KR20010012596A - 높은 응력을 받을 수 있는 평면 패킹용의 금속 중간 층 및그러한 금속 중간층을 구비한 평면 패킹의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전 측면에서 밀봉된 채로 접촉부(5)에 결합된 금속 격막(7)에 의해 형성되는 제어식 활동성 패킹부(3)를 포함하는 패킹 장치(1)에 관한 것이다. 금속 격막(7)과 대응된 접촉부(5)와의 사이에 형성되는 중공 공간(7a)에는 압력 추진 도관(9)이 연통된다. 격막(7)은 압력 추진 시에 상대적으로 짧은 행정 거리에 걸쳐 탄력적으로 높은 응력을 받아서 접촉부(5)에 밀봉된 채로 결합시키려는 접촉부(11)와 접하게 된다.

Description

높은 응력을 받을 수 있는 평면 패킹용의 금속 중간 층 및 그러한 금속 중간 층을 구비한 평면 패킹의 제조 방법{INTERMEDIATE METALLIC LAYER FOR FLAT PACKING WHICH CAN BE SUBJECTED TO HIGH STRESSES, AND METHOD FOR PRODUCING A FLAT PACKING WITH SUCH INTERMEDIATE LAYER}

서두에 전제된 형식의 진공 패킹 장치는 EP 0 555 764 또는 US-A-5 415 729로부터 공지되어 있다. 그러한 진공 패킹 장치는 금속 벨로우즈 관으로 이루어지는데, 그 금속 벨로우즈 관은 오로지 그러한 목적으로 탄성 재료, 예컨대 테프론과 같은 중합체 또는 탄성 중합체로 형성되어 마련된 부분에 의해 밀봉된 채로 비활동성 제2 패킹부에 맞대어 작용한다.

그러한 형식의 패킹 장치는 다음과 같은 측면에서 종종 단점을 드러낸다:

- 압력에 의해 확장되는 금속 벨로우즈는 종종 형상 불변성이 있는 상대적으로 넓은 그 벨로우즈 단부 면이 탄성 부분을 구비하는 경우에만 그 단부 면을 따라 각각에 필요한 밀봉성을 보장해 준다.

- 압력 해제 시에 벨로우즈의 스프링 작용에 의해 역추진되는 복원력이 상대적으로 작아서 복원된 위치에서 차지하는 벨로우즈의 위치가 상대적으로 일정하지 않다.

- 밀봉 윤곽부를 보다 더 길게 하기 위해서는 비록 전혀 부적절한 것만은 아니지만 벨로우즈에 소요되는 비용이 매우 높다.

- 벨로우즈는 작업 중에 공진 현상을 나타낼 수밖에 없고, 그 결과 발생되는 경우에 따른 고주파 교번 하중으로 인해 벨로우즈의 수명이 급격히 감소된다.

본 발명은 공압 또는 유압에 의해 확장될 수 있는 제1 패킹부 및 제1 패킹부가 밀봉된 채로 맞대어 가압되는 제2 패킹부로 이루어진 청구항 1의 전제부에 따른 진공 패킹 장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 대략 회전체 형태의 로터용 내부 공간이 마련된 스테이터를 구비하고, 로터가 회전 구동 축선에 대해 이격된 다수의 공작물 수납부를 포함하며, 스테이터가 공작물 수납부의 각각의 공작물용으로 내부 공간과 연통하는 다수의 처리 개구부 및/또는 관통 이송 개구부를 구비하고, 로터에 있는 각각의 공작물 수납부가 스테이터에 있는 각각의 개구부에 바로 인접하여 추진되도록 위치될 수 있으며, 공압 또는 유압에 의해 작동될 수 있는 각각의 패킹 장치가 개구부에 인접한 공작물 수납부를 잔여 내부 공간에 대해 밀봉시키는 진공 처리 설비에 관한 것이다.

이하, 본 발명을 첨부 도면에 의거하여 예시적으로 설명하기로 한다. 그러한 첨부 도면 중에서,

도 1은 본 발명에 따른 진공 패킹 장치의 제1 실시에의 개략적인 단면도이고,

도 2는 본 발명에 따른 진공 패킹 장치의 바람직한 실시예를 도 1에 따른 도면에 의거하여 나타낸 도면이며,

도 3은 본 발명에 따른 진공 처리 설비의 바람직한 실시예의 단면도이고,

도 4는 본 발명에 따른 패킹 장치의 또 다른 실시예의 단면도이며,

도 5는 본 발명에 따른 패킹 장치의 가능한 실시예들을 나타낸 평면도이고,

도 6은 도 3에 따른 설비에 있는 공작물 수납부용의 구동 장치의 개략적인 단면도이며,

도 7은 도 3에 따른 설비를 기준으로 하여 공작물 수납부가 2개의 공작물용의 하나 이상의 공작물 캐리어를 구비하도록 또 다르게 구성된 도 6에 따른 구동 장치를 나타낸 도면이고,

도 8은 본 발명에 따른 패킹 장치의 또 다른 실시예의 단면도이다.

본 발명의 목적은 서두에 전제된 유형의 진공 패킹 장치를 전술된 단점과 결부하여 개선시키는 것이다.

그러한 목적은 제1 패킹부가 스프링 탄성의 금속 격막으로 되는 것에 의해 달성된다.

즉, 본 발명은 그러한 격막에 의해 정밀하게 미리 정해질 수 있고 어디에서나 균일하게 분포되는 밀봉 작용이 실현될 수 있고, 복원 상태에서도 미리 정해진 정확한 복원 위치가 실현될 수 있다는 인식에 기초한 것이다. 그것은 예컨대 서로 상대 이동되는 부분을 밀봉할 경우에 격막의 복원 시에 진공 기술상으로 극히 바람직하지 않은 패킹부의 마찰 접촉이 일어나는 것을 걱정할 필요가 없이 매우 짧은 밀봉 행정 거리로 작업하는 것을 가능하게 해준다. 전술된 격막을 마련함으로써 전술된 단점이 간단하고도 효과적으로 배제된다.

또한, 그러한 패킹 장치는 그 구조가 간단하여 경제적이고, 특히 청구항 2에 따른 구조로 구성할 경우에는 정확하게 자기 복원되는 신속한 밀봉 행정을 실현할 수 있는데, 그것은 정밀하게, 그에 따라 매우 짧게 실현될 수 있는 밀봉 행정 거리 때문에도 그러하다.

그것은 특히 본 발명에 따른 바와 같은 설비가 전술된 장점을 실현함으로써 작은 구조 크기에서도 높은 처리 용량을 구현할 수 있도록 해준다.

또한, 본 발명에 따른 패킹 장치는 청구항 3에 따라 선형 및/또는 만곡형 밀봉 윤곽을 실현하는 것이 가능하다.

청구항 4에 따른 조치, 즉 격막이 압력 플러그 소켓에서와 같이 파형부를 구비하도록 형성되는 조치에 의해, 특히 교번 하중으로 인한 격막의 응력이 감소된다.

필요한 밀봉 압력이 확실하고도 균일하게 분포되도록 하기 위해 밀봉 면에 탄성 구조물을 마련해야 하는 것은 더 이상 필요하지 않다. 그것은 청구항 5에 기재된 바와 같이 패킹 장치의 제2 패킹부도 역시 적어도 부분적으로 금속으로 형성되어도 무방하다는 것이다. 그에 의해, 밀봉 상태를 조성할 경우에 밀봉 압력에 따라 금속/금속간의 전이를 제어함으로써 밀봉하려는 부분 사이에 의도적인 열적 단락을 이룰 수 있는 가능성이 부여된다.

또한, 청구항 6에 기재된 바와 같이 전술된 제2 부분의 적어도 일부를 고무 탄성적으로 형성하는 것이 유리할 수 있는데, 그것은 임펄스 충격을 완충시키려는 이유에서 또는 특히 밀봉 면의 팽창 시에 더욱 개선된 신뢰성으로 밀봉을 조성하기 위해 그러한 것이다.

기본적으로, 확장될 수 있는 활동성 패킹부가 밀봉된 채로 맞대어 작용하는 제2 패킹부는 예컨대 제1 패킹부와 동일하게 형성되는 바와 같이 활동적으로, 즉 확장될 수 있도록 형성되거나, 아니면 비활동적으로, 즉 확장될 수 없도록 형성될 수 있다.

또한, 전술된 EP 0 555 764 또는 US 5 415 729에는 앞에서 언급된 유형의 진공 처리 설비가 공지되어 있다. 그러한 진공 처리 설비에서는 공압 또는 유압에 의해 작동될 수 있는 패킹부가 스테이터에 마련되는 반면에, 로터에는 밀봉된 채로 제1 패킹부와 연계되어 작용하는 비활동성 패킹부가 배치된다.

그러한 진공 처리 설비는 특히 압력 추진 도관이 스테이터에 있는 고무 탄성의 패킹 호스로 인도될 수 있다는 점에서, 즉 이동이 없는 하우징부에서만 전적으로 인도된다는 점에서 일견 유리하게 보일 수 있다. 반면에, 전술된 유형의 설비에서는 다수로 마련된 개구부의 전체가 항상 처리 스테이션 또는 이송 스테이션을 장착하고 있는 것이 아니라, 작업하려는 처리 공정에 따라서는 마련된 개구부 중의 하나 또는 거의 대다수가 덮개에 의해 밀봉된 채로 폐쇄되는 것으로 공지되어 있다. 그러나, 전술된 바와 같이 개구부를 사용하지 않을 때에 미리 마련되어 있는 활동성 패킹을 손상시키지 않기 위해서는 그에 수반하여 개구부 각각에 대해 상대적으로 많은 비용이 소요된다. 그 경우, 완비된 압력 분배 시스템도 역시 제대로 활용되지 못한다. 그로 인해, 개개의 패킹 장치로 압력을 분배하려면 상대적으로 긴 도관을 설비 하우징을 따라 분기시키는 것이 필요한데, 특히 신속하게 압력을 형성할 경우에는 상대적으로 큰 각각의 도관의 용적을 감안하지 않으면 안된다.

그러한 측면에서, 본 발명의 또 다른 목적은 전술된 유형의 진공 처리 설비를 근본적으로 개선시키는 것이다. 그러한 목적은 청구항 8의 특징부에 따른 바와 같이 스테이터가 아니라 로터에 있는 각각의 공작물 수납부에 내부 압력에 의해 확장될 수 있는 환형 패킹부가 마련되어 로터에 있는 압력 공급 도관 장치에 접속되도록 함으로써 달성된다.

또한, 전술된 EP 0 555 764에 따른 설비에서는 확장될 수 있는 활동성 패킹부로서 고무 탄성의 패킹 호스가 사용되었다. 그것은 조작하려는 처리 공정이 고도로 순수한 것일 경우에는 가스 확산 및 가스 흡수와 관련하여(진공의 열악화), 그리고 열적 부하 및 그 내구 수명과 관련하여 불리하다. 또한, 그것은 자기 복원된다고 하더라도 사용 시간에 의존하여, 그리고 온도에 의존하여 불확실하게 자기 복원될 뿐이고, 그로 인해 자기 복원성을 적용하는 경우에도 신속한 밀봉 행정이 이루어질 수 없다. 그것은 압력 교번 하중에 관해 저역 필터처럼 작용한다.

그러한 단점은 청구항 9의 특징부에 따른 설비에 의해 해소된다.

바람직한 설비는 청구항 10에 따른 바와 같이 청구항 8에 따른 설비의 장점 및 청구항 9에 따른 설비의 장점을 조합시킴으로써 실현된다.

청구항 11 내지 청구항 18에는 전술된 진공 처리 설비의 변형된 바람직한 구성들의 특징이 기재되어 있다. 그 중에서도 특히 바람직한 실시예로서 특징지워진 청구항 11은 전술된 설비에, 특히 로터측에 진공 패킹 장치가 청구항 1 내지 청구항 7에 특징지워진 바와 같은 격막으로서 형성되어 그러한 장치의 전술된 제반 장점을 수반하는 것을 기재하고 있다.

도 1에 따르면, 본 발명에 따른 패킹 장치는 전 측면에서 밀봉된 채로 접촉부(5)에 결합된 금속 격막(7)에 의해 형성되는 제어식 활동성 패킹부(3)를 포함한다. 금속 격막(7)과 대응된 접촉부(5)와의 사이에 형성되는 중공 공간(7a)에는 가스상 또는 경우에 따른 액상의 작동 매체를 추진하기 위한 압력 추진 도관(9)이 연통된다. 격막(7)은 압력 추진 시에 상대적으로 짧은 행정 거리(점선으로 도시함)에 걸쳐 탄력적으로 높은 응력을 받아서 접촉부(5)에 밀봉된 채로 결합시키려는 접촉부(11)에 접하게 된다. 실질적으로 금속 스프링으로서 형성되는 격막(7)은 압력 해제 시에는 그 스프링 특성으로 인해 미리 정해진 정확한 고정 위치로 복원되도록 만곡된다. 밀봉을 조성할 경우에 격막(7)이 맞대어 가압되는 접촉부(11), 특히 그 접촉부(11)의 일부로서는 금속 부재가 사용되고, 그에 따라 이중 화살표 "Q"로 도시된 바와 같이 제어된 열적 단락이 설정되는데, 그 경우에는 물론 특히 도관(9)으로부터 나오는 압력 하의 작동 매체(그 때에는 액상인 것이 바람직함)의 열 전도를 함께 고려하게 된다. 그로 인해, 밀봉을 조성함과 더불어 접촉부(5)와 접촉부(11)와의 사이에 유포되는 온도 구배의 방향에 따라 의도적인 열류량의 연계가 이루어진다. 그에 의해, 도 1에 개략적으로 도시된 바와 같이 열원(S)이 패킹 장치(1)의 일측에, 예컨대 접촉부(11)에 위치된 경우에 접촉부(11)의 대부분의 열이 도 1에 따른 바와 같이 우측으로 흘러가는 것을 방지하도록 열류를 접촉부(5)로 전향시키는 것이 가능하다: 즉, 제어된 열적 단락이 이루어진다.

도 1에 따른 본 발명의 패킹 장치는 보다 더 길고 실질적으로 임의로 형성되는 밀봉 대상 윤곽부를 따라 인도될 수 있는데, 그것은 특히 본 발명에 따른 설비의 바람직한 실시예의 설명 및 도 5(a) 내지 도 5(d)에 도시된 것과 관련하여서도 알 수 있는 바와 같다.

도 2에는 도 1에 따른 본 발명의 패킹 장치의 바람직한 실시예가 도시되어 있다. 도 2에서도 도 1에서와 동일한 도면 부호를 계속 사용하기로 한다. 그러한 실시예에서는 금속 격막(3')이 대략 W형으로 형성된다. 그 경우, W자의 다리부는 측방 외측으로 만곡되고, W자의 만곡부들은 각각 U형으로 만곡된다. 도관(9)을 통해 압력이 추진될 경우, 격막은 벨로우즈와는 상이하게 W형 횡단면 형태의 곡률 변경을 약간 변경시킨 것에 의해 밀봉된 채로 접촉부(11)에 접하게 된다. 또한, 도 2는 격막(3')의 아래에 놓인 압력 공간(7a)이 측방으로 어떻게 밀봉되는지를 도시하고 있다. 즉, 그것은 고무 탄성의 패킹(13)에 의해 이루어지는데, 격막(3')은 클램핑 기구(15)에 의해 그 고무 탄성의 패킹(13)에 맞대어 클램핑된다.

도 2에는 접촉부(11)이자 그 밀봉 구역에서 적어도 경계 부분에 걸쳐 고무 탄성의 패킹(17)이 마련되고, 다만 관련된 도 1의 구성에 따른 바와 같이 능동 제어되는 열적 단락(Q)을 조성할 수 있는 여지를 측방에 남겨 놓은 또 다른 선택적 방안이 도시되어 있다.

도 4에는 압력 플러그 소켓과 유사하게 특히 격막의 중심(M) 또는 격막의 중심 축선(y)에 대해 대칭으로 배치되는 파형부(4)를 구비한 격막(3')의 또 다른 실시예가 도시되어 있다.

끝으로, 도 8은 도 1에 따른 장치를 기초로 하여 2개의 격막(7₁₁, 7₅)이 밀봉된 채로 제어된 연계 작용을 하는 본 발명에 따른 패킹 장치가 도시되어 있다.

도 3에는 본 발명에 따른 진공 처리 설비의 바람직한 실시예가 단순화된 단면도로 도시되어 있다. 그러한 진공 처리 설비는 스테이터(20)를 포함하고, 그 스테이터(20) 속에서는 로터(22)가 로터 축선(A)을 중심으로 회전 구동된다. 로터(22)는 디스크형 돌출부(24)를 구비한다. 예시적으로 도시된 바와 같이, 로터 디스크(24)의 단부 면(26)에는 중심 구멍을 구비한 디스크형 공작물 및 CD 가공에서 공지된 바와 같이 중심 마스크(34)와 외주 마스크(36)를 구비한 디스크형 공작물을 위한 수납 접시에 의해 각각 형성되는 다수의 공작물 수납부(28)가 분배되어 마련된다. 반경 방향으로 로터(22)에 마련된 공작물 수납부(28) 쪽을 향해 정향된 스테이터(20)에는 다수의 개구부(40)가 마련된다. 그러한 개구부(40) 중의 적어도 일부에는 처리 스테이션 및/또는 에어록 또는 이송 스테이션(42)이 플랜지 결합된다. 도 3에는 타깃(44)과 블라인드(46)를 구비한 스퍼터링 스테이션이 도시되어 있다.

도면 부호 "48"은 로터(22)용의 구동 모터를 개략적으로 나타내고 있다. 로터(22)에는 도 2에 따른 바와 같이 형성된 환형의 패킹 금속 격막(3')이 각각의 공작물 수납부(28)의 둘레에 마련되고, 그 패킹 금속 격막(3')은 도 2에 도시된 바와 같이 측방에 있는 고무 탄성의 밀봉 링(13)과 신축 링(15)에 의해 로터(22)에 고정적으로 클램핑된다.

또한, 로터 디스크(24)에는 공작물 수납부(28)에 부속된 패킹 격막(3')과 대향된 추가의 환형 패킹 격막(3")이 마련되는 것이 바람직한데, 그 패킹 격막(3")은 도 2의 구성에 따라 형성되어 조립된다. 격막(3', 3")은 도 2의 구성에 따른 바와 마찬가지로 부분적으로는 스테이터(20)에 있는 금속 대응 면에, 그리고 부분적으로는 고무 탄성의 패킹부(17)에 각각 작용한다.

로터(22)의 회전 축선(A)에 대해 동축상으로 압력 도관(50)이 로터 디스크(24)의 높이까지 인도되고, 그 곳에서 다시 압력 분배 도관(52)이 반경 방향의 외측으로 패킹 격막(3', 3")의 압력 공간(7'a, 7"a)에 연통된다.

주 도관(50) 및 그에 따른 각각의 분배 추출 도관(52)에 압력이 추진되면, 그와 동시에 각각의 공작물 수납부(28)에서는 로터 디스크의 양쪽으로 스테이터(20)에 대한 패킹(3', 3")이 형성되고, 그에 의해 로터 디스크(24)에 임의의 만곡 하중이 걸리는 것이 방지된다. 그 경우, 개구부(40)로부터 디스크(24)의 배면 쪽으로 디스크(24)를 통해 관통된 개구부(54)를 경유하여 스테이터(20)에 있는 또 다른 각각의 플랜지 개구부(56)까지 진공 기술상으로 폐쇄된 공간이 제공되고, 그에 따라 개구부(56)에 펌프를 플랜지 결합시킴으로써 스테이터(20)와 로터(22)와의 사이의 잔여 용적부로부터 격리된 채로 공작물의 처리에 필요한 각각의 압력이 조성될 수 있다. 그에 의해, 컴팩트한 형식의 설비 구조가 실현된다.

금속 패킹 격막(3', 3")과 스테이터(20)와의 사이의 금속/금속간 접촉으로 인해 공작물 수납부(28)의 측방에 열적으로 절연된 중심 구역이 제공된다.

도 3에 따르면, 로터 디스크(24)의 일측에 각각의 공작물 수납부(28)가 배치된다. 그러한 진공 처리 설비의 실시예에서는 공작물 수납부(28) 및 특히 그에 따른 공작물(32)이 예시적으로 도시된 스테이션(42)에서의 그 처리 중에 고정적으로 유지된다. 로터 디스크(24)의 위쪽에 있는 개구부(40)와 대향되어 추가의 개구부(56)가 스테이터(20)에 마련되는데, 스테이션(42)에서의 공정을 진행할 경우에는 그 개구부(56)에 진공 펌프를 접속하는 것이 필요하고, 다른 경우에는 덮개에 의해 그 개구부(56)를 밀봉된 채로 폐쇄하는 것이 필요하다. 로터 디스크(24)에 있는 관통 개구부(54)는 개구부(56)로부터의 펌프 작용이 개구부의 구역(40) 및 그에 따른 처리 스테이션(42)에 미칠 수 있도록 해준다. 본 발명에 따라 마련되는 패킹(3")에 의해 개구부(56), 공작물 수납부(28), 개구부(40) 및 처리 스테이션(42)에 걸친 진공 기술상으로 격리된 공간이 제공된다.

특정의 경우에는 도 3에 도시된 바와 같이 공작물 수납부(28)에 위치되는 공작물(32)이 스테이션(42)에 의한 처리 중에 회전될 수 있는 것이 요구된다. 그를 위해 마련되는 바람직한 구동 장치는 도 6에 개략적으로 도시되어 있는데, 그 도면에는 알아보기 쉽게 하려고 구동 장치와 관련하여 별로 중요하지 부분이 생략되어 있다. 그러한 실시예에서는 개략적으로 도시된 패킹(3")을 구비하는 로터 디스크(24)에 구동 모터(60)가 플랜지 결합되어 그 구동 회전자(62)에 의해 로터 디스크(24)에 있는 격벽(64)을 통해 디스크(24)에 회전이 가능하게 놓여진 공작물 수납부(28)에 대해 자기적으로 작용을 하게 된다. 로터(62) 및/또는 공작물 수납부(28)에는 자석, 바람직하게는 영구 자석이 배치된다. 도 6에 개략적으로 도시된 바와 같이, 그 실시예에서는 진공 펌프(66)가 디스크(24)에 관해 스테이션(42)과 동일한 쪽에서 스테이터(20)에 마련된다.

그러한 실시예에서는 구동 모터(60)가 각각의 공작물 수납부(28)에 고정적으로 부속되어 로터(22)와 함께 회전된다. 물론, 구동 모터(60)를 고정된 위치로 스테이터(20)에 마련하여 공작물 수납부(28)가 디스크(24)에 의해 스테이션(42) 및 고정된 위치의 구동 모터(60, 62)를 향해 정향된 채로 회전된 경우에만 구동 회전자(62)에 의해 공작물 수납부(28)에 대해 작용하도록 하는 것도 가능하다. 그러한 형식의 공작물 회전 구동 장치는 도 7에서 사용되고 있는데, 그러한 도 7에 따른 실시예에 마련되는 구동 모터(60a 내지 60c)도 역시 각각의 공작물 수납부(28)에 고정적으로 부속되어 로터(22)에 조립될 수 있다.

1개의 공작물(32)을 위한 공작물 수납부(28)가 도시되어 있는 도 3으로부터도 이미 바로 알 수 있는 바와 같이, 공작물 수납부(28)는 물론 2개 이상의 공작물을 수납할 수 있는데, 그 경우에 그 2개 이상의 공작물은 동시적으로 이송되고 처리된다. 도 7에는 공작물 수납부(28)가 그 공작물 수납부(28)에 회전이 가능하도록 지지된 2개 이상의 공작물 캐리어(68)를 포함하는 해당 설비의 일부가 개략적으로 도시되어 있다. 공작물 수납부(28) 자체도 역시 로터 디스크(24)에 대해 회전이 가능하도록 지지되는데, 해당 지지 장치의 도시는 생략되어 있다. 도 7에는 알아보기 쉽게 하려고 공작물 수납부(28)와 공작물 캐리어(68)의 구동을 위해 마련된 장치만이 도시되어 있다. 이미 도 6과 관련하여 제2 실시예로서 설명된 바와 같이, 구동 모터(60a) 및 2개 이상의 구동 모터(60b 또는 60c)는 도시를 생략한 처리 스테이션(42)을 향해 정향된 채로 스테이터(20)에 마련된다. 각각의 모터(60a 내지 60c)는 부속된 구동 회전자(62a 내지 62c)를 구비한다.

해당 공작물 수납부(28)가 로터(22)의 회전 이동에 의해 처리 위치로 회전되면, 구동 회전자(62)는 한편으로 공작물 캐리어(68)에, 그리고 다른 한편으로 공작물 수납부(28) 그 자체에 자기적으로 작용을 미친다. 그것은 공작물 수납부(28)에 대한 구동 회전자(62a)의 작용과 관련하여 도 7에 도시된 바와 같이 직접적으로 이루어지거나, 바람직하게는 로터 디스크에 있는 도 6의 격벽(64)과 유사한 격벽을 경유하여 이루어질 수 있다.

그에 의해, 공작물 수납부(28) 및 그에 연관된 유성(68), 즉 공작물 캐리어가 "Ω" 또는 "ω"에 해당하는 서로 별개로 제어 작동될 수 있는 회전 이동을 하게 된다.

기본적으로, 공작물의 처리 중에 공작물의 회전 이동을 실현함으로써 경우에 따라 구조적 공차로 인해 발생되는 처리 스테이션(42)의 중심 축선 및 공작물 중심의 일탈 또는 그 영향이 보상되는데, 특히 그것은 공작물 표면을 따른 극히 균질한 처리 작용이 매우 중요한 요건이 되는 경우에 불가피하게 편심적으로 배치될 수밖에 없는 도 7에 따른 공작물을 동시에 처리함에 있어서 필요한 것이다.

도 7에 따른 설비의 구성에서도 역시 처리 스테이션이 배치된 쪽과 동일한 로터 디스크(24) 쪽에서 배기 펌핑을 하는 것이 바람직하다.

도 3을 다시 참조하면, 특히 공작물 수납부(28)가 로터 디스크(24)의 양쪽에 배치될 수도 있고 그 경우에 해당 개구부(40)도 역시 양쪽에 배치된 처리 스테이션(42)으로 개방되어 양쪽에서 스테이터에 마련된다는 것을 바로 알 수 있다. 그에 의해, 설비의 처리 용량이 실질적으로 배가될 수 있다.

따라서, 도시되고 설명된 본 발명에 따른 설비에 의하면, 각각의 처리 구역을 진공 기술상으로 격리시킬 수 있는 최적의 패킹 거동이 제공됨과 더불어, 예컨대 교환이 가능한 공작물 수납부(28)에 의해 보다 더 큰 단일의 공작물 디스크 또는 보다 더 작은 다수의 공작물 디스크가 로터 디스크(24)의 한쪽 또는 양쪽에서 동시에 가공될 수 있음으로써 사용상의 융통성이 있는 높은 처리 용량이 성취된다.

본 발명에 따른 설비는 다음의 공작물을 제조 처리하는데 적합하다: 실리콘 웨이퍼, 하드 디스크 또는 CD와 같은 메모리 판(그 경우에 바람직한 것은 광학적으로 재생될 수 있는 메모리 디스크). 기본적으로, 그러한 설비는 특히 다층으로 코팅하려는 공작물을 위한 다수의 진공 공정을 필요로 하는 기타의 공작물 표면 처리에도 적합하다. 그러한 처리는 근본적으로 본 발명에 따른 설비가 진공 기술상으로 매우 확실하게 처리 구역을 설비의 잔여 중공 공간으로부터 격리시키고 각각의 처리 구역도 상호 격리시킬 수 있음으로써 이루어지고, 아울러 설비 구조에 의해 가능한 짧은 행정 시간으로 인해 간단하고도 매우 경제적으로 실현되는 높은 처리 용량이 제공된다.

Claims (20)

1. 공압 또는 유압에 의해 확장될 수 있는 제1 패킹부 및 제1 패킹부가 밀봉된 채로 맞대어 가압되는 제2 패킹부로 이루어지는 진공 패킹 장치에 있어서,

   제1 패킹부(3, 3', 3")는 스프링 탄성의 금속 격막인 것을 특징으로 하는 진공 패킹 장치.
2. 제1항에 있어서, 금속 격막은 자기 복원되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 패킹 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 격막은 스트립 형태로 팽창되고, 그 스트립 평면에서 직선 및/또는 만곡된 형태로 되는 것을 특징으로 하는 진공 패킹 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 격막은 바람직하게는 그 격막의 대칭 중심 또는 대칭 축선에 대해 대칭으로 배치되는 파형부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 패킹 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 제2 패킹부(11, 20)의 적어도 일부는 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 패킹 장치.
6. 제1항 내지 제5항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 제2 패킹부(11, 20)의 적어도 일부는 고무 탄성적인 것을 특징으로 하는 진공 패킹 장치.
7. 제1항 내지 제6항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 격막의 횡단면은 대략 W형으로 형성되고, 그 W자의 측면 다리부는 측방으로 만곡되고 W자의 만곡부들은 U형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 패킹 장치.
8. 대략 회전체 형태의 로터(22)용 내부 공간이 마련된 스테이터(20)를 구비하고, 로터(22)는 회전 구동 축선(A)에 대해 이격된 다수의 공작물 수납부(28)를 포함하며, 스테이터(20)는 공작물 수납부(28)의 각각의 공작물용으로 내부 공간과 연통하는 다수의 처리 개구부 및/또는 관통 이송 개구부(40, 56)를 구비하고, 로터(22)에 있는 각각의 공작물 수납부(28)는 스테이터(20)에 있는 각각의 개구부(40, 56)에 바로 인접하여 추진되도록 위치될 수 있으며, 공압 또는 유압에 의해 작동될 수 있는 각각의 패킹 장치가 개구부(40)에 인접한 공작물 수납부(28)를 잔여 내부 공간에 대해 밀봉시키는 진공 처리 설비에 있어서,

   각각의 공작물 수납부(28)에는 내부 압력에 의해 확장될 수 있는 환형 패킹부가 마련되어 로터(22)에 있는 압력 공급 도관 장치(50, 52)에 접속되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
9. 제8항의 전제부에 따른 진공 처리 설비에 있어서,

   패킹 장치는 공압 또는 유압에 의해 작동될 수 있는 하나 이상의 환형 격막을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
10. 제8항 및 제9항의 조합에 의한 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
11. 제8항 내지 제10항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 패킹부 및 스테이터측에서 대응 작용하는 부분은 각각 제1항 내지 제7항 중의 어느 하나의 항에 따른 진공 처리 설비에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
12. 제8항 내지 제11항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 스테이터 및/또는 로터에 마련되는 모든 확장될 수 있는 패킹부는 로터 축선(A)에 대해 동축상으로 인도되는 공급 도관(50)을 비롯한 로터에 있는 공통의 압력 공급 도관 장치(50, 52)에 접속되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
13. 제8항 내지 제12항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 로터측에 있는 확장될 수 있는 패킹부와 연계되어 작용하고 개구부(40, 56)의 둘레에 환형으로 배치되는 탄성, 바람직하게는 고무 탄성의 비활동성 패킹(17)이 스테이터측에 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
14. 제8항 내지 제13항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 로터(22)는 하나 이상의 단부 면에 공작물 수납부(28)가 마련된 디스크(24)의 형태로 형성되고, 공작물 수납부(28)가 마련된 쪽의 반대쪽에 있는 디스크(24)의 단부 면에는 제어되는 지지 수단이 마련되어 스테이터(20)에 있는 패킹 장치의 패킹 압력을 지지하며, 바람직하게는 제1항 내지 제7항 중의 어느 하나의 항에 따른 추가의 패킹 장치가 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
15. 제14항에 있어서, 로터 디스크(24)의 단부 면의 양쪽에 공작물 수납부(28)가 마련되고, 양쪽으로 스테이터(20)에 처리 개구부 및/또는 관통 이송 개구부가 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
16. 제14항에 있어서, 스테이터에 있는 개구부 중의 적어도 일부는 로터 디스크를 경유하여 대향된 스테이터 펌프 개구부에 마련되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
17. 제8항 내지 제16항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 공작물 수납부 중의 적어도 일부는 회전이 가능한 공작물 캐리어를 포함하고, 모터에 의해 구동되는 구동 장치가 로터에 있는 격벽/격막을 통해 자기적으로 그 공작물 캐리어를 구동하도록 작용하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
18. 제8항 내지 제17항 중의 어느 하나의 항에 있어서, 공작물 수납부는 공작물당 하나 이상씩의 캐리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 설비.
19. 제8항 내지 제18항 중의 어느 하나의 항에 따른 진공 처리 설비를 공작물 디스크용으로 사용하는 것을 특징으로 하는 사용 방법.
20. 제19항에 있어서, 진공 처리 설비를 Si-웨이퍼, 하드 디스크, CD, 바람직하게는 공학적으로 재현될 수 있는 메모리 디스크, 특히 다층으로 코팅하려는 공작물을 위해 다수의 진공 공정에 의해 처리하려는 공작물에 사용하는 것을 특징으로 하는 사용 방법.