KR20010009820A - 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 시스템 및 방법 - Google Patents

반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 시스템 및 방법 Download PDF

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KR20010009820A
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 시스템 및 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템 하에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있을 경우의 운용방법과 그렇지 않을 경우의 운용방법을 통합하여 자동 카세트 운용부의 설치 유무에 제약 없이 공정을 진행할 수 있는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비의 운용 시스템 및 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 이온주입 장비와 장비서버 사이에 온라인을 설정하고, 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비서버에 로트 진행을 명령하며, 상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하여, 상기 이온주입 장비에 공정조건을 제공한다. 다음으로, 상기 이온주입 장비에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행하며, 상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 카세트를 회수하는 방법을 제공하고자 함.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 반도체 제조공정의 이온 주입 장비의 운용에 이용됨.

Description

반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 시스템 및 방법{SYSTEM FOR OPERATING ION IMPLANTATION EQUIPMENT USED IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND METHOD USING THE SAME}
본 발명은 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비의 운용 시스템 및 방법과, 이를 실현시키기 위한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다.
이온주입 장비(ion implantation equipment)는 반도체 제조공정에서 폭넓게 사용되는 장비로서, 자동 카세트 운용부(automatic cassette handler)가 설치되어 있는 경우와 설치되어 있지 않은 경우가 있다.
따라서, 이온주입 장비는 자동 카세트 운용부의 설치 유무에 따라 이온주입 장비를 제어하기 위한 장비서버가 각각 하나씩 존재하게 된다.
첨부된 도1 및 도2를 참조하여, 종래의 반도체 제조를 위한 이온주입 장비의 운용 방법을 수행하기 위한 SECS-II(Semi Equipment Communications Standard-II) 메세지 흐름을 간략히 설명하면 다음과 같다.
도1은 자동 카세트 운용부가 설치되지 않은 이온주입 장비의 SECS-II 메세지 흐름도이다.
먼저, 작업자가 이온주입 장비(110)의 동작모드를 반자동으로 변경할 것을 명령하면(112), 상기 이온주입 장비(110)는 장비서버(100)로 존재확인 메세지(S1F1)를 전송하고, 상기 장비서버(100)로부터 온라인 설정 메세지(S1F2)를 수신하여 장비서버(100)와 이온주입 장비(110)가 온라인 상태가 된다.
다음으로, 상기 이온주입 장비(110)와 장비서버(100)는 상호간에 반자동모드 변경 메세지(S6F3)와 반자동모드 변경 응답 메세지(S6F4)를 수수한다.
이어서, 상기 이온주입 장비(110)와 장비서버(100)는 상호간에 날짜 / 시간 요청 메세지(S2F17)와 날짜 / 시간 요청 응답 메세지(S2F18)를 수수하여, 공정 날짜 / 시간을 맞춘다.
이후, 작업자는 상기 장비서버에 로트 진행 명령을 전달하고(114), 상기 이온주입 장비(110)의 포트에 카세트를 제공하며, 카세트 준비 확인 버튼을 누른다(116).
작업자로부터 카세트를 제공받은 상기 이온주입 장비(110)는 상기 장비서버(100)와 카세트 제공 완료 메세지(S4F71)와 카세트 제공 완료 응답 메세지(S4F72)를 수수한다.
다음으로, 상기 장비서버(100)가 공정조건을 상기 이온주입 장비(110)에 제공하면(S2F27), 이온주입 장비(110)는 공정조건 수신 메세지(S2F28)를 상기 장비서버(100)에 전송한다.
이어서, 상기 장비서버(100)와 이온주입 장비(110)는 상호간에 공정 진행 명령(S2F21)과 공정 진행 명령 수신 메세지(S2F22)를 수수하고, 공정 시작 메세지(S6F3)와 공정 시작 응답 메세지(S6F4)를 수수한다.
상기 장비서버(100)로부터 공정 시작 응답 메세지(S6F4)를 수신한 상기 이온주입 장비(110)에서 웨이퍼는 공정을 진행한다(118).
다음으로, 상기 장비서버(100)와 이온주입 장비(110)는 상호간에 공정완료 메세지(S6F3)와 공정완료 응답 메세지(S6F4)를 수수하고, 카세트 회수 요청 메세지(S6F3)와 카세트 회수 요청 응답 메세지(S6F4)를 수수한다.
마지막으로, 작업자가 상기 이온주입 장비(110)에서 공정을 마친 카세트를 회수한다(120).
도2는 자동 카세트 운용부가 설치된 이온주입 장비의 SECS-II 메세지 흐름도이다.
먼저, 작업자가 이온주입 장비(110)의 동작모드를 반자동으로 변경할 것을 명령하면(200), 상기 이온주입 장비(110)는 장비서버(100)로 존재확인 메세지(S1F1)를 전송하고, 상기 장비서버(100)로부터 온라인 설정 메세지(S1F2)를 수신하여 장비서버(100)와 이온주입 장비(110)가 온라인 상태가 된다.
다음으로, 상기 이온주입 장비(110)와 장비서버(100)는 상호간에 반자동모드 변경 메세지(S6F3)와 반자동모드 변경 응답 메세지(S6F4)를 수수한다.
이어서, 상기 이온주입 장비(110)와 장비서버(100)는 상호간에 날짜 / 시간 요청 메세지(S2F17)와 날짜 / 시간 요청 응답 메세지(S2F18)를 수수하여, 공정 날짜 / 시간을 맞춘다.
이후, 작업자는 상기 장비서버에 로트 진행 명령을 전달하고(202), 상기 이온주입 장비(110)의 포트에 카세트를 제공후 자동 카세트 운용부의 포트 내입을 명령한다(204).
작업자로부터 자동 카세트 운용부에 카세트를 제공받은 상기 이온주입 장비(110)는 상기 장비서버(100)와 카세트 제공 완료 메세지(S4F71)와 카세트 제공 완료 응답 메세지(S4F72)를 수수한다.
다음으로, 상기 장비서버(100)가 이온주입 장비(110)에 자동카세트 운용부에 공정조건을 제공하고(S2F65)하면, 상기 이온주입 장비(110)는 장비서버(100)에 공정조건 수신 메세지(S2F66)를 전송한다.
상기 이온주입 장비(110)로부터 공정조건 수신 메세지(S2F66)를 수신한 상기 장비서버(100)는 이온주입 장비로 공정조건을 제공하고(S2F27), 이온주입 장비(110)는 공정조건 수신 메세지(S2F28)를 상기 장비서버(100)로 전송한다.
이어서, 상기 장비서버(100)와 이온주입 장비(110)는 상호간에 공정조건 수신 메세지(S6F3)와 공정조건 수신 응답 메세지(S6F4)를 수수하고, 공정진행 명령(S2F21)과 공정진행 명령 수신 메세지(S2F22)를 수수한다.
이후, 상기 장비서버(100)와 이온주입 장비(110)는 상호간에 공정진행 시작 메세지(S2F3)와 공정진행 시작 응답 메세지(S2F4)를 수수하면, 상기 이온주입 장비(110)에서 제공된 카세트에 담긴 로트가 이온주입 공정을 진행한다(206).
상기 이온주입 장비(110)에 제공된 카세트에 담기 웨이퍼가 공정을 모두 마치면, 상기 장비서버(100)와 이온주입 장비(110)는 상호간에 카세트 회수 요청 메세지(S4F65)와 카세트 회수 요청 수신 메세지(S4F66)를 수수한다.
다음으로, 작업자가 상기 이온주입 장비(110)에 자동 카세트 운용부 포트의 인출을 명령한다(208).
이어서, 상기 이온주입 장비(110)와 장비서버(100)가 카세트 회수 완료 메세지(S4F69)와 카세트 회수 완료 응답 메세지(S4F70)를 수수하면, 작업자는 자동 카세트 운용부에서 카세트를 회수한다(210).
그러나, 상기한 바와 같이 일련의 과정을 수행하는 종래의 반도체 제조를 위한 이온주입 장비의 운용 방법은, 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부의 설치 유무에 따라 상이한 운용방법을 수행하기 위한 각각의 장비서버가 운용되어야 하는 문제가 있으며 또한, 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 이온주입 장비에서 자동 카세트 운용부를 사용하지 않을 경우에 장비서버를 교체하여 운용방법을 수행하기 위한 프로그램을 설치해야하므로 작업자의 부가작업이 필요한 또 다른 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템 하에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있을 경우의 운용방법과 그렇지 않을 경우의 운용방법을 통합하여 자동 카세트 운용부의 설치 유무에 제약 없이 공정을 진행할 수 있는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 시스템 및 방법과, 이를 실현시키기 위한 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
도1은 자동 카세트 운용부가 설치되지 않은 이온 주입 장비의 운용 방법을 수행하기 위한 SECS-II 메세지 흐름도.
도2는 자동 카세트 운용부가 설치된 이온주입 장비의 운용 방법을 수행하기 위한 SECS-II 메세지 흐름도.
도3은 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 이온주입 장비의 운용 시스템의 구성을 나타낸 블럭 다이어그램.
도4는 본 발명에 의한 반도체 제조를 위한 이온주입 장비의 운용 방법을 수행하기 위한 처리 흐름도.
도5A 및 도5B는 본 발명에 의한 반도체 제조를 위한 이온주입 장비의 운용 방법을 수행하기 위한 SECS-II 메세지 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
300 : 작업자 인터페이스 프로세스 310 : 장비서버
320 : 이온주입 장비
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 이온주입 장비와 장비서버 사이에 온라인을 설정하는 제 1단계; 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비서버에 로트 진행을 명령하는 제 2단계; 상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 상기 이온주입 장비에 공정조건을 제공하는 제 3단계; 상기 제 3단계 수행후, 상기 이온주입 장비에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행하는 제 4단계; 및 상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 카세트를 회수하는 제 5단계를 제공한다.
본 발명은, 이온주입 장비와 장비서버 사이에 온라인을 설정하는 제 1기능; 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비서버에 로트 진행을 명령하는 제 2기능; 상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 상기 이온주입 장비에 공정조건을 제공하는 제 3기능; 상기 제 3단계 수행후, 상기 이온주입 장비에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행하는 제 4기능; 및 상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 카세트를 회수하는 제 5기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록 매체를 제공한다.
또한, 본 발명은, 자동 카세트 운용부가 설치될 수 있으며, 이온주입 공정을 수행하기 위한 이온주입 장비; 외부로부터 명령을 입력받고, 상기 이온주입 장비에 명령을 전송하기 위한 작업자 인터페이스 프로세스 수단; 및 상기 작업자 인터페이스 프로세스 수단으로부터 명령을 수신하고, 이온주입 장비와 메세지를 수수하며, 자동 카세트 운용부의 설치 유무에 관계없이 상기 이온주입 장비를 제어할 수 있는 이온 주입 장비 제어 서버를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 이온주입 시스템은, 작업자로부터 명령을 입력받으며 장비서버와 메세지를 수수하는 작업자 인터페이스 프로세스(300)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 작업자의 명령을 수신하고 이온주입 장비와 메세지를 수수하는 장비서버(310)와, 상기 장비서버와 메세지를 수수하며 작업자로부터 카세트를 제공받는 이온주입 장비(320)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 시스템이 수행하는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법을 도4를 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 작업자가 이온주입 장비(320)의 모드를 반자동 모드로 변경할 것을 명령하면, 상기 이온주입 장비(320)와 장비서버(310)는 상호간에 존재확인 메세지와 온라인 설정 메세지를 수수하여 온라인 설정한다(S400).
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 장비모드 변경 메세지와 장비모드 변경 응답 메세지를 수수하고, 날짜 / 시간 요청 메세지와 날짜 / 시간 요청 응답 메세지를 수수한다.
이어서, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스(300)를 이용하여 로트 진행 명령을 상기 장비서버(310)로 전달한다(S402).
이후, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 장비모드 요청 메세지와 장비모드 요청 응답 메세지를 수수하여 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단한다(S404).
상기 판단결과(S404), 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 경우, 작업자는 이온주입 장비(320)에 설치된 자동 카세트 운용부에 카세트를 제공한 후(S406), 자동 카세트 운용부 포트 내입 명령을 이온주입 장비(320)에 전달한다.
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 제공 완료 메세지와 카세트 제공 완료 응답 메세지를 수수하고, 상기 장비서버(310)가 자동 카세트 운용부에 공정조건을 제공하면, 상기 이온주입 장비(320)는 공정조건 수신 메세지를 상기 장비서버(310)로 전송한다.
이어서, 상기 장비서버(310)가 공정조건을 상기 이온주입 장비(320)에 제공하면(S408), 이온주입 장비(320)는 공정조건 수신 메세지를 장비서버(310)로 전송한다.
이후, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 공정조건 수신 메세지와 공정조건 수신 응답 메세지를 수수한다.
상기 판단결과(S404), 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있지 않은 경우, 작업자는 카세트를 상기 이온주입 장비(320)의 포트에 직접 제공하고(S410), 카세트 준비확인 버튼을 누른다.
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 제공 완료 메세지와 카세트 제공 완료 응답 메세지를 수수한다.
이어서, 상기 장비서버(310)가 공정조건을 상기 이온주입 장비(320)로 전송하면(S412), 이온주입 장비(320)는 공정조건 수신 메세지를 장비서버(310)로 전송한다.
이후, 상기 장비서버(310)가 공정진행 명령을 상기 이온주입 장비(320)로 전송하면, 이온주입 장비(320)는 공정진행 명령 응답 메세지를 상기 장비서버로 전송한다.
상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)가 상호간에 공정진행 시작 메세지와 공정진행 시작 응답 메세지를 수수하면, 상기 이온주입 장비(320)에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행한다(S414).
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)가 상호간에 공정 완료 메세지와 공정 완료 응답 메세지를 수수한다.
이어서, 상기 장비서버(310)가 장비모드 요청 메세지를 상기 이온주입 장비(320)로 전송하면, 장비서버(310)는 장비모드 요청 응답 메세지를 상기 이온주입 장비(320)로부터 수신하여 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단한다(S416).
상기 판단결과(S416), 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 경우, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 카세트 회수 요청 메세지와 카세트 회수 요청 응답 메세지를 수수한다.
이어서, 작업자는 상기 이온주입 장비(320)에 자동카세트 운용부 포트의 인출명령을 입력한다.
이후, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 회수 완료 메세지와 카세트 회수 완료 응답 메세지를 수수한다.
마지막으로, 상기 이온주입 장비(320)의 자동 카세트 운용부에서 작업자가 카세트를 회수한다(S420).
상기 판단결과(S416), 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있지 않은 경우, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 회수 요청 메세지와 카세트 회수 요청 응답 메세지를 수수하고, 카세트 회수 완료 메세지와 카세트 회수 완료 응답 메세지를 수수한다(S422).
마지막으로, 작업자는 상기 이온주입 장비(320)의 포트에서 카세트를 직접 회수한다(S424).
첨부된 도5A 및 도5B는 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법을 수행하기 위한 메세지 흐름도이다.
그러면, 도5A 및 도5B를 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법을 수행하기 위한 SECS-II(Semi Equipment Communications Standard-II) 메세지 흐름을 설명한다.
먼저, 작업자가 이온주입 장비(320)의 모드를 반자동 모드로 변경할 것을 명령하면(500), 상기 이온주입 장비(320)와 장비서버(310)는 상호간에 존재확인 메세지(S1F1)와 온라인 설정 메세지(S1F2)를 수수하여 온라인 설정한다.
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 장비모드 변경 메세지(S6F3)와 장비모드 변경 응답 메세지(S6F4)를 수수하고, 날짜 / 시간 요청 메세지(S2F17)와 날짜 / 시간 요청 응답 메세지(S2F18)를 수수한다.
이후, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 장비모드 요청 메세지(S1F3)와 장비모드 요청 응답 메세지(S1F4)를 수수하여 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단한다.
상기 판단결과, 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 경우, 작업자는 이온주입 장비(320)에 설치된 자동 카세트 운용부에 카세트를 제공한 후, 자동 카세트 운용부 포트 내입 명령을 이온주입 장비(320)에 전달한다(504).
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 제공 완료 메세지(S4F69)와 카세트 제공 완료 응답 메세지(S4F70)를 수수하고, 상기 장비서버(310)가 자동 카세트 운용부에 공정 조건을 제공하면(S2F65), 상기 이온 주입 장비는 공정조건 수신 메세지(S2F66)를 상기 장비서버(310)에 전송한다.
이어서, 상기 장비서버(310)가 공정조건을 상기 이온주입 장비(320)에 제공하면(S2F27), 이온주입 장비(320)는 공정조건 수신 메세지(S2F28)를 장비서버(310)로 전송한다.
이후, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 공정조건 수신 메세지(S6F3)와 공정조건 수신 응답 메세지(S6F3)를 수수한다.
상기 판단결과, 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있지 않은 경우, 작업자는 카세트를 상기 이온주입 장비(320)의 포트에 직접 제공하고(S410), 카세트 준비확인 버튼을 누른다(506).
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 제공 완료 메세지(S4F71)와 카세트 제공 완료 응답 메세지(S4F72)를 수수한다.
이어서, 상기 장비서버(310)가 공정조건을 상기 이온주입 장비(320)로 전송하면(S2F27), 이온주입 장비(320)는 공정조건 수신 메세지(S2F28)를 장비서버(310)로 전송한다.
이후, 상기 장비서버(310)가 공정진행 명령을 상기 이온주입 장비(320)로 전송하면(S2F21), 이온주입 장비(320)는 공정진행 명령 응답 메세지(S2F22)를 상기 장비서버로 전송한다.
상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)가 상호간에 공정진행 시작 메세지(S6F3)와 공정진행 시작 응답 메세지(S6F4)를 수수하면, 상기 이온주입 장비(320)에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행한다(508).
다음으로, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)가 상호간에 공정완료 메세지(S6F3)와 공정완료 응답 메세지(S6F4)를 수수한다.
이어서, 상기 장비서버(310)가 장비모드 요청 메세지(S1F3)를 상기 이온주입 장비(320)로 전송하면, 장비서버(310)는 장비모드 요청 응답 메세지(S1F4)를 상기 이온주입 장비(320)로부터 수신하여 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단한다.
상기 판단결과, 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있지 않은 경우, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 회수 요청 메세지(S6F3)와 카세트 회수 요청 응답 메세지(S6F4)를 수수하고, 카세트 회수 완료 메세지(S6F3)와 카세트 회수 완료 응답 메세지(S6F4)를 수수한다.
마지막으로, 작업자는 상기 이온주입 장비(320)의 포트에서 카세트를 직접 회수한다(510).
상기 판단결과, 상기 이온주입 장비(320)에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 경우, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 카세트 회수 요청 메세지(S4F65)와 카세트 회수 요청 응답 메세지(S4F66)를 수수한다.
이어서, 작업자는 상기 이온주입 장비(320)에 자동카세트 운용부 포트의 인출명령을 입력한다(512).
이후, 상기 장비서버(310)와 이온주입 장비(320)는 상호간에 카세트 회수 완료 메세지(S4F69)와 카세트 회수 완료 응답 메세지(S4F70)를 수수한다.
마지막으로, 상기 이온주입 장비(320)의 자동 카세트 운용부에서 작업자가 카세트를 회수한다(514).
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부 설치 유무에 따라 각각 운용되던 두개의 장비서버의 기능을 하나의 장비서버로 통합하여 운용하므로써 시스템 구축비용 절감에 효과가 있다.
또한, 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 이온주입 장비에서 자동 카세트 운용부를 사용하지 않을 경우 장비서버를 교체하여 운용방법을 수행하기 위한 프로그램을 다시 설치하기 위한 작업자의 부가작업과 공정시간을 줄일 수 있기 때문에 반도체 생산성 향상에 또 다른 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 이온주입 장비와 장비서버 사이에 온라인을 설정하는 제 1단계;
    작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비서버에 로트 진행을 명령하는 제 2단계;
    상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 상기 이온주입 장비에 공정조건을 제공하는 제 3단계;
    상기 제 3단계 수행후, 상기 이온주입 장비에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행하는 제 4단계; 및
    상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 카세트를 회수하는 제 5단계
    를 포함하는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1단계는,
    외부로부터 상기 이온주입 장비가 반자동 모드로 변경 명령을 수신하는 제 6단계;
    상기 제 6단계 수행후, 상기 이온주입 장비와 장비서버가 상호간에 존재확인 메세지와 온라인 설정 메세지를 수수하여 온라인을 설정하는 제 7단계;
    상기 제 7단계 수행후, 상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 장비모드 변경 메세지와 장비모드 변경 응답 메세지를 수수하는 제 8단계; 및
    상기 제 8단계 수행후, 상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 날짜 / 시간 요청 메세지와 날짜 / 시간 요청 응답 메세지를 수수하는 제 9단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 제 3단계는,
    상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 장비모드 요청 메세지와 장비모드 요청 응답 메세지를 수수하여, 장비서버가 상기 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하는 제 10단계;
    상기 제 10단계의 판단결과, 상기 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 경우, 작업자가 이온주입 장비에 설치된 자동 카세트 운용부에 카세트를 제공하고, 자동 카세트 운용부 포트 내입 명령을 이온주입 장비에 전달하는 제 11단계;
    상기 제 11단계 수행후, 상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 카세트 제공 완료 메세지와 카세트 제공 완료 응답 메세지를 수수하고, 상기 장비서버가 자동 카세트 운용부에 공정조건을 제공하면, 상기 이온주입 장비가 공정조건 수신 메세지를 상기 장비서버로 전송하는 제 12단계;
    상기 제 12단계 수행후, 상기 장비서버가 공정조건을 상기 이온주입 장비에 제공하면, 이온주입 장비가 공정조건 수신 메세지를 장비서버로 전송하는 제 13단계;
    상기 제 13단계 수행후, 상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 공정조건 수신 메세지와 공정조건 수신 응답 메세지를 수수하는 제 14단계;
    상기 제 10단계의 판단결과, 상기 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있지 않은 경우, 작업자가 상기 이온주입 장비의 포트에 카세트를 제공하고, 카세트 준비확인 버튼을 누르는 제 15단계;
    상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 카세트 제공 완료 메세지와 카세트 제공 완료 응답 메세지를 수수하는 제 16단계; 및
    상기 제 16단계 수행후, 상기 장비서버가 상기 이온주입 장비로 공정조건을 전송하면, 이온주입 장비가 공정조건 수신 메세지를 장비서버로 전송하는 제 17단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제 4단계는,
    상기 장비서버가 공정진행 명령을 상기 이온주입 장비로 전송하면, 이온주입 장비가 공정진행 명령 응답 메세지를 상기 장비서버로 전송하는 제 18단계; 및
    상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 공정진행 시작 메세지와 공정진행 시작 응답 메세지를 수수하면, 상기 이온주입 장비에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행하는 제 19단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 5단계는,
    상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 공정완료 메세지와 공정완료 응답 메세지를 수수하는 제 20단계;
    상기 장비서버가 장비모드 요청 메세지를 상기 이온주입 장비로 전송하고, 장비서버가 장비모드 요청 응답 메세지를 상기 이온주입 장비로부터 수신하여 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하는 제 21단계;
    상기 제 21단계의 판단결과, 상기 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는 경우, 상기 장비서버와 이온주입 장비가 카세트 회수 요청 메세지와 카세트 회수 요청 응답 메세지를 수수하는 제 22단계;
    상기 제 22단계 수행후, 작업자가 상기 이온주입 장비에서 자동카세트 운용부 포트의 인출명령을 입력하는 제 23단계;
    상기 제 23단계 수행후, 상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 카세트 회수 완료 메세지와 카세트 회수 완료 응답 메세지를 수수하는 제 24단계;
    상기 제 24단계 수행후, 상기 이온주입 장비의 자동 카세트 운용부에서 작업자가 카세트를 회수하는 제 25단계;
    상기 제 21단계의 판단결과, 상기 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있지 않은 경우, 상기 장비서버와 이온주입 장비가 상호간에 카세트 회수 요청 메세지와 카세트 회수 요청 응답 메세지를 수수하고, 카세트 회수 완료 메세지와 카세트 회수 완료 응답 메세지를 수수하는 제 26단계; 및
    상기 제 26단계 수행후, 작업자가 상기 이온주입 장비의 포트에서 카세트를 회수하는 제 27단계를 포함하는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 방법.
  6. 반도체제조를 위한 이온 주입 장비 운용 시스템에,
    이온주입 장비와 장비서버 사이에 온라인을 설정하는 제 1기능;
    작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비서버에 로트 진행을 명령하는 제 2기능;
    상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 상기 이온주입 장비에 공정조건을 제공하는 제 3기능;
    상기 제 3단계 수행후, 상기 이온주입 장비에 제공된 카세트의 웨이퍼가 이온주입 공정을 진행하는 제 4기능; 및
    상기 장비서버에서 이온주입 장비에 자동 카세트 운용부가 설치되어 있는지를 판단하고, 카세트를 회수하는 제 5기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
  7. 자동 카세트 운용부가 설치될 수 있으며, 이온주입 공정을 수행하기 위한 이온주입 장비;
    외부로부터 명령을 입력받고, 상기 이온주입 장비에 명령을 전송하기 위한 작업자 인터페이스 프로세스 수단; 및
    상기 작업자 인터페이스 프로세스 수단으로부터 명령을 수신하고, 이온주입 장비와 메세지를 수수하며, 자동 카세트 운용부의 설치 유무에 관계없이 상기 이온주입 장비를 제어할 수 있는 이온 주입 장비 제어 서버
    를 포함하는 반도체 제조를 위한 이온 주입 장비 운용 시스템.
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