JP2001506700A - 真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.(a) 軸(A)を中心に基本的に円筒状の内部壁を規定する外部ケーシン グ(1)と、 (b) 円筒状内壁の少なくとも一つの大円(K)に沿って配置された、その つど一つの工作物(5)を処理するための、または連続輸送するための少なくと も二つの開口部(3)と、 (c) 開口部(3)と機能接続された、それぞれ一つの処理室、輸送室、ま たは制流室(14)と、 (d) 基本的に円筒状の外壁を規定し、かつ外部ケーシング(1)の内壁と ともに、基本的に円筒状の円環状間隙を固定する、内部ケーシングと、 (e) 軸(A)を中心に回転駆動されて、円環状間隙(9)内に格納される 工作物キャリヤ回転装置(11)と、 (f) 内部ケーシング(7)にあって開口部(3)に合わせられ、半径方向 に回転駆動されて円環状間隙(9)内において作用する駆動体(18,22)を 含む送り装置(16,18)とを備えた、 真空処理装置であって、全ての駆動体(18,22)が独自の駆動装置(16 ,20)を有することを特徴とする、装置。 2.開口部(3)のうちの少なくとも一つと、流体制御される、好ましくは気圧 制御または油圧制御されるパッキング配置(20,B;30)とが作用接続され ることを特徴とし、前記パッキング配置によって、開口部縁部とそれぞれの工作 物受容部ないし工作物(5)自体との間における、開口部(3)を囲むパッキン グが提供されるか、ないし解除される、請求項1の少なくとも特徴(a)から(c) による、さらに開口部(3)に合わせることが可能な工作物受容部を有する送り 装置(16,18)を備える、真空処理装置。 3.請求項1および2に記載の特徴による装置。 4.表面処理室がプラズマ表面処理室であるか、好ましくは、特にマグネトロン 供給源を備える、噴霧室であることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに 記載の装置。 5.駆動体駆動装置が流体駆動される、好ましくは気圧式駆動装置であり、好ま しくは駆動装置ケーシングへの駆動体がベロー(20)で覆われており、ベロー 内部空間が圧力駆動空間として作用することを特徴とする、請求項1、3または 4のいずれかに記載の真空処理装置。 6.駆動体(18,22)が回転装置におけるそれぞれの工作物(5)に直接、 または回転装置に固定された、工作物(5)のための受容皿(80)に作用する ことを特徴とする、請求項1、3、4または5のいずれかに記載の装置。 7.開口部領域(3)において開口部の少なくとも一つにパッキング配置(B) が設けられることを特徴とし、前記パッキング配置は、制御されて、開口部縁部 領域と工作物自体との間を、および/または開口部縁部領域と回転装置上の工作 物受容部(80)との間を、駆動体(18,22)の動きによって制御されて密 封する、請求項6に記載の装置。 8.回転装置に工作物(5)のための受容皿(80)が設けられることを特徴と し、前記受容皿は、処理室としての制流室において室側の制流弁を形成する、請 求項6または7のいずれかに記載の装置。 9.駆動体が、それぞれ少なくとも一つの、圧力衝撃を与え得る弾性ベロー(2 0)によって形成されることを特徴とする、請求項5に記載の装置。 10.開口部(3)の少なくとも一つの周りに、流体制御される、好ましくは気 圧または油圧によって膨張し得る、特に気圧によって膨張し得る弾性パッキング (30)が設けられることを特徴とし、前記パッキングは圧力衝撃を与える際に 工作物受容部(11)または工作物(5)自体に隙間なく隣接する、請求項2ま たは3のいずれかに記載の装置。 11.少なくとも一つの開口部縁部と、工作物受容部または工作物自体の周りを 取り囲む区域とが制御可能なパッキングを形成し、かつ前記パッキング制御は、 流体制御された、好ましくは気圧式または油圧式の、特に気圧式の圧力固定装置 (20)によって行なわれることを特徴とし、前記圧力固定装置(20)によっ て、圧力衝撃が与えられる際には、工作物受容部または工作物自体が開口部縁部 に向けて隙間なく圧力固定される、請求項2または3のいずれかに記載の装置。 12.外部ケーシング(1)の開口部領域(3)における内壁が制流室の壁を形 成し、または真空処理室のプロセス空間(70)を形成することを特徴とする、 請求項1から11のいずれかに記載の装置。 13.複数の大円に沿って開口部が配置され、かつ工作物(5)を受容するため の回転装置(11)が対応する数の大円に沿って設計され、または軸方向に移動 されることを特徴とする、請求項1から12のいずれかに記載の装置。 14.シリンダ表面の一部に対応する縁領域を備え、鍋形状の工作物キャリヤ( 80)が設けられることを特徴とする、請求項1から13のいずれかに記載の装 置。 15.多層システムを工作物上に布設するための、請求項1から14のいずれか に記載の装置の利用。 16.記憶ディスクを製造するための、請求項1から14のいずれかに記載の装 置の利用。 17.半導体ウエハ、記憶ディスク、特に光学記憶ディスク、ないしCD、DV D、HD、特にMOD、フェーズ・チェンジ・ディスク(Phase-Change-Disks) およびRD(Recordable Disks)のような再収録可能な記憶ディスクを処理する ための、請求項16に記載の利用。 18.外部ケーシング(1)と、少なくとも二つの開口部(3)と、内部ケーシ ングと、工作物キャリヤ回転装置と、駆動体を備えた送り装置とを備える、請求 項1から14のいずれかに記載の真空処理装置のための輸送室。 19.少なくとも一つの工作物を連続輸送または処理するための少なくとも一つ の開口部(3,103,121)と、少なくとも一つの工作物キャリヤ(80, 117,131)を有する、室内および/または室外において軸(A,A’)を 中心に回転駆動される輸送装置(11,112,129)とを備え、工作物キャ リヤは輸送装置によって開口部に向けて合わせられ得る、真空室であって、開口 部(3,103,121)の少なくとも縁取り表面は、回転体軸としての軸(A ,A’)を備える回転体表面の一部に、少なくともほぼ完全に近似して形成され 、かつ工作物キャリヤの縁取り表面は前記回転体表面の一部に少なくともほぼ完 全に近似して形成されることを特徴とする、真空室。 20.工作物キャリヤの縁取り表面が開口部に合わせられ、かつ開口部の縁取り 表面が間隙パッキングを固定することを特徴とする、請求項19に記載の室。 21.開口部または工作物キャリヤの少なくとも縁取り表面に、流体制御される 、好ましくは気圧または油圧制御されるパッキング配置が設けられることを特徴 とする、請求項19または20に記載の室。 22.パッキング配置が弾性ベローおよび/または弾性材料のパッキングダイヤ フラムを含むことを特徴とする、請求項21に記載の室。 23.軸(A,A’)に対して少なくとも運動成分内において半径方向に回転駆 動され、工作物キャリヤに作用する少なくとも一つの駆動体(76,115,1 32)を備えることを特徴とし、開口部に向けて合わせられた工作物キャリヤが 前記駆動体によって、前記開口部に向けて、ないしそこから離れるように運動可 能である、請求項19から22のいずれかに記載の室。 24.前記回転体が球または円筒であり、好ましくは球であることを特徴とする 、請求項19から23のいずれかに記載の室。 25.輸送装置が真空室内に配置されていることを特徴とする、請求項19から 24のいずれかに記載の室。 26.駆動体が半径方向において行程Hの運動をし、行程Hは回転体半径Rに関 して以下の関係を満たす、すなわち H≦15%R、 好ましくは、 H≦10%R、 さらに好ましくは、 H≦ 5%R、 であることを特徴とする、請求項19から25のいずれかに記載の室。 27.開口部に向けられた工作物キャリヤの縁取り表面が、開口部の縁取り表面 および軸に対して、半径方向に20%ρより少なく、好ましくは10%ρより少 なく、好ましくはさらに5%ρより少なく変位されることを特徴とし、工作物キ ャリヤの軸方向における大きさが2ρである、請求項19から26のいずれかに 記載の室。 28.輸送装置が、少なくとも二つの工作物キャリヤを備える回転装置によって 形成され、かつ少なくとも二つの開口部が設けられることを特徴とする、請求項 19から27のいずれかに記載の室。 29.軸(A,A’)に対して回転しない少なくとも二つの駆動体が設けられる か、あるいは軸(A,A’)に対して回転するよう格納され、これに対して駆動 される少なくとも一つの駆動体が設けられることを特徴とする、請求項19から 28および23のいずれかに記載の室。 30.駆動体が輸送装置に載置されることを特徴とする、請求項19から29お よび23のいずれかに記載の室。 31.輸送装置および駆動体が、軸(A,A’)を中心に回転駆動されて載置さ れ、かつこれに対して少なくとも一つの運動成分内において半径方向に繰り出さ れ得る、ないし引き戻され得る、末端に工作物キャリヤを備えたアームによって 形成されることを特徴とする、請求項30に記載の室。 32.複数の駆動体にそれぞれ一つの独立した駆動装置が設けられることを特徴 とする、請求項19から30のいずれかに記載の室。 33.輸送装置が、軸を中心に回転駆動されて載置される、末端に工作物キャリ ヤを備える半径方向のアームを含み、かつ前記アームが中空体として形成され、 例えば測定および/または調整装置のような連結装置のための受容空間を形成す ることを特徴とする、請求項19から32のいずれかに記載の室。 34.工作物キャリヤが複数の工作物受容体を含み、かつこれらの受容体が、末 端の遊星歯車装置の遊星として形成されることを特徴とする、請求項33に記載 の室。 35.少なくとも一つの工作物キャリヤが円盤形状の工作物を受容するために形 成され、かつその縁取り表面が、前記工作物のための周辺マスキングリングによ って形成されることを特徴とする、請求項19から34のいずれかに記載の室。 36.マスキングリングが、工作物キャリヤの球円環形状縁取り表面を規定する ことを特徴とする、請求項35に記載の室。 37.工作物キャリヤが、中央穴を有する円盤形状工作物のための中央マスキン グ栓を含むことを特徴とする、請求項35または36のいずれかに記載の室。 38.室がモジュールとして構成され、複数の室が同軸で積み重ね可能であり、 好ましくは輸送装置のための共通の駆動エンジンと、さらに好ましくは前記室の ための共通のポンプとを備えることを特徴とする、請求項19から37のいずれ かに記載の室。 39.開口部縁取り部および工作物キャリヤ縁取り部が隙間なく、好ましくは真 空気密状態で互いに隣接することを特徴とする、請求項19から38のいずれか に記載の室。 40.開口部の縁取り表面が、交換可能なフランジによって形成されることを特 徴とする、請求項19から39のいずれかに記載の室。 41.請求項19から40の少なくとも一つに記載の真空室を備える、請求項1 から14のいずれかに記載の真空装置。 42.多層システムを工作物上に布設するための、請求項19から40のいずれ かに記載の室の利用、ないし請求項41に記載の装置の利用。 43.半導体ウエハまたは記憶ディスク、特に光学記憶ディスクを処理するため の、請求項19から40のいずれかに記載の室の利用、ないし請求項41に記載 の装置の利用。 44.CD、DVD、HD、特にMOD、フェーズ・チェンジ・ディスク(Phas e-Change-Disks)またはRD(Recordable Disks)のような再収録可能な記憶デ ィスクを製造するための、請求項19から40のいずれかに記載の室の利用、な いし請求項41に記載の装置の利用。
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