JP2001525910A

JP2001525910A - 高負荷を受ける平面パッキンのための金属中間層、およびそのような中間層を備える平面パッキンの製造方法

Info

Publication number: JP2001525910A
Application number: JP54975198A
Authority: JP
Inventors: シェルトラー，ロマン
Original assignee: ユキナス・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト
Priority date: 1997-05-16
Filing date: 1998-04-22
Publication date: 2001-12-11
Also published as: DE59810598D1; ATE257921T1; US6182973B1; TW432175B; WO1998053232A1; US6550776B2; EP0981705A1; EP0981705B1; WO1998053232A8; US20010000934A1; KR20010012596A

Abstract

(57)【要約】パッキン配置（１）が、装置部材（５）と全面的に隙間なく接合される金属薄膜（７）によって形成される制御可能な能動部材（３）を含む。金属薄膜（７）と、それに対応する装置部材（５）との間に形成される中空空間（７ａ）には、圧力衝撃導管（９）が合流する。薄膜（７）は圧力衝撃を受けると、比較的わずかな作動距離でばね状に高圧固定され、部材（５）と密封接合されるべき装置部材（１１）に付着する。

Description

【発明の詳細な説明】高負荷を受ける平面パッキンのための金属中間層、およびそのような中間層を備える平面パッキンの製造方法この発明は、請求項１のプリアンブルによる、気圧または液圧膨張し得る第一のパッキン部材、ならびに第一のパッキン部材がそれに対して隙間なく固定される第二のパッキン部材からなる真空パッキン配置に関するものである。この発明はさらに、回転駆動軸から距離を置いて配置された複数の工作物受容部を含む回転子のために、基本的に回転体形状の内部空間を有する固定子を備える真空処理装置に関するものであり、前記固定子は、工作物受容部の個々の工作物のために、内部空間と連絡する複数の処理および／または連続輸送開口部を有し、さらにこの装置において回転子の工作物受容部はそれぞれ駆動されて固定子の個々の開口部に直接位置決め可能であり、かつ気圧または液圧操作可能なパッキン配置が開口部の工作物受容部を固定子の残りの内部空間に対してそれぞれに密閉する。ＥＰ０５５５７６４ないしＵＳ−Ａ−５４１５７２９によって、始めに述べられたような真空パッキン配置が知られるところとなった。この装置は金属ベロー管からなり、この管は、テフロンのような、例えばポリマ等の弾性材料または伸縮性合成樹脂からなる、特別にそのために備えられた部材を介して、第二の受動パッキン部材に対して密封する働きをする。この方法は以下の観点において不利であることが多い。 ― 圧力膨張した金属ベローにおいて、それ自体形状が安定しており比較的大きなベロー正面に沿ってその都度要求される密閉度が保証されるのは、前記正面に弾性部材が設けられている場合のみであることが多い。 ― 圧力解除の際に、ベローのばね作用によってベローを元に戻す復元力が比較的小さく、引き戻された位置におけるベローの位置が比較的不確かである。 ― 長いパッキン輪郭を実現するためにベローを用いるのは、全く不適切なわけではないが、極めて高コストである。 ― 作動中のベローは共振現象を被るが、これが原因となって生じる、場合によっては高頻度の両振荷重のため、ベローの寿命が大幅に縮まる。この発明の課題は、上記のような真空パッキン配置の前述の欠点を改善することである。この発明によるとこの課題は、第一の部材が弾力性金属薄膜であることによって解決する。したがってこの発明の前提となるのは、そのような薄膜によって、精確に設定可能であり、全体に等分配されるパッキン効果を得ることができ、かつ引き戻された状態においてはあらかじめ精確に設定された戻り位置を占める、という認識である。これによって、パッキン作動距離が極めて小さくとも、互いに動く部材をパッキンする際に、戻り位置にある薄膜において真空技術上極めて望ましくないパッキン部材の摩擦接触を怖れずに操作可能である。前記の薄膜を設けることによって、上述の欠点は容易かつ効率的に除去される。さらにそのようなパッキン配置は、その構造が経済的に見て簡素であり、かつ、特に請求項２によると、作動距離をまた精確に、したがって極めて短くできるため、精確に自動復元する高速パッキンサイクルを実現することができる。これによって、特にこの発明によるような装置において、上記の利点を実現することができ、したがって小さな構造で高処理装入量を実現することができる。さらにこの発明のパッキン配置によって、請求項３に記載の直線および／または湾曲パッキン輪郭を実現することができる。請求項４に記載の措置によって、すなわちベローにおけるように薄膜に溝を設けることによって、特に薄膜における両振荷重を減ずることができる。さらに、所望のパッキン圧力を確実かつ均一に分配するために、パッキン表面に弾性形成物を設ける必要がない。これによって、請求項５によると、パッキン配置の第二の部材をも少なくとも部分的に金属で形成することが可能となる。このようにして、密閉状態を作り出す際パッキン圧力に応じて、制御可能な金属／金属移行部を提供し、したがって密閉さるべき両部材間において熱的短絡路を適切に発生させることができる。請求項３によると、衝撃を減衰するために、あるいは特に広いパッキン表面にいてパッキンの信頼性をさらに一層高めるために、前記両部材の内の第二の部材の少なくとも一部を同様にゴム弾性を有するよう形成するのが特に有利であり得る。基本的には、膨張可能な能動パッキン部材がそれに対して働きかける第二のパッキン部材が同様に能動的であること、すなわち膨張可能であることもあり得、したがって例えば第一の部材と同様に形成されることも、あるいは受動部材として、すなわち膨張しない部材として形成されることもあり得る。さらに前掲のＥＰ０５５５７６４ないしＵＳ５４１５７２９によって、上記のような真空処理装置が知られるところとなった。ここでは、気圧ないし液圧制御可能なパッキン部材が固定子に設けられ、一方、回転子には第一の部材と隙間なく作用結合する受動パッキン部材が配置される。これは、圧力衝撃導管が固定子、すなわち不動のハウジング部材においてのみゴム弾性パッキン導管に繋がり得るので、一見有利に見えるかもしれない。しかしながら他方では、上記のような装置においては、設けられた複数の開口部の全てに常に処理ステーションないし輸送ステーションが装着されるわけではなく、実施される個々の処理プロセスにしたがって、あらかじめ設けられた一つ、または大抵は複数の開口部がぴったりと蓋で閉じられることが知られている。したがって、前記の利用されない開口部にさしあたり設けられた能動パッキンに損傷を与えないためには、それぞれ極めて多額の経費がかかる。またそのような場合には、設置される圧力分配システム全体が上手く利用され得ない。個々のパッキン配置に圧力を分配するために、装置のハウジングに沿って分岐する、比較的長い導管が必要な場合、考慮されねばならないのは、特に急激に圧力が形成される際のそれぞれの比較的大きな導管容積である。この観点からこの発明はさらに、上述のような真空装置を本質的に改善することを課題とする。これは、請求項８の特徴によると、固定子にではなく、回転子の個々の工作物受容部に、その周囲を囲む、内圧膨張可能なパッキン部材が設けられ、回転子の圧力供給管配置と接続されることによって、達成される。さらに、前記ＥＰ０５５５７６４の装置における膨張可能な能動パッキン部材とは、ゴム弾性パッキン導管を指す。これは、特にガス拡散およびガス吸収（真空の悪化）と全く関わりなく実施されるべき処理プロセスにおいて、熱負荷能力およびその耐用年数の点で不利である。さらに、これが使用される場合、その自己復元力は全く不確定で、利用期間および温度に依存し、したがって自己復元力を利用する再には高速パッキンサイクルの実現は不可能である。この部材は圧力両振動荷重に関して、ローパスフィルタのように作用する。これらの欠点は請求項９に記載の特徴を備える装置によって解決する。好ましくは請求項１０に記載の装置が提案されるが、ここでは請求項８の装置の利点と、請求項９の装置の利点とが組み合わされて作用する。請求項１１から１８では、前記真空処理装置の好ましい実施形態が特定される。請求項１１の特に好ましい実施形態においては、前記装置の真空パッキン配置の特に回転子側が、請求項１から７に特定されるように、薄膜として形成され、この配置の前記利点を全て備える。次にこの発明が例として図面を参考に説明される。図において、図１は、この発明による真空パッキン配置の第一の実施形例の概略断面図である。図２は、図１に基づく、この発明による真空パッキン配置の好ましい実施形態である。図３は、この発明による真空処理装置の好ましい実施形態の縦断面図である。図４は、さらなる実施形態におけるこの発明のパッキン配置である。図５は、この発明のパッキン配置の一実施形態の上面図である。図６は、図３の装置における、工作物受容部のための駆動配置の概略図である。図７は、工作物受容部が二つの工作物のための工作物坦体を少なくとも有する、基本的には図３の装置のためにさらに開発された、図６の駆動配置を示す。図８は、この発明によるパッキン配置のさらなる実施形態を示す。図１によると、この発明のパッキン配置１は、装置部材５の内の一つと全面的に隙間無く接合された金属薄膜７からなる制御ないし能動部材３を含む。金属薄膜７と、それに対応する装置部材５との間に形成される空洞７ａには、ガス形状の、あるいは場合によっては液状の操作媒体のための圧力衝撃導管９が合流する。圧力衝撃が加わると薄膜７は比較的わずかな作動距離を介して（破線で図示）ばね状に高圧固定され、部材５と隙間無く接合されるべき装置部材１１に付着する。基本的には金属ばねとして形成される薄膜７は、圧力解除されるとそのばね特性ゆえに、あらかじめ精確に設定された静止位置に反り返る。装置部材１１および特にこの部材の、密閉状態の際に薄膜７が押し当てられる部分が金属部材である場合、双方向矢印Ｑで示されたように、制御された熱的短絡路ないし熱短路が生じるが、この場合また特に考慮せねばならないのは、圧力下に置かれた、導管９からの好ましくは液状の操作媒体の熱伝導である。これによって、密閉状態が得られる上に、部材５および１１の間の温度勾配の方向に応じて適切な熱流接続が生じる。これによって、図１に概略的に示されたように、熱源Ｓがパッキン配置１の一方の側、例えば部材１１側にある場合、熱流を部材５の方向に変えることが可能であり、その結果、図１の装置部材１１における熱の大勢が右に向かって流れ出るのを防ぐことができる。このようにして、制御された熱短絡が得られる。図１のこの発明によるパッキン配置は、実際には密閉されるべき任意の形状の長手方向の輪郭に沿って配置され得るが、その様子は特にまたこの発明の装置の好ましい実施例の説明との関連で明らかとなり、かつ図５（ａ）から（ｄ）に例が図示される。図２には、図１のこの発明によるパッキン配置の好ましい実施例が示される。基本的には図１と同じ参照番号が用いられる。金属薄膜３’はここでは基本的にＷ形状に形成される。Ｗの脚部は横方向に真っ直ぐにされ、かつＷの湾曲部分はそれぞれＵ形状である。導管９からの圧力衝撃を受けると、ベローの場合とは異なり、Ｗ断面形状の曲線のわずかな変化により薄膜が装置部材１１に隙間なく付着する。この図面にはまた、例えば薄膜３’の下にある圧力空間７ａの側面密閉がどのようにして得られるかが、すなわち、薄膜３’が固定具１５によってそれに対して固定されるゴム弾性パッキン１３によってどのよに側面密閉されるかが、示される。図２にさらなる選択肢として示されたのは、装置部材１１およびそのパッキン領域の少なくとも限られたセグメント上にゴム弾性パッキン１７が横方向に設けられるというものであるが、これに関連する図１の実施例のとおり、能動制御熱短絡路を得る可能性は保持される。図４には、ベローのように溝４が設けられ、しかも薄膜の中央Ｍまたは薄膜の中心軸ｙに対して左右対称に配置された、薄膜３’のさらなる実施例が示される。図８は、図１の配置に基づいて、二つの薄膜７₁₁および７_Sが制御されて隙間なく作用接続する、この発明によるパッキン配置を最後に示す。図３には、この発明による真空処理装置の好ましい実施形態の概略縦断面図が示される。この装置は固定子２０を含み、回転軸Ａを有する回転子２２がその中で駆動回転する。回転子２２は円盤形状の突出部２４を有する。回転円盤２４の一方の正面２６には複数の工作物受容部２８が分散して設けられ、これは例えば図示されたように、例えば中央開口部を有し、かつ例えばＣＤ加工に関して周知の中央マスク３４および周辺マスク３６を有する円板形状の工作物３２のための受容皿３０によってそれぞれ形成される。固定子２０には、回転子２２に設けられた工作物受容部２８に向けて放射状に位置調整された複数の開口部４０が設けられる。これらの開口部４０の少なくとも一部には処理ステーションおよび／またはゲートないし輸送ステーション４２がフランジを介して接合される。図３には、ターゲット４４とオリフィス４６とを有するスパッタステーションが示される。４８は回転子２２のための駆動モータを概略的に示す。回転子２２には、各工作物受容部２８の周りに、図２のパッキン金属薄膜３’がそれを取り囲むように設けられ、この薄膜は図２に示されたように、横方向のゴム弾性パッキンリング１３および固定リング１５を介して回転子２２に隙間なくしっかりと固定される。さらに好ましいことには、工作物受容部２８に属するパッキン薄膜３’に相対して、図２の実施例のように形成され装着された、リング形状で周りを取り囲むもう一つのパッキン薄膜３”が固定子円盤２４に設けられる。同様に図２の実施例にしたがって、パッキン薄膜３’および３”はそれぞれ、一部が固定子２０の両金属表面に、一部がゴム弾性パッキン部材１７に作用する。回転子２２の回転軸Ａと同軸で、圧力導管５０が回転子円盤２４の高さにまで達し、そこから圧力分配導管５２が外側に向けて放射状に延び、パッキン薄膜３ ’，３”の圧力空間７’ａ，７”ａへと合流する。幹線導管５０の、したがってそれぞれの分配分岐導管５２の圧力衝撃によって、それぞれの工作物受容部２８において同時に、回転子円盤２４の両側において固定子２０に対するパッキン３’，３”が得られ、これによって回転子皿２４における曲げ負荷が一切妨げられる。この際、開口部４０から円盤２４を通る開口部５４を介して円盤２４の裏側に至り、さらに固定子２０のそれぞれのさらなるフランジ開口部５６に達する、真空技術上閉じた空間が得られ、その結果、ポンプが開口部５６にフランジを介して接合されることによって、固定子２０と回転子２２のその他の容積からは隔絶されて、工作物にそれぞれ必要な処理圧力を得ることができる。こうして、コンパクトな構造の装置を得ることができる。金属パッキン薄膜３’，３”と固定子２０との間の金属／金属接触によってさらに、工作物受容部２８の側に熱絶縁された中央区域が得られる。図３によると、回転子円盤２４のそれぞれ一方の側に工作物受容部２８が配置される。装置のこの実施例においては、工作物受容部２８と、したがって特に工作物３２は、工作物が加工される間、例えば図示されたステーション４２において固定保持される。回転子円盤２４の上の開口部４０に相対してさらなる開口部５６が固定子２０に設けられ、ステーション４２の工程において必要な場合にはここに、通常はぴったりと蓋で閉ざされる真空ポンプが接続される。回転子円盤２４を貫通する開口部５４によって、開口部５６から開口部領域４０内への、したがって処理ステーション４２内へのポンプの介入が可能となる。この発明によって設けられるパッキン３”によって、開口部５６、工作物受容部２８、開口部４０および処理ステーション４２にまたがる真空技術上閉ざされた空間が得られる。図３に示されたように位置決めされた工作物３２を工作物受容部２８において、ステーション４２による処理の間回転させることは、ある場合には望ましい。このための好ましい駆動装置が図６に概略的に示されるが、駆動装置に関して重要でない部分は簡明を期するために図示されない。この実施例においては、概略的に示されたパッキン３”を有する回転子円盤２４に駆動モータ６０がフランジを介して接合され、このモータは、回転子円盤２４の隔壁６４を介して、円盤２４上に旋回可能なように載置された工作物受容部２８に、駆動回転子６２の磁気によって働きかける。回転子６２および／または工作物受容部２８には磁石が、好ましくは永久磁石が配置される。図６に概略が示されたように、この実施形態においては固定子２０の、円盤２４に対してステーション４２と同じ側に真空ポンプ６６が設けられる。この実施形態においては、それぞれの工作物受容部２８に固定配備された駆動モータ６０が回転子２２とともに旋回する。当然、駆動モータ６０を固定子２０に据え付け、工作物受容部２８が円盤２４によって回転し、ステーション４２および据え付けられた駆動モータ６０／６２に合わせて位置調整された場合にのみ、駆動回転子６２が工作物受容部２８に働きかけるようにすることもできる。図７ではこのような種類の工作物旋回駆動装置が用いられるが、図７の実施例においても、そこに設けられる駆動モータ６０ａから６０ｃはそれぞれの工作物受容部２８に固定配備されて、回転子２２に装着され得る。一つの工作物３２につき一つの工作物受容部２８が示される図３から容易に理解されるように、工作物受容部２８は当然二つ以上の工作物を受容することもでき、その場合これらの工作物は同時に輸送されて処理される。図７には、そのような装置の一部が概略的に示されるが、ここでは工作物受容部２８が少なくとも二つの工作物坦体６８を含み、これらの坦体は工作物受容部２８において旋回載置される。同様に工作物受容部２８自体、回転子円盤２４に対して旋回載置されるが、対応する軸受けは図示されない。この図においては簡明を期するために、工作物受容部２８および工作物坦体６８の駆動装置のために設けられた配置のみが概略的に示される。既に第二の可能性として図６との関連で説明されたように、ここでは固定子２０に、ここには図示されないそれぞれの処理ステーション４２に合わせて、駆動モータ６０ａならびに少なくとも二つの駆動モータ６０ｂないし６０ｃが設けられる。モータ６０ａから６０ｃのそれぞれは対応する駆動回転子６２ａから６２ｃを有する。そのような工作物受容部２８が回転子２２の旋回運動によって処理位置に旋回すると、駆動回転子６２が磁気によって一方では工作物坦体６８に、他方では工作物受容部２８自体に働きかける。その際これは、駆動回転子６２ａの工作物受容部２８への働きかけに関して図７に示されたように、直接行われるが、あるいは好ましくは、回転子円盤２４の図６における隔壁６４に類似した、隔壁を介して行われる。したがって、工作物受容部２８およびこれに関連する遊星６８、すなわち工作物坦体は、互いに関わりなく制御可能な回転によってΩないしω変位される。基本的には、処理中に工作物を旋回運動させることによって、場合によっては設計上の公差によって規定される、処理ステーション４２の中央軸ないしその作用の偏差、および工作物の中心の偏差が相殺されるが、これは必然的に偏心配置される図７の工作物の同時処理において、工作物表面に沿った極めて均質な処理効果が非常に重要である限り、特に必要である。図７の実施形態において、回転子円盤２４の処理ステーションが配置されるのと同じ側においてポンプ排出されるのが好ましい。図３に戻ると、特に容易に理解されるように、工作物受容部２８はまた回転子円盤２４の両側に配置され得、その場合には固定子の両側に、両側に配置された処理ステーション４２に対応する開口部４０が設けられる。これによって、装置の挿入量を実質二倍にすることが可能となる。したがって、図を用いて説明されたこの発明の装置によって、それぞれの処理区域において真空技術上の隔絶を可能にする最適パッキン環境の他に、例えば交換可能な工作物受容部２８によって個々のより大きな円板状工作物または複数のより小さな工作物が、回転子円盤２４の片側または両側で同時加工され得ることによって、高度の利用柔軟性を達成することができる。この発明の装置は特に以下の工作物を製造処理するのに適している。すなわち、シリコンウェハ、ハードディスクまたはＣＤのような記憶プレート、好ましくは再書き込み可能な光記憶ディスク、さらに基本的には、複数の真空プロセスを必要とする工作物表面処理に、特に多層被覆される工作物に適している。これは主にこの装置が真空技術上極めて確実に、処理領域をその他の装置空洞に対して、また個々の処理領域に対して隔離できるためであり、さらにその装置構造によって短いサイクル時間が実現可能であるため、高挿入量が容易に、したがって極めて経済的に達成される。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１１年７月６日（１９９９．７．６）【補正内容】基本的にＷ形状に形成されることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の配置８．― 回転駆動軸（Ａ）から距離を置かれた複数の工作物受容部（２８）を含む回転子（２２）のための、 ― 基本的に回転体形状の内部空間を有する固定子を備え、 ― 前記固定子（２０）は、前記内部空間と連絡する複数の処理および／または連続輸送開口部（４０，５６）を工作物受容部（２８）のそれぞれの工作物について有し、かつ ― 回転子（２２）の工作物受容部（２８）のそれぞれが、駆動されて固定子の個々の開口部（４０，５６）に直接位置決め可能であり、さらに ― 気圧または液圧作動可能なパッキン配置がそれぞれ、開口部（４０）における工作物受容部（２８）を固定子（２０）の残りの内部空間に対して密封する、真空処理装置であって、個々の工作物受容部（２８）に、回転子（２２）の圧力供給導管配置（５０，５２）と接続される、少なくとも一つの内圧膨張可能な回転式パッキン部材が設けられることを特徴とする、装置。９．― 回転駆動軸（Ａ）から距離を置かれた複数の工作物受容部（２８）を含む回転子（２２）のための、 ― 基本的に回転体形状の内部空間を有する固定子を備え、 ― 前記固定子（２０）は、前記内部空間と連絡する複数の処理および／または連続輸送開口部（４０，５６）を工作物受容部（２８）のそれぞれの工作物について有し、かつ ― 回転子（２２）の工作物受容部（２８）のそれぞれが、駆動されて固定子の個々の開口部（４０，５６）に直接位置決め可能であり、さらに ― 気圧または液圧作動可能なパッキン配置がそれぞれ、開口部における工作物受容部（２８）を固定子の残りの内部空間に対して密閉する、真空処理装置であって、前記真空パッキン配置が、パッキン表面を形成する内壁を備え、液圧または気圧媒体によって衝撃を受け得る、液圧または気圧膨張可能な、媒体を漏らさない空間を含み、かつ前記内壁が弾性金属薄膜であることを特徴とする、装置。１０．個々の工作物受容部（２８）に、固定子に向き合ってパッキン表面を形成する内壁を備え、液圧または気圧媒体によって衝撃を受け得る、液圧または気圧膨張可能な、媒体を漏らさない環状空間が設けられ、前記内壁は弾性金属薄膜を含むことを特徴とする、請求項９に記載の真空処理装置。１１．パッキン部材および固定子の側で反作用する部材とがそれぞれ、請求項１から７のいずれかに記載の真空パッキン配置を形成することを特徴とする、請求項８から１０のいずれかに記載の真空処理装置。１２．固定子および／または回転子に設置される膨張可能な全てのパッキン部材が、回転子において回転駆動軸（Ａ）と同軸の供給導管（５０）を含む共通の圧力供給導管配置（５０，５２）と接続されることを特徴とする、請求項８から１１のいずれかに記載の装置。１３．回転子側において膨張可能なパッキン部材と作用接続して、開口部（４０，５６）の周りを囲む弾性の、好ましくはゴム弾性を有する、好ましくは受動パッキン（１７）が固定子側に設けられることを特徴とする、請求項８から１２のいずれかに記載の装置。１４．回転子（２２）が基本的に円盤形状（２４）に形成され、工作物受容部（２８）が円盤（２４）の少なくとも一つの正面側表面にあり、かつ工作物受容部（２８）と反対側の円盤（２４）の正面には制御可能な支持手段が設けられて固定子（２０）におけるパッキン配置のパッキン圧力を支持し、好ましくは請求項１から７のいずれかに記載のさらなるパッキン配置が設けられることを特徴とする、請求項８から１３のいずれかに記載の装置。１５．回転子円盤（２４）の両側表面に工作物受容部（２８）が設けられ、かつ固定子（２０）の両側に処理および／または連続輸送開口部が設けられることを特徴する、請求項１４に記載の装置。１６．回転子円盤上の固定子開口部の少なくとも一部に相対して、固定子にポンプ開口部が設けられることを特徴とする、請求項１４に記載の装置。１７．工作物受容部の少なくとも一部が回転可能な工作物坦体を含み、かつモータ駆動される駆動配置が回転子の分離薄膜を介して、前記工作物坦体を磁気によって駆動するよう作用することを特徴とする、請求項８から１６のいずれかに記載の装置。１８．工作物受容部が一つの工作物につきそれぞれ一つまたは複数の坦体を含むことを特徴とする、請求項８から１７のいずれかに記載の装置。１９．請求項８から１８のいずれかに記載の装置の円板状工作物への利用。２０．以下の工作物、すなわちＳｉウェハ、ハードディスク、ＣＤ、好ましくは再書き込み可能な光学記憶ディスク、複数の真空プロセスによって処理されるべき工作物、特に多層被覆されるべき工作物のための、請求項１９に記載の利用。【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１１年８月９日（１９９９．８．９）【補正内容】請求の範囲１．第一および第二の部材（５，１１）からなり、第一の部材（５）は、第二の部材（１１）に向き合いパッキン表面を形成する、第一の部材（５）に固定された内壁（３，３’）を備え、液圧または気圧媒体によって衝撃を受け得る、液圧または気圧膨張可能な、媒体を漏らさない空間（７ａ）を含む、真空パッキン配置であって、前記内壁が弾性金属薄膜であることを特徴とする、配置。２．金属薄膜が自動復元するように形成されることを特徴とする、請求項１に記載の真空パッキン配置。３．薄膜が帯状に延び、帯平面において直線であり、かつ／または湾曲していることを特徴とする、請求項１または２に記載の真空パッキン配置。４．好ましくは薄膜の対称中心点または対称軸に関して対称に配置されるみぞが薄膜に設けられることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の真空パッキン配置。５．第二の部材（１１，２０）の少なくとも一部が金属からなることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の配置。６．第二の部材（１１，２０）の少なくとも一部がゴム弾性を有することを特徴とする、請求項１から５のいずれかに記載の配置。７．薄膜の断面が、側面方向に折れ曲がった側面脚部とＵ形状の曲折とを備える、

Claims

【特許請求の範囲】１．気圧または液圧膨張可能な第一のパッキン部材と、第一のパッキン部材がそれに対して固定される第二のパッキン部材とからなる真空パッキン配置であって、第一の部材（３，３’，３”）が弾性金属薄膜であることを特徴とする、配置。２．金属薄膜が自動復元するように形成されることを特徴とする、請求項１に記載の真空パッキン配置。３．薄膜が帯状に延び、帯平面において直線であり、かつ／または湾曲していることを特徴とする、請求項１または２に記載の真空パッキン配置。４．好ましくは薄膜の対称中心点または対称軸に関して対称に配置されるみぞが薄膜に設けられることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の真空パッキン配置。５．第二の部材（１１，２０）の少なくとも一部が金属からなることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の配置。６．第二の部材（１１，２０）の少なくとも一部がゴム弾性を有することを特徴とする、請求項１から５のいずれかに記載の配置。７．薄膜の断面が、側面方向に折れ曲がった側面脚部とＵ形状の曲折とを備える、基本的にＷ形状に形成されることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の真空パッキン配置８．― 回転駆動軸（Ａ）から距離を置かれた複数の工作物受容部（２８）を含む回転子（２２）のための、 ― 基本的に回転体形状の内部空間を有する固定子を備え、 ― 前記固定子（２０）は、前記内部空間と連絡する複数の処理および／または連続輸送開口部（４０，５６）を工作物受容部（２８）のそれぞれの工作物について有し、かつ ― 回転子（２２）の工作物受容部（２８）のそれぞれが、駆動されて固定子の個々の開口部（４０，５６）に直接位置決め可能であり、さらに ― 気圧または液圧作動可能なパッキン配置がそれぞれ、開口部（４０）における工作物受容部（２８）を固定子（２０）の残りの内部空間に対して密封する、真空処理装置であって、個々の工作物受容部（２８）に、回転子（２２）の圧力供給導管配置（５０，５２）と接続される、少なくとも一つの内圧膨張可能な回転式パッキン部材が設けられることを特徴とする、装置。９．パッキン配置が少なくとも一つの気圧または液圧作動可能な環状金属被膜を含むことを特徴とする、請求項８のプリアンブルに記載の真空処理装置。１０．請求項８および９に記載の真空処理装置。１１．パッキン部材および固定子の側で反作用する部材とがそれぞれ、請求項１から７のいずれかに記載の真空パッキン配置を形成することを特徴とする、請求項８から１０のいずれかに記載の真空処理装置。１２．固定子および／または回転子に設置される膨張可能な全てのパッキン部材が、回転子において回転駆動軸（Ａ）と同軸の供給導管（５０）を含む共通の圧力供給導管配置（５０，５２）と接続されることを特徴とする、請求項８から１１のいずれかに記載の装置。１３．回転子側において膨張可能なパッキン部材と作用接続して、開口部（４０，５６）の周りを囲む弾性の、好ましくはゴム弾性を有する、好ましくは受動パッキン（１７）が固定子側に設けられることを特徴とする、請求項８から１２のいずれかに記載の装置。１４．回転子（２２）が基本的に円盤形状（２４）に形成され、工作物受容部（２８）が円盤（２４）の少なくとも一つの正面側表面にあり、かつ工作物受容部（２８）と反対側の円盤（２４）の正面には制御可能な支持手段が設けられて固定子（２０）におけるパッキン配置のパッキン圧力を支持し、好ましくは請求項１から７のいずれかに記載のさらなるパッキン配置が設けられることを特徴とする、請求項８から１３のいずれかに記載の装置。１５．回転子円盤（２４）の両側表面に工作物受容部（２８）が設けられ、かつ固定子（２０）の両側に処理および／または連続輸送開口部が設けられることを特徴する、請求項１４に記載の装置。１６．回転子円盤上の固定子開口部の少なくとも一部に相対して、固定子にポンプ開口部が設けられることを特徴とする、請求項１４に記載の装置。１７．工作物受容部の少なくとも一部が回転可能な工作物坦体を含み、かつモータ駆動される駆動配置が回転子の分離薄膜を介して、前記工作物坦体を磁気によって駆動するよう作用することを特徴とする、請求項８から１６のいずれかに記載の装置。１８．工作物受容部が一つの工作物につきそれぞれ一つまたは複数の坦体を含むことを特徴とする、請求項８から１７のいずれかに記載の装置。１９．請求項８から１８のいずれかに記載の装置の円板状工作物への利用。２０．以下の工作物、すなわちＳｉウェハ、ハードディスク、ＣＤ、好ましくは再書き込み可能な光学記憶ディスク、複数の真空プロセスによって処理されるべき工作物、特に多層被覆されるべき工作物のための、請求項１９に記載の利用。