JP2001506700A

JP2001506700A - 真空処理装置

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Publication number: JP2001506700A
Application number: JP52818898A
Authority: JP
Inventors: シェルトラー，ロマン
Original assignee: ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト
Priority date: 1996-12-23
Filing date: 1997-12-23
Publication date: 2001-05-22
Anticipated expiration: 2017-12-23
Also published as: US6325856B1; AU7874098A; EP0946780B1; DE59706031D1; US6481955B2; US20020029854A1; JP4653263B2; WO1998028460A1; ATE212074T1; EP0946780A1

Abstract

(57)【要約】真空表面処理装置が円筒状外部壁（１）と、これに対して同軸の円筒状内部壁（７）とを有する。双方の壁（１、７）によって形成された、円環形状輸送空間（９）内で、回転装置（１１）が駆動されて運動する。外部壁には、工作物（５）のための処理室（１４）がフランジを介して接合される。処理室（１４）に相対して、個々に作動可能であり、かつその行程が選択的に制御可能な駆動装置（１６）が内部壁（７）に設けられ、これらの，駆動装置が工作物（５）に働きかけ、これらの工作物を処理室（１４）に向けて、ないしそれから引き戻すように動かす。

Description

【発明の詳細な説明】真空処理装置この発明は、請求項１または２のそれぞれのプリアンブルによる真空処理装置に関するものであり、請求項１９による真空室に関するものである。請求項１のプリアンブルにおいて定義されたような真空処理装置はＥＰ−０１３６５６２によって知られている。半径方向に駆動されて移動するタペットを駆動体として備える、処理室ないしその開口部に合わせて内部ケーシングに設けられた送り装置は、中央くさび駆動装置によって同期的に、かつ同じ行程で、機械的に摩擦を引き起こしながら駆動される。この方法における欠点は、あらかじめ備えられた様々な処理室のための送りを個々に設計し、例えば所望される様々なパッキングを提供することができないという点である。さらに、それぞれに設けられたタペットはまた、それに対応する開口部に全く処理室が設けられていなくとも、例えば従来の装置ではより少ない処理段階しか必要としないプロセスも柔軟に行なわねばならないために、作動されねばならない。例えば加熱室のように、処理室の一つが開口部へ向けての工作物の送り動作を例えば全く必要としない場合でも、従来の装置では送り動作が行なわれる。第１の局面におけるこの発明の課題は、これらの欠点を除去することである。これは、請求項１のプリアンブルに定義されたような装置に基づき、請求項１の特徴にしたがってそれを形成することによって、すなわち各駆動体がそれぞれ独自の駆動装置を有することによって、解決する。前掲の文献によって周知のものとなった装置のさらなる本質的欠点は、タペットの持ち上げ運動がくさび駆動される点である。そのため、作動距離は摩耗の影響を受ける。従来の装置においては、前記タペットの動きによって工作物キャリヤプレートが回転装置からそれぞれの開口部に向けて持ち上げられ、そこで開口部縁部を封鎖する。周知の装置における作動距離が摩耗の影響によってごくわずかに変化しても、得られるパッキング比率はともに変化するが、これは一部の微妙な処理プロセスにおいては許容し得ないものである。この出願全体の枠内においてパッキングとは、例えばラビリンスパッキングを介した圧力段の形成による接触点のないパッキングを、ならびに形態密閉パッキングおよび／または力密閉パッキングを意味する。したがってこの発明の第２の局面によると、上記の欠点を除去するという課題がその前提である。この問題は、ＥＰ−０１３６５６２の請求項１のプリアンブルに挙げられた全ての特徴を備えてはいない装置においても解決されねばならないので、この発明の第２の局面は請求項２のプリアンブルによる装置を前提とし、この装置を請求項２の特徴にしたがって形成することを提案する。そこで、開口部の少なくとも一つは、流体制御された、好ましくは気圧または油圧制御されたパッキング配置、能動パッキングを含み、この能動パッキングによって開口部縁部と工作物受容体、または工作物そのものとの間に、開口部を取り囲むパッキングが提供、ないし解除される。これによって、施されるべきパッキングの程度を基本的に常に一定の、同じ程度に保つことが可能となるが、これは気圧式または油圧式制御によって、そのつど与えられるパッキング圧力が機械的影響を受けないからである。この発明の処理装置の好ましい実施例は従属請求項３から１４において、ないし請求項１８によるそのための室において優れている。さらに、さらなるこの発明の真空室は請求項１９において優れている。好ましい利用方法については、請求項１５から１７、ないし４２から４４に特定される。請求項１９の真空室では、後ほど説明されるように、真空室の壁にある処理開口部ないし輸送開口部からの工作物キャリヤの持ち上げ行程が全く、あるいはわずかしか必要なく、したがって特に前記能動パッキングの利用に極めて適している。次に、この発明が図面を参考例として詳細に説明される。図１は、第１の局面におけるこの発明の装置の概略図である。図２は、図１に基づいた、好ましい流体駆動駆動体配置の、好ましくは気圧または油圧駆動駆動体配置の、駆動体領域における部分拡大図である。図３は、第２の局面におけるこの発明の処理室の開口部領域におけるパッキング配置の概略図である。図４は、図３のパッキングの好ましい実施例の概略図である。図５は、ある装置の外部ケーシングの一部の上面図である。図６は、図５に概略的に示された装置の外部ケーシングにおける−セグメントの、線Ｉ−Ｉに沿った断面図である。図７は、この発明の装置の好ましい実施例の簡略化された部分横断面図である。図８は、この発明の装置の好ましい実施例の一部の縦断面図である。図９は、図８によるこの発明の装置のさらに好ましい実施例における、部分横断面図である。図１０は、平らな工作物キャリヤと、工作物が供給されるべき従来の開口部を備えた円筒状縁取り表面との間の関係を示す透視図である。図１１は、必要な持ち上げ行程の条件を説明するための、図１０の関係を示す上面図である。図１２は、開口部縁部および工作物キャリヤ縁部がこの発明にしたがって造形された場合の関係を示す、図１０と同様の図である。図１３は、それによって、持ち上げ行程に関して得られた結果を示す図である。図１４は、球円環形状室壁を備える、この発明による装置の縦断面図である。図１５は、図１４の装置の横断面図である。図１６は、能動パッキングを備えたこの発明による装置の、図１４と同様の図である。図１７は、図１４および図１５、ないし好ましくは図１６の、この発明による複数の室がモジュール毎に積み上げられた、側面図である。図１８は、図１７の装置における、この発明による開口部縁取り表面および工作物キャリヤの、室の外側における形を示す図である。図１には、基本的にはＥＰ−Ａ−０１３６５６２によって周知となった種類の装置の概略のみが示されるが、この発明の第１の局面に従ってさらに発展させたものである。基本的には軸Ａの周りに円筒状に形成された外部ハウジング１に、少なくとも一つの、図においては二つの大円Ｋに沿って、工作物５を連続輸送するための、または処理するための開口部３が設けられる。開口部３には一般に被覆室、エッチング室、冷却室、加熱室、輸送室、または制流室として理解される処理室が配置され、そのうち少なくとも一つは表面処理室、好ましくはプラズマ表面処理室であり、さらに好ましくは特にマグネトロン供給源を備えた噴霧室である。外部ケーシング１の内壁と共に内部ケーシング７の外壁が、同じく軸Ａに対して基本的に円筒状に、円環形状輸送室９を形成する。その内部に、軸Ａに対して回転駆動される回転装置１１が設けられ、前記大円Ｋに沿ってここに工作物５が、好ましくはここでは円盤形状工作物が置かれ、保持される。ここで扱われるのは好ましくは、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤのような記憶ディスクであり、特にＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phase-Change-Disks）およびＲＣ（Recordable Disks）のような再書き込み可能な記憶ディスクである。回転装置１１の軸Ａの周りを回る回転運動によって、工作物５は一つまたは複数の大円Ｋ上にそれぞれの室１４の開口部３に対して連続的に位置決めされる。この発明によると、内部ケーシング７には各々開口部３に向き合う駆動装置１６が設けられ、これらの駆動装置によって，タペット１８が駆動体として開口部３に向けて半径方向に動かされ、ないし開口部から引き戻される。直接ないし間接的に、例えば（ここには図示されない）受容皿を介して、タペット１８がそれに対応して位置決めされた工作物５に作用し、タペットの送りによって工作物５が必要な分だけ開口部３に向けて動かされか、あるいは開口部から引き戻される。必要なときにはいつでも駆動装置１６のいずれもが起動され得るが、駆動装置の行程は、それぞれの室１４におけるそれぞれの処理が必要とする作動距離にしたがって個々に定められる。室１４が例えば制流室であれば、開口部領域３においてより高い要求を満たすパッキングを実現するために、対応する駆動装置１６の行程はその他の室におけるものより幾分長いものにする必要がある。したがって図１から明らかなように、全てのタペットにはそれぞれに駆動装置１６が設けられる。図１においては、工作物は二つの大円Ｋにそれぞれ配属された室１４に回転装置によって供給されるが、室１４は大抵の場合、一つの大円Ｋに沿ってのみ設けられ、回転装置１１および駆動装置１６はそれに応じて設計される。図１の室において、複数の大円Ｋに沿って処理室１４を設けながら、工作物５がただ一つの大円Ｋに沿ってのみ配置されるように回転装置１１を設計し、回転装置１１を軸方向においても、すなわち軸Ａの方向においても上下に変位させることによって、例えば工作物にまず一つの大円Ｋにおける処理室１４を通過させ、次に第２の大円Ｋに沿った処理室１４を通過させることは、当然可能である。図１の駆動装置１６は磁気または電動機によって流体駆動、すなわち気圧式または油圧式で、好ましくは気圧式で駆動され得る。開口部３の縁取り表面および工作物５のための工作物キャリヤ（図示されず）の縁取り表面の好ましい形態については、図７から図９および図１０から図１３、ならびにこれに関連して以下に続く説明を参照されたい。これによって、タペット１８の持ち上げ運動を、そもそも必要な場合には、できるだけ少なくすることが可能である。図１の駆動装置１６の好ましい実施例の概略図が図２に示される。強調されるべきは、そのような駆動装置、すなわち一般にそのように流体制御される、特に気圧式または油圧式パッキング制御装置は、図１に示された以外の、その他の真空処理装置においても利用可能であり、すなわち工作物を処理室の開口部に供給し、その際前記処理室を必要な範囲において密封する必要がある場合は、いつでも利用可能である。気圧式駆動装置が好ましいのは真空技術上の理由からである。最小行程と流体制御能動パッキングとの好ましい組み合わせについては、図７から図１３についての以下の説明が参考となる。一つの側壁、好ましくは一方の側が輸送空間９ａを規定する固定されたケーシング側壁７ａに、あるいは場合によっては同様に可動性の、図示されていない輸送機構に、例えば複数の処理室開口部３ａに供給するための気密性のベロー２０が設けられ、このベローは好ましくは安定部２２か、あるいは２３に破線で示されたような接触部を備える。ベロー容積の圧力衝撃および膨張によって工作物５は、図１における回転装置１１のような輸送配置１１ａから、開口部３ａに向けて持ち上げられ、これによって処理室１４のプロセス空間が輸送室９ａから必要な分だけ密閉される。例えば排出弁２５によってベロー空間から圧力が軽減されると、場合によってはばねで固定されたベローが工作物５とともに引き戻される。こうして、処理室１４の開口部領域３ａにおいて流体、特に気圧または油圧操作ないし制御可能なパッキング配置が実現される。図１をみると、図２に概略的に図示されたように図１の駆動装置１６を形成することによって極めて小さな構造が得られることが明らかであり、さらに図１をみると、図２の駆動装置を内部シリンダ７にモジュール毎に配置することによって、内部シリンダ内において作動距離を事実上収容する必要がないので、シリンダをできるだけ小さく形成することが可能であることがわかる。これは特に、図１０から図１３について以下に説明される原理に従う場合に、当てはまる。図３には、気圧式または油圧式の、好ましくは気圧制御されるパッキング配置のさらなる変形実施例の概略が示される。処理室１４の開口部領域３ｂの周りには弾性ホース３０または弾性ベローが配置され、ｐで示されたように、制御されながら圧力衝撃を受ける。ホースはその際それ自体の弾性の範囲内で延び、工作物５のための輸送配置１１ｂにぴったりと隣接するか、あるいはそれが可能な場合には直接工作物５に（図示されず）隣接する。その際、工作物５は輸送配置１１ｂから開口部３ｂの方向へ、ないしそれから離れるように変位されてはならない。これは特に、回転輸送配置１１ｂにおいて図１０から図１３について説明された原理に従う場合に、あてはまる。図３に示されたようなホースないしベロー配置３０の代わりに、図４に概略的に示された配置が利用され得る。この配置においては、ベローないしホース３０の代わりに金属ベロー３１が用いられ、このベローは場合によってはエラストマーによって被覆される。場合によってはエラストマーによって外側が被覆された金属ベロー３１は、ここでもｐで概略が示されたように、その圧力衝撃によって、好ましくはＯリング配置３２に押しつけられるが、このＯリング配置は必ずしも必要ではない。図４に示された制御パッキング配置によって、図３に示された配置よりも高い温度負荷に晒すことが可能となるが、これは金属ダイヤフラムないし金属ベロー３１の弾性値が、合成樹脂からなる弾性ホースないしベロー３０に比して、はるかに広い温度領域において基本的に一定であるためである。したがって、図４の配置は主により高い温度負荷がかかる領域において利用される。図５には、この発明の第３の局面における、この発明の真空処理装置の外部内壁ないし外部ケーシング１の部分概略図が示される。この壁は、前述の処理室を取り付けるための開口部３を含む。前記開口部の間には、シリンダの母線方向において、ケーシング６０の内壁に管ないし内腔６２が埋め込まれ、これらの管ないし内腔６２は接続６４を介してそれぞれ、開口部３を形成する隣接する壁部分と連絡し、さらに接続６６を介して外側から接続可能である。当然ながら管６２の上部および下部は密封されるか、または例えばねじ付ボルトによって密封され得、あるいは接続６６が直接内腔６２の上部ないし下部に当てられる。さらに接続６４もまた選択的に、６８で概略的に示されたように、例えばねじボルトによって密封され得る。その結果、そのようにして実現した分配システム６２、６４、６６によって、開口部３に接続された処理室をポンプで排出、注入し、また場合によってはそれにガス衝撃を与えるという、高い柔軟性が得られる。図５の管配置によって高い導管コンダクタンスが得られるが、これは管の横断面をできるだけ大きくすることによって、処理室のために設けられた開口部３と外部接続との間には極めて小さな距離のみしか存在し得ないからである。図６には、外部ケーシング１の好ましい実施例の、図５の線Ｉ−Ｉにおける断面図が示される。参照番号は図５と同じものが用いられる。図示された実施例においては、接続６６は管６２の前面に直接設けられる。管６２は（ａ）で示されたように外部ケーシング壁１の大きさに渡って延びるか、あるいは（ｂ）で示されたように袋内腔として形成されるか、あるいは場合によっては例えばねじ入れ可能な分離ボルト６３によって分離可能である。接続６６には直接連結機械が、好ましくはターボ真空ポンプ６７がフランジを介して接合されるか、あるいは終端キャップ６８がはめられる。図から明らかなように、この構造によって極めて高い柔軟性が得られ、外部連結機械、特に前記ターボ真空ポンプ６７を、また弁および／またはさらなるポンプを接続することが可能である。ケーシング１はその際単一の材料から、好ましくは単一構造として形成され、好ましくはアルミニウムまたはアルミニウム合金からなる。また、図１の内部ケーシング７は好ましくは前記金属からなり、好ましくはまた単一材料から、単一構造として形成されるのが好ましい。図７には、この発明による処理装置の好ましい実施例における横断面の一部が簡単に示される。この装置においては以下の局面が実現されている、すなわち ― 個々の駆動体が独自の駆動装置を有し、 ― 気圧式パッキング制御 ― 配管システムのための内壁の最適利用 ― 持ち上げ行程が最小限である（図１０から図１３を参照）という局面である。既に説明された機構および連結機械については可能なかぎり、また相互参照を容易にするために、既に使用されたものと同じ参照番号が付される。外部ケーシング１は、被覆ステーション１４ａや制流ステーション１４ｂのような加工ステーションを受容するための開口部３を有する。開口部３の間のコーナー領域には、内腔６２が外部ケーシング１の内壁内に、それぞれ隣接する開口部３への接続部６４とともに、設けられる。外部ケーシング１の内壁の厚さは、プラズマ被覆室またはエッチング室１４ａのうち、プロセス空間７０が外部ケーシングの壁によって制限されるように、あるいは制流ステーション１４ｂにおける制流空間７２が外部制流弁７４によって制限されるように、定められる。開口部３に相対する内部ケーシング７は、図２に示されたように作動可能なタペット装置を有し、そこではベロー空間の圧力衝撃によって駆動体７６が、引っ張りばね７８の引き戻す力に抗して持ち上げられる。内部および外部ケーシングによって形成される円環形状の輸送空間９には回転装置１１が、工作物ディスク５のためにはめ込まれた工作物キャリア８０とともに、駆動されて回転運動するように配置される。気圧式タペット駆動装置２０、７６の起動によって工作物キャリア８０が持ち上げられると、Ｂで示され丸で囲まれた、開口部３を取り囲む領域が必要なだけ密閉される。制流ステーション１４ｂにおいて明らかなように、その際工作物キャリア皿８０は内部制流弁を形成する。開口部３と工作物キャリヤ８０との縁取り表面の好ましい形態によって、タペット駆動装置２０，７６に必要な持ち上げ運動はごくわずかとなる。さらに、好ましくは図４に示されたように、領域Ｂには流体制御された能動パッキングが設けられ得る。図８には、図７の軸Ａに沿った処理ステーションの、特に被覆ステーション１４ａ（これ自体は断面ではない）の縦断面図が図７におけるより詳細に示される。ここでも、既に説明された装置については、出来る限り同じ参照番号が用いられる。図７の実施例に加えて、ここでは回転装置１１の軸受け８２およびその駆動装置８４に注目されたい。さらにこの図においては、戻りばね８６が明確に示されており、このばねは例えば好ましくは板ばねとして形成され、ベロー２０が排出し、戻る際には、駆動体７６とともに工作物キャリア８０を同様に引き戻す。図９にはさらにもう一つの好ましい実施例の、図７の軸Ａに対して垂直な断面図が示されるが、ここでは図３にしたがって、工作物５に対する半径方向の引き上げ運動は全く行なわれない。ここでも既に説明された装置については同じ参照番号が用いられる。ここで特に注目されるのは弾性パッキングベロー３０であり、このベローは開口部３の縁部と回転装置１１との間で機能する。既に何度も言及されたように、周囲を取り囲むそのような圧力ベロー３０または図４による金属パッキングダイヤフラム３１が、図の工作物５およびその表面処理において可能なかぎりは、工作物５に直接働きかけることも可能である。ここで、以下に説明される原理による、特に図１０から図１３による、領域３０における開口部３および工作物キャリヤの縁取り表面の設計が、持ち上げ運動を回避するのに非常に重要となる。ここまでに示された装置は、後ほど説明されるものの他に、まず以下の利点を備える。 ― 処理室への配管のために外部ケーシングが最適利用され、かつそれによって構造が極めてコンパクトとなる。 ― 内部ケーシングの内部空間Ｚから制御機構および制御駆動装置へ自由に到達できること。図７、図８および図９は、さらなる本質的局面において極めて有利に形成された、この発明による真空処理装置を示す。これは、まず図１０および図１１を参考に検討される。図１０には、少なくとも一つの工作物のための室壁１０１における出し入れ口または処理開口部１０３の縁取り表面１０２が、パッキング１０４とともに示される。１０５は、軸Ａを中心に駆動されて回転移動（ω）し、室内部または外部（図１８、Ａ’参照）にある工作物キャリヤを示す。工作物キャリヤ１０５はさらに軸Ａに対して半径方向に駆動されて変位（Ｈ）する。工作物キャリヤ１０５がさらに回転され得るには、少なくともＨ_minだけ表面１０２から持ち上げられねばならない。図１１ないし図７によると、以下が成り立つ。実際には、パッキングシステム、公差および安全距離等に依存する行程距離Δ ＨがＨ_minに加わる。軸Ａを有するシリンダ室の半径Ｒ₂は例えば１５０ｍｍ、工作物キャリヤのρ は例えば７０ｍｍであり、したがってＨ_minは１７ｍｍとなるが、これにさらに例えば１０ｍｍのΔＨが加わる。特に図１１から明らかなように、この周知の従来の方法によると、平らな工作物キャリヤ１０５がそもそも引き続き軸Ａを中心とする回転運動ωによって壁１０１内の前記開口部の内のもう一つの開口部へと旋回され得るには、前記キャリヤが比較的大きな行程距離Ｈを引き戻されねばならないことになる。それ自体また発明的とみなされる、この発明のもう一つの局面においては、これまでに説明された装置の前述の全ての特徴と当然ながら組み合わせ可能であるが、図７から図９に既に示され、これから説明される装置によってこの欠点が解消される。この問題の根本的解決策はまず、図１０および図１１と同様の図１２および図１３に示される。開口部１０３の縁取り表面１０２’はここでは、軸Ａを有する回転体円筒表面、例えば図に示されたようにシリンダ表面の一部である。同様に、工作物キャリヤ１０５’の縁取り表面は同じ回転体円筒表面の一部である。図１１を見ると、図１３からわかるように、Ｒ₂＝Ｒ₁ であり、ρには左右されずに、Ｈ_min＝Ｒ₂−Ｒ₁＝０が成り立つ。 ΔＨは依然として必要な行程ではあるが、図１１および図１２の例によるとはるかに少なく、行程それ自体、それに連結する遊び、公差などが低減されるので、この行程をさらに少なく設計する事が可能である。図１２および図１３における考察は、それぞれの開口部を囲む表面のみが回転体の表面を規定するのではなく、室壁１０１全体が基本的に回転体表面を規定する場合にも、当然あてはまる。上述の図面、特に図７から図９の真空処理装置は上記の局面において実現される。図７および図９の横断面図、ないし図８の縦断面図から明らかなことは、図７においてＢで囲まれた領域における工作物キャリヤ８０，並びに開口部３の縁取り表面が、少なくとも極めて近似的に円筒側壁の一部表面に対応して形成されており、その結果、軸Ａに対して半径方向にごくわずかに持ち上げることで、工作物キャリヤ８０を取り外し、さらに旋回させることが可能である、という点である。図９の実施例においては持ち上げ運動は全くなくなり、能動パッキングによって工作物キャリヤ（回転装置）と開口部縁取り部との間の間隙が隙間なく埋められる。図９に既に示されたように、開口部縁取り表面は、交換可能かつ製造の際に取り扱いが容易なフランジ６４’に装着して形成されるのが望ましい。図１４の縦断面図、および図１５の横断面図においては、軸Ａないし中心点Ｍに対して、球半径Ｒ＝Ｒ₁を有する球面リングを固定する室１１０が示される。軸Ａに対して回転駆動される輸送装置１１２は、それぞれ好ましくは互いに独立したケース入りの駆動装置１１７を一つ備える複数の、図の例においては四つの、半径方向に作用するタペット１１５を有する。タペット１１５の末端に設けられた工作物キャリヤ１１７はその周辺領域１１９において、半径Ｒの球面の球底リングに少なくとも極めて近似した形をしている。したがってこれらのキャリヤは、同様に半径Ｒを有する球面の球底リングとして形成された各々の開口部１２１の縁取り表面にぴったりと隣接し得る。工作物キャリヤ１１７の縁取り表面は、上記のように球面リング形状であるか、あるいは図１５の１２３に示されたように、開口部縁取り表面によって固定された球面リングとの接線円錐から切り取られた、ほぼ円錐リングの形をしている。前記球面リングもまた場合によっては、１２３で示されたように、円錐の円錐表面リングに極めて近似したものとして形成され得る。特に図１５から明らかなように、円盤形状の工作物を受容するための工作物キャリヤ１１７の縁取り表面は、中央マスキング１２５によって保持されながら、工作物１２９のための周辺マスキングリング１２７によって形成される。さらに図１４および図１５においては、開口部１２１の一つに、スパッタステーション１３１のような処理ステーションが図示され、さらにスパッタステーション１３１のためのポンプ１３３および輸送室として形成された室１１０のためのポンプ１３５が示される。開口部の縁取り表面はここでも好ましくは独立したフランジ１２０内に組み込まれる。ここでも場合によってはパッキング１１９′が、油圧制御可能な、好ましくは気圧制御可能な能動パッキングとして形成され得る。図１６の装置においては、図１４の球リング室１１０内の回転輸送装置１４２のキャリヤアーム１４０の末端に工作物キャリヤ１４４が載置される。前記アームは半径方向に繰り出されるのではなく、軸Ａを中心に回転駆動されるのみである。図９と同様、領域Ｂ’のパッキングは間隙を埋める能動パッキングとして、例えば図４のように、設計される。アーム１４０においては行程は全く必要ないので、中空管として形成されたその中には、図１６の１４５に概略的に示されたように、例えば領域Ｂ’に間隙パッキングが設けられる場合には工作物キャリヤ駆動装置のような連結装置が、例えば工作物の温度を測定するための測定連結装置が、例えば工作物を加熱または冷却するための調整ユニットが、電気および／または加熱／冷却媒体配管などが、導入ないし配置され得る。この発明によって行程が最小化されることによって、図１５の平面において輸送装置１１２を、または図７の回転装置１１をさらに回転させ得るために、能動パッキングを用いずに、行程を引き戻す運動Ｈが可能となる。この行程引き戻し運動は、工作物キャリヤが軸の周りを回転することによって規定される回転体表面の半径Ｒに関して、以下の関係を満たす。ｒ≦１５％Ｒないし、好ましくはｒ≦１０％Ｒさらに好ましくはｒ≦ ５％Ｒしたがって、図１４において半径Ｒ＝Ｒ₁であり、それが約１４５ｍｍである場合、取り外し行程を２０ｍｍより少なく、好ましくは１２ｍｍより少なく、さらに８ｍｍより少なくすることが可能である。これによって、大きなサイズρの工作物キャリヤを小さい直径（Ｒ，Ｒ₁）の室内において室の軸（Ａ）を中心に回転させることによって、必要とあれば極めてわずかな持ち上げ運動で、輸送することが可能となる。持ち上げ運動（ΔＨ）は工作物キャリヤの大きさρに依存しなくなる。行程は最大２０％ρ、好ましくは最大１０％ρ、さらには５％ρの大きさに定められ、その下限は定められない。能動パッキングまたは間隙パッキングが設けられると、あらゆる行程は不要となり得る。その際、開口部を取り巻く室壁表面は、図７の１２３’ないし図１５の１２３に示されたように、少なくとも極めて近似した形で、場合によっては前述の意味における近似表面によって円筒表面または球表面を規定する。工作物キャリヤの縁取り表面はそれに対応して、特に図１５の周辺マスキングリング１２７によって明らかなように、球面リングを規定し、または図７から図９のように、円筒表面の一部を規定するが、これは同様に１２３’ないし１２３で示されたように精確に、または近似表面によって実現される。図７の回転装置においては、半径タペットは開口部に合わせて固定されるか、あるいは同様に軸Ａに対して回転駆動され得る。開口部縁取り表面および工作物縁取り表面の造形について従来の装置と比較すると、この発明によると、工作物キャリヤのために必要な返還行程を２５％より少なくすることが可能である。この必要最小限の行程によって、サイクル時間をより短くすることが可能であり、これによってまたそのような装置における挿入量を増大させることができる。図１７から明らかなように、ここではこの発明による複数の真空室１２１がコンパクトであるため、それらをモジュール毎に積み重ねることが可能であり、かつそれらを例えば共通の駆動エンジン１２５、共通のポンプ１２７、共通の処理ロボット配置１２９によって操作ないし供給することが可能である。開口部縁取り部の造形、および工作物キャリヤ縁取り部の造形に関する原理はまた、図１８をみると、外部にある処理ロボット１２９の工作物キャリヤ１３１に関して、真空室の外部表面においても、図１４、図１５のタペットまたは、好ましくは図１６のキャリヤアーム１４０とともに、当然実現可能である。この発明の装置はしたがって、既に述べられたものの他に、以下の利点を有する。 ― 運動箇所が少なく、しかも運動行程が短い。これは信頼性を大きく高め、かつ整備をはるかに容易にする。 ― 装置製造における高い経済性。 ― 工作物が進む経路が短く、かつ運動質量が小さいため、多量に装入することが可能となる。 ― 処理室を大きさに応じて互いに隔絶することができるため、多層システムの布設に極めて適している。 ― 処理ステーションにおいて、摩耗せず、個々に調整可能なように制御されるパッキング。 ― 時間および行程を個々に制御可能なタペット駆動装置。 ― 極めてコンパクトな構造。円盤形状の工作物を処理するには、図１４から図１６による球円環形状の室が好ましい。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１０年９月１日（１９９８．９．１）【補正内容】請求の範囲１．（ａ）軸（Ａ）を中心に基本的に円筒状の内部壁を規定する外部ケーシング（１）と、（ｂ）円筒状内壁の少なくとも一つの大円（Ｋ）に沿って配置された、そのつど一つの工作物（５）を処理するための、または連続輸送するための少なくとも二つの開口部（３）と、（ｃ）開口部（３）と接続された、それぞれ一つの処理室、輸送室、または制流室（１４）と、（ｄ）基本的に円筒状の外壁を規定し、かつ外部ケーシング（１）の内壁とともに、基本的に円筒状の円環状間隙を固定する、内部ケーシングと、（ｅ）軸（Ａ）を中心に回転駆動されて、円環状間隙（９）内に格納される工作物キャリヤ回転装置（１１）と、（ｆ）内部ケーシング（７）にあって開口部（３）に合わせられ、半径方向に回転駆動されて円環状間隙（９）内において作用する駆動体（１８，２２）を含む送り装置（１６，１８）とを備えた、真空処理装置であって、全ての駆動体（１８，２２）が独自の駆動装置（１６，２０）を有することを特徴とする、装置。２．開口部（３）のうちの少なくとも一つにつき、流体制御される、好ましくは気圧制御または油圧制御されるパッキング配置（２０，Ｂ；３０）が設けられることを特徴とし、前記パッキング配置によって、開口部縁部とそれぞれの工作物受容部ないし工作物（５）自体との間における、開口部（３）を囲むパッキングが提供されるか、ないし解除される、請求項１の少なくとも特徴（ａ）から（ｃ）による、さらに開口部（３）に合わせることが可能な工作物受容部を有する送り装置（１６，１８）を備える、真空処理装置。３．請求項１および２に記載の特徴による装置。４．表面処理室がプラズマ表面処理室であるか、好ましくは、特にマグネトロン供給源を備える、噴霧室であることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の装置。５．駆動体駆動装置が流体駆動される、好ましくは気圧式駆動装置であり、好ましくは駆動装置ケーシングへの駆動体がベロー（２０）で覆われており、ベロー内部空間が圧力駆動空間として作用することを特徴とする、請求項１、３または４のいずれかに記載の真空処理装置。６．駆動体（１８，２２）が回転装置におけるそれぞれの工作物（５）に直接、または回転装置に固定された、工作物（５）のための受容皿（８０）に作用することを特徴とする、請求項１、３、４または５のいずれかに記載の装置。７．開口部領域（３）において開口部の少なくとも一つにパッキング配置（Ｂ）が設けられることを特徴とし、前記パッキング配置は、制御されて、開口部縁部領域と工作物自体との間を、および／または開口部縁部領域と回転装置上の工作物受容部（８０）との間を、駆動体（１８，２２）の動きによって制御されて密封する、請求項６に記載の装置。８．回転装置に工作物（５）のための受容皿（８０）が設けられることを特徴とし、前記受容皿は、処理室としての制流室において室側の制流弁を形成する、請求項６または７のいずれかに記載の装置。９．駆動体が、それぞれ少なくとも一つの、圧力衝撃を与え得る弾性ベロー（２０）によって形成されることを特徴とする、請求項５に記載の装置。１０．開口部（３）の少なくとも一つの周りに、流体制御される、好ましくは気圧または油圧によって膨張し得る、特に気圧によって膨張し得る弾性パッキング（３０）が設けられることを特徴とし、前記パッキングは圧力衝撃を与える際に工作物受容部（１１）または工作物（５）自体に隙間なく隣接する、請求項２または３のいずれかに記載の装置。１１．少なくとも一つの開口部縁部と、工作物受容部または工作物自体の周りを取り囲む区域とが制御可能なパッキングを形成し、かつ前記パッキング制御は、流体制御された、好ましくは気圧式または油圧式の、特に気圧式の圧力固定装置（２０）によって行なわれることを特徴とし、前記圧力固定装置（２０）によって、圧力衝撃が与えられる際には、工作物受容部または工作物自体が開口部縁部に向けて隙間なく圧力固定される、請求項２または３のいずれかに記載の装置。１２．外部ケーシング（１）の開口部領域（３）における内壁が制流室の壁を形成し、または真空処理室のプロセス空間（７０）を形成することを特徴とする、請求項１から１１のいずれかに記載の装置。１３．複数の大円に沿って開口部が配置され、かつ工作物（５）を受容するための回転装置（１１）が対応する数の大円に沿って設計され、または軸方向に移動されることを特徴とする、請求項１から１２のいずれかに記載の装置。１４．シリンダ表面の一部に対応する縁領域を備え、鍋形状の工作物キャリヤ（８０）が設けられることを特徴とする、請求項１から１３のいずれかに記載の装置。１５．工作物を多層システムで被覆するための、請求項１から１４のいずれかに記載の装置の利用。１６．記憶ディスクを製造するための、請求項１から１４のいずれかに記載の装置の利用。１７．半導体ウエハ、記憶ディスク、特に光学記憶ディスク、ないしＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ、特にＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phase-Change-Disks）およびＲＤ（Recordable Disks）のような再収録可能な記憶ディスクを処理するための、請求項１６に記載の利用。１８．外部ケーシング（１）と、少なくとも二つの開口部（３）と、内部ケーシングと、工作物キャリヤ回転装置と、駆動体を備えた送り装置とを備える、請求項１から１４のいずれかに記載の真空処理装置のための輸送室。１９．少なくとも一つの工作物を連続輸送または処理するための少なくとも一つの開口部と、 ● 回転軸（Ａ，Ａ’）に対して半径方向に合わせられた皿軸を備える少なくとも一つの工作物キャリヤ皿（８０，１１７，１３１）を有し、室内および／または室外において軸（Ａ，Ａ’）を中心に回転駆動される輸送装置（１１，１１２，１２９）とを備え、前記工作物キャリヤ皿は輸送装置によって開口部（３，１０３，１２１）に向けて合わせることができ、さらに ● 軸として回転体軸（Ａ，Ａ’）を備える回転体の回転体側壁表面の一部表面として少なくとも極めて近似して形成される、工作物キャリヤ皿を縁取る第１の平面（１２３’，１２３）と ● 工作物キャリヤ皿を開口部に向けて合わせる際に第１の平面と平行である、室内の開口部（３，１０３，１２１）を縁取る第２の平面とを備える、真空室。２０．第１平面が、第２平面に向けて合わせられて間隙パッキングを固定することを特徴とする、請求項１９に記載の室。２１．少なくとも前記平面のうちの一つに、流体制御される、好ましくは気圧または油圧制御されるパッキング配置が設けられることを特徴とする、請求項１９または２０に記載の室。２２．パッキング配置が弾性ベローおよび／または弾性材料のパッキングダイヤフラムを含むことを特徴とする、請求項２１に記載の室。２３．軸（Ａ，Ａ’）に対して少なくとも運動成分内において半径方向に回転駆動され、工作物キャリヤ皿に作用する少なくとも一つの駆動体（７６，１１５，１３２）を備えることを特徴とし、開口部に向けて合わせられた工作物キャリヤ皿が前記駆動体によって、前記開口部に向けて、ないしそこから離れるように運動可能である、請求項１９から２２のいずれかに記載の室。２４．前記回転体が球または円筒であり、好ましくは球であることを特徴とする、請求項１９から２３のいずれかに記載の室。２５．輸送装置が真空室内に配置されていることを特徴とする、請求項１９から２４のいずれかに記載の室。２６．駆動体が半径方向において行程Ｈの運動をし、行程Ｈは回転体半径Ｒに関して以下の関係を満たす、すなわちＨ≦１５％Ｒ、好ましくは、Ｈ≦１０％Ｒ、さらに好ましくは、Ｈ≦ ５％Ｒ、であることを特徴とする、請求項２３から２５のいずれかに記載の室。２７．開口部に向けられた工作物キャリヤ皿が、軸に対して、半径方向に２０％ ρより少なく、好ましくは１０％ρより少なく、好ましくはさらに５％ρより少なく変位されることを特徴とし、工作物キャリヤ皿の軸方向における直径が２ρ である、請求項１９から２６のいずれかに記載の室。２８．輸送装置が、少なくとも二つの工作物キャリヤ皿を備える回転装置によって形成され、かつ少なくとも二つの開口部が設けられることを特徴とする、請求項１９から２７のいずれかに記載の室。２９．軸（Ａ，Ａ’）に対して回転しない少なくとも二つの駆動体が設けられるか、あるいは軸（Ａ，Ａ’）に対して回転するよう格納され、これに対して駆動される少なくとも一つの駆動体が設けられることを特徴とする、請求項１９から２８および２３のいずれかに記載の室。３０．駆動体が輸送装置に固定されることを特徴とする、請求項１９から２９および２３のいずれかに記載の室。３１．輸送装置および駆動体が、軸（Ａ，Ａ’）を中心に回転駆動されて載置され、かつこれに対して少なくとも一つの運動成分内において半径方向に繰り出され得る、ないし引き戻され得る、末端に工作物キャリヤ皿を備えたアームによって形成されることを特徴とする、請求項３０に記載の室。３２．複数の駆動体にそれぞれ一つの独立した駆動装置が設けられることを特徴とする、請求項１９から３０のいずれかに記載の室。３３．輸送装置が、軸を中心に回転駆動されて載置される、末端に工作物キャリヤ皿を備える半径方向のアームを含み、かつ前記アームが中空体として形成され、例えば測定および／または調整装置のような連結装置のための受容空間を形成することを特徴とする、請求項１９から３２のいずれかに記載の室。３４．工作物キャリヤ皿が複数の工作物受容体を含み、かつこれらの受容体が、末端の遊星歯車装置の遊星として形成されることを特徴とする、請求項３３に記載の室。３５．少なくとも一つの工作物キャリヤ皿が円盤形状の工作物を受容するために形成され、かつ前記第１平面が、前記工作物のための周辺マスキングリングによって形成されることを特徴とする、請求項１９から３４のいずれかに記載の室。３６．マスキングリングが、工作物キャリヤ皿の球円環形状縁取り表面を規定することを特徴とする、請求項３５に記載の室。３７．工作物キャリヤ皿が、中央穴を有する円盤形状工作物のための中央マスキング栓を含むことを特徴とする、請求項３５または３６のいずれかに記載の室。３８．室がモジュールとして構成され、複数の室が同軸で積み重ね可能であり、好ましくは輸送装置のための共通の駆動エンジンと、さらに好ましくは前記室のための共通のポンプとを備えることを特徴とする、請求項１９から３７のいずれかに記載の室。３９．前記第１および第２平面が隙間なく、好ましくは真空気密状態で互いに隣接することを特徴とする、請求項１９から３８のいずれかに記載の室。４０．開口部の前記平面が、交換可能なフランジにおいて形成されることを特徴とする、請求項１９から３９のいずれかに記載の室。４１．請求項１９から４０の少なくとも一つに記載の真空室を備える、請求項１から１４のいずれかに記載の真空装置。４２．工作物を多層システムで被覆するための、請求項１９から４０のいずれかに記載の室の利用、ないし請求項４１に記載の装置の利用。４３．半導体ウエハまたは記憶ディスク、特に光学記憶ディスクを処理するための、請求項１９から４０のいずれかに記載の室の利用、ないし請求項４１に記載の装置の利用。４４．ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ、特にＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phas e-Change-Disks）またはＲＤ（Recordable Disks）のような再収録可能な記憶ディスクを製造するための、請求項１９から４０のいずれかに記載の室の利用、ないし請求項４１に記載の装置の利用。

Claims

【特許請求の範囲】１．（ａ）軸（Ａ）を中心に基本的に円筒状の内部壁を規定する外部ケーシング（１）と、（ｂ）円筒状内壁の少なくとも一つの大円（Ｋ）に沿って配置された、そのつど一つの工作物（５）を処理するための、または連続輸送するための少なくとも二つの開口部（３）と、（ｃ）開口部（３）と機能接続された、それぞれ一つの処理室、輸送室、または制流室（１４）と、（ｄ）基本的に円筒状の外壁を規定し、かつ外部ケーシング（１）の内壁とともに、基本的に円筒状の円環状間隙を固定する、内部ケーシングと、（ｅ）軸（Ａ）を中心に回転駆動されて、円環状間隙（９）内に格納される工作物キャリヤ回転装置（１１）と、（ｆ）内部ケーシング（７）にあって開口部（３）に合わせられ、半径方向に回転駆動されて円環状間隙（９）内において作用する駆動体（１８，２２）を含む送り装置（１６，１８）とを備えた、真空処理装置であって、全ての駆動体（１８，２２）が独自の駆動装置（１６，２０）を有することを特徴とする、装置。２．開口部（３）のうちの少なくとも一つと、流体制御される、好ましくは気圧制御または油圧制御されるパッキング配置（２０，Ｂ；３０）とが作用接続されることを特徴とし、前記パッキング配置によって、開口部縁部とそれぞれの工作物受容部ないし工作物（５）自体との間における、開口部（３）を囲むパッキングが提供されるか、ないし解除される、請求項１の少なくとも特徴(ａ)から(ｃ) による、さらに開口部（３）に合わせることが可能な工作物受容部を有する送り装置（１６，１８）を備える、真空処理装置。３．請求項１および２に記載の特徴による装置。４．表面処理室がプラズマ表面処理室であるか、好ましくは、特にマグネトロン供給源を備える、噴霧室であることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の装置。５．駆動体駆動装置が流体駆動される、好ましくは気圧式駆動装置であり、好ましくは駆動装置ケーシングへの駆動体がベロー（２０）で覆われており、ベロー内部空間が圧力駆動空間として作用することを特徴とする、請求項１、３または４のいずれかに記載の真空処理装置。６．駆動体（１８，２２）が回転装置におけるそれぞれの工作物（５）に直接、または回転装置に固定された、工作物（５）のための受容皿（８０）に作用することを特徴とする、請求項１、３、４または５のいずれかに記載の装置。７．開口部領域（３）において開口部の少なくとも一つにパッキング配置（Ｂ）が設けられることを特徴とし、前記パッキング配置は、制御されて、開口部縁部領域と工作物自体との間を、および／または開口部縁部領域と回転装置上の工作物受容部（８０）との間を、駆動体（１８，２２）の動きによって制御されて密封する、請求項６に記載の装置。８．回転装置に工作物（５）のための受容皿（８０）が設けられることを特徴とし、前記受容皿は、処理室としての制流室において室側の制流弁を形成する、請求項６または７のいずれかに記載の装置。９．駆動体が、それぞれ少なくとも一つの、圧力衝撃を与え得る弾性ベロー（２０）によって形成されることを特徴とする、請求項５に記載の装置。１０．開口部（３）の少なくとも一つの周りに、流体制御される、好ましくは気圧または油圧によって膨張し得る、特に気圧によって膨張し得る弾性パッキング（３０）が設けられることを特徴とし、前記パッキングは圧力衝撃を与える際に工作物受容部（１１）または工作物（５）自体に隙間なく隣接する、請求項２または３のいずれかに記載の装置。１１．少なくとも一つの開口部縁部と、工作物受容部または工作物自体の周りを取り囲む区域とが制御可能なパッキングを形成し、かつ前記パッキング制御は、流体制御された、好ましくは気圧式または油圧式の、特に気圧式の圧力固定装置（２０）によって行なわれることを特徴とし、前記圧力固定装置（２０）によって、圧力衝撃が与えられる際には、工作物受容部または工作物自体が開口部縁部に向けて隙間なく圧力固定される、請求項２または３のいずれかに記載の装置。１２．外部ケーシング（１）の開口部領域（３）における内壁が制流室の壁を形成し、または真空処理室のプロセス空間（７０）を形成することを特徴とする、請求項１から１１のいずれかに記載の装置。１３．複数の大円に沿って開口部が配置され、かつ工作物（５）を受容するための回転装置（１１）が対応する数の大円に沿って設計され、または軸方向に移動されることを特徴とする、請求項１から１２のいずれかに記載の装置。１４．シリンダ表面の一部に対応する縁領域を備え、鍋形状の工作物キャリヤ( ８０)が設けられることを特徴とする、請求項１から１３のいずれかに記載の装置。１５．多層システムを工作物上に布設するための、請求項１から１４のいずれかに記載の装置の利用。１６．記憶ディスクを製造するための、請求項１から１４のいずれかに記載の装置の利用。１７．半導体ウエハ、記憶ディスク、特に光学記憶ディスク、ないしＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ、特にＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phase-Change-Disks）およびＲＤ（Recordable Disks）のような再収録可能な記憶ディスクを処理するための、請求項１６に記載の利用。１８．外部ケーシング（１）と、少なくとも二つの開口部（３）と、内部ケーシングと、工作物キャリヤ回転装置と、駆動体を備えた送り装置とを備える、請求項１から１４のいずれかに記載の真空処理装置のための輸送室。１９．少なくとも一つの工作物を連続輸送または処理するための少なくとも一つの開口部（３，１０３，１２１）と、少なくとも一つの工作物キャリヤ（８０，１１７，１３１）を有する、室内および／または室外において軸（Ａ，Ａ’）を中心に回転駆動される輸送装置（１１，１１２，１２９）とを備え、工作物キャリヤは輸送装置によって開口部に向けて合わせられ得る、真空室であって、開口部（３，１０３，１２１）の少なくとも縁取り表面は、回転体軸としての軸（Ａ，Ａ’）を備える回転体表面の一部に、少なくともほぼ完全に近似して形成され、かつ工作物キャリヤの縁取り表面は前記回転体表面の一部に少なくともほぼ完全に近似して形成されることを特徴とする、真空室。２０．工作物キャリヤの縁取り表面が開口部に合わせられ、かつ開口部の縁取り表面が間隙パッキングを固定することを特徴とする、請求項１９に記載の室。２１．開口部または工作物キャリヤの少なくとも縁取り表面に、流体制御される、好ましくは気圧または油圧制御されるパッキング配置が設けられることを特徴とする、請求項１９または２０に記載の室。２２．パッキング配置が弾性ベローおよび／または弾性材料のパッキングダイヤフラムを含むことを特徴とする、請求項２１に記載の室。２３．軸（Ａ，Ａ’）に対して少なくとも運動成分内において半径方向に回転駆動され、工作物キャリヤに作用する少なくとも一つの駆動体（７６，１１５，１３２）を備えることを特徴とし、開口部に向けて合わせられた工作物キャリヤが前記駆動体によって、前記開口部に向けて、ないしそこから離れるように運動可能である、請求項１９から２２のいずれかに記載の室。２４．前記回転体が球または円筒であり、好ましくは球であることを特徴とする、請求項１９から２３のいずれかに記載の室。２５．輸送装置が真空室内に配置されていることを特徴とする、請求項１９から２４のいずれかに記載の室。２６．駆動体が半径方向において行程Ｈの運動をし、行程Ｈは回転体半径Ｒに関して以下の関係を満たす、すなわちＨ≦１５％Ｒ、好ましくは、Ｈ≦１０％Ｒ、さらに好ましくは、Ｈ≦ ５％Ｒ、であることを特徴とする、請求項１９から２５のいずれかに記載の室。２７．開口部に向けられた工作物キャリヤの縁取り表面が、開口部の縁取り表面および軸に対して、半径方向に２０％ρより少なく、好ましくは１０％ρより少なく、好ましくはさらに５％ρより少なく変位されることを特徴とし、工作物キャリヤの軸方向における大きさが２ρである、請求項１９から２６のいずれかに記載の室。２８．輸送装置が、少なくとも二つの工作物キャリヤを備える回転装置によって形成され、かつ少なくとも二つの開口部が設けられることを特徴とする、請求項１９から２７のいずれかに記載の室。２９．軸（Ａ，Ａ’）に対して回転しない少なくとも二つの駆動体が設けられるか、あるいは軸（Ａ，Ａ’）に対して回転するよう格納され、これに対して駆動される少なくとも一つの駆動体が設けられることを特徴とする、請求項１９から２８および２３のいずれかに記載の室。３０．駆動体が輸送装置に載置されることを特徴とする、請求項１９から２９および２３のいずれかに記載の室。３１．輸送装置および駆動体が、軸（Ａ，Ａ’）を中心に回転駆動されて載置され、かつこれに対して少なくとも一つの運動成分内において半径方向に繰り出され得る、ないし引き戻され得る、末端に工作物キャリヤを備えたアームによって形成されることを特徴とする、請求項３０に記載の室。３２．複数の駆動体にそれぞれ一つの独立した駆動装置が設けられることを特徴とする、請求項１９から３０のいずれかに記載の室。３３．輸送装置が、軸を中心に回転駆動されて載置される、末端に工作物キャリヤを備える半径方向のアームを含み、かつ前記アームが中空体として形成され、例えば測定および／または調整装置のような連結装置のための受容空間を形成することを特徴とする、請求項１９から３２のいずれかに記載の室。３４．工作物キャリヤが複数の工作物受容体を含み、かつこれらの受容体が、末端の遊星歯車装置の遊星として形成されることを特徴とする、請求項３３に記載の室。３５．少なくとも一つの工作物キャリヤが円盤形状の工作物を受容するために形成され、かつその縁取り表面が、前記工作物のための周辺マスキングリングによって形成されることを特徴とする、請求項１９から３４のいずれかに記載の室。３６．マスキングリングが、工作物キャリヤの球円環形状縁取り表面を規定することを特徴とする、請求項３５に記載の室。３７．工作物キャリヤが、中央穴を有する円盤形状工作物のための中央マスキング栓を含むことを特徴とする、請求項３５または３６のいずれかに記載の室。３８．室がモジュールとして構成され、複数の室が同軸で積み重ね可能であり、好ましくは輸送装置のための共通の駆動エンジンと、さらに好ましくは前記室のための共通のポンプとを備えることを特徴とする、請求項１９から３７のいずれかに記載の室。３９．開口部縁取り部および工作物キャリヤ縁取り部が隙間なく、好ましくは真空気密状態で互いに隣接することを特徴とする、請求項１９から３８のいずれかに記載の室。４０．開口部の縁取り表面が、交換可能なフランジによって形成されることを特徴とする、請求項１９から３９のいずれかに記載の室。４１．請求項１９から４０の少なくとも一つに記載の真空室を備える、請求項１から１４のいずれかに記載の真空装置。４２．多層システムを工作物上に布設するための、請求項１９から４０のいずれかに記載の室の利用、ないし請求項４１に記載の装置の利用。４３．半導体ウエハまたは記憶ディスク、特に光学記憶ディスクを処理するための、請求項１９から４０のいずれかに記載の室の利用、ないし請求項４１に記載の装置の利用。４４．ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ、特にＭＯＤ、フェーズ・チェンジ・ディスク（Phas e-Change-Disks）またはＲＤ（Recordable Disks）のような再収録可能な記憶ディスクを製造するための、請求項１９から４０のいずれかに記載の室の利用、ないし請求項４１に記載の装置の利用。