KR20000004570U - 레티클 보관케이스 - Google Patents

Abstract

본 고안은 레티클 보관케이스에 관한 것으로써, 종래의 레티클 보관케이스는 고정돌기에 의해 레티클을 지지 고정하므로 고정돌기에 의한 레티클 표면의 손상이 발생되고 고정돌기가 레티클 보관케이스와 일체형으로 형성되어 고정돌기가 부러지게 되면 상부 및 하부 보관케이스를 더 이상 사용할 수 없는 문제점이 있었던 바, 본 고안에서는 상부 및 하부 보관케이스에 형성된 레티클 안착부의 제1면에 탄성재질로 이루어진 교체 가능한 탄성돌기를 형성하여 레티클을 지지 고정하다 레티클 표면의 손상을 방지하여 안정적인 레티클의 수납보관이 이루어지고, 탄성돌기의 손상시 탄성돌기만을 교체하여 지속적인 레티클 보관케이스의 사용이 이루어지는 레티클 보관케이스이다.

Description

레티클 보관케이스

본 고안은 레티클 보관케이스에 관한 것으로써, 특히 레티클을 안정적으로 지지 고정하여 보관하기 위해 레티클 안착부의 제1면에 탄성재질로 이루어진 교체 가능한 탄성돌기를 형성하여 레티클의 수납보관시 접촉에 의한 레티클 손상을 방지하는 레티클 보관케이스에 관한 것이다.

일반적으로 미세화된 IC회로의 제조를 위하여 복잡한 형상의 회로 패턴을 사진을 현상하는 방법과 같은 방법으로 반도체 기판의 표면에 전사하는데, 이 때 회로 패턴이 형성되어 있는 것이 레티클이다.

이러한 레티클은 반도체 회로가 복잡해짐에 따라 더욱더 미세해지고 고 정밀성과 고 밀집성이 요구된다. 따라서 레티클의 손상이나 이물질의 부착은 미세한 패턴 형성에 절대적인 악영향을 미치게 되기 때문에 보관 및 운반 취급에 매우 주의를 요한다.

따라서 레티클을 보관하기 위해 레티클 보관케이스가 넓게 사용되고 있다.

이러한 종래의 레티클 보관케이스는 도1,2 에 도시된 바와 같이, 사각형상의 레티클을 보관하기 위해 상부 및 하부 보관케이스(1),(3)로 이루어진다.

상기 하부 보관케이스(3)의 저면에는 레티클(5)의 수납보관시 레티클(5)의 모서리 양측면을 안내하여 레티클(5)을 정확히 위치시킬 수 있도록 레티클 안내판(9)이 하부 보관케이스(3)과 일체형으로 다수 형성되어 있다.

상기 레티클 안내판(9)은 레티클(5) 모서리 부분의 양측면과 접촉되도록 "ㄴ"자 형상으로 형성되고, 2개가 한 쌍으로 모두 4쌍으로 형성되어 있다.

상기 레티클 안내판(9)의 사이에는 레티클(5) 모서리 하면을 지지하는 고정돌기(7)가 하부 보관케이스(3)과 일체형으로 형성되어 있다.

상기 상부 보관케이스(1)에는 하부 보관케이스(3)와 결합될 때 레티클(5)의 전면을 지지 고정하기 위해 상기 하부 보관케이스(3)의 고정돌기(7)에 상호 대응되는 위치에 레티클(5)의 전면을 지지 고정하는 고정돌기(7')가 상부 보관케이스(1)와 일체형으로 형성되어 있다.

또한 레티클(5)보다 크기가 큰 레티클(미도시)를 수납보관하기 위해 사각형상의 상부 및 하부 레티클 보관케이스(1),(3)의 모서리 부분에도 고정돌기(7'),(7)가 각각 형성되어 있다.

종래의 레티클 보관케이스를 사용한 레티클의 수납보관은 다음과 같다.

레티클(5)을 수납보관하기 위해 상부 보관케이스(1)를 개방하면 레티클(5)은 하부 보관케이스(3)의 고정돌기(7)위에 안착되어 레티클(5) 모서리의 하면이 지지된다.

이때 레티클(5)은 "ㄴ"자 형상의 레티클 안내판(9)에 의해 각각의 모서리의 양측면이 지지 고정되어 좌우로 흔들림없이 고정된다.

이 상태에서 상부 보관케이스(1)를 덮게 되면, 상부 보관케이스(1)에 형성된 고정돌기(7')는 레티클(5)의 상면을 하부 보관케이스(3)의 고정돌기(7)와 상호 대응되는 위치에서 지지 고정하여 안정적으로 레티클(5)을 수납보관하게 된다.

또한 레티클(5)보다 크기가 큰 레티클(미도시)의 수납보관은 하부 보관케이스(3)의 모서리에 형성되어 있는 고정돌기(7)위에 크기가 큰 레티클(미도시)을 안착시키고, 상부 보관케이스(1)를 덮게 되면 상부 보관케이스(1)에 형성된 고정돌기(7')가 크기가 큰 레티클(미도시)의 상면을 지지 고정하게 되어 안정적으로 크기가 큰 레티클(미도시)을 수납보관하게 된다.

그러나, 이러한 종래의 레티클 보관케이스는 상부 및 하부 보관케이스와 일체형으로 형성되어 있는 고정돌기가 부러지기 쉽고, 고정돌기가 부러지게 되면 상부 및 하부 보관케이스를 더 이상 사용할 수 없는 문제점이 있다.

또한 고정돌기에 의해 레티클의 상면과 하면을 지지 고정하여 수납보관하므로 고정돌기에 의해 레티클의 표면이 손상되고, 레티클의 모서리가 손상되는 등, 안정적인 레티클의 수납보관이 이루어지지 않는 문제점이 있다.

본 고안의 목적은 교체가 가능한 탄성재질로 이루어진 탄성돌기를 사용하여 안정적으로 레티클을 수납보관하고, 지속적인 사용이 가능한 레티클 보관케이스를 제공하는데 있다.

따라서, 상기 목적을 달성하고자, 4각형 형상을 가진 레티클의 수납보관을 위하여 상부 및 하부 케이스로 구성된 레티클 보관케이스에 있어서, 상기 하부 또는 상부 케이스는 4개 이상의 레티클 안착부를 가지는데, 상기 레티클 안착부는 레티클의 모서리의 하면을 지지하기 위한 제1면과, 레티클 모서리의 두 개의 측면에 대응되는 제2 및 제3면이 형성된 블록으로 만들어지고, 상기 제1면에는 하나 이상의 탄성돌기가 형성된 것이 특징이다.

상기 탄성돌기는 제1면에 형성된 홈에 삽입된 실리콘 탄성고무로 되어 교체가 가능한 핀형상으로 된 레티클 보관 케이스를 제공한다.

또한 상기 탄성돌기는 제1면에 형성된 반구형돌기 또는 "ㅗ"형태의 돌기로서 제1면보다 돌출되게 설치된다.

상기 블록은 제2면과 제3면이 직각으로 서로 연결되어 있거나, 제2면과 제3면이 서로 연결되어 있지 아니하고 소정의 거리만큼 이격되게 형성된 것이어도 좋다.

또한 상기 블록은 하향경사진 제2면과 제3면을 가진 레티클 안내돌편이 형성되어지는데, 제2면과 제3면은 서로 연결되어 있지 않고 소정의 거리만큼 이격되게 형성된 것이어도 좋다.

제1도는 종래의 레티클 보관케이스에서 하부 보관케이스에 대한 평면도이고,

제2도는 종래의 레티클 보관케이스에 대한 사용 상태도이고,

제3도는 본 고안의 레티클 보관케이스에서 하부 보관케이스에 대한 평면도이고,

제4도는 본 고안의 레티클 보관케이스에서 하부 보관케이스에 대한 사시도이고,

제5도는 본 고안의 레티클 보관케이스에 대한 사용상태도이고,

제6a,6b,6c,6d,6e,6f도는 본 고안의 레티클 보관케이스에서 레티클 안착부에 대한 사시도이고,

제7도는 제6b도의 레티클 안착부에 대한 Ⅶ-Ⅶ방향의 단면도이고,

제8도는 제6c도의 레티클 안착부에 대한 Ⅷ-Ⅷ방향의 단면도이고,

제9도는 제6e도의 레티클 안착부에 대한 Ⅸ-Ⅸ방향의 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 간략한 부호설명 *

1,101: 상부 보관케이스 3,103: 하부 보관케이스

5,105: 레티클 7,7':고정돌기

9: 레티클 안내판

107, 107': 레티클 안착부 109,109': 탄성돌기

111: 안착부 연결선 113:레티클 안내돌편

본 고안의 레티클 보관케이스는 도3,4,5에 도시된 바와 같이, 사각형상의 상부 및 하부 보관케이스(101),(103)로 구성되어 있다.

상기 상부 또는 하부 보관케이스(101),(103)에는 레티클(105)의 크기에 따라 레티클(105)의 수납보관시 사용되는 다수의 레티클 안착부(107),(107')가 각각 동일한 형상으로 형성된다.

상기 레티클 안착부(107)는 블록 형상으로 상부 또는 하부 보관케이스(101),(103) 중간의 네부분에 형성되고, 상기 레티클 안착부(107')는 상부 또는 하부 보관케이스(101),(103)의 네 모서리 부분에 형성되는데, 레티클 안착부(107)는 레티클 안착부(107')를 서로 연결한 안착부 연결선(111; 가상선임 )의 바깥쪽에 형성됨이 바람직하다.

도 6a,6b,6c,6d를 참조하면 상기 레티클 안착부(107)는 블록으로 형성되고 레티클(105)의 모서리의 하면을 지지하기 위한 제1면(a)과, 레티클(105)의 모서리 양측면을 지지 고정하기 위한 제2면(b)과 제3면(c)이 직각으로 서로 연결되지 않고 소정의 거리가 이격된 레티클 안착부(107a)로 형성되거나,제2면(b)와 제3면(c)이 직각으로 서로 연결된 레티클 안착부(107b)로 형성되어도 된다.

또한 도6e,6f를 참조하면 상기 레티클 안착부(107)는 블록으로 형성되어 레티클(105)의 모서리의 하면을 지지하기 위한 제1면(a')과, 레티클(105) 모서리의 두 개의 측면에 대응되는 하향 경사진 제2면(b')과 제3면(c')을 가진 레티클 안내돌편(113)이 서로 연결되지 않고 소정의 거리 이격된 레티클 안착부(107c)로 형성되어도 된다.

이때, 상기 제2면(b')과 제3면(c')의 하향 경사는 레티클(105)의 모서리 두 개의 측면과 접촉될 때 레티클(105)두께의 1/2정도를 돌출시킬수 있을 정도의 경사를 가지도록 하면 된다.

상기 제1면(a),(a')에는 하나 이상의 탄성돌기(109),(109')가 홈에 삽입되어 있어 탄성돌기(109),(109')의 마모 또는 손상시 교체 가능하도록 형성되어 있다.

상기 탄성돌기(109),(109')는 실리콘 고무 또는 합성수지의 재질로 형성됨이 바람직하다.

또한 도7,8,9를 참조하면 상기 탄성돌기(109),(109')는 레티클(105)모서리 하면을 지지 고정할 때 레티클(105)을 레티클 안착부(107)에서 레티클(105) 두께의 1/2정도 돌출시키도록 반구형 형상 또는 "ㅗ"의 형상으로 제1면(a)에서 일정높이 돌출되게 형성되어 있다.

이러한 본 고안의 레티클 보관케이스를 사용한 레티클의 수납보관의 일실시예를 설명하면 다음과 같다.

도6a에 도시된 레티클 안착부(107a)를 사용하는 경우, 먼저 상부 보관케이스(101)을 개방하고, 레티클 안착부(107a)에 레티클(105)의 모서리를 위치시킨다.

이때 레티클(105)의 모서리의 양측면은 레티클 안착부(107a)의 제2면(b)와 제3면(c)에 의해 좌우로 흔들림없이 안정적으로 레티클 안착부(107a)에 고정되고, 레티클(105) 모서리의 하면은 레티클 안착부(107a)의 제1면(a)에 형성된 탄성돌기(109)에 의해 지지된다.

레티클(105)은 제1면(a)의 탄성돌기(109)에 의해 두께의 1/2 정도가 레티클 안착부(107a)에서 돌출된다.

하부 보관케이스(103)의 레티클 안착부(107a)에 의해 레티클(105) 모서리의 하면이 각각 지지 고정된 상태에서 상부 보관케이스(101)를 덮게 되면 상부 보관케이스(101)의 레티클 안착부(107a)가 레티클(105) 모서리의 상면과 접촉된다.

이때 상부 보관케이스(101)의 레티클 안착부(107a)에 형성된 탄성돌기(109)는 하부 보관케이스(103)의 레티클 안착부(107a)에 형성된 탄성돌기(109)에 의해 두께의 1/2정도가 돌출된 레티클(105)의 상면을 꽉 찝어주어 레티클(105)를 안정적으로 수납보관한다.

다른 일예로 도 6b에 도시된 레티클 안착부(107b)를 사용한 레티클(105)의 수납보관은 도6a에 도시된 레티클 안착부(107a)의 위치에 레티클 안착부(107b)를 상부 및 하부 보관케이스(101),(103)에 형성한 다음, 레티클 안착부(107a)를 사용한 수납보관 과정과 동일하게 실시하면 된다.

다른 일예로 도6e에 도시된 레티클 안착부(107c)를 사용한 레티클(105)의 수납보관은 레티클 안착부(107a)의 위치에 레티클 안착부(107e)를 상부 및 하부 보관케이스(101),(103)에 형성한 다음, 레티클(105)을 위치시키면 레티클(105)의 후면은 제1면(a')에 형성된 탄성돌기(109)에 접촉되고, 레티클(105)의 모서리의 양측면은 레티클 안내돌편(113)의 하향경사진 제2면(b')과 제3면(c')에 접촉된다. 따라서 레티클(105)은 제1면(a')의 탄성돌기(109)와 제2면(b')과 제3면(c')에 접촉되어 지지고정되어, 두께의 1/2정도가 돌출된다.

이때 상부 보관케이스(101)을 덮게되면 상부 보관케이스(101)에 형성된 레티클 안착부(107c)가 레티클(105)의 전면과 모서리 양측면을 꽉 짚어주게 되어 안정적으로 수납보관된다.

또한 반구형 형태의 탄성돌기(109)대신 "ㅗ"형태의 탄성돌기(109')를 사용하여 레티클(105)의 수납보관하는 경우에도 동일한 과정으로 레티클(105)를 수납하면 된다.

다른 일예로 레티클(105)보다 크기가 큰 레티클(미도시)의 경우에는 레티클 안착부(107')에 레티클(105)를 위치시키면 수납보관을 할 수 있다.

본 고안은 탄성재질로 이루어진 탄성돌기(109),(109')에 의해 레티클(105)의 상면과 하면이 고정되기 때문에 접촉에 의한 레티클(105)의 표면이 손상되는 것을 방지한다.

또한 탄성돌기(109)가 마모 또는 손상되는 경우, 탄성돌기(109),(109')만을 교체하면 되므로 상부 및 하부 보관케이스(101),(103)의 사용을 지속적으로 할 수 있다.

본 고안은 상부 및 하부 보관케이스에 동일한 형상을 가진 레티클 안착부를 상호 대응되는 위치에 형성함으로써 안정적으로 레티클을 수납보관할 수 있고, 탄성재질로 이루어진 교체 가능한 탄성돌기를 사용하여 레티클을 지지 고정함으로써 레티클 표면의 손상을 방지하고, 탄성돌기의 손상시 탄성돌기만을 교체할 수 있어 지속적으로 레티클 보관케이스를 사용할 수 있는 효과를 가지고 있다.

Claims (7)

1. 4각형 형상을 가진 레티클의 수납보관을 위하여 상부 및 하부 케이스로 구성된 레티클 보관케이스에 있어서,

   상기 하부 또는 상부 케이스는 4개 이상의 레티클 안착부를 가지는데,

   상기 레티클 안착부는 레티클의 모서리의 하면을 지지하기 위한 제1면과, 레티클 모서리의 두 개의 측면에 대응되는 제2 및 제3면이 형성된 블록으로 만들어지고,

   상기 제1면에는 하나 이상의 탄성돌기가 형성된 것이 특징인 레티클 보관케이스.
2. 청구항 1에 있어서, 탄성돌기는 제1면에 형성된 홈에 삽입된 실리콘 탄성고무로 되어 교체가 가능한 핀형상으로 된 것이 특징인 레티클 보관 케이스.
3. 청구항 2에 있어서, 상기 탄성돌기는 제1면에 형성된 반구형돌기로서 제1면보다 돌출되게 설치된 것이 특징인 레티클 보관케이스.
4. 청구항 2에 있어서, 상기 탄성돌기는 제1면에 형성된 "ㅗ" 형태의 돌기로서 제1면보다 돌출되게 설치된 것이 특징인 레티클 보관케이스.
5. 청구항1에 있어서, 상기 블록은 제2면과 제3면이 직각으로 서로 연결되어 있는 것이 특징인 레티클 보관케이스.
6. 청구항1에 있어서, 상기 블록은 제2면과 제3면이 서로 직각상태로 형성되지만 서로 연결되어 있지 아니하고 소정의 거리만큼 이격되어 형성된 것이 특징인 레티클 보관케이스.
7. 청구항1에 있어서, 상기 블록은 하향경사진 제2면과 제3면을 가진 레티클 안내돌편이 형성되어지는데, 제2면과 제3면이 서로 연결되어 있지 않고 소정의 거리만큼 이격된 것이 특징인 레티클 보관케이스.