KR20010057000A - 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템 - Google Patents

평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템 Download PDF

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Abstract

설치 면적의 축소가 가능하고 양산에 적합하며 생산성을 향상시킬 수 있는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템에 관한 것으로, 베이스와; 상기 베이스의 길이 방향을 따라 일렬로 놓여진 복수개의 기판을 이송하도록 상기 베이스에 장치되는 기판 이송 유닛과; 상기 기판 이송 유닛에 의해 이송되는 각각의 기판에 각기 다른 종류의 필름을 공급하도록 상기 베이스의 길이 방향을 따라 장치되는 복수개의 필름 제어 유닛과; 상기 필름 제어 유닛에 의해 공급된 필름에 레이저 빔을 조사하여 각각의 기판에 박막 패턴을 형성하도록 상기 필름 제어 유닛의 상측에 설치되는 복수개의 레이저 어블레이션 유닛;을 포함하여 이루어진다.
이로서, 복수개의 기판에 동시다발적으로 박막 패턴을 형성할 수 있게 되어 단위 장치 및 단위 시간당 생산성을 향상시킬 수 있으며, 대량 생산이 가능하고, 필름을 절단하기 위한 유닛과 박막 패턴 형성을 완료한 후의 필름을 제거하기 위한 유닛을 제거할 수 있어 장치를 콤팩트하게 구성할 수 있다.

Description

평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템{THIN FILM PATTERNNING SYSTEM FOR FLAT PANEL DISPLAYS}
본 발명은 레이저 어블레이션(laser ablation) 유닛을 이용하여 박막 패턴을 형성하는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 설치 면적의 축소가 가능하고 양산에 적합하며 생산성을 향상시킬 수 있는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 평판 표시 소자(FPD; Flat Panel Display)는 큰 부피와 고전압을 필요로 하는 음극선관과는 달리, 두께가 얇고 저전압으로 구동되는 실질적으로 평탄한 표시 소자를 통칭하며, 이러한 평판 표시 소자로는 액정 표시 소자(LCD;Liquid Crystal Display)와 전계 방출 표시 소자(FED; Field Emission Display)와 플라즈마 표시 소자(PDP; Plazma Display Panel)와 형광 표시관(VFD; Vacuum Fluorescent Display)이 있다.
이러한 평판 표시 소자는 음극선관과 같이 화면 확대에 따른 급격한 부피 증가를 수반하지 않으므로, 상기한 특성에 의해 노트북 컴퓨터의 표시장치와 디지털 카메라의 뷰파인더 등 고기능화 및 소형화 지향의 전자기기에 널리 사용되고 있다.
상기한 평판 표시 소자는 종류에 따라 세부적인 구조 또한 상이하나, 대부분의 평판 표시 소자는 투명한 두장의 기판 내부에 전극을 형성하고, 상기 전극에 전압 파형을 인가하여 화소별 구동을 행하는 구조로 이루어진다.
이와 같은 구성을 갖는 평판 표시 소자에 있어서, 종래에는 박막 패턴(주사전극과 데이타 전극 등의 전극과 커패시터 및 발광막 등)을 형성하기 위해 스크린 인쇄법 등의 습식법을 이용하였는데, 상기 습식법에 의한 박막 패턴 형성 방법으로는 대면적(0.5m×0.5m 이상)의 표시 소자를 제조하는데 한계가 있어 최근에는 레이저 어블레이션 유닛(laser ablation unit)을 이용한 박막 패턴 형성 시스템이 도입되고 있다.
이와 같이, 레이저 어블레이션 유닛을 이용한 박막 패턴 형성 시스템은, 기판이 고정되는 척이 상부면에 장치된 베이스와, 서로 다른 종류의 필름이 권취된 복수개의 필름 권취롤(형성하고자 하는 박막 패턴 수에 따라 개수가 상이함)을 포함하며, 이 롤들이 상하 방향으로 정렬되어 선택하고자 하는 필름의 종류에 따라 상하 방향으로 이송되도록 베이스의 일측에 장치되는 필름 선택 유닛과, 필름 선택유닛과 베이스 사이에서 수평 방향으로 이송 가능하게 설치되어 어느 하나의 필름 권취 롤에 권취된 필름을 일정 크기로 절단하여 기판의 상측에 공급하는 필름 이송 유닛과, 기판의 상측에 공급된 필름에 레이저 빔을 조사하여 기판상에 박막 패턴을 형성하도록 베이스의 상측에 장치되는 레이저 어블레이션 유닛과, 필름 이송 유닛의 반대측으로 베이스의 일측에서 수평 방향으로 이송 가능하게 설치되어 박막 패턴을 완성한 후의 필름을 제거하는 필름 제거 유닛을 포함한다.
여기에서, 상기 레이저 어블레이션 유닛은 레이저 소스(laser source), 광학계, 빔 포지셔닝 툴(beam positioning tool) 등으로 이루어지고, 레이저 어블레이션 유닛을 이용하여 박막 패턴을 형성하는 방법으로는 기판(글라스, PET 필름, 웨이퍼 등)에 밀착된 필름을 직접 가공하는 방법과 박막 필름을 대향 기판상에 전사시켜 가공하는 방법이 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위해 후자의 방법에 따라 기판상에 세 종류(제1 내지 제3)의 박막 패턴을 형성하는 것을 예로 들어 설명한다.
장치가 작동되면, 먼저 제1 박막 패턴을 형성하기 위한 필름이 권취되어 있는 필름 권취롤이 선택되고, 이 롤에 권취된 필름이 필름 이송 유닛에 의해 일정 크기로 절단된 후, 내부에 기판이 고정된 척(chuck)에 밀착된다.
이와 같이, 척에 필름이 밀착되면 척의 상측에 장치된 레이저 어블레이션 유닛이 작동되어 필름을 향해 레이저 빔이 조사되며, 이 빔에 의해 전사가 이루어져 기판에 박막 패턴이 형성된다.
이후, 박막 패턴에 이용된 필름은 필름 제거 유닛에 의해 척으로부터 제거되며, 이에 따라 한 종류의 박막 패턴 형성이 완료된다.
상기와 같이 한 종류의 박막 패턴이 형성되면, 다음에는 제2 박막 패턴을 형성하기 위한 필름이 권취되어 있는 필름 권취롤이 선택되고, 이 롤에 권취된 필름이 필름 이송 유닛에 의해 일정 크기로 절단된 후 이송되어 척에 밀착되며, 이후로는 상기 작동이 반복된다.
이와 같은 방법에 따라, 기판에는 세 종류(제1 내지 제3)의 박막 패턴이 순차적으로 형성된다.
그런데, 상기 장치와 같이 구성된 종래의 박막 패턴 형성 시스템에 의하면 다음과 같은 문제점이 있다.
종래의 장치에서 소요되는 한 종류의 박막 패턴 형성 시간을 "T"라고 하면, 세 종류의 박막 패턴을 형성하는 데에는 대략 "4T"의 시간이 소요된다.
여기에서, 상기 "4T"는, 순수하게 제1 내지 제3 박막 패턴 형성에 소요되는 시간 "3T"와, 필름 절단, 세정, 필름 밀착, 제거, 이송 등에 소요되는 "1T"를 합한 시간이다.
이와 같이, 종래의 장치에서는 박막 패턴 형성이 동시에 이루어지지 못하였으므로, 패턴 형성에 소요되는 시간이 증가되어 단위 장치당 생산성이 낮다.
또한, 종래의 장치에서는 필름 권취롤에 권취된 필름이 일정 크기로 절단된 후 기판 측으로 공급되므로, 필름의 절단시에 파티클(particle)이 발생되고, 이 파티클로 인해 박막 패턴 형성시에 쇼트(short) 혹은 오픈(open) 등의 불량이 발생된다.
이에, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 설치 면적의 축소가 가능하고 양산에 적합하며 생산성을 향상시킬 수 있는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템을 제공함을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 박막 패턴 형성 시스템의 블록 구성도.
도 2는 본 발명의 박막 패턴 형성 시스템에 적용된 필름 제어 유닛의 개략적인 구성을 나타내기 위한 사시도.
도 3은 본 발명의 박막 패턴 형성 시스템에 의해 패턴을 형성하는 과정을 나타내는 도면.
상기와 같은 본 발명의 목적은,
베이스와;
상기 베이스의 길이 방향을 따라 일렬로 놓여진 복수개의 기판을 이송하도록 상기 베이스에 장치되는 기판 이송 유닛과;
상기 기판 이송 유닛에 의해 이송되는 각각의 기판에 각기 다른 종류의 필름을 공급하도록 상기 베이스의 길이 방향을 따라 장치되는 복수개의 필름 제어 유닛과;
상기 필름 제어 유닛에 의해 공급된 필름에 레이저 빔을 조사하여 각각의 기판에 박막 패턴을 형성하도록 상기 필름 제어 유닛의 상측에 설치되는 복수개의 레이저 어블레이션 유닛;
을 포함하는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템에 의해 달성된다.
본 발명의 바람직한 특징에 의하면, 상기 장치는 기판을 기판 이송 유닛에 자동적으로 로딩하는 기판 로딩 유닛과, 기판을 기판 이송 유닛으로부터 자동적으로 언로딩하는 기판 언로딩 유닛을 더 포함하며, 필름 제어 유닛은, 필름이 권취되어 있는 제1 롤과, 필름 이송 경로를 따라 이송되면서 박막 패턴 형성에 사용된 필름을 권취하도록 상기 제1 롤과 이격된 위치에 제공되는 제2 롤과, 필름 이송 경로상에서 제1 및 제2 롤의 하측으로 상기 기판에 인접한 위치에 장치되는 제3 및 제4 롤을 포함한다.
그리고, 필름 제어 유닛과 기판 이송 유닛은 상기 레이저 어블레이션 유닛의 작동 여부에 따라 단속적으로 구동되며, 기판의 로딩 및 언로딩을 원활하게 실시할 수 있도록 하기 위해 필름 제어 유닛과 레이저 어블레이션 유닛은 상하 방향으로 이송 가능하게 장치된다.
이로서, 복수개의 기판에 동시다발적으로 박막 패턴을 형성할 수 있게 되어 단위 장치 및 단위 시간당 생산성을 향상시킬 수 있으며, 대량 생산이 가능하다.
또한, 필름을 절단하기 위한 유닛과 박막 패턴 형성을 완료한 후의 필름을 제거하기 위한 유닛을 제거할 수 있어 장치를 콤팩트하게 구성할 수 있으며, 이로 인해 설치 면적을 축소할 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조로 하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템을 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 박막 패턴 형성 시스템의 블록 구성도를 도시한 것이고, 도 2는 본 발명의 박막 패턴 형성 시스템에 적용된 필름 제어 유닛의 개략적인 구성을 나타내기 위한 정면도를 도시한 것으로, 본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 3개의 기판에 제1 내지 제3의 박막 패턴을 각각 형성하는 것을 예로 들어 설명한다.
도시한 바와 같이, 바닥면으로부터 소정 높이로 설치되는 베이스(10)에는 베이스의 길이 방향을 따라 단속적으로 운동하는 기판 이송 유닛(12)이 설치되어 있고, 베이스(10)의 상측으로는 기판 이송 유닛(12)에 의해 이송되는 각각의 기판에 각기 다른 종류의 필름(18,18',18")을 공급하도록 베이스(10)의 길이 방향을 따라 제1 내지 제3의 필름 제어 유닛(14,14',14")이 설치되어 있으며, 각각의 필름 제어 유닛(14,14',14")의 상측으로는 필름에 레이저 빔을 조사하여 각각의 기판에 제1 내지 제3의 박막 패턴을 형성하도록 상기 필름 제어 유닛의 상측에 설치되는 제1 내지 제3의 레이저 어블레이션 유닛(16,16',16")이 위치된다.
상기 필름 제어 유닛(14)은 도 2에 도시한 바와 같이, 필름(18)이 권취되어 있는 제1 롤(14a)과, 박막 패턴 형성에 사용된 필름을 권취하도록 상기 제1 롤과 이격된 위치에 제공되는 제2 롤(14b)과, 제1 및 제2 롤의 하측으로 제공되는 제3 및 제4 롤(14c,14d)로 각각 구성되며, 제1 롤(14a)에 권취되어 있는 필름은 제3 및 제4 롤(14c,14d)을 거쳐 제2 롤(14b)에 권취된다.
그리고, 다른 2개의 필름 제어 유닛(14',14")도 필름 제어 유닛(14)과 동일하게 구성된다.
여기에서, 제1 내지 제4 롤(14a∼14d)은 필름(18)을 기판에 밀착시키거나, 또는 필름을 기판의 상측에 위치시키도록 상하 방향으로 이송 가능하게 장치되고, 제3 및 제4 롤(14c,14d)은 필름의 장력을 일정하게 유지하는 작용도 병행할 수 있도록 제1 및 제2 롤(14a,14b)에 대해 상하 방향으로 이송 가능한 구조를 가지며, 제1 및 제2 롤중 어느 하나의 롤은 구동 롤이 된다.
그리고, 상기와 같은 필름 이송 경로를 따라 이송되는 필름에 레이저 빔을조사하여 기판상에 박막 패턴을 형성하기 위한 제1 내지 제3의 레이저 어블레이션 유닛(16,16',16")은 레이저 소스(laser source), 광학계, 빔 포지셔닝 툴(beam positioning tool) 등으로 이루어지며, 이러한 레이저 어블레이션 유닛은 공지된 기술이므로 상세 설명은 생략한다.
이하, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 박막 패턴 형성 시스템의 작동을 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1 기판(20)이 제1 필름 제어 유닛(14)의 하측에 위치되도록 기판 이송 유닛(12)에 제1 내지 제3의 기판(20,20',20")을 로딩한 상태에서 장치를 작동시키면, 제1 레이저 어블레이션 유닛(16)이 작동되어 제1 필름 제어 유닛(14)의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치되어 있던 필름(18)에 레이저 빔이 조사되며, 이에 따라 제1 기판(20)에는 도 3a에 도시한 바와 같이 필름에 의한 제1 박막 패턴(22)이 형성된다.
이와 같이 제1 기판에 제1 박막 패턴이 형성되면, 기판 이송 유닛(12)이 화살표 방향으로 이동되어 제1 및 제2 기판(20,20')은 각각 제2 및 제1 필름 제어 유닛(14',14)의 하측에 위치되고, 이때 기판 이송 유닛(12)의 작동은 일시적으로 정지되며, 제1 필름 제어 유닛(14)이 작동되어 제1 롤(14a)에 권취되어 있던 필름(18)의 일정량이 제2 롤(14b)에 권취되고, 이로 인해, 제3 및 제4 롤(14c,14d)의 사이 구간에는 새로운 필름이 위치된다.
상기 작동이 완료되면, 제1 및 제2 레이저 어블레이션 유닛(16,16')이 작동되어 도 3b에 도시한 바와 같이, 제1 기판(20)상에는 제2 필름 제어 유닛(14')의제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치되어 있던 필름(18')에 의한 제2 박막 패턴(22')이 형성되고, 제2 기판(20')상에는 제1 필름 제어 유닛(14)의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치된 새로운 필름(18)에 의한 제1 박막 패턴(22)이 형성된다.
이와 같이, 제1 및 제2 기판(20,20')상에 박막 패턴이 형성되면, 기판 이송 유닛(12)이 화살표 방향으로 다시 이동되어 제1 기판(20)과 제2 기판(20') 및 제3 기판(20")은 각각 제3, 제2, 및 제1 필름 제어 유닛(14",14',14)의 하측에 각각 위치되고, 이때 기판 이송 유닛(12)의 작동은 일시적으로 정지되며, 제1 및 제2 필름 제어 유닛(14,14')이 작동되어 각각의 제1 롤에 권취되어 있던 필름(18,18')의 일정량이 제2 롤에 권취되고, 이로 인해, 각각의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에는 새로운 필름이 위치된다.
상기 작동이 완료되면, 제1 내지 제3 레이저 어블레이션 유닛(16,16',16")이 작동되어 도 3c에 도시한 바와 같이, 제1 기판(20)상에는 제3 필름 제어 유닛(14")의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치되어 있던 필름(18")에 의한 제3 박막 패턴(22")이 형성되고, 제2 기판(20')상에는 제2 필름 제어 유닛(14')의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치된 새로운 필름(18')에 의한 제2 박막 패턴(22')이 형성되며, 제3 기판(20")상에는 제1 필름 제어 유닛(14)의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치된 새로운 필름(18)에 의한 제1 박막 패턴(22)이 형성된다.
상기와 같이, 제1 내지 제3 기판상에 박막 패턴이 형성되면, 기판 이송 유닛(12)이 화살표 방향으로 다시 이동되어 제2 및 제3 기판(20',20")이 각각 제3 및 제2 필름 제어 유닛(14",14')의 하측에 각각 위치되면, 기판 이송 유닛(12)의작동이 일시적으로 정지됨과 아울러, 제2 및 제3 필름 제어 유닛(14',14")이 작동되어 각각의 제1 롤에 권취되어 있던 필름의 일정량이 제2 롤에 권취되고, 이로 인해, 각각의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에는 새로운 필름이 위치된다.
상기 작동이 완료되면, 제2 및 제3 레이저 어블레이션 유닛(16',16")이 작동되어 도 3d에 도시한 바와 같이, 제2 기판(20')상에는 제3 필름 제어 유닛(14")의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치되어 있던 필름(18")에 의한 제3 박막 패턴(22")이 형성되고, 제3 기판(20")상에는 제2 필름 제어 유닛(14')의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치된 새로운 필름(18')에 의한 제2 박막 패턴(22')이 형성된다.
이후, 기판 이송 유닛(12)이 화살표 방향으로 다시 이동되어 제3 기판(20")이 제3 필름 제어 유닛(14")의 하측에 위치되면, 기판 이송 유닛(12)의 작동이 일시적으로 정지됨과 아울러, 제3 필름 제어 유닛(14")이 작동되어 제1 롤에 권취되어 있던 필름의 일정량이 제2 롤에 권취되고, 이로 인해, 제3 및 제4 롤의 사이 구간에는 새로운 필름이 위치된다.
상기 작동이 완료되면, 제3 레이저 어블레이션 유닛(16")이 작동되어 제3 기판(20")상에는 제3 필름 제어 유닛(14")의 제3 및 제4 롤의 사이 구간에 위치되어 있던 필름(18")에 의한 제3 박막 패턴(22")이 형성되며, 이에 따라 제1 내지 제3 기판(20,20',20")에 제1 내지 제3 박막 패턴(22,22',22")의 형성이 모두 완료된다.
한편, 도 1에 점선으로 도시한 바와 같이, 새로운 기판을 기판 이송 유닛(12)에 자동적으로 로딩하는 기판 로딩 유닛(24)과, 패턴 형성이 완료된 기판을 기판 이송 유닛(12)으로부터 자동적으로 언로딩하는 기판 언로딩 유닛(26)을 구비하는 경우에는 필름 제어 유닛 및 레이저 어블레이션 유닛이 계속적으로 작동되어 연속적인 패턴 형성이 가능하게 된다.
상기 기판 로딩 유닛은 수평으로 놓여진 기판이 수직 방향을 따라 이송되도록 한 매거진과, 매거진에 적재된 기판중 최상측의 기판을 기판 이송 유닛(12) 측으로 밀어내는 푸시 로드 등으로 구성할 수 있으며, 기판 언로딩 유닛도 이와 유사하게 구성할 수 있다.
따라서, 상기 실시예에서처럼 3개의 기판에 3종류의 박막 패턴을 형성할 경우, 한종류의 박막 패턴 형성 시간을 "T"라고 하면 전체 박막 패턴 형성에 소요되는 시간은 박막 패턴 형성시간 "(5T/3)"와 필름 밀착에 소요되는 시간 "0.2T"(필름 절단, 세정, 필름 밀착, 제거, 이송 등에 소요되는 시간을 "1T"로 본 경우의 추정치임)를 합한 "1.87T"이다.
따라서, 본 발명의 박막 패턴 형성 시스템은 종래 장치에 비해 약 2배 이상의 생산성 향상이 가능하며, 기판의 로딩 및 언로딩이 연속적으로 이루어지는 경우에는 상기에 비해 더 높은 생산성을 기대할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 장치에 의하면 복수개(N개)의 기판에 동시다발적인 패턴 형성이 가능하게 되어 단위 시간당, 단위 장치당 생산성이 향상된다.
또한, 필름을 절단하거나 제거할 필요성이 제거되어 필름 절단시에 발생되는 파티클로 인한 문제점을 제거할 수 있음과 아울러, 장치의 구성을 콤팩트화 할 수 있으며, 이로 인해 설치 면적을 축소시킬 수 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은이에 한정되는 것이 아니고, 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 박막 패턴 형성 시스템에 의하면, 복수개의 기판에 동시다발적으로 박막 패턴을 형성할 수 있게 되어 단위 장치 및 단위 시간당 생산성을 향상시킬 수 있으며, 대량 생산이 가능하다.
또한, 필름을 절단하기 위한 유닛과 패턴 형성을 완료한 후의 필름을 제거하기 위한 유닛을 제거할 수 있어 장치를 콤팩트하게 구성할 수 있으며, 이로 인해 설치 면적을 축소할 수 있고, 필름 절단시에 발생하는 파티클로 인해 발생되는 쇼트 또는 오픈 등의 불량을 방지할 수 있다.

Claims (9)

  1. 베이스와;
    상기 베이스의 길이 방향을 따라 일렬로 놓여진 복수개의 기판을 이송하도록 상기 베이스에 장치되는 기판 이송 유닛과;
    상기 기판 이송 유닛에 의해 이송되는 각각의 기판에 각기 다른 종류의 필름을 공급하도록 상기 베이스의 길이 방향을 따라 장치되는 복수개의 필름 제어 유닛과;
    상기 필름 제어 유닛에 의해 공급된 필름에 레이저 빔을 조사하여 각각의 기판에 박막 패턴을 형성하도록 상기 필름 제어 유닛의 상측에 설치되는 복수개의 레이저 어블레이션 유닛;
    을 포함하는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 기판 이송 유닛에 기판을 자동적으로 로딩하는 기판 로딩 유닛을 더 포함하는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 기판 이송 유닛의 기판을 자동적으로 언로딩하는 기판 언로딩 유닛을 더 포함하는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  4. 제 1항 내지 제 3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름 제어 유닛은, 필름이권취되어 있는 제1 롤과, 필름 이송 경로를 따라 이송되면서 박막 패턴 형성에 사용된 필름을 권취하도록 상기 제1 롤과 이격된 위치에 제공되는 제2 롤을 포함하는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 롤의 하측에는 필름 이송 경로를 제공하는 제3 및 제4 롤이 장치되는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 필름 제어 유닛은 상기 레이저 어블레이션 유닛의 작동 여부에 따라 단속적으로 구동되는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 기판 이송 유닛은 상기 레이저 어블레이션 유닛의 작동 여부에 따라 단속적으로 구동되는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  8. 제 4항에 있어서, 상기 필름 제어 유닛이 상하 방향으로 이송 가능하게 장치되는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 레이저 어블레이션 유닛이 상하 방향으로 이송 가능하게 장치되는 평판 표시 소자용 박막 패턴 형성 시스템.
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