JP2001506700A5

JP2001506700A5 -

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Publication number: JP2001506700A5
Application number: JP1998528188A
Authority: JP
Filing date: 1997-12-23
Publication date: 2010-11-04
Anticipated expiration: 2017-12-23

Description

【書類名】明細書
【発明の名称】真空処理装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）軸（Ａ）を中心に略円筒状の内部壁を規定する外部ケーシング（１）と、
（ｂ）円筒状の内部壁の少なくとも一つの大円（Ｋ）に沿って前記外部ケーシング（１）に配置された、そのつど一つの工作物（５）を処理するための、または連続輸送するための少なくとも二つの開口部（３）と、
（ｃ）開口部（３）と接続された、それぞれ一つの処理室、輸送室、またはロードロック室（１４）と、
（ｄ）略円筒状の外壁を規定し、かつ外部ケーシング（１）の内壁とともに、略円筒状の円環状間隙である円環形状輸送室を画定する、内部ケーシングと、
（ｅ）軸（Ａ）を中心に回転駆動されて、円環形状輸送室（９）内に格納される、円筒形状で外側および内側表面を有する工作物キャリヤ回転装置（１１）とを備え、
前記工作物キャリヤ回転装置（１１）は、前記工作物キャリヤ回転装置の大円に沿って配置された２つの開口部を有し、
前記工作物キャリヤ回転装置（１１）は、前記工作物キャリヤ回転装置の前記２つの開口部において、前記工作物キャリヤ回転装置の前記外側表面に隣接する工作物の各々のために、前記２つの開口部の各々に入るように動くことができる皿状の工作物キャリヤを有し、
さらに、
（ｆ）内部ケーシング（７）にあって前記外側ケーシングの中で開口部（３）に合わせられた複数の送り装置（１６，１８）を備え、前記複数の送り装置（１６，１８）は、工作物キャリヤ回転装置（１１）の半径方向に駆動されて円環形状輸送室（９）内において前記工作物キャリヤ回転装置上の前記工作物キャリヤに作用する駆動体（１８）を含む、
真空処理装置であって、前記複数の送り装置（１６，１８）の各々がそれぞれ独自の駆動装置（１６）を有することを特徴とする、真空処理装置。
【請求項２】
前記送り装置が流体駆動されることを特徴とする、請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記工作物キャリヤは、前記送り装置の一つによって前記外側ケーシングの方へ押し付けられたときに前記外側ケーシングにある前記開口部を封止することができるものである、請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記駆動体が、それぞれ少なくとも一つの、圧力衝撃を与え得る弾性ベロー（２０）によって形成されることを特徴とする、請求項１に記載の真空処理装置。
【請求項５】
工作物を多層システムで被覆するための、請求項１から４のいずれかに記載の真空処理装置の利用方法。
【請求項６】
記憶ディスクを製造するための、請求項１から４のいずれかに記載の真空処理装置の利用方法。
【請求項７】
ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ、ＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phase-Change-Disks）およびＲＤ（Recordable Disks）のような再収録可能な記憶ディスクを処理するための、請求項６に記載の利用方法。
【請求項８】
半導体ウエハを処理するための、請求項１から４のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項９】
記憶ディスクを処理するための、請求項７に記載の利用方法。
【請求項１０】
光学記憶ディスクを処理するための、請求項７に記載の利用方法。
【請求項１１】
円筒形状の表面を有する壁と、
前記円筒形状の表面に位置づけられた少なくとも一つの開口部とを備え、
前記少なくとも一つの開口部は、少なくとも一つの工作物を前記開口部を通じて継続的に搬送するかまたは少なくとも一つの工作物を前記開口部の中に位置づけて処理するためのものであり、
さらに、
回転軸（Ａ）を中心に回転駆動され、前記回転軸（Ａ）から半径方向に延在する軸を中心軸とする少なくとも一つの工作物キャリヤ（８０，１１７，１５１）を有する工作物キャリヤ回転装置（１１）を備え、
前記工作物キャリヤは、前記工作物キャリヤ回転装置の回転により前記開口部（３，１０３，１２１）に整列させられることができ、
さらに、
前記工作物キャリヤが、前記工作物キャリヤの外周をなし、軸としての前記回転軸（Ａ）を有する回転体の円筒形状表面の一部をなす表面（１２３′，１２３）を備える、真空室。
【請求項１２】
前記表面（１２３′，１２３）および前記円筒形状表面のうちの少なくとも一つに、流体制御されるパッキング配置が設けられることを特徴とする、請求項１１に記載の真空室。
【請求項１３】
前記真空室がモジュールとして構成され、複数の前記真空室が同軸で積み重ね可能であることを特徴とする、請求項１１または１２に記載の真空室。
【請求項１４】
請求項１１から１３の少なくとも一つに記載の真空室を備える、請求項１から４のいずれかに記載の真空処理装置。
【請求項１５】
工作物を多層システムで被覆するために、請求項１１から１３のいずれかに記載の真空室または請求項１４に記載の真空処理装置を利用する、方法。
【請求項１６】
半導体ウエハまたは記憶ディスクを処理するために、請求項１１から１３のいずれかに記載の真空室または請求項１４に記載の真空処理装置を利用する、方法。
【請求項１７】
光学記憶ディスクを処理するために、請求項１１から１３のいずれかに記載の真空室または請求項１４に記載の真空処理装置を利用する、方法。
【請求項１８】
ＣＤ、ＤＶＤまたはＨＤを製造するために、請求項１１から１３のいずれかに記載の真空室または請求項１４に記載の真空処理装置を利用する、方法。
【請求項１９】
ＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phase-Change-Disks）またはＲＤ（Recordable Disks）を製造するために、請求項１１から１３のいずれかに記載の真空室または請求項１４に記載の真空処理装置を利用する、方法。
【請求項２０】
再収録可能な記憶ディスクを製造するために、請求項１１から１３のいずれかに記載の真空室または請求項１４に記載の真空処理装置を利用する、方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
この発明は、真空処理装置に関するものであり、真空室に関するものである。
【０００２】
請求項１のプリアンブルにおいて定義されたような真空処理装置はＥＰ−０１３６５６２によって知られている。半径方向に駆動されて移動するタペットを駆動体として備える、処理室ないしその開口部に合わせて内部ケーシングに設けられた送り装置は、中央に配置されたくさび状の駆動体によって同期的に、かつ同じ行程で、機械的に摩擦を引き起こしながら駆動される。
【０００３】
この方法における欠点は、あらかじめ備えられた様々な処理室のための送りを個々に設計し、例えば所望される様々なパッキングを提供することができないという点である。さらに、それぞれに設けられたタペットはまた、それに対応する開口部に全く処理室が設けられていなくとも、例えば従来の装置ではより少ない処理段階しか必要としないプロセスも柔軟に行なわねばならないために、作動されねばならない。
【０００４】
例えば加熱室のように、処理室の一つが開口部へ向けての工作物の送り動作を例えば全く必要としない場合でも、従来の装置では送り動作が行なわれる。
【０００５】
第１の局面におけるこの発明の課題は、これらの欠点を除去することである。これは、請求項１のプリアンブルに定義されたような装置に基づき、請求項１の特徴にしたがってそれを形成することによって、すなわち各駆動体がそれぞれ独自の駆動装置を有することによって、解決する。
【０００６】
前掲の文献によって周知のものとなった装置のさらなる本質的欠点は、タペットの持ち上げ運動がくさび駆動される点である。そのため、作動距離は摩耗の影響を受ける。従来の装置においては、前記タペットの動きによって工作物キャリヤプレートが回転装置からそれぞれの開口部に向けて持ち上げられ、そこで開口部縁部を封鎖する。
【０００７】
周知の装置における作動距離が摩耗の影響によってごくわずかに変化しても、得られるパッキング比率はともに変化するが、これは一部の微妙な処理プロセスにおいては許容し得ないものである。
【０００８】
この出願全体の枠内においてパッキングとは、例えばラビリンスパッキングを介した圧力段の形成による接触点のないパッキングを、ならびに形態密閉パッキングおよび／または力密閉パッキングを意味する。
【０００９】
したがってこの発明の第２の局面によると、上記の欠点を除去するという課題がその前提である。この問題は、ＥＰ−０１３６５６２の請求項１のプリアンブルに挙げられた全ての特徴を備えてはいない装置においても解決されねばならないので、この発明の第２の局面は請求項２のプリアンブルによる装置を前提とし、この装置を請求項２の特徴にしたがって形成することを提案する。
【００１０】
そこで、開口部の少なくとも一つは、流体制御された、好ましくは気圧または油圧制御されたパッキング配置、能動パッキングを含み、この能動パッキングによって開口部縁部と工作物受容体、または工作物そのものとの間に、開口部を取り囲むパッキングが提供、ないし解除される。これによって、施されるべきパッキングの程度を基本的に常に一定の、同じ程度に保つことが可能となるが、これは気圧式または油圧式制御によって、そのつど与えられるパッキング圧力が機械的影響を受けないからである。
【００１１】
この発明の処理装置の好ましい実施例は従属請求項において優れている。さらに、さらなるこの発明の真空室は優れている。好ましい利用方法については、いくつかの請求項に特定される。
【００１２】
請求項に規定される真空室では、後ほど説明されるように、真空室の壁にある処理開口部ないし輸送開口部からの工作物キャリヤの持ち上げ行程が全く、あるいはわずかしか必要なく、したがって特に前記能動パッキングの利用に極めて適している。
【００１３】
次に、この発明が図面を参考例として詳細に説明される。
【００１４】
図１には、基本的にはＥＰ−Ａ−０１３６５６２によって周知となった種類の装置の概略のみが示されるが、この発明の第１の局面に従ってさらに発展させたものである。
【００１５】
基本的には軸Ａの周りに円筒状に形成された外部ハウジング１に、少なくとも一つの、図においては二つの大円Ｋに沿って、工作物５を連続輸送するための、または処理するための開口部３が設けられる。開口部３には一般に被覆室、エッチング室、冷却室、加熱室、輸送室、またはロードロック室として理解される処理室が配置され、そのうち少なくとも一つは表面処理室、好ましくはプラズマ表面処理室であり、さらに好ましくは特にマグネトロン供給源を備えた噴霧室である。
【００１６】
外部ケーシング１の内壁と共に内部ケーシング７の外壁が、同じく軸Ａに対して基本的に円筒状に、円環形状輸送室９を形成する。その内部に、軸Ａに対して回転駆動される回転装置１１が設けられ、前記大円Ｋに沿ってここに工作物５が、好ましくはここでは円盤形状工作物が置かれ、保持される。ここで扱われるのは好ましくは、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤのような記憶ディスクであり、特にＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phase-Change-Disks）およびＲＣ（Recordable Disks）のような再書き込み可能な記憶ディスクである。回転装置１１の軸Ａの周りを回る回転運動によって、工作物５は一つまたは複数の大円Ｋ上にそれぞれの室１４の開口部３に対して連続的に位置決めされる。
【００１７】
この発明によると、内部ケーシング７には各々開口部３に向き合う駆動装置１６が設けられ、これらの駆動装置によって，タペット１８が駆動体として開口部３に向けて半径方向に動かされ、ないし開口部から引き戻される。直接ないし間接的に、例えば（ここには図示されない）受容皿としての工作物キャリヤを介して、タペット１８がそれに対応して位置決めされた工作物５に作用し、タペットの送りによって工作物５が必要な分だけ開口部３に向けて動かされか、あるいは開口部から引き戻される。必要なときにはいつでも駆動装置１６のいずれもが起動され得るが、駆動装置の行程は、それぞれの室１４におけるそれぞれの処理が必要とする作動距離にしたがって個々に定められる。室１４が例えばロードロック室であれば、開口部領域３においてより高い要求を満たすパッキングを実現するために、対応する駆動装置１６の行程はその他の室におけるものより幾分長いものにする必要がある。
【００１８】
したがって図１から明らかなように、全てのタペットにはそれぞれに駆動装置１６が設けられる。図１においては、工作物は二つの大円Ｋにそれぞれ配属された室１４に回転装置によって供給されるが、室１４は大抵の場合、一つの大円Ｋに沿ってのみ設けられ、回転装置１１および駆動装置１６はそれに応じて設計される。
【００１９】
図１の室において、複数の大円Ｋに沿って処理室１４を設けながら、工作物５がただ一つの大円Ｋに沿ってのみ配置されるように回転装置１１を設計し、回転装置１１を軸方向においても、すなわち軸Ａの方向においても上下に変位させることによって、例えば工作物にまず一つの大円Ｋにおける処理室１４を通過させ、次に第２の大円Ｋに沿った処理室１４を通過させることは、当然可能である。
【００２０】
図１の駆動装置１６は磁気または電動機によって流体駆動、すなわち気圧式または油圧式で、好ましくは気圧式で駆動され得る。
【００２１】
開口部３の縁取り表面および工作物５のための工作物キャリヤ（図示されず）の縁取り表面の好ましい形態については、図７から図９および図１０から図１３、ならびにこれに関連して以下に続く説明を参照されたい。これによって、タペット１８の持ち上げ運動を、そもそも必要な場合には、できるだけ少なくすることが可能である。
【００２２】
図１の駆動装置１６の好ましい実施例の概略図が図２に示される。強調されるべきは、そのような駆動装置、すなわち一般にそのように流体制御される、特に気圧式または油圧式パッキング制御装置は、図１に示された以外の、その他の真空処理装置においても利用可能であり、すなわち工作物を処理室の開口部に供給し、その際前記処理室を必要な範囲において密封する必要がある場合は、いつでも利用可能である。
【００２３】
気圧式駆動装置が好ましいのは真空技術上の理由からである。
最小行程と流体制御能動パッキングとの好ましい組み合わせについては、図７から図１３についての以下の説明が参考となる。
【００２４】
一つの側壁、好ましくは一方の側が輸送空間９ａを規定する静止したケーシング側壁７ａに、あるいは場合によっては同様に可動性の、図示されていない輸送機構に、例えば複数の処理室開口部３ａに供給するための気密性のベロー２０が設けられ、このベローは好ましくは安定部２２か、あるいは２３に破線で示されたような接触部を備える。
【００２５】
ベロー容積の圧力衝撃および膨張によって工作物５は、図１における回転装置１１のような輸送配置１１ａから、開口部３ａに向けて持ち上げられ、これによって処理室１４のプロセス空間が輸送室９ａから必要な分だけ密閉される。例えば排出弁２５によってベロー空間から圧力が軽減されると、場合によっては弾性的に張られていたベローが工作物５とともに引き戻される。こうして、処理室１４の開口部領域３ａにおいて流体、特に気圧または油圧操作ないし制御可能なパッキング配置が実現される。
【００２６】
図１をみると、図２に概略的に図示されたように図１の駆動装置１６を形成することによって極めて小さな構造が得られることが明らかであり、さらに図１をみると、図２の駆動装置をシリンダとしての内部ケーシング７にモジュール毎に配置することによって、シリンダ内において作動距離を事実上収容する必要がないので、シリンダをできるだけ小さく形成することが可能であることがわかる。これは特に、図１０から図１３について以下に説明される原理に従う場合に、当てはまる。
【００２７】
図３には、気圧式または油圧式の、好ましくは気圧制御されるパッキング配置のさらなる変形実施例の概略が示される。処理室１４の開口部領域３ｂの周りには弾性ホース３０または弾性ベローが配置され、ｐで示されたように、制御されながら圧力衝撃を受ける。ホースはその際それ自体の弾性の範囲内で延び、工作物５のための輸送配置１１ｂにぴったりと隣接するか、あるいはそれが可能な場合には直接工作物５に（図示されず）隣接する。その際、工作物５は輸送配置１１ｂから開口部３ｂの方向へ、ないしそれから離れるように変位されてはならない。これは特に、回転輸送配置１１ｂにおいて図１０から図１３について説明された原理に従う場合に、あてはまる。
【００２８】
図３に示されたようなホースないしベロー配置３０の代わりに、図４に概略的に示された配置が利用され得る。この配置においては、ベローないしホース３０の代わりに金属ベロー３１が用いられ、このベローは場合によってはエラストマーによって被覆される。場合によってはエラストマーによって外側が被覆された金属ベロー３１は、ここでもｐで概略が示されたように、その圧力衝撃によって、好ましくはＯリング配置３２に押しつけられるが、このＯリング配置は必ずしも必要ではない。図４に示された制御パッキング配置によって、図３に示された配置よりも高い温度負荷に晒すことが可能となるが、これは金属ダイヤフラムないし金属ベロー３１の弾性値が、合成樹脂からなる弾性ホースないしベロー３０に比して、はるかに広い温度領域において基本的に一定であるためである。したがって、図４の配置は主により高い温度負荷がかかる領域において利用される。
【００２９】
図５には、この発明の第３の局面における、この発明の真空処理装置の外部内壁ないし外部ケーシング１の部分概略図が示される。この壁は、前述の処理室を取り付けるための開口部３を含む。前記開口部の間には、シリンダの母線方向において、ケーシング６０の内壁に管ないし内腔６２が埋め込まれ、これらの管ないし内腔６２は接続６４を介してそれぞれ、開口部３を形成する隣接する壁部分と連絡し、さらに接続６６を介して外側から接続可能である。当然ながら管６２の上部および下部は密封されるか、または例えばねじ付ボルトによって密封され得、あるいは接続６６が直接内腔６２の上部ないし下部に当てられる。
【００３０】
さらに接続６４もまた選択的に、６８で概略的に示されたように、例えばねじボルトによって密封され得る。その結果、そのようにして実現した分配システム６２、６４、６６によって、開口部３に接続された処理室をポンプで排出、注入し、また場合によってはそれにガス衝撃を与えるという、高い柔軟性が得られる。
【００３１】
図５の管配置によって高い導管コンダクタンスが得られるが、これは管の横断面をできるだけ大きくすることによって、処理室のために設けられた開口部３と外部接続との間には極めて小さな距離のみしか存在し得ないからである。
【００３２】
図６には、外部ケーシング１の好ましい実施例の、図５の線Ｉ―Ｉにおける断面図が示される。参照番号は図５と同じものが用いられる。図示された実施例においては、接続６６は管６２の前面に直接設けられる。管６２は（ａ）で示されたように外部ケーシング壁１の大きさに渡って延びるか、あるいは（ｂ）で示されたように袋内腔として形成されるか、あるいは場合によっては例えばねじ入れ可能な分離ボルト６３によって分離可能である。接続６６には直接連結機械が、好ましくはターボ真空ポンプ６７がフランジを介して接合されるか、あるいは終端キャップ６８がはめられる。図から明らかなように、この構造によって極めて高い柔軟性が得られ、外部連結機械、特に前記ターボ真空ポンプ６７を、また弁および／またはさらなるポンプを接続することが可能である。
【００３３】
ケーシング１はその際単一の材料から、好ましくは単一構造として形成され、好ましくはアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる。
【００３４】
また、図１の内部ケーシング７は好ましくは前記金属からなり、好ましくはまた単一材料から、単一構造として形成されるのが好ましい。
【００３５】
図７には、この発明による処理装置の好ましい実施例における横断面の一部が簡単に示される。この装置においては以下の局面が実現されている、すなわち
― 個々の駆動体が独自の駆動装置を有し、
― 気圧式パッキング制御
― 配管システムのための内壁の最適利用
― 持ち上げ行程が最小限である（図１０から図１３を参照）
という局面である。既に説明された機構および連結機械については可能なかぎり、また相互参照を容易にするために、既に使用されたものと同じ参照番号が付される。
【００３６】
外部ケーシング１は、被覆ステーション１４ａや制流ステーション１４ｂのような加工ステーションを受容するための開口部３を有する。開口部３の間のコーナー領域には、内腔６２が外部ケーシング１の内壁内に、それぞれ隣接する開口部３への接続部６４とともに、設けられる。外部ケーシング１の内壁の厚さは、プラズマ被覆室またはエッチング室１４ａのうち、プロセス空間７０が外部ケーシングの壁によって制限されるように、あるいは制流ステーション１４ｂにおける制流空間７２が外部制流弁７４によって制限されるように、定められる。開口部３に相対する内部ケーシング７は、図２に示されたように作動可能なタペット装置を有し、そこではベロー空間の圧力衝撃によって駆動体７６が、引っ張りばね７８の引き戻す力に抗して持ち上げられる。内部および外部ケーシングによって形成される円環形状輸送室９には回転装置１１が、工作物ディスク５のためにはめ込まれた工作物キャリヤ８０とともに、駆動されて回転運動するように配置される。気圧式タペット駆動装置２０、７６の起動によって工作物キャリヤ８０が持ち上げられると、Ｂで示され丸で囲まれた、開口部３を取り囲む領域が必要なだけ密閉される。制流ステーション１４ｂにおいて明らかなように、その際、皿状の工作物キャリヤ８０は内部制流弁を形成する。開口部３と工作物キャリヤ８０との縁取り表面の好ましい形態によって、タペット駆動装置２０，７６に必要な持ち上げ運動はごくわずかとなる。さらに、好ましくは図４に示されたように、領域Ｂには流体制御された能動パッキングが設けられ得る。
【００３７】
図８には、図７の軸Ａに沿った処理ステーションの、特に被覆ステーション１４ａ（これ自体は断面ではない）の縦断面図が図７におけるより詳細に示される。ここでも、既に説明された装置については、出来る限り同じ参照番号が用いられる。図７の実施例に加えて、ここでは回転装置１１の軸受け８２およびその駆動装置８４に注目されたい。さらにこの図においては、戻りばね８６が明確に示されており、このばねは例えば好ましくは板ばねとして形成され、ベロー２０が排出し、戻る際には、駆動体７６とともに工作物キャリヤ８０を同様に引き戻す。
【００３８】
図９にはさらにもう一つの好ましい実施例の、図７の軸Ａに対して垂直な断面図が示されるが、ここでは図３にしたがって、工作物５に対する半径方向の引き上げ運動は全く行なわれない。ここでも既に説明された装置については同じ参照番号が用いられる。ここで特に注目されるのは弾性パッキングベロー３０であり、このベローは開口部３の縁部と回転装置１１との間で機能する。既に何度も言及されたように、周囲を取り囲むそのような圧力ベロー３０または図４による金属パッキングダイヤフラム３１が、図の工作物５およびその表面処理において可能なかぎりは、工作物５に直接働きかけることも可能である。ここで、以下に説明される原理による、特に図１０から図１３による、領域３０における開口部３および工作物キャリヤの縁取り表面の設計が、持ち上げ運動を回避するのに非常に重要となる。
【００３９】
ここまでに示された装置は、後ほど説明されるものの他に、まず以下の利点を備える。
【００４０】
― 処理室への配管のために外部ケーシングが最適利用され、かつそれによって構造が極めてコンパクトとなる。
【００４１】
― 内部ケーシングの内部空間Ｚから制御機構および制御駆動装置へ自由に到達できること。
【００４２】
図７、図８および図９は、さらなる本質的局面において極めて有利に形成された、この発明による真空処理装置を示す。
【００４３】
これは、まず図１０および図１１を参考に検討される。
図１０には、少なくとも一つの工作物のための室壁１０１における出し入れ口または処理開口部１０３の縁取り表面１０２が、パッキング１０４とともに示される。
【００４４】
１０５は、軸Ａを中心に駆動されて回転移動（ω）し、室内部または外部（図１８、Ａ′参照）にある工作物キャリヤを示す。
【００４５】
工作物キャリヤ１０５はさらに軸Ａに対して半径方向に駆動されて変位（Ｈ）する。
【００４６】
工作物キャリヤ１０５がさらに回転され得るには、少なくともＨ_ｍｉｎだけ表面１０２から持ち上げられねばならない。
【００４７】
図１１ないし図７によると、以下の式が成り立つ。
【００４８】
【数１】

【００４９】
実際には、パッキングシステム、公差および安全距離等に依存する行程距離ΔＨがＨ_ｍｉｎに加わる。
【００５０】
軸Ａを有するシリンダ室の半径Ｒ_２は例えば１５０ｍｍ、工作物キャリヤのρは例えば７０ｍｍであり、したがってＨ_ｍｉｎは１７ｍｍとなるが、これにさらに例えば１０ｍｍのΔＨが加わる。
【００５１】
特に図１１から明らかなように、この周知の従来の方法によると、平らな工作物キャリヤ１０５がそもそも引き続き軸Ａを中心とする回転運動ωによって壁１０１内の前記開口部の内のもう一つの開口部へと旋回され得るには、前記キャリヤが比較的大きな行程距離Ｈを引き戻されねばならないことになる。
【００５２】
それ自体また発明的とみなされる、この発明のもう一つの局面においては、これまでに説明された装置の前述の全ての特徴と当然ながら組み合わせ可能であるが、図７から図９に既に示され、これから説明される装置によってこの欠点が解消される。
【００５３】
この問題の根本的解決策はまず、図１０および図１１と同様の図１２および図１３に示される。
【００５４】
開口部１０３の縁取り表面１０２′はここでは、軸Ａを有する回転体円筒表面、例えば図に示されたようにシリンダ表面の一部である。
【００５５】
同様に、工作物キャリヤ１０５′の縁取り表面は同じ回転体円筒表面の一部である。
【００５６】
図１１を見ると、図１３からわかるように、
Ｒ_２＝Ｒ_１
であり、ρには左右されずに、Ｈ_ｍｉｎ＝Ｒ_２―Ｒ_１＝０が成り立つ。
【００５７】
ΔＨは依然として必要な行程ではあるが、図１１および図１２の例によるとはるかに少なく、行程それ自体、それに連結する遊び、公差などが低減されるので、この行程をさらに少なく設計する事が可能である。
【００５８】
図１２および図１３における考察は、それぞれの開口部を囲む表面のみが回転体の表面を規定するのではなく、室壁１０１全体が基本的に回転体表面を規定する場合にも、当然あてはまる。
【００５９】
上述の図面、特に図７から図９の真空処理装置は上記の局面において実現される。図７および図９の横断面図、ないし図８の縦断面図から明らかなことは、図７においてＢで囲まれた領域における工作物キャリヤ８０，並びに開口部３の縁取り表面が、少なくとも極めて近似的に円筒側壁の一部表面に対応して形成されており、その結果、軸Ａに対して半径方向にごくわずかに持ち上げることで、工作物キャリヤ８０を取り外し、さらに旋回させることが可能である、という点である。
【００６０】
図９の実施例においては持ち上げ運動は全くなくなり、能動パッキングによって工作物キャリヤ（回転装置）と開口部縁取り部との間の間隙が隙間なく埋められる。
【００６１】
図９に既に示されたように、開口部縁取り表面は、交換可能かつ製造の際に取り扱いが容易なフランジ６４′に装着して形成されるのが望ましい。
【００６２】
図１４の縦断面図、および図１５の横断面図においては、各開口部１２１の周りに、軸Ａないし中心点Ｍに対して、球半径Ｒ＝Ｒ_１を有する球面リングを定める室１１０が示される。軸Ａに対して回転駆動される輸送装置１１２は、それぞれ好ましくは互いに独立したケース入りの駆動装置１１７を一つ備える複数の、図の例においては四つの、半径方向に作用するタペット１１５を有する。タペット１１５の末端に設けられた工作物キャリヤ１１７はその周辺領域１１９において、半径Ｒの球面の球底リングに少なくとも極めて近似した形をしている。したがってこれらのキャリヤは、同様に半径Ｒを有する球面の球底リングとして形成された縁取り表面、すなわち、各々の開口部１２１の縁取り表面にぴったりと隣接し得る。
【００６３】
工作物キャリヤ１１７の縁取り表面は、上記のように球面リング形状であるか、あるいは図１５の１２３に示されたように、開口部縁取り表面によって規定された球面リングとの接線円錐から切り取られた、ほぼ円錐リングの形をしている。前記球面リングもまた場合によっては、１２３で示されたように、円錐の円錐表面リングに極めて近似したものとして形成され得る。特に図１５から明らかなように、円盤形状の工作物を受容するための工作物キャリヤ１１７の縁取り表面は、中央マスキング１２５によって保持されながら、工作物１２９のための周辺マスキングリングｌ２７によって形成される。さらに図１４および図１５においては、開口部１２１の一つに、スパッタステーション１３１のような処理ステーションが図示され、さらにスパッタステーション１３１のためのポンプ１３３および輸送室として形成された室１１０のためのポンプ１３５が示される。
【００６４】
開口部の縁取り表面はここでも好ましくは独立したフランジ１２０に作り込まれる。ここでも場合によってはパッキング１１９′が、油圧制御可能な、好ましくは気圧制御可能な能動パッキングとして形成され得る。
【００６５】
図１６の装置においては、図１４の球リング室１１０内の回転輸送装置１４２のキャリヤアーム１４０の末端に工作物キャリヤ１４４が載置される。前記アームは半径方向に繰り出されるのではなく、軸Ａを中心に回転駆動されるのみである。図９と同様、領域Ｂ′のパッキングは間隙を埋める能動パッキングとして、例えば図４のように、設計される。
【００６６】
アーム１４０においては行程は全く必要ないので、中空管として形成されたその中には、図１６の１４５に概略的に示されたように、例えば領域Ｂ′に間隙パッキングが設けられる場合には工作物キャリヤ駆動装置のような連結装置が、例えば工作物の温度を測定するための測定連結装置が、例えば工作物を加熱または冷却するための調整ユニットが、電気および／または加熱／冷却媒体配管などが、導入ないし配置され得る。
【００６７】
この発明によって行程が最小化されることによって、図１５の平面において輸送装置１１２を、または図７の回転装置１１をさらに回転させ得るために、能動パッキングを用いずに、行程を引き戻す運動Ｈが可能となる。この行程引き戻し運動は、工作物キャリヤが軸の周りを回転することによって規定される回転体表面の半径Ｒに関して、以下の関係を満たす。
【００６８】
ｒ≦１５％Ｒないし、好ましくは
ｒ≦１０％Ｒさらに好ましくは
ｒ≦ ５％Ｒ
したがって、図１４において半径Ｒ＝Ｒ_１であり、それが約１４５ｍｍである場合、取り外し行程を２０ｍｍより少なく、好ましくは１２ｍｍより少なく、さらに８ｍｍより少なくすることが可能である。
【００６９】
これによって、大きなサイズρの工作物キャリヤを小さい直径（Ｒ，Ｒ_１）の室内において室の軸（Ａ）を中心に回転させることによって、必要とあれば極めてわずかな持ち上げ運動で、輸送することが可能となる。持ち上げ運動（ΔＨ）は工作物キャリヤの大きさρに依存しなくなる。行程は最大２０％ρ、好ましくは最大１０％ρ、さらには５％ρの大きさに定められ、その下限は定められない。能動パッキングまたは間隙パッキングが設けられると、あらゆる行程は不要となり得る。
【００７０】
その際、開口部を取り巻く室壁表面は、図７の１２３′ないし図１５の１２３に示されたように、少なくとも極めて近似した形で、場合によっては前述の意味における近似表面によって円筒表面または球表面を規定する。工作物キャリヤの縁取り表面はそれに対応して、特に図１５の周辺マスキングリング１２７によって明らかなように、球面リングを規定し、または図７から図９のように、円筒表面の一部を規定するが、これは同様に１２３′ないし１２３で示されたように精確に、または近似表面によって実現される。
【００７１】
図７の回転装置においては、半径タペットは開口部に合わせて固定的に位置決めされるか、あるいは同様に軸Ａに対して回転駆動され得る。
【００７２】
開口部縁取り表面および工作物縁取り表面の造形について従来の装置と比較すると、この発明によると、工作物キャリヤのために必要な返還行程を２５％より少なくすることが可能である。この必要最小限の行程によって、サイクル時間をより短くすることが可能であり、これによってまたそのような装置における挿入量を増大させることができる。
【００７３】
図１７から明らかなように、ここではこの発明による複数の真空室１２１がコンパクトであるため、それらをモジュール毎に積み重ねることが可能であり、かつそれらを例えば共通の駆動エンジン１２５、共通のポンプ１２７、共通の処理ロボット配置１２９によって操作ないし供給することが可能である。
【００７４】
開口部縁取り部の造形、および工作物キャリヤ縁取り部の造形に関する原理はまた、図１８をみると、外部にある処理ロボット１２９の工作物キャリヤ１５１に関して、真空室の外部表面においても、図１４、図１５のタペットまたは、好ましくは図１６のキャリヤアーム１４０とともに、当然実現可能である。
【００７５】
この発明の装置はしたがって、既に述べられたものの他に、以下の利点を有する。
【００７６】
― 運動箇所が少なく、しかも運動行程が短い。これは信頼性を大きく高め、かつ整備をはるかに容易にする。
― 装置製造における高い経済性。
― 工作物が進む経路が短く、かつ運動質量が小さいため、多量に装入することが可能となる。
― 処理室を大きさに応じて互いに隔絶することができるため、多層システムの布設に極めて適している。
― 処理ステーションにおいて、摩耗せず、個々に調整可能なように制御されるパッキング。
― 時間および行程を個々に制御可能なタペット駆動装置。
― 極めてコンパクトな構造。
【００７７】
円盤形状の工作物を処理するには、図１４から図１６による球円環形状の室が好ましい。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、第１の局面におけるこの発明の装置の概略図である。
【図２】図２は、図１に基づいた、好ましい流体駆動駆動体配置の、好ましくは気圧または油圧駆動駆動体配置の、駆動体領域における部分拡大図である。
【図３】図３は、第２の局面におけるこの発明の処理室の開口部領域におけるパッキング配置の概略図である。
【図４】図４は、図３のパッキングの好ましい実施例の概略図である。
【図５】図５は、ある装置の外部ケーシングの一部の上面図である。
【図６】図６は、図５に概略的に示された装置の外部ケーシングにおける一セグメントの、線Ｉ−Ｉに沿った断面図である。
【図７】図７は、この発明の装置の好ましい実施例の簡略化された部分横断面図である。
【図８】図８は、この発明の装置の好ましい実施例の一部の縦断面図である。
【図９】図９は、図８によるこの発明の装置のさらに好ましい実施例における、部分横断面図である。
【図１０】図１０は、平らな工作物キャリヤと、工作物が供給されるべき従来の開口部を備えた円筒状縁取り表面との間の関係を示す透視図である。
【図１１】図１１は、必要な持ち上げ行程の条件を説明するための、図１０の関係を示す上面図である。
【図１２】図１２は、開口部縁部および工作物キャリヤ縁部がこの発明にしたがって造形された場合の関係を示す、図１０と同様の図である。
【図１３】図１３は、それによって、持ち上げ行程に関して得られた結果を示す図である。
【図１４】図１４は、球円環形状室壁を備える、この発明による装置の縦断面図である。
【図１５】図１５は、図１４の装置の横断面図である。
【図１６】図１６は、能動パッキングを備えたこの発明による装置の、図１４と同様の図である。
【図１７】図１７は、図１４および図１５、ないし好ましくは図１６の、この発明による複数の室がモジュール毎に積み上げられた、側面図である。
【図１８】図１８は、図１７の装置における、この発明による開口部縁取り表面および工作物キャリヤの、室の外側における形を示す図である。