에 의한 방법이 있고 다른 하나는 전체 픽셀수량에 대한 불량픽셀을 백분율로 관리하는 방법이 있으며 이들 검사단계는 위에서 설명한바와같이 촬영, 영상취득, 전송, 검사, 판정의 단계를 거쳐 처리되며 고정도의 검사를 신속하게 할수있게 된다.

Description

리드프레임의 패턴인식 검사방법{STRUCTURE OF LEAD FRAME PATTERN INSPECTION PRODUCT}

본 발명은 반도체 부품인 리드프레임(28)의 패턴인식검사(17)방법에 관한 것으로 리드의 형상과 리드배열등을 검사하는 방법에 관하여 기술을 개발하는 것이다.

리드프레임의 생산 공정중에 리드(50)의 미세한 변형이 발생하거나 찌그러짐 현상이 발생되므로 제품의 신뢰성에 큰 영향을 주게 된다.

종래의 리드 검사는 영상정보(1-1,1-2) 취득에 의한 외관검사와 흠결등의 표면검사를 하는 수단으로 촬영되었고 취득한 피사체(28)의 영상정보를 마스터영상값(29)과 비교, 검사하였으므로 본발명의 리드간격(51)상태검사와 리드와 리드간의 배열상태검사는 자동화 되지않았고 영상처리검사로 외관의 흠결검사를 거쳐나오는 제품을 육안 또는 현미경검사로 해야 했으므로 제품 신뢰도와 검사속도가 떨어진 것이다.

본발명의 주요기술내용은 리드프레임(28)의 주요부분인 리드(50)의 형상과 리드간의 간격(51)을 검사하기 위하여 검사영역(A,B,C)에 대한 좌표를 설정하는데 이 좌표설정의 기준으로서는 첫째로는 하나의 리드(50)의 폭을 이등분한 중심선(52)에서 기준위치를 설정하는 방법이고 둘째로는 리드와 리드사이의 공간(54)의 간격을 이등분하여 그 중심선(53)의 기준위치를 설정하여 각각의 중심선에 대하여 이탈된 자리 즉 이탈된 픽셀(32)의 수량으로 양품(25)과 불량품(26)을 구분하도록 하는 방법이다. 이러한 검사 방법으로 리드를 촬영하고 전송, 검사, 판정의 과정으로 진행하게된다.

본 발명의 기술적 과제는 리드의 실물형상을 정밀검사하기 위하여 리드가 구성하고 있는 영역을 검사영역으로 프로그램셋팅하고 리드 부분과 공간부분을 세부영역으로 다시 구분하여 각각의 영역별로 중심선을 구한 다음 그 기준값에 대하여 이탈되는 범위를 단위 수량 또는 백분율로 환산하여 양품과 불량품을 선별하기 위한 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 리드프페임의 패턴인식검사 방법상 주요기술적 과제로서 피측정물인 리드의 촬영위치를 정확히 결정하여야하고 촬영한 영상정보를 컴퓨터주제어장치인 영상정보처리장치내에 있는 알고리즘으로 전송되고 이 영상정보는 검사기준값이 설정되어있는 마스터영상과 비교하게되며 그 비교측정값의 오차범위 관리로서 제품을 선별하게 된다.

이러한 검사를 위하여 마스터 영상이 갖추어야하는 조건인 리드의 중심선 설정 방법과 리드와 리드 사이의 공간에 대한 중심선 설정 방법인 것이며 이를 백분율법 또는 단위수량으로 편차를 제어하는 것으로 검사를 실행하며 이러한 검사방법을 프로그램으로 발명하는 것이 본 발명의 주요 기술 과제로 한다.

도1은 리드프레임 패턴인식검사 과정을 표기한 평면도 이다.

도2는 리드프레임 패턴인식검사 과정을 표기한 정면도 이다.

도3은 리드프레임 패턴인식검사 과정을 표기한 우측면도이다.

도4는 리드프레임이 구성되어있는 로트단위의 형상도이다.

도5는 리드프레임 패턴인식검사를 진행하는 구성도이다.

도6은 리드프레임 패턴인식검사를 위한 리드 형상도이다.

도7은 리드프레임 패턴인식검사를 위한 리드 중심선 설정 예시도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

패턴인식검사 (17) 마스터영상 (29)

리드 (50) 영상정보처리장치 (9)

리드간격(51) 밀러 (10)

알고리즘 (15) 상부조정 (2)

픽셀값 (32) 하부조정 (3)

로트 (4) 영상정보취득 (1-1,1-2)

유니트 (20) 카메라렌즈 (12)

리드중심선 (52) 리드공간의 중심선 (53)

상기 기술적 과제에서 설명한 바와 같이 피사체에 비추어지는 영상을 최적조건으로 갖추고 조명의 밝기에 의한 결점의 픽셀수량 또는 결점의 픽셀비율로서 리드프레임 끝 부분의 리드간격 등을 검사하는 프로그램과 그 시스템을 완성하는 즉 영상정보처리장치 시스템을 구축하는 기술로서 본 발명의 기술적 구성과 작용은 리드본체 중심을 찾아 위치결정하고 또는 리드와 리드사이의 공간에 대한 중심선을 찾아 설정한 후 그 리드와 공간에 대한 각각의 중심선에서 이러한 시스템의 구성은 첨부도면에 따라 상세한 설명을 기술하면 다음과 같다.

도1은 리드프레임의 패턴인식을 표현하여 검사하기 위한 장비구성의 평면도이다.

도2은 리드프레임의 패턴인식을 표현하여 검사하기 위한 장비구성의 정면도이다.

도3은 리드프레임의 패턴인식을 표현하여 검사하기 위한 장비구성의 우측면도이다.

도4는 리드프레임 검사항목인 패턴인식검사용 단위로트의 형상도이다.

도5는 리드프레임의 패턴인식검사를 수행하는 절차와 방법을 나타낸 구성도 이다.

도6은 검사항목인 리드프레임의 상세한 리드형상도 이다.

도7은 검사항목인 리드프레임의 리드중심선과 공간의 중심선을 설정해놓은 예시도이다.

리드프레임의 패턴인식검사 조건에 따른 조명과 영상조건을 표준상태로 하고 촬영한 영상물은 리드프레임의 피측정물 영상정보처리장치에 의해서 리드의 본체를정2등분하고 그리고 리드와 리드사이의 공간부분을 정2등분하여 이들 리드와 공간구역에 각각의 중심위치를 찾아 중심선을 설정하면 이것이 표준영상이 되어 검사기준이 된다.

그 다음으로 상기의 리드프레임 제품을 측정하여 위의 표준영상과 비교 검사하여 그 설정값에 대한 이탈된 픽셀의 수량 또는 비율을 판독하여 양품과 불량품으로 선별하게된다.

따라서 본 발명의 검사방법인 패턴인식검사는 리드의 형상에 대한 여러 가지 위치정도를 검사하는 수단으로서 이러한 검사의 기본이 되는 조건이 곧 리드와 공간부분의 중심선을 설정하는 것이고 그 중심선으로부터의 오차 값을 픽셀의 수량과 비율로 표현하여 선별하는 방법인 것이다.

이러한 패턴인식검사를 수행하기 위하여 피사체영상으로 얻어지는 화상정보자료가 일정한 조명조건아래서 취득되어져야하므로 이에 사용되는 조명장치는 광원을 강제 조정하여 밝기를 표준화시킨 후 영상촬영하고 그 영상을 정보처리장치로 보내면 취득영상은 알고리즘내의 마스터영상과 비교검사하게 되며 검사기준 값에 따른 픽셀의 오차범위로서 양품과 불량품을 판독하게되는 시스템이다.

상기검사공정에 있어서 검사 수단이 되는 판단 값은 중심선 영역이내의 백색의 바탕 중에서 검은색의 픽셀이 발생하는 수량 또는 비율로 결정한다.

상기에 기술한 바와 같이 본 발명으로 기대하는 효과는 IC리드프레임의 핵심검사부분인 리드의 형상에 대한 오차를 분석할 수 있다는데 있으며 이러한 검사가해당되는 요소는 리드의 찌그러짐과 좌,우 변형검사와 리드의 꼬임 상태검사 그리고 리드와 공간의 간격유지상태, 리드의 형상 등을 자동으로 검사 할 수 있게 된다.

또한 상부카메라와 하부카메라에서 동시에 리드양면의 영상을 취득하여 검사를 수행 할 수 있으므로 작업속도가 빨라지고 중심선 관리에 의한 리드간격검사를 수행하므로서 리드의 쏠림현상을 확인 할 수 있음은 물론 리드 개개별 중심이탈에 대한 불량을 검출할 수 있는 효과를 얻게되어 제품의 신뢰성을 높이게 된다.

Claims (1)

1. 리드의 중심이 되는 중심선을 찾아가는 방식으로 리드본체에 중심선이 오차범위를 최소로 줄여 들어간 후 최종적인 하나의 선으로만 남도록 오차를 함축하여 검사 값을 중심선으로 설정하고 이 표준 검사 값을 기준으로 정하고, 이에 검사대상물인 리드 프레임의 리드부분과 공간부분의 중심선이탈범위를 통제하여 비교, 검사하는 것으로 중심선에서 설정한 오차범위 이내에 들어오는 리드와 공간의 간격은 양품이 되고 중심선 오차범위를 이탈한 리드와 공간의 간격은 불량품으로 판정하는 패턴인식 검사방법.