KR19990080028A - 패널 적재용 카세트 - Google Patents

패널 적재용 카세트 Download PDF

Info

Publication number
KR19990080028A
KR19990080028A KR1019980012982A KR19980012982A KR19990080028A KR 19990080028 A KR19990080028 A KR 19990080028A KR 1019980012982 A KR1019980012982 A KR 1019980012982A KR 19980012982 A KR19980012982 A KR 19980012982A KR 19990080028 A KR19990080028 A KR 19990080028A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
frame
high information
cassette
panel
glass substrate
Prior art date
Application number
KR1019980012982A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100489910B1 (ko
Inventor
김성훈
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980012982A priority Critical patent/KR100489910B1/ko
Publication of KR19990080028A publication Critical patent/KR19990080028A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100489910B1 publication Critical patent/KR100489910B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 패널 적재용 카세트에 관한 것으로, 카세트내에 적재된 글래스 기판을 가압 고정하여 카세트내에서의 글래스 기판 유동으로 인해 글래스 기판에 크랙이 발생되거나 글래스 기판이 깨지는 것을 방지함으로써, 글래스 기판의 운반에 대한 안정성 향상을 기대할 수 있다.

Description

패널 적재용 카세트
본 발명은 패널 적재용 카세트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글래스 기판을 적재하여 운반할 때, 글래스 기판이 적재된 내부에서 유동됨으로서, 글래스 기판이 깨지거나 글래스 기판에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있도록 한 패널 적재용 카세트에 관한 것이다.
최근 화상정보의 전달 매체로써 표시장치의 대형화 및 고품질화에 많은 관심이 집중됨에 따라 지금까지 사용되어 왔던 CRT(cathode ray tube)를 대신하는 각종 평판표시장치가 개발 보급되고 있다. 이러한 평판 표시장치들중의 하나인 액정표시장치는 화질의 색상 측면에서 CRT에 필적할 정도이거나 그 이상의 수준으로 발전되었으며, 화면의 대형화 또한 이루어지고 있다.
이러한 액정표시장치의 표시화면으로 컬러필터 기판과 TFT 기판 사이에 액정이 주입된 다음 밀봉되는 LCD(liquid crystal display) 패널이 사용되고, LCD 패널을 구성하는 컬러필터 기판과 TFT 기판은 글래스 기판상에 소정의 반도체 제조 공정이 진행되어 이루어진다.
이러한 글래스 기판의 운반은 통상 카세트에 복수개의 글래스 기판을 적재한 다음 작업자 또는 운반수단에 의해 이루어지게 된다.
여기서, 글래스 기판을 적재하는 카세트를 살펴보면, 도 1에 도시된 바와 같이, 상호 대응 이격되어 있는 상부플레이트(2)와 하부플레이트(4)의 양측 가장자리에 프레임(6)이 수직으로 복수개의 쌍으로 연결 설치되어 있고, 상부플레이트(2)와 하부플레이트(4) 사이에 수납되는 글래스 기판(8)의 양측 가장자리를 지지하는 지지바(10)가 상호 대향되는 각 프레임의 외면에 소정 높이 이격 설치되어 있으며, 수납되는 글래스 기판(8)을 차단하는 차단바(12)가 상부플레이트(2)와 하부플레이트(4)의 후면 가장자리에 수직으로 연결 설치되어 있다.
또한, 상부플레이트(2)의 상부 중심 영역에 운반용 손잡이(14)가 설치되어 있다.
이와 같은 구조로 이루어진 카세트에 공정진행을 위한 글래스 기판(8)을 상호 대향되는 지지바(10)상에 각각 위치하도록 적재한다.
이어서, 작업자 또는 소정의 이송수단(미도시)에 의해 카세트는 공정진행장소로 옮겨지게 된다.
그러나, 작업자가 글래스 기판이 적재된 카세트를 운반하기 위해서 들어올릴 때, 또는, 카세트 운반 도중에 작업자의 부주의로 인해 카세트가 앞으로 기울어질 경우, 카세트 내부에 단순히 적재된 상태로 있는 글래스 기판이 쏟아져 깨지거나 글래스 기판에 크랙이 발생하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 카세트가 움직일 경우, 적재된 글래스 기판이 카세트의 내부에서 유동하는 것을 방지하는데 있다.
본 발명의 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다
도 1은 종래의 기술에 따른 카세트를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 제 1 실시예에 의한 카세트를 나타낸 사시도.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ의 절단면을 나타낸 단면도.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ의 절단면을 나타낸 글래스 기판 미가압 고정 상태도.
도 5는 도 4의 글래스 기판 가압 고정 상태도.
도 6은 본 발명에 따른 제 2 실시예에 의한 카세트의 글래스 기판 미가압 고정 상태도.
도 7은 도 6의 글래스 기판을 가압 고정 상태도.
도 8은 본 발명에 따른 제 3 실시예에 의한 카세트를 나타낸 사시도.
이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 하부케이스의 제 1 프레임들을 각각 수납하여 상하 이동하는 제 2 프레임들이 설치된 상부케이스를 들면 제 2 프레임의 제 2 고정보가 상승하여 제 1 프레임의 제 1 고정보와 더불어 글래스 기판을 상호 가압 지지하도록 구성된다.
제 1 고정보는 제 2 프레임의 서로 대향된 내벽에 형성된 장공을 통하여 각 제 1 프레임에 나사결합에 의해 고정될 수 있고, 제 1 프레임과 제 2 프레임 사이에 탄성부재, 예를 들어, 스프링이 개재될 수 있다.
글래스 기판의 오염 면적을 최소화할 수 있도록 글래스 기판의 표면을 면접하여 고정하는 제 1 고정보와 제 2 고정보의 일정 영역이 글래스 기판 방향으로 돌출 형성될 수 있다.
하부케이스는 나사결합에 의해 제 1 프레임이 제 2 플레이트에 설치되도록 구성될 수 있고, 상부케이스는 나사결합에 의해 제 2 프레임이 제 1 플레이트에 설치되도록 구성될 수 있으며, 상부플레이트에 운반용 손잡이가 설치될 수 있다.
제 2 프레임은 나사결합되는 상부프레임과 하부프레임으로 구성될 수 있고, 제 1 고정보는 하부프레임의 서로 대향된 내벽에 형성된 장공을 관통하여 제 1 프레임에 설치될 수 있다.
상부프레임과 하부프레임 사이에 소정 직경의 오링이 개재되고 일측단부의 외면에 걸림턱이 형성된 제 1 프레임이 오링에 삽입되어 하향 이동할 경우 오링이 걸림턱에 걸리도록 구성된다.
한편, 본 발명은 하부케이스의 제 1 프레임들을 각각 수납하여 상하 이동하는 제 2 프레임들이 설치된 상부케이스를 들면 상부케이스의 제 2 고정보가 상승하여 제 1 프레임의 제 1 고정보와 더불어 글래스 기판을 상호 가압 지지하도록 구성되고, 제 2 프레임 사이에 위치하여 상호 대향 설치되며 수납되는 글래스 기판을 안내하는 안내보가 상호 대향되는 외면에 형성된 제 3 프레임를 포함하여 구성된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 보다 상세히 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 제 1 실시예로써, 카세트는 도 2에 도시된 바와 같이, 플레이트(20)의 양측 가장자리 영역 상면에 서로 대응되도록 프레임(22)이 복수개의 쌍으로 수직 설치되고 각 프레임(22)의 서로 대향되는 외면에 복수개의 고정보(24)가 소정 높이 이격 설치되는 구조를 갖는 하부케이스(26)와, 프레임(22)을 소정 길이 삽입한 상태에서 상하 이동되는 프레임(28)을 플레이트(30)의 양측 가장자리 영역 하면에 서로 대응되도록 복수개의 쌍으로 수직 설치되고 각 프레임(28)의 서로 대향되는 외면에 복수개의 고정보(32)가 소정 높이 이격 설치되는 구조를 갖는 상부케이스(34)를 구비하며, 고정보(24) 보다 고정보(32)가 낮게 설치되어서 상부케이스(34)를 들면 고정보(32)의 상승으로 고정보(24)와 고정보(32) 사이에 삽입되는 공정자재, 예를 들어, 글래스 기판(36)을 가압 지지하도록 구성된다.
고정보(24)는 도 3에 도시된 바와 같이, 프레임(28)의 서로 대향된 외면에 형성되는 장공(38)을 관통하여 프레임(22)에 나사 결합 방식으로 설치된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 프레임(22)의 일측단부와 프레임(28) 사이에 탄성부재, 예를 들어, 스프링(40)이 삽입되며, 글래스 기판(36)의 오염 면적을 최소화할 수 있도록 글래스 기판(36)의 표면을 가압 지지하는 고정보(24)의 소정 영역과 고정보(32)의 소정 영역이 글래스 기판(36) 방향으로 돌출 형성된다.
또한, 플레이트(30)에 일측단부가 고정된 각 프레임(28)을 보다 견고하게 고정하기 위해서 각 프레임(28)의 타측단부는 플레이트(28)와 대응하는 플레이트(42)에 나사(미도시)결합에 의해 고정된다.
그리고, 도 2에 도시된 바와 같이, 플레이트(30)의 상면 중앙 부분에 운반용 손잡이(44)가 설치되고, 플레이트(30)와 플레이트(42) 사이에 수납되는 글래스 기판(36)이 카세트의 후면으로 이동하는 것을 차단하는 차단바(46)가 플레이트(30)와 플레이트(42)의 후면 가장자리에 수직으로 연결 설치된다.
이와 같은 구조로 이루어진 카세트의 작동 상태를 도 4를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
도 4는 글래스 기판을 수납하기 위해 카세트가 소정 지면상에 놓여 있는 상태를 나타낸 것으로, 글래스 기판(36)을 적재하기 위하여 작업자 또는 이송수단에 의해 카세트는 지면에 안착된다.
그러면, 상부케이스(34) 자체의 하중에 의해 프레임(22)과 프레임(28) 사이에 삽입된 스프링(40)이 축소되면서 상부케이스(34)가 하부방향으로 소정 길이 하강한다.
상부케이스(34)의 하강으로 프레임(22)의 고정보(24)로부터 프레임(28)의 고정보(32)가 소정 길이 이격되어 고정보(24)와 고정보(32) 사이에 글래스 기판(36)을 원활하게 수납할 수 있는 넓은 공간이 형성된다.
이어서, 작업자 또는 소정의 로봇암에 의해 각 글래스 기판(36)이 각 고정보(24)와 고정보(32) 사이의 공간에 수납되어 상호 대향되는 복수 쌍의 고정보(32)상에 각각 적재된다.
글래스 기판(36)의 적재를 완료한 카세트를 소정의 공정진행장소로 운반하기 위해 작업자 또는 소정의 로봇암은 카세트를 지면으로부터 들어올린다.
이때, 카세트가 지면으로부터 들어올려짐으로써, 동시에 글래스 기판(36)에 대한 가압 고정이 이루어지며, 도 5를 참조하여 글래스 기판의 가압 고정에 대해서 설명하면 다음과 같다.
카세트가 지면으로부터 들어올려지는 과정에서 플레이트(20)가 지면에서 이격되기전에 상부케이스(34)가 상부 방향으로 먼저 들어올려짐과 동시에 도 4에 도시된 수축된 스프링(40)이 팽창하게 된다.
상부케이스(34)의 들어올려짐으로 인해 프레임(28)의 고정보(32)가 글래스 기판(36)을 적재한 상태로 상부 방향으로 이동하여 글래스 기판(36)이 프레임(22)의 고정보(24)에 면접함으로써 고정보(24)와 고정보(32)에 의해 글래스 기판(36)이 가압 고정된다.
이어, 하부케이스(26)가 지면으로부터 완전히 이격되면, 하부케이스(26) 자체의 하중 및 스프링(40)의 팽창으로 인해 고정보(24)와 고정보(32) 사이에 고정된 글래스 기판(36)에 높은 가압력이 작용하여 글래스 기판(36)의 고정율이 배가된다.
이와 같이 글래스 기판을 수납 적재한 카세트를 운반할 경우, 글래스 기판을 가압 고정하여 글래스 기판의 유동을 방지함으로서, 글래스 기판의 유동으로 인해 글래스 기판이 깨지거나 글래스 기판에 크랙이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.
여기서, 카세트의 클리닝 작업을 실시하기 위한 카세트 분해 과정을 잠시 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 체결된 나사(48)를 풀어서 플레이트(20)를 프레임(22)으로부터 분리시키고, 체결된 나사(미도시)를 풀어서 플레이트(42)를 프레임(28)으로부터 분리시키며, 프레임(22)으로부터 고정보(24)를 나사분리시킨 다음, 프레임(22)과 더불어 스프링(40)을 프레임(28)으로부터 분리시킨다.
이어서, 체결된 나사(50)를 풀어서 프레임(28)을 플레이트(30)로부터 분리시켜 카세트의 분해 작업을 완료한다.
이렇게 카세트를 완전 분해함으로서 카세트를 클리닝할 경우 클리닝의 효율을 높일 수 있다.
물론, 카세트의 분해 순서는 일정하게 정해진 것이 없기 때문에 여러 방향에서 분해 가능하다.
또한, 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 제 2 실시예에 의한 카세트를 살펴보면 다음과 같다.
카세트는 하부케이스(50)와 상부케이스(52)로 이루어진다.
하부케이스(50)는 플레이트(54)상에 서로 대향되도록 수직 설치되는 프레임(56)의 일측단부의 외면에 형성되는 걸림턱(58)과 중심에 소정 깊이 형성되는 홀(60)과 서로 대향되는 외면에 나사 결합방식으로 소정 높이 이격 설치되는 고정보(62)를 구비한다.
상부케이스(52)는 플레이트(64) 하면에 설치되어 각 프레임(56)을 소정 길이 수납하여 상하 이동하는 각 프레임(66)이 상부프레임(68)과, 서로 대향되는 외면에 장공(70)이 형성되고 상향 이동할 때 프레임(56)의 걸림턱(58)이 걸릴수 있도록 소정 직경을 갖는 오링(72)을 개재하여 상부프레임(68)에 나사결합되며 장공(70)을 관통하는 고정보(62) 보다 낮게 위치할 수 있도록 서로 대향되는 외면에 고정보(74)가 소정 높이 이격 설치되는 하부프레임(76)을 포함하여 구비한다.
또한, 프레임(56)과 프레임(66) 사이에 개재되는 스프링(78)은 플레이트(64)에 관통하여 프레임(66)의 상부프레임(68)에 체결되어 소정 길이 돌출되는 나사(80)의 몸체에 수납된다.
오염면적을 최소화할 수 있도록 수납되는 글래스 기판(82)을 가압 고정하는 고정보(62)의 일정 영역과 고정보(74)의 일정 영역이 글래스 기판(82) 방향으로 돌출 형성된다.
플레이트(64)에 일측단부가 고정된 각 프레임(66)을 보다 견고하게 고정하기 위해서 각 프레임(66)의 타측단부에 플레이트(64)와 대응하는 플레이트(84)가 일체로 나사(미도시)결합되며, 운반용 손잡이(미도시)와 차단바(미도시)는 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예와 동일하게 설치된다.
이와 같은 구조를 갖는 카세트의 작용은 상기에서 언급한 본 발명의 제 1 실시예와 비슷하여 유추 가능하기 때문에 본 발명에 따른 제 2 실시예에 의한 카세트의 작용을 개략적으로 설명하기로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 카세트가 도 6에 도시된 바와 같이, 지면에 놓여질 경우, 상부케이스(52)는 자체 하중으로 스프링(78)을 가압하면서 소정 길이 하향 이동하고, 상부프레임(68)에 체결된 나사(80)의 몸체 부분은 프레임(56)의 홀(60)에 수납되며, 고정보(62)로부터 고정보(74)는 소정 간격 이격된다. 이어서, 글래스 기판(82)을 서로 대향되는 고정보(74)상에 각각 적재한다.
이후, 도 7에 도시된 바와 같이, 공정진행장소로 이동하기 위해 카세트가 지면에서 이격될 경우, 상부케이스(52)는 소정 길이 상향 이동함과 동시에 고정보(74)가 상향 이동하고, 고정보(74)상에 위치한 글래스 기판(82)은 고정보(62)에 면접되어 고정되며, 프레임(56)의 걸림턱(58)에 오링(72)이 걸리면서 상부케이스(52)의 상향 이동이 정지된다.
이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 효과는 상기에서 언급한 본 발명의 실시예와 동일하다.
또한, 본 발명에 따른 제 2 실시예에 의한 카세트의 분해 과정에 대한 설명은 상부프레임(68)과 하부프레임(76)을 분리하는 과정이 더 포함되는 것을 제외하면, 상기에서 언급한 본 발명에 따른 제 1 실시예에 의한 카세트의 분해 과정과 비슷하기 때문에 이하 설명을 생략하기로 한다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예를 나타낸 것으로, 카세트는 크게 하부케이스(90)와 상부케이스(92)로 이루어진다.
하부케이스(90)는 플레이트(94)의 양측 가장자리 영역 상면에 서로 대응되도록 프레임(96)이 복수개의 쌍으로 수직 설치되고 각 프레임(96)의 서로 대향되는 외면에 복수개의 고정보(98)가 소정 높이 이격하여 나사결합에 의해 설치되는 구조를 갖는다.
상부케이스(92)는 프레임(96)을 소정 길이 삽입한 상태에서 상하 이동되는 프레임(100)이 플레이트(102)의 양측 가장자리 영역 하면에 서로 대응되도록 복수개의 쌍으로 수직 설치되고 각 프레임(100)의 서로 대향되는 외면에 복수개의 고정보(104)가 소정 높이 이격 설치되며, 본 발명에 따른 제 3 실시예에 의하면, 프레임(106)이 프레임(100) 사이의 플레이트(102)의 양측 가장자리 영역 하면에 서로 대응되도록 복수개의 쌍으로 나사결합에 의해 수직 설치되고 각 프레임(106)의 서로 대향되는 외면에 복수개의 안내보(108)가 소정 높이 이격 설치되는 구조를 갖는다.
또한, 각 고정보(98)는 서로 대향되는 프레임(100)의 외면에 형성된 장공(110)을 통해 각 고정보(104) 보다 상부에 위치하며, 수납되는 글래스 기판(112)을 가압 고정하는 고정보(98)의 일정 영역과 고정보(104)의 일정 영역이 글래스 기판(112) 방향으로 돌출 형성된다.
플레이트(102)에 일측단부가 고정된 각 프레임(100)을 보다 견고하게 고정하기 위해서 각 프레임(100)의 타측단부에 플레이트(102)와 대응하는 플레이트(114)가 일체로 나사(미도시)결합되며, 운반용 손잡이(116)와 차단바(118)는 본 발명의 제 1 실시예와 동일하게 설치된다.
이와 같은 구조를 갖는 카세트의 작용은 프레임(106)의 안내보(108)가 수납되는 글래스 기판(112)을 안내하여 지지하는 것을 제외하면 본 발명의 제 1 실시예와 동일하며, 이에 대한 효과 또한 상기에서 이미 언급한 바와 동일하다.
또한, 카세트의 분해 과정 또한 나사를 풀어서 플레이트(102)로부터 프레임(106)을 분리하는 과정을 제외하면 본 발명의 제 1 실시예와 비슷하기 때문에 본 발명에 따른 제 3 실시예에 의한 카세트의 분해 과정은 생략하기로 한다.
이렇게 여러 실시예를 설명한 바와 같이 카세트 내부에 수납된 글래스 기판이 유동하지 않도록 가압 고정하는 것은 여러 형태로 변형되어 적용될 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 카세트내에 적재된 글래스 기판을 가압 고정하여 카세트내에서의 글래스 기판 유동으로 인해 글래스 기판에 크랙이 발생되거나 글래스 기판이 깨지는 것을 방지함으로서, 글래스 기판의 운반에 대한 안정성 향상 효과가 있다.

Claims (14)

  1. 수직 설치된 제 1 프레임을 서로 대응되는 위치에 최소한 하나 이상의 쌍으로 갖고, 상기 각 제 1 프레임의 서로 대향된 내벽에 복수개의 제 1 고정보가 소정 높이 이격 설치된 하부케이스와;
    상기 제 1 프레임을 소정 길이 삽입한 상태에서 상하 이동되는 제 2 프레임을 서로 대응되는 위치에 최소한 하나 이상의 쌍으로 갖고, 상기 각 제 2 프레임은 서로 대향된 내벽에 제 2 고정보가 소정 높이 이격 설치된 상부케이스를 포함하며,
    상기 제 1 고정보보다 상기 제 2 고정보가 낮게 설치되어서 상기 상부케이스를 들면 상기 제 2 고정보의 상승으로 상기 제 1 고정보와 상기 제 2 고정보 사이에 삽입되는 공정자재를 가압 지지하도록 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 프레임에 설치된 제 1 고정보는 상기 제 2 프레임의 서로 대향된 내벽에 형성된 장공을 관통하여 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 프레임과 상기 제 2 프레임 사이에 탄성부재가 더 개재됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 탄성부재는 스프링을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 공정자재의 표면을 가압 고정하는 상기 제 1 고정보의 일정 영역이 상기 공정자재 방향으로 돌출되게 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 공정자재의 표면을 가압 고정하는 상기 제 2 고정보의 일정 영역이 상기 공정자재 방향으로 돌출되게 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 고정보는 나사결합에 의해 상기 제 1 프레임에 고정됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 하부케이스는 나사결합에 의해 상기 제 1 프레임이 제 2 플레이트에 설치됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 상부케이스는 나사결합에 의해 상기 제 2 프레임이 제 2 플레이트에 설치됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 플레이트에 운반용 손잡이가 더 설치됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 프레임은 나사결합되는 상부프레임과 하부프레임으로 구성되고 상기 제 1 프레임에 설치된 상기 제 1 고정보는 상기 하부프레임의 서로 대향된 내벽에 형성된 장공을 관통하여 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 상부프레임과 상기 하부프레임 사이에 소정 직경의 오링이 개재되고 일측단부의 외면에 걸림턱이 형성된 상기 제 1 프레임이 상기 오링에 삽입되어 상기 제 1 프레임이 하향 이동할 경우 상기 걸림턱이 상기 오링에 걸리게 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 상부프레임과 상기 제 1 프레임 사이에 상기 탄성부재가 더 개재됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
  14. 수직 설치된 제 1 프레임을 서로 대응되는 위치에 최소한 하나 이상의 쌍으로 갖고, 상기 각 제 1 프레임의 서로 대향된 내벽에 복수개의 제 1 고정보가 소정 높이 이격 설치된 하부케이스 및;
    상기 제 1 프레임을 소정 길이 삽입한 상태에서 상하 이동되는 제 2 프레임을 서로 대응되는 위치에 최소한 하나 이상의 쌍으로 갖고 상기 각 제 2 프레임은 서로 대향된 내벽에 제 2 고정보가 소정 높이 이격 설치되며, 제 3 프레임을 서로 대응되는 위치에 최소한 하나 이상의 쌍으로 갖고 상기 각 제 3 프레임은 서로 대향되는 내벽에 복수개의 안내보가 소정 높이 이격 설치된 상부케이스를 구비하며;
    상기 제 1 고정보보다 제 2 고정보가 낮게 설치되어서 상기 상부케이스를 들면 제 2 고정보의 상승으로 제 1 고정보와 제 2 고정보 사이에 삽입되는 공정자재를 가압 지지하도록 구성됨을 특징으로 하는 패널 적재용 카세트.
KR1019980012982A 1998-04-11 1998-04-11 패널 적재용 카세트 KR100489910B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980012982A KR100489910B1 (ko) 1998-04-11 1998-04-11 패널 적재용 카세트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980012982A KR100489910B1 (ko) 1998-04-11 1998-04-11 패널 적재용 카세트

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990080028A true KR19990080028A (ko) 1999-11-05
KR100489910B1 KR100489910B1 (ko) 2005-09-02

Family

ID=37304461

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980012982A KR100489910B1 (ko) 1998-04-11 1998-04-11 패널 적재용 카세트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100489910B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100708216B1 (ko) * 2004-11-02 2007-04-16 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 적재 장치
US7225934B2 (en) 2003-07-04 2007-06-05 Boe Hydis Technology Co., Ltd. Cassette for receiving glass substrates
KR100803171B1 (ko) * 2002-01-31 2008-02-14 삼성전자주식회사 엘씨디 글래스 적재용 카세트
KR100835006B1 (ko) * 2001-12-27 2008-06-04 엘지디스플레이 주식회사 터치패널 일체형 액정패널의 출하용 매거진
KR101128405B1 (ko) * 2010-03-23 2012-03-23 (주)상아프론테크 액정표시장치 글래스 적재용 카세트

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101526860B1 (ko) * 2014-04-02 2015-06-09 손백호 액정패널 글라스 지지케이스
KR20210151527A (ko) 2020-06-05 2021-12-14 삼성전자주식회사 개폐형 기판 수용 카세트 및 그 시스템

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100835006B1 (ko) * 2001-12-27 2008-06-04 엘지디스플레이 주식회사 터치패널 일체형 액정패널의 출하용 매거진
KR100803171B1 (ko) * 2002-01-31 2008-02-14 삼성전자주식회사 엘씨디 글래스 적재용 카세트
US7225934B2 (en) 2003-07-04 2007-06-05 Boe Hydis Technology Co., Ltd. Cassette for receiving glass substrates
KR100708216B1 (ko) * 2004-11-02 2007-04-16 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 적재 장치
KR101128405B1 (ko) * 2010-03-23 2012-03-23 (주)상아프론테크 액정표시장치 글래스 적재용 카세트

Also Published As

Publication number Publication date
KR100489910B1 (ko) 2005-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4295661B2 (ja) ガラス基板収納用のカセット
KR100252075B1 (ko) 기판처리장치 및 기판처리장치에서 기판을 반출하기 위한 방법
KR100673522B1 (ko) 기판 수납 트레이 팰릿 및 기판이송시스템
KR100856145B1 (ko) 진공 챔버 및 진공 처리 장치
KR100489910B1 (ko) 패널 적재용 카세트
KR100488519B1 (ko) Ｌｃｄ용 글라스 적재 카세트
WO2006049040A1 (ja) バックライトユニット及びこれを用いた液晶表示装置
US20020079307A1 (en) Alignment apparatus of the substrate for lcd
KR20050024957A (ko) 평판표시소자 제조를 위한 기판 처리 장치
CN106488681B (zh) 包括电动机驱动装置的装置
US7334979B2 (en) Adjustable substrate transfer apparatus
KR100686226B1 (ko) 액정 표시 장치용 글래스 적재 카세트
KR20060078545A (ko) 리프트 핀 어셈블리 및 이를 사용한 화학기상증착장비
KR20000014935A (ko) 플라즈마 식각 설비
US20050042065A1 (en) Substrate transfer device with cassettes
KR100539969B1 (ko) 수납장치
KR100911823B1 (ko) 카세트의 직각도 자동 감지장치
KR100490053B1 (ko) 액정표시장치용글래스스테이지
JPH10298785A (ja) ゲートバルブ
KR102133328B1 (ko) 사이드 지지구조체 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트
KR20080015544A (ko) 기판 합착장치
KR100525996B1 (ko) 액정표시장치용 기판 카세트
KR100765144B1 (ko) 배향홈 형성용 러빙 설비
KR102188777B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR200368588Y1 (ko) 탑샤시 핸들링용 카세트

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120416

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee