KR20000049650A

KR20000049650A - 반도체 소자의 테스트장치

Info

Publication number: KR20000049650A
Application number: KR1020000021036A
Authority: KR
Inventors: 이상식; 김종현
Original assignee: 우상엽; 주식회사 실리콘 테크
Priority date: 2000-04-20
Filing date: 2000-04-20
Publication date: 2000-08-05
Also published as: KR100307199B1

Abstract

본 발명은 반도체 메모리소자의 테스트 장치에 관한 것으로, PC의 주기판에 매개보드를 통하여 단위소자소켓을 연결시키고, 이 단위소자소켓에 테스트하고자 하는 반도체 소자를 삽입하여 반도체 소자를 실장테스트하도록 한 반도체소자 테스트장치에서, 상기 메모리 모듈소켓이 제거되고 커넥터핀이 장착된 컴퓨터 주기판이 PC 지지대에 뒷면이 위쪽을 향하도록 고정 설치되고, 상기 주기판의 커넥터핀위에 커넥터가 주기판과 착탈이 가능하게 설치되어 있으며, 상기 커넥터 위에 매개보드가 전기적으로 소통할 수 있게 연결되어 있는 한편, 상기 매개보드가 다수개의 소켓구멍을 갖춘 단위소자 소켓지지기구와 지지구에 의해 고정지지되어 있고, 상기 매개보드에는 다수개의 단위 소자소켓과 상기 단위소자 소켓핀이 삽입되는 리셉터클이 형성되어 있으며, 상기 소켓의 상부에 PC지지대에 지지된 상태에서 소켓을 눌러 주는 푸싱유니트가 설치된 구조로 이루어져 있다. 상기 푸싱유니트는 매개보드에 설치된 소켓의 위치별로 개구부가 형성된 상판과, 이 상판을 아래쪽의 PC지지대에 탄력적으로 지지해 주는 스프링 및, 상기 상판과 매개보드사이에 고정설치되어 상판을 아래쪽으로 끌어 당겨 소켓을 눌러 주는 실린더로 구성되어 있다.

Description

반도체 소자의 테스트장치{Test fixture for semiconductor component}

본 발명은 반도체 소자의 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 소자만을 전문적으로 검사하는 별도의 장비를 사용하지 않고 퍼스널 컴퓨터의 주기판에 설치된 반도체 소자 슬롯을 사용하여 간단하게 반도체 소자를 테스트 할 수 있게 한 반도체 소자의 테스트 장치에 관한 것이다.

일반적으로 싱크로너스 다이나믹 랜덤 억세스 메모리(SDRAM)나, 램버스 디램(RAMBUS DRAM), 또는 스터딕 랜덤 억세스 메모리(SRAM) 등과 같은 반도체 메모리를 이용한 장치에 있어서는, 소자의 조립 공정후에 내부회로의 특성이나 신뢰성을 검사하기 위해, 조립된 반도체 소자를 소켓에 끼운 후 고가의 별도 전문장비를사용하여 테스트를 실시하고 있다.

그러나, 상기한 바와 같은 전문 반도체 소자 테스트장치는 여러 가지 문제점이 있는 바, 예컨대 별도의 전문 반도체 소자 테스트장치는 그 가격이 아주 비싸기 때문에 하나하나의 반도체 소자를 테스트에 소요되는 비용이 높아지게 되므로 기업의 가격 경쟁력을 낮출 뿐만 아니라, 반도체 소자가 실제로 설치되어 사용되는 환경이 아니라 완전히 별도의 장치에서 테스트되어지기 때문에, 상기 반도체 소자가 실제사용되는 환경인 컴퓨터 주기판에서 발생하는 노이즈(noise)등과 같은 환경특성을 제대로 구현하지 못하기 때문에 테스트의 정확도가 떨어져 품질문제를 발생시키는 단점이 있는 것이다.

이와 같은 문제점 때문에 최근 반도체 소자 생산업체에서는 반도체 소자를 실제 사용하는 컴퓨터의 주기판 자체를 이용한 테스트 방법을 선호하는 경향이 있는데, 이와 같이 컴퓨터의 주기판을 이용한 방법은 주기판의 이면에 모듈이나 반도체 단위 소자를 착탈 가능하게 설치할 수 있게 하기 위해 소켓을 부착한 후, 이 소켓에 테스트할 모듈이나 단위 소자를 삽입하고 PC를 가동시키므로써 반도체 소자가 정상적인 것인지 불량품인지를 판단할 수 있게 하는 것이다.

특히 최근에는 반도체 소자의 처리속도가 고속화되면서 사용환경에서의 노이즈 등의 문제로 인하여 품질에 대한 문제가 발생하게 되어, 전용 테스트기기가 제공하는 고요한 환경보다는 실제로 제품이 사용되는 환경, 즉 실장환경에서의 테스트가 더욱 적절한 방법으로 인식되고 있다.

여기서 실장환경(實場環境)의 테스트라는 것은, 반도체 메모리 소자를 설치하여 사용하도록 되어 있는 PC나 워커 스테이션(WORK STATION)용 주기판에 검사할 메모리를 삽입한 다음 PC나 워커 스테이션을 동작시켜 봄으로써, 메모리 소자의 양(良), 불량(不良)을 검사하는 방법을 말한다.

이 때 주기판에 부착되는 대부분의 반도체 메모리는 모듈형태로 되어 있으나, 일부는 개별 단위의 소자들을 모듈화하여 검사하기도 하는데, 여기서 모듈화 한다는 것은 소자들을 회로적으로 연결하여 마치 모듈처럼 동작하게 만드는 회로기판을 사용한다는 것이다.

따라서, 개별소자를 테스트하는 경우에 소자들을 모듈화하는 매개보드와, 이 매개보드 위에 반도체 소자들을 착탈 가능하게 결합시키기 위한 소켓을 설치하여 사용하는데, 이러한 장치의 일반적인 구조를 도면 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도면 1과 도면 2 에 도시된 것은 상기한 바와 같이 반도체 소자를 실장환경에서 테스트하는 종래의 테스터구조를 나타낸 것으로서, 이들 도면에 도시된 바와 같이, 일반적인 PC의 주기판을 이용한 실장환경에서의 테스트 장치는, PC의 지지기구(101)에 모듈소켓(102a)과 애드 인 보드(102b) 등이 설치되어 있는 주기판(103)을 뒤집은 상태로 고정구(104)를 사용하여 고정설치되고, 상기 주기판(103)의 뒷면인 설치상태에서의 윗면에 커넥트(105)를 이용하여 매개보드(106)를 연결 설치되며, 상기 매개보드(106) 위에 다수개의 단위 소자소켓(107)이 장착되어 이루어져 있다.

따라서, 상기 주기판(103)으로부터 발생한 전기적인 신호는 커넥터(105)와 매개보드(106)를 거쳐 상기 단위소자 소켓(107)에 전달된다.

한편, 상기한 바의 구조에서 통상 상기 소켓(107)은 손이나 핸들러 등 기타 다른 장비를 사용하여 위에서 눌러 압력을 주어 누르면, 개별 단위 소자의 외부 전기 접점인 리드선이 삽입되어 질 수 있도록 상기 소켓(107)의 내부가 벌어지는 구조로 되어 있다.

따라서, 상기 소켓(107)에 테스트 대상이 되는 단위 소자를 세팅시키는 방법은 먼저 소켓을 상부에서 누르고 단위소자를 놓은 후 눌렀던 힘을 풀면 삽입된 개별 소자의 리드선이 소켓에 물어 잡히면서 접촉되는 방식으로 단위소자가 소켓(107)에 세팅되게 된다.

그런데, 이러한 방식은 단위 소자의 테스트의 용이성과 신뢰성 측면에서 몇가지 문제점이 있는데, 우선 작업자가 소켓(107)을 누른 상태에서 개별 소자를 안착시키는 동작이 필요하므로 작업성이 떨어진다는 문제가 있으며, 소켓(107)을 누르는 동작 중에 발생하는 물리적인 힘 때문에 상기 매개보드(106)를 반복적으로 여러번 장기적으로 사용하는 경우에는 소켓(107)이 파손되거나 이 소켓(107)이 설치되어 있는 매개보드(106)가 파손되는 문제가 있었다.

한편, 이와 같이 소켓(107)의 파손이나 매개보드(106)가 파손되는 등의 문제는 상기 소켓(107)이 직접 매개보드(106)에 닿게 되어 있는 상태이기 때문에, 소켓(107)으로 부터 매개보드(106)에 힘이 직접 전달되기 때문인 것이다.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 PC 주기판을 이용한 실장환경에서의 테스트 장치에서 발생하는 문제를 개선하여, 작업성을 쉽게 하여 생산성을 향상시키고, 오래 사용하여도 견딜 수 있도록 내구력이 있는 한편, 궁극적으로 자동화가 가능하게 한 반도체 소자 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 PC 주기판을 이용한 실장환경에서의 테스트 장치에서 소켓을 누르는 힘에 의해 매개보드와 소켓이 파손되는 등의 문제가 발생하지 않게 한 반도체 소자 테스트 장치를 제공하는데 다른 목적이 있는 것이다.

상기한 바의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 소자 테스트 장치는, PC의 주기판에 매개보드를 통하여 단위소자소켓을 연결시키고, 이 단위소자소켓에 테스트하고자 하는 반도체 소자를 삽입하여 반도체 소자를 실장테스트하도록 한 반도체소자 테스트장치에 있어서, 상기 메모리 모듈이 제거되고 커넥터핀이 장착된 컴퓨터 주기판이 PC 지지대에 뒷면이 위쪽을 향하도록 고정 설치되고, 상기 주기판의 커넥터핀위에 커넥터가 주기판과 착탈이 가능하게 설치되어 있으며, 상기 커넥터 위에 매개보드가 전기적으로 소통할 수 있게 연결되어 있는 한편, 상기 매개보드가 다수개의 소켓구멍을 갖춘 단위소자 소켓지지기구와 지지구에 의해 고정지지되어 있고, 상기 매개보드에는 다수개의 단위 소자소켓과 상기 단위소자 소켓핀이 삽입되는 리셉터클이 형성되어 있으며, 상기 소켓의 상부에 PC지지대에 지지된 상태에서 소켓을 눌러 주는 푸싱유니트가 설치된 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 푸싱유니트는 매개보드에 설치된 소켓의 위치별로 개구부가 형성된 상판과, 이 상판을 아래쪽의 PC지지대에 탄력적으로 지지해 주는 스프링 및, 상기 상판과 매개보드사이에 고정설치되어 상판을 아래쪽으로 끌어 당겨 소켓을 눌러 주는 실린더로 구성되어 있다.

한편, 상기 실린더의 상단에 결합핀이 회전시킬 수 있게 연결되어 있고, 상판에는 상기 결합핀이 통과하여 걸릴 수 있는 관통구멍이 형성되어 있으며, 상기 상판의 윗면에는 상기 결합핀이 걸려지는 걸림홈이 형성되어 있다.

또한, 상기 소켓구멍의 주변가장자리에 단위소자소켓의 선단을 받쳐 지지해 주는 받침날개가 형성되어 있다.

상기한 바와 같은 구조로 이루어진 본 발명의 장치는, 상기 매개보드에 설치되어 있는 소켓에 단위소자를 삽입시키기 위해 소켓을 눌려 벌리는 작업을 간단하고 효과적으로 제어할 수가 있어 생산성을 향상시킬 수가 있을 뿐만 아니라, 자동화도 가능하게 하는 효과를 얻을 수 있는 것이다.

또한, 상기 단위소자소켓가 설치되는 매개보드가 소켓지지기구에 의하여 고정지지 되어 있음과 더불어, 이 소켓지지기구의 개구부 가장자리에 상기 소켓을 받쳐주는 받침날개가 구비되어 있으므로, 상기 소켓이 상판에 의하여 기계적으로 눌려질 때, 지나친 힘에 의하여 파손되거나 아래쪽으로 밀려져 매개보드를 훼손시키는 등의 현상이 발생하지 않게 할 수가 있어, 소켓과 매개보드의 수명을 연장시켜 주는 효과를 얻을 수가 있는 것이다.

도 1 은 종래의 반도체 소자 실장 테스터 장치를 나타낸 결합단면도,

도 2 는 도 1 의 측면도,

도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자의 실장테스트 장치에 대한 분리도,

도 4 는 도 3 의 장치를 결합시킨 것으로서, 소켓이 눌려지지 않은 상태의 단면도,

도 5 는 도 4 의 상태에서부터 소켓이 눌려진 후의 상태를 나타낸 단면도,

도 6 은 도 4 와 도 5 의 평면도,

도 7 은 본 발명에 따른 소켓지지물에 하나의 소켓이 결합된 형태를 나타낸 부분단면도,

도 8 은 본 발명에 따른 소켓지지물의 평면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호설명

1 - 주기판 2 - 커넥터핀

3 - PC지지대 4 - 커넥터

5 - 매개보드 6 - 단위소자 소켓지지기구

7 - 지지구 8 - 단위소자소켓

9 - 소켓핀 10 - 리셉터클

11- 소켓구멍 12 - 받침날개

13 - 푸싱유니트 14 - 개구부

15 - 상판 16 - 스프링

17 - 실린더 18 - 결합핀

19 - 관통구멍 20 - 걸림홈

21 - 스위치

이하 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 예시도면을 참조하여 자세히 설명한다.

도면 3은 본 발명에 따른 구체적인 1 실시예를 도시한 분리단면도이고, 도면 4 는 도면 3에 도시된 실시예의 장치가 결합되어 작동하기 전의 상태를 나타낸 것이며, 도면 5는 도면 3의 실시예에 따른 장치가 결합되어 작동하는 상태를 나타낸 것으로서, 이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 장치는 컴퓨터의 주기판(1) 상에 설치된 다수개의 메모리 모듈 소켓을 제거한 다음, 그 위치에 커넥터핀(2)을 용접하여 장착하는데, 이 커넥터핀(2)이 주기판(1)의 뒤쪽면으로 돌출되게 한다.

이러한 주기판(1)이 PC 지지대(3)에 뒷면이 위쪽을 향하도록 고정 설치되고, 상기 주기판(1)의 커넥터핀(2)위에 커넥터(4)가 주기판(1)과 착탈이 가능하게 설치되어 있으며, 상기 커넥터(4) 위에 매개보드(5)가 전기적으로 소통할 수 있게 접촉 또는 용접방식으로 연결되어 있다.

그리고, 상기 매개보드(5)는 도면 3 과 도면 7 에 도시되어 있는 바와 같이 단위소자 소켓지지기구(6)와 지지구(7)에 의해 고정지지되어 있고, 상기 매개보드(5)에는 다수개의 단위 소자소켓(8)이 설치되어 있으며, 상기 매개보드(5)에는 단위소자 소켓핀(9)이 삽입되는 리셉터클(10)이 형성되어 있는데, 이와 같이 리셉터클(10)을 사용하는 이유는 상기 단위소자 소켓(8)을 필요에 따라 매개보드(5)에 끼웠다 밸수 있게 하여 용이하게 교환할 수 있게 하기 위해서 인 것이다.

따라서, 상기 단위소자 소켓(8)은 소켓핀(9)과 리셉터클(10)을 통하여 매개보드(5)와 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 리셉터클(10)은 매개보드(5)의 하부에서 용접처리되어 있다.

한편, 상기 소켓지지기구(6)에 단위소자소켓(8)이 끼워지는 다수개의 소켓구멍(11)이 형성되어 있는데, 이 소켓구멍(11)을 통하여 상기 매개보드(5)에 설치된 단위소자소켓(8)이 도면 4, 5, 7 에 도시되어 있는 바와 같이 소켓지지기구(6)의 위쪽으로 돌출하도록 되어 있으며, 상기 소켓구멍(11)의 주변가장자리에 받침날개(12)가 형성되어 이 받침날개(12)가 상기 단위소자소켓(8)의 선단을 받쳐 지지해 주게 되어 있다.

따라서, 상기 소켓(8)이 아래쪽으로 눌려지는 힘을 받을 때 소켓(8)의 가장자리가 상기 받침날개(12)에 지지되어져 소켓(8) 자체가 아래쪽으로 밀려져 낼려가지 못하게 할 뿐만 아니라 소켓(8)을 누르는 힘이 아래쪽의 매개보드(5)에 전달되지 못하게 한다.

한편, 상기 소켓(8)의 상부에는 PC지지대(3)에 지지된 상태에서 소켓(8)을 눌러 주는 푸싱유니트(13)가 설치되어 있는 바, 이 푸싱유니트(13)는 상기 소켓(8)의 위치별로 개구부(14)가 형성된 상판(15)과, 이 상판(15)을 아래쪽의 PC지지대(3)에 탄력적으로 지지해 주는 스프링(16) 및, 상기 상판(15)과 매개보드(5)사이에 고정설치되어 상판(15)을 아래쪽으로 끌어 당겨 소켓(8)을 눌러 주는 실린더(17)로 구성되어 있다.

상기 스프링(16)은 기본상태에서 상기 상판(15)이 소켓(8)을 누르지 않도록 지지하고 있는 상태로 세팅되어 있는데, 상기 소켓(8)에 단위 소자를 삽입하기 위해 상판(14)이 소켓(8)을 누르도록 하고자 할 때에는, 상기 실린더(17)를 수축시켜 이 실린더(17)의 상단에 걸려져 있는 상판(14)이 아래쪽으로 이동하도록 되어 있다.

한편, 도면 6을 참조하여 상기 푸싱유니트(13)의 상판(15)에 대한 구조를 좀더 구체적으로 설명하자면, 안정된 구조로 설치되어 있는 지지대(3) 위에 스프링(16)에 의해 상판(15)이 탄력적으로 지지되고, 이 상판(15)에는 아래쪽의 매개보드(5)에 설치되어 있는 소켓(8)의 개수와 위치에 맞추어 다수개의 개구부(14)가 형성되어 있으는데, 이들 개구부(14)가 소켓(8)의 위치와 정확하게 일치하면서 상하로 이동할 수 있게 하기 위해 가이드가 필요로 한데, 본 발명의 실시예에서는 이 가이드가 상기 스프링(16)에 복합 설치되어 있다.

그리고, 상기 상판(15)과 매개보드(5)사이에 설치되어 있는 실린더(17)는 상기 개구부(14)를 피하여 상판(15)의 전후방향에 설치되어 상판(15)을 기울어지지 않게 아래쪽으로 끌어당길 수 있게 설치되어 있는데, 이러한 실린더(17)의 작동매체는 공압을 이용하는 것이 바람직하지만, 필요에 따라서는 다른 매체를 사용할 수도 있다.

한편, 상기 실린더(17)의 상단은 상판(15)의 변경에 대비하여 이 상판(15)과 분리시킬 수 있게 결합되어 있는데, 그 구조는 실린더(17)의 상단에 결합핀(18)이 회전시킬 수 있게 연결되어 있고, 상판(15)에는 상기 결합핀(18)이 통과하여 걸릴 수 있는 관통구멍(19)이 형성되어 있으며, 상기 상판(15)의 윗면에는 도면 4 와 도면 5 에 도시한 바와 같이 결합핀(18)이 걸려지는 걸림홈(20)이 형성되어 있다.

따라서, 상기 실린더(17)와 상판(15)을 결합시킬 때는 실린더(17)이 상단에 구비된 결합핀(18)을 관통구멍(19)속에 삽입시킨 후, 도면 6 의 "가"와 같은 상태로 회전시키면 이 결합핀(18)이 걸림홈(20)속에 끼워져 체결되게 된다.

그리고, 상기 실린더(17)와 상판(15)을 분리시키고자 할 때는, 실린더(17)의 결합핀(18)을 도면 6의 "나"와 같은 상태로 회전시키면 실린더(17)와 상판(15)의 체결상태가 해제되게 되어, 상판(15)을 자유로이 들어 낼 수 있는 상태가 된다.

한편, 상기 실린더(17)는 작동매체를 제어하는 제어밸브(도시안됨)의 절환상태에 따라 신축되면서 상판(15)을 승강시키고, 상기 실린더(17)의 작동을 제어하는 제어밸브는 지지대(3)에 설치된 전기스위치(21)와 전기적으로 연결된 구조로 되어 있다.

이러한 구조로 이루어진 본 발명의 장치는 초기상태일 때, 즉 상판(15)이 실린더(17)에 의해 아래쪽으로 당겨지지 않은 상태일 때는, 도면 4 에 도시한 바와 같이 상기 상판(15)이 스프링(16)에 의해 지지대(3)에 대하여 들려져 있는 상태로 되어, 매개보드(5)에 설치되어 있는 소켓(8)을 누르지 않는 상태가 된다.

이러한 상태에서 상기 스위치(21)를 작동시켜 실린더(17)에 압축공기 등과 같은 작동매체가 전달되면, 실린더(17)가 수축하면서 상판(15)을 아래쪽으로 끌어 당겨 도면 5 에 도시된 바와 같이, 상기 상판(15)이 매개보드(5)에 설치되어 있는 소켓(8)을 일정한 힘으로 눌러서 소켓(8)에 단위소자를 삽입시킬 수 있는 상태로 만들어 준다.

즉, 상기 스위치(21)를 작동시킴으로써 실린더(17)가 수축되면서 상판(15)이 아래쪽으로 이동하여 소켓(8)을 눌러주게 되고, 이렇게 소켓(8)이 눌려지면 소정의 그 내부에 형성된 스릿이 약간 벌려지면서 단위소자를 삽입시킬 수 있는 상태가 되는데, 이때 상판(15)에 형성되어 있는 개구부(14)를 통하여 소켓(8)에 테스트하고자 하는 단위소자를 삽입시켜 주면 되는 것이다.

상기한 바와 같이, 상기 소켓(8)이 상판(15)의 힘을 전달받아 눌려질 때, 이 소켓(8)의 가장자리가 소켓지지기구(6)의 소켓구멍(11)에 형성시킨 받침날개(12)에 걸려져지지되게 함으로써, 소켓(8)자체가 밀려져 아래쪽으로 물러나거나 파손조지 않게 하여 안정성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 소켓(8)으로부터 지나친 힘이 매개보드(5)로 전달되지 않게 할 수가 있는 것이다.

따라서, 상기 상판(15)에 의해 눌려지는 소켓(8)의 파손을 방지할 수 가 있을 뿐만 아니라 매개보드(5)의 파손도 방지할 수가 있는 것이다.

그리고, 상기한 바와 같은 동작으로 상판(15)을 아래쪽으로 이동시켜 실린더(17)를 가동시킴으로써 테스트 작업을 완료한 후, 다시 상판(15)을 원위치 시키고자 할 때는 상기 스위치(21)를 오프시켜 실린더(17)가 신장되게 하면 스프링(16)의 복원력에 의하여 상판(15)이 원래의 위치로 간단하게 돌아가게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 장치는 매개보드(5)에 설치되어 있는 단위소자소켓(8)이 스프링(16)에 의하여 탄력지지되어 있으면서 실린더(17)의 작동에 의해 승하강하는 상판(15)에 의하여 기계적으로 눌려지게 되어 있으므로, 소켓(8)에 단위소자를 삽입시키기 위해 소켓(8)을 눌려 벌리는 작업을 간단하고 효과적으로 제어할 수가 있어 생산성을 향상시킬 수가 있을 뿐만 아니라, 자동화도 가능하게 하는 효과를 얻을 수 있는 것이다.

또한, 상기 단위소자소켓(8)이 설치되는 매개보드(5)가 소켓지지기구(6)에 의하여 고정지지 되어 있음과 더불어, 이 소켓지지기구(6)의 개구부(11) 가장자리에 상기 소켓(8)을 받쳐주는 받침날개(12)가 구비되어 있으므로, 상기 소켓(8)이 상판(15)에 의하여 기계적으로 눌려질 때, 지나친 힘에 의하여 파손되거나 아래쪽으로 밀려져 매개보드(5)를 훼손시키는 등의 현상이 발생하지 않게 할 수가 있어, 소켓(8)과 매개보드(5)의 수명을 연장시켜 주는 효과를 얻을 수가 있는 것이다.

Claims

PC의 주기판(1)에 매개보드(5)를 통하여 단위소자소켓(8)을 연결시키고, 이 단위소자소켓(8)에 테스트하고자 하는 반도체 소자를 삽입하여 반도체 소자를 실장테스트하도록 한 반도체소자 테스트장치에 있어서,

메모리 모듈소켓이 제거되고 커넥터핀(2)이 장착된 컴퓨터 주기판(1)이 PC 지지대(3)에 뒷면이 위쪽을 향하도록 고정 설치되고, 상기 주기판(1)의 커넥터핀(2)위에 커넥터(4)가 주기판(1)과 착탈이 가능하게 설치되어 있으며, 상기 커넥터(4) 위에 다수개의 단위 소자소켓(8)과 상기 단위소자 소켓핀(9)이 삽입되는 리셉터클(10)이 형성된 매개보드(5)가 전기적으로 소통할 수 있게 연결되어 있는 한편, 상기 매개보드(5) 위에 다수개의 소켓구멍(11)을 갖춘 단위소자 소켓지지기구(6)가 배치되어, 상기 매개보드(5)가 소켓지지기구(6)에 의해 고정지지되게 함과 더불어, 상기 소켓구멍(11)을 통해 매개보드(5)의 리셉터클(10)에 삽입되어 눌려지는 소자소켓(8)을 받쳐 주게 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 소켓지지기구(7)에 형성되어 있는 소켓구멍(11)의 주변가장자리에 단위소자소켓(8)의 선단을 받쳐 지지해 주는 받침날개(12)가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트장치.
제 1 항에 있어서, 상기 소켓(8)의 상부에 PC지지대(3)에 지지된 상태에서 소켓(8)을 눌러 주는 푸싱유니트(13)가 추가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트장치.
PC의 주기판(1)에 매개보드(5)를 통하여 단위소자소켓(8)을 연결시키고, 이 단위소자소켓(8)에 테스트하고자 하는 반도체 소자를 삽입하여 반도체 소자를 실장테스트하도록 한 반도체소자 테스트장치에 있어서,

메모리 모듈소켓이 제거되고 커넥터핀(2)이 장착된 컴퓨터 주기판(1)이 PC 지지대(3)에 뒷면이 위쪽을 향하도록 고정 설치되고, 상기 주기판(1)의 커넥터핀(2)위에 커넥터(4)가 주기판(1)과 착탈이 가능하게 설치되어 있으며, 상기 커넥터(4) 위에 다수개의 단위 소자소켓(8)과 상기 단위소자 소켓핀(9)이 삽입되는 리셉터클(10)이 형성된 매개보드(5)가 전기적으로 소통할 수 있게 연결되어 있는 한편, 상기 소켓(8)의 상부에 PC지지대(3)에 지지된 상태에서 소켓(8)을 눌러 주는 푸싱유니트(13)가 설치된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트장치.
제 4 항에 있어서, 상기 푸싱유니트(13)가 매개보드(5)에 설치된 소켓(8)의 위치별로 개구부(14)가 형성된 상판(15)과, 이 상판(15)을 아래쪽의 PC지지대(3)에 탄력적으로 지지해 주는 스프링(16) 및, 상기 상판(15)과 매개보드(5)사이에 고정설치되어 상판(15)을 아래쪽으로 끌어 당겨 소켓(8)을 눌러 주는 실린더(17)로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 장치.
제 5 항에 있어서, 상기 실린더(17)의 상단에 결합핀(18)이 회전시킬 수 있게 연결되어 있고, 상판(15)에는 상기 결합핀(18)이 통과하여 걸릴 수 있는 관통구멍(19)이 형성되어 있으며, 상기 상판(15)의 윗면에는 상기 결합핀(18)이 걸려지는 걸림홈(20)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트장치.