KR20010050322A - 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 제조 방법 - Google Patents

폴리(p-t-부톡시스티렌)의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액의 물 함량이 5 - 70 ppm의 범위 내에 있게 하여, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 반응 용매와 중합 개시제의 혼합물에 조금씩 첨가하여, p-t-부톡시스티렌을 중합 반응시켜 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 제조하는 방법에 관한 것이며, 본 방법에 따르면, 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 반응 온도 조절을 용이하게 하여 안전하게 제조할 수 있다.

Description

폴리(p-t-부톡시스티렌)의 제조 방법{A METHOD FOR PRODUCING POLY(p-t-BUTOXYSTYRENE)}
본 발명은 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 제조 방법에 관한 것이다.
더욱 구체적으로, 본 발명은 원료인 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액은 특정 범위의 물 함량을 가지고, 반응 용매와 중합 개시제의 혼합물에 첨가되는 것을 특징으로 하는, p-t-부톡시스티렌 중합에 의한 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 제조 방법에 관한 것이다.
폴리(p-t-부톡시스티렌)은 LSI 등의 제조에 사용되는 레지스트의 원료 물질로 공지되어 있다. 최근에는, 좁은 분자량 분포 특히, 약 1.30 이하, 더욱 바람직하게는 1.20 이하의 "중량 평균 분자량(Mw)/평균 분자량 수(Mn)"를 갖는 것이 바람직하다.
폴리(p-t-부톡시스티렌)의 제조 방법의 예로서, JP-A-6-298869 에는 p-t-부톡시스티렌 용액을 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 첨가하는 방법이 개시되어 있다.
그러나, 이 방법에 따르면, 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)이 반드시 얻어지는 것은 아니고, Mw/Mn가 1.30을 초과하는 화합물이 자주 제조된다. 따라서, 이 방법은 산업상의 문제가 있다.
한편, 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 안전하게 얻는 방법으로서, 중합 개시제를 반응 용매 및 p-t-부톡시스티렌의 혼합물에 한번에 첨가하는 방법이 공지되어 있다(JP-A-8-29983). 이 방법에 따라 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 얻을 수 있지만, 중합 개시제를 매우 단시간에 첨가하기 때문에, 발열 반응이 매우 빠르게 진행하고, 갑작스런 열이 발생한다. 그 결과, 온도 조절이 어렵게 되고, 이 반응 역시 산업상의 문제가 있다.
본 발명자들은 상기 종래 방법의 문제점을 해결하고, 갑작스런 열 발생이 없이 안전하게 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 제조하는 방법을 개발하기 위해 광범위하게 연구하였다.
그 결과, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액이 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 첨가되는 방법으로 폴리(p-t-부톡시스티렌)이 제조되는 경우, 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 분자량 분포는, 원료 물질, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액 내에 함유된 물에 의해 불순물로서 영향을 받는 바, 5 - 70 ppm의 특정 범위 내의 물 함량을 갖는 p-t-부톡시스티렌을 사용하면, 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 안전하게 제조할 수 있다는 것을 발견하였다.
본 발명의 목적은 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액의 물 함량이 5 - 70 ppm의 범위 내에 있게 하여, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 반응 용매와 중합 개시제의 혼합물에 조금씩 첨가하여, p-t-부톡시스티렌을 중합 반응시켜 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에서는, p-t-부톡시스티렌의 중합 반응이 반응 용매 내에서 수행된다.
사용되는 반응 용매의 예로는, 벤젠, 톨루엔 및 크실렌과 같은 방향족 탄화수소, 헥산, 헵탄, 시클로헥산 및 메틸시클로헥산과 같은 지방족 탄화수소, 테트라히드로푸란, 1, 4-디옥산 및 에틸렌글리콜 디메틸에테르와 같은 에테르, 및 이들의 둘 이상의 혼합물이 포함된다. 이들 중, 탄화수소 및 에테르의 혼합 용매를 사용하는 것이 바람직하다.
반응 용매의 양은 p-t-부톡시스티렌의 양을 기준으로, 일반적으로 약 1 - 20 중량배, 바람직하게는 2 - 10 중량배이다.
본 발명에서 중합 개시제는 p-t-부톡시스티렌의 중합용으로 사용된다.
중합 개시제로서 예를 들면, 유기 알칼리 금속 화합물이 사용된다. 유기 알칼리 금속 화합물의 예로는, n-부틸리튬, 이차-부틸리튬, 1-부틸리튬, t-부틸리튬, 2-메틸부틸리튬 및 리튬나프탈렌과 같은 유기 리튬 화합물, 및 소디움나프탈렌, 소디움안트라센, 소디움-α-메틸스티렌테트라머 및 소디움비페닐과 같은 유기 소디움 화합물이 포함된다. 이들 중, n-부틸리튬, 이차-부틸리튬 등이 사용되는 것이 바람직하다.
본 발명에 사용되는 유기 알칼리 금속 화합물의 양은 소정의 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 분자량을 기준으로 다양하다. 일반적으로, p-t-부톡시스티렌 모노머 1g 당 약 10-5- 10-3의 양이 바람직하다.
본 발명에서는, p-t-부톡시스티렌 또는 p-t-부톡시스티렌의 용액이 상기된 것과 같은 반응 용매 및 상기된 것과 같은 중합 개시제의 혼합물에 첨가된다.
p-t-부톡시스티렌의 용액을 제조하는데 사용되는 용매의 예로는, 벤젠, 톨루엔 및 크실렌과 같은 방향족 탄화수소, 헥산, 헵탄, 시클로헥산 및 메틸시클로헥산과 같은 지방족 탄화수소, 테트라히드로푸란, 1, 4-디옥산 및 에틸렌글리콜 디메틸에테르와 같은 에테르, 및 이들의 둘 이상의 혼합물이 포함된다. p-t-부톡시스티렌의 용액을 제조하는데 사용되는 용매는 반응 용매와 같거나 다를 수 있다.
p-t-부톡시스티렌의 용액을 제조하는데 사용되는 용매의 양은 p-t-부톡시스티렌의 양을 기준으로 약 0.05 - 10 중량배가 바람직하고, 약 0.1 - 1 중량배가 더욱 바람직하다.
본 발명에 사용되는 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액 내의 물 함량은 5 - 70ppm의 범위 내로 한다. 만일 물 함량이 70ppm을 초과하면, 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 얻기 어렵다. 물 함량의 상한은 60ppm이 바람직하고, 50ppm이 더욱 바람직하다.
한편, 물 함량이 5ppm이하인 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 얻기 위해서는 특정 건조제, 복잡한 정제 공정 등이 필요하다. 따라서, 이와 같이 물 함량이 낮은 것은 유리하지 않다. 물 함량의 하한은 10ppm이 바람직하다.
칼 피셔 방법 등에 따라 물 함량을 용이하게 측정할 수 있다.
일반적으로, p-t-부톡시스티렌은 이의 저장기간 동안 예를 들면, 대기로부터 약간의 물을 흡수하여 함유할 수 있다. 따라서, p-t-부톡시스티렌을 반응 용매 및 중합 개시제에 단독으로 첨가하는 경우, 일반적으로 p-t-부톡시스티렌을 첨가하기 전에 p-t-부톡시스티렌 내의 물 함량을 본 발명에서 정의한 범위로 조절할 필요가 있다. 예를 들면, 감압 하에서 증류하거나, 분자체, 실리카겔과 같은 건조제를 사용하여 건조함으로써 물 함량을 5 - 70ppm의 범위로 조절할 수 있다. 건조제를 사용하여 건조하는 것이 편리하다.
유사하게, p-t-부톡시스티렌의 용액을 제조하는데 사용되는 용매도 예를 들면, 이의 저장기간 동안 대기로부터 자주 물을 흡수하여 약간의 물을 함유한다. 따라서, p-t-부톡시스티렌의 용액을 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 첨가하는 경우, 용액을 첨가하기 전에 p-t-부톡시스티렌 용액 내의 물 함량을 본 발명에서 정의한 범위로 조절할 필요가 자주 있다.
5 - 70 ppm 범위의 물 함량을 갖는 p-t-부톡시스티렌의 용액은 예를 들면, p-t-부톡시스티렌과 용매를 혼합하고 나서, 이 혼합물을 분자체, 실리카겔 등과 같은 건조제로 건조하는 방법, 또는 상기 방법에 따라 건조된 p-t-부톡시스티렌과 분자체, 실리카겔 등과 같은 건조제로 미리 건조한 용매를 혼합하는 방법에 의해 제조될 수 있다.
본 발명에서는, 하나 이상의 반응 용매와 하나 이상의 중합 개시제를 사용하는 p-t-부톡시스티렌의 중합에 의해 폴리(p-t-부톡시스티렌)이 제조된다. 중합 반응은 일반적으로 고진공하에서 또는 질소와 같은 불활성 가스의 분위기에서, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 조금씩 첨가함으로써 수행된다.
일반적으로 반응 온도는 -80 내지 0℃, 바람직하게는 약 -50 내지 0℃, 더욱 바람직하게는 약 -50 내지 -10℃의 범위이다.
본 발명에서는, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액이 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 조금씩 첨가된다. 본 발명의 목적을 달성하기 위해서는 첨가 속도가 크게 변하지 않아야 하고, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액의 많은 부분이 단시간에 첨가되어서는 안된다. p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 첨가하는 기간은 일반적으로 약 10분 내지 약 20시간이고, 바람직하게는 약 15분 내지 약 5시간이다. 첨가하는 동안의 온도가 첨가 완료 후, 약 5분 - 약 5시간 동안 동일하게 유지되는 것이 바람직하다.
물 및 메탄올과 같은 중합 종결제를 소량 첨가함으로써 중합 반응이 종결될 수 있다.
그리고 나서, 반응물에서 용매를 증류해냄으로써 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 분리할 수 있다. 얻어진 폴리(p-t-부톡시스티렌)은 예를 들어, 용매를 증류해낸 후에 메탄올 등에 첨가하여 정제할 수 있다.
분자량 분포인 Mw/Mn 은 겔 투과 크로마토그래피(GPC)에 의해 얻은 폴리스티렌으로 전환된 평균 분자량 수(Mn) 및 폴리스티렌으로 전환된 중량 평균 분자량(Mw)으로부터 계산할 수 있다.
본 발명은 하기 실시예를 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 이들 실시예는 본 발명의 범위를 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다.
실시예 1
대기를 질소로 대체한 1000cm3플라스크에, 분자체로 건조되어 물 함량이 12 ppm인 헥산 587 cm3및 5.9 mmol의 이차-부틸리튬을 첨가하고, -40℃로 냉각하였다. 여기에, 분자체로 건조되어 칼 피셔 방법에 따라 측정된 12ppm의 물 함량을 갖는, 88g의 p-t-부톡시스티렌 모노머 및 6 cm3의 에틸렌글리콜 디메틸에테르의 혼합물을 한 시간에 걸쳐 적가하였다. 첨가 후, -20℃에서 10분 더 중합 반응을 실시하고, 약 3cm3의 메탄올을 첨가하여 반응을 종결하였다. 그리고 나서, 반응 혼합물의 일부를 취하고, 이로부터 용매를 증류해내어 백색 고체 생성물인 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 얻었다. GPC에 의해 측정된 폴리스티렌으로 전환된 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 평균 분자량 수(Mn)는 14,900이었고, 이들의 Mw/Mn은 1.12 이었다.
실시예 2
대기를 질소로 대체한 1000cm3플라스크에, 분자체로 건조되어 물 함량이 7 ppm인 헥산 587 cm3및 5.9 mmol의 이차-부틸리튬을 첨가하고, -40℃로 냉각하였다. 여기에, 분자체로 건조되어 43 ppm의 물 함량을 갖는, 88g의 p-t-부톡시스티렌 모노머 및 6 cm3의 에틸렌글리콜 디메틸에테르의 혼합물을 한 시간에 걸쳐 적가하였다. 첨가 후, -20℃에서 10분 더 중합 반응을 수행하고, 약 3cm3의 메탄올을 첨가하여 반응을 종결하였다. 그리고 나서, 반응 혼합물의 일부를 취하고, 이로부터 용매를 증류해내어 백색 고체 생성물인 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 얻었다. GPC에 의해 측정된 폴리스티렌으로 전환된 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 평균 분자량 수(Mn)는 14,300이었고, 이들의 Mw/Mn은 1.18 이었다.
비교예 1
대기를 질소로 대체한 1000cm3플라스크에, 분자체에 의해 물 함량이 완전히 제거된 헥산 730 cm3및 5.6 mmol의 이차-부틸리튬을 첨가하고, -40℃로 냉각하였다. 여기에, 83ppm의 물 함량을 갖는 95 g의 p-t-부톡시스티렌 모노머 및 6 cm3의 에틸렌글리콜 디메틸에테르의 혼합물을 한 시간에 걸쳐 적가하였다. 첨가 후, -20℃에서 10분 더 중합 반응을 수행하고, 약 2cm3의 메탄올을 첨가하여 반응을 종결하였다. 그리고 나서, 반응 혼합물의 일부를 취하고, 이로부터 용매를 증류해내어 백색 고체 생성물인 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 얻었다. GPC에 의해 측정된 폴리스티렌으로 전환된 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 평균 분자량 수(Mn)는 18,400이었고, 이들의 Mw/Mn은 1.33 이었다.
참조예 1
대기를 질소로 대체한 1000cm3플라스크 내에 있는, 분자체로 물 함량이 완전히 제거되고, 물 함량이 약 6 ppm인 730 cm3의 헥산에, 물 함량이 87 ppm인 95g의 p-t-부톡시스티렌 모노머 및 6 cm3의 에틸렌글리콜 디메틸에테르의 혼합물을 첨가하고, -40℃로 냉각하였다. 여기에, 5.0 mmol의 이차-부틸리튬을 한번에 첨가하였다. 첨가후, -20℃ 내지 -30℃에서 10분 동안 중합 반응을 수행하고, 약 2 cm3의 메탄올을 첨가하여 반응을 종결하였다. 그리고 나서, 반응 혼합물의 일부를 취하고, 이로부터 용매를 증류해내어 백색 고체 생성물인 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 얻었다. GPC에 의해 측정된 폴리스티렌으로 전환된 폴리(p-t-부톡시스티렌)의 평균 분자량 수(Mn)는 18,200이었고, 이들의 Mw/Mn은 1.09 이었다.
본 발명에 따르면, 물 함량이 5 - 70 ppm의 특정 범위인 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 사용하고, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 조금씩 첨가함으로써 좁은 분자량 분포를 갖는 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 안전하게 제조할 수 있다. 또한, 반응 온도가 갑작스럽게 발생하지 않으므로, 반응 온도 조절이 용이하다.

Claims (4)

  1. p-t-부톡시스티렌을 중합 반응시켜 폴리(p-t-부톡시스티렌)을 제조하는 방법에 있어서, p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액의 물 함량을 5 - 70 ppm의 범위 내로 하여 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액을 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 조금씩 첨가시키는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액의 물 함량이 5 - 70 ppm의 범위로 조절되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 중합 반응이 -80 내지 0 ℃ 범위의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 p-t-부톡시스티렌 또는 이의 용액이 반응 용매 및 중합 개시제의 혼합물에 10분 - 10시간에 걸쳐 첨가되는 것을 특징으로 하는 제조 방법.
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