KR19990063370A - 산업 설비의 작동을 모니터링하는 장치 및 방법 - Google Patents

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앙드레 샤방
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앙드레 샤방
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Abstract

본 발명은 작동 부재(5, functional member)를 구비하는 산업 설비(3)의 작동을 모니터링하는 모니터링 장치에 관한 것으로서, 이 모니터링 장치(1)는 모니터링의 특정 대상에 각기 관련이 되는 산업 설비(3)의 작동 상태를 감지하는 검출기(D1,1, ··· Dn,j)의 그룹(G1, G2···Gn)과, 상기 검출기(D1,1,···Dn,j)에 의하여 획득된 작동 상태를 전달하기 위한 통신 수단(13)이 구비되어 있는 디스플레이 유닛(11)을 포함한. 모니터링 장치는, 상기 검출기(D1,1,···Dn,j)와 디스플레이 유닛(11) 사이에 배치되어 있고, 상기 검출기(D1,1,···Dn,j)에 의하여 획득된 작동 상태를 처리하고, 예정된 검출기(D1,1,···Dn,j)의 그룹(G1, G2··· Gn)의 전체적인 작동 상태와 관련한 정보를 상기 디스플레이 유닛(11) 상에 선택적으로 디스플레이하는 것을 제어하는 제어 수단(15)을 포함한다.

Description

산업 설비의 작동을 모니터링하는 장치 및 방법
본 발명은 산업 설비, 특히 마이크로일렉트로닉스 산업에서 회로를 제조하기 위해 사용되는 가스를 공급하는 산업 설비의 작동을 모니터링하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
마이크로일렉트로닉 회로의 제조는 예컨대, Cl2, NH3, HCl, HBr, NF3, WF6등과 같이 다양한 소위 작동(Working) 가스를 이용하는 것을 필요로 하는데, 대부분의 경우 이 가스들은 그들의 독성 및/또는 인화성으로 인하여 인체에 해로운 것으로 알려져 있다.
이러한 가스는 마이크로일렉트로닉 회로 제조를 위한 스테이션과 같은 컨슈머 스테이션(consumer stations)에 이송되는데, 이러한 이송은 컨슈머 스테이션을 매개로 이루어지며, 가스를 공급하는 상기 공급 설비는 각 가스에 대해 가스 캐비넷(gas cabinet)으로도 알려진 하나 이상의 가스 공급 스테이션과, 여러 제조 스테이션에 동시에 공급될 수 있도록 공급 스테이션으로부터 발생되는 가스를 분배하는 분배 스테이션을 구비할 수 있다.
채택된 가스의 독성 때문에, 상기와 같은 공급 설비의 작동을 모니터링하는 것에 우선적으로 높은 관심이 집중된다. 특히, 오작동으로 인하여 재료 또는 심지어 인체에 피해가 가기 전에 필요한 대응책을 취할 수 있도록 오작동의 성질 및 발생 위치를 신속히 확인할 수 있는 것이 중요하다.
따라서, 이러한 설비에는 이 설비의 작동을 모니터하도록 모니터링 장치가 설치되는데, 이 모니터링 장치는 한편으로, 그 설비의 작동 상태, 특히 가스를 공급하고 분배하는 각 스테이션의 작동 상태를 감지하며, 특정 스테이션의 작동 상태를 모니터하거나 가스 누설을 모니터하는 것과 같은 특정의 모니터링과 관련되는 검출기의 그룹과, 다른 한편으로, 특히 경보가 발생될 수 있도록 작동 상태를 전달하는 통신 수단이 구비되어 있는 디스플레이 유닛을 포함한다.
본 발명의 목적은 감지되는 어떤 오작동 또는 경보를 효과적으로 확인하면서, 산업 설비의 작동 상태를 나타낼 수 있는 모니터링 장치를 제공하는 데 있다.
도 1은 산업 설비의 작동을 모니터링하기 위한 본 발명에 따른 모니터링 장치의 개략적인 다이아그램.
도 2는 도 1의 모니터링 장치의 디스플레이 유닛에 디스플레이되는 이미지를 나타내며, 특히 두 개의 플랜을 나타내는데, 그 중 하나는 최하위 레벨의 세목(細目)(the lowest level of detail)에 해당하고, 다른 하나는 전술한 레벨보다 높은 레벨에 해당하는 세목이다.
도 3은 도 1의 모니터링 장치의 디스플레이 유닛에 디스플레이되는 이미지를 나타내며, 특히 두 개의 플랜을 나타내는데, 그 중 하나는 최하위 레벨의 세목에 해당하고, 다른 하나는 최상위 레벨의 세목에 해당하는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
3: 산업 설비
5: 작동 부재
11: 디스플레이 유닛
13: 통신 수단
29: 코드화 수단
따라서, 본 발명의 주제는 산업 설비, 특히 마이크로일렉트로닉스 산업에서 회로를 제조하기 위해 가스를 공급하는 설비의 작동을 모니터링하는 모니터링 장치 및 방법에 관한 것으로서, 상기 산업 설비는 작동 부재(functional member)를 구비하며, 상기 모니터링 장치는 각 그룹의 검출기가 작동 부재의 작동 상태를 모니터하거나 가스 누설을 모니터하는 것과 같이 모니터할 특정 대상과 각각 관련이 있는 각 작동 부재의 작동 상태를 감지하는 검출기 그룹과, 상기 검출기에 의하여 획득된 작동 상태를 전달하는 통신 수단이 구비되어 있는 디스플레이 유닛을 포함하며, 상기 모니터링 장치는, 상기 검출기와 디스플레이 유닛 사이에 배치되어 있고, 상기 검출기에 의하여 획득된 작동 상태를 처리하고, 예정된 검출기의 그룹의 전체적인 작동 상태와 관련한 정보를 상기 디스플레이 유닛 상에 선택적으로 디스플레이하는 것을 제어하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 모니터링 장치는 다음의 특징 중 하나 이상을 추가적으로 포함할 수 있다.
- 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 수단은 작동자가 명령을 입력할 수 있는 명령 입력 유닛과, 메모리 플랜(memory plan)에서의 저장을 위한 저장 수단을 포함하며, 각 메모리 플랜은 산업 설비의 작동 부재의 레이아웃(layout)의 적어도 일부를 나타내며, 작동자의 제어하에서 상기 디스플레이 유닛에 의하여 상기 플랜은 예정된 그룹의 하나 이상의 검출기에 의하여 획득된 하나 이상의 오작동의 지리적 위치를 디스플레이된 플랜에 나타내는 정보들 중 하나 이상의 항목과 함께 디스플레이 되도록 의도된다.
- 상기 플랜은 다양한 레벨의 세목을 나타내며, 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 수단은 작동자의 제어하에서, 한 레벨의 세목에서 다른 레벨의 세목으로 이동하도록 플랜을 선택하는 선택 수단을 포함한다.
- 최상위 레벨의 세목을 가지는 플랜은 각각 기본적 객체(basic entity), 특히 가스를 공급하거나 분배하는 스테이션을 개략적인 다이아그램(synoptic diagram)으로서 나타내며, 통신 수단은 이러한 기본적 객체와 연관된 검출기에 의하여 획득된 측정치를 최상위 레벨의 세목을 가지는 이러한 플랜 위에 디스플레이하여 산업 설비의 작동 상태를 나타내는 수단을 구비한다.
- 상기 플랜은 최하위 레벨의 세목을 가지고 산업 설비를 전체적으로 나타내는 제네랄 플랜(general plan)을 포함하며, 이 제네랄 플랜은 상기 디스플레이 유닛에 의해 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 플랜과 나란하게 영구적으로 디스플레이되도록 의도되며, 통신 수단은 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 다른 개략적인 다이아그램과 나란하게 나타나게 되어 있는 산업 설비 부품의 위치와 관련한 정보의 항목을 상기 제네랄 플랜 위에 디스플레이하는 디스플레이 수단을 포함한다.
- 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 수단은 상기 정보가 코드 형태로 디스플레이될 수 있도록 작동 상태를 코드화시키는 수단을 포함한다.
- 코드화 수단에 의하여 이용되는 코드는 3색 코드이며, 한 색깔은 올바른 작동과 관련이 있으며, 또 한 색깔은 그다지 중요하지 않은 오작동과 관련이 있으며, 나머지 한 색깔은 심각한 오작동과 관련이 있다.
본 발명의 다른 주제는 산업 설비, 특히 마이크로일렉트로닉스 산업에서 회로를 제조하기 위해 가스를 공급하는 설비의 작동을 모니터링하는 모니터링 방법이며, 상기 설비는 작동 부재를 구비하며, 이 방법은 다음의 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
- 작동 부재의 작동 상태를 감지하는 단계,
- 감지된 작동 상태의 그룹을 형성하는 단계로, 특정 스테이션의 작동 상태를 모니터하거나 가스 누설을 모니터하는 것과 같이 모니터할 특정 대상과 연관되도록 각각의 그룹을 형성하는 단계,
- 상기 그룹의 전체적 작동 상태를 디스플레이 유닛에 디스플레이하는 단계.
본 발명에 따른 모니터링 방법은 다음의 특징 중 하나 이상을 추가적으로 포함할 수 있다.
- 상기 모니터링 방법은 작동자의 제어하에서 하나 이상의 감지된 오작동의 지리적 위치를 표시하는 정보의 하나 이상의 항목과 함께 산업 설비의 작동 부재의 레이아웃의 적어도 일부를 나타내는 플랜을 디스플레이 유닛에 디스플레이하는 단계를 또한 포함한다.
- 상기 플랜은 다양한 레벨의 세목을 나타내며, 상기 모니터링 방법은 작동자의 제어하에서 한 레벨의 세목으로부터 다른 레벨의 세목으로 이동하도록 플랜을 선택하는 단계를 또한 포함한다.
- 최상위 레벨의 세목을 가지는 플랜은 각각 기본적인 객체, 특히 가스를 공급하거나 분배하는 스테이션을 개략적인 다이아그램으로서 나타내며, 상기 모니터링 방법은 감지된 작동 상태를 나타내는 측정치를 최상위 레벨의 세목을 가지는 이러한 플랜 위에 디스플레이 하는 단계를 포함한다.
- 상기 플랜은 최하위 레벨의 세목을 나타내는 제네랄 플랜(general plan)을 포함하며, 이 제네랄 플랜은 산업 설비를 전체적으로 나타내며, 상기 모니터링 방법은 상기 제네랄 플랜을 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 플랜과 나란하게 영구적으로 상기 디스플레이 유닛에 디스플레이하고, 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 다른 개략적인 다이아그램과 나란하게 디스플레이되어 있는 산업 설비의 부품의 위치와 관련한 정보의 항목을 상기 제네랄 플랜 위에 나타내는 단계를 포함한다.
- 상기 모니터링 방법은 작동 상태를 코드화시키는 단계와, 코드화된 형태로 작동 상태를 디스플레이하는 단계를 포함한다.
- 코드화 수단에 의하여 이용되는 코드는 3색 코드이며, 한 색깔은 올바른 작동과 관련이 있으며, 또 한 색깔은 그다지 중요하지 않은 오작동과 관련이 있으며, 나머지 한 색깔은 심각한 오작동과 관련이 있다.
본 발명의 다른 특징과 장점은 첨부 도면을 참조로 제한적이지 않은 예로서 주어진 이하의 설명으로 분명해질 것이다.
도 1은 예컨대, 마이크로일렉트로닉 산업에서 회로를 제조하기 위해 사용되는 가스를 공급하는 설비와 같은 산업 설비(3)의 작동을 모니터링하는 장치의 개략적인 다이아그램이다.
이러한 산업 설비(3)는 예컨대, 개략적으로 나타나 있는 스테이션 P1, P2··· P0(여기서,O는 어떤 자연수)와 같은 작동 부재(5)를 구비한다.
이러한 스테이션(P1, P2···P0)은 예컨대, 가스 캐비넷(gas cabinet)으로 또한 알려진 가스 공급 스테이션 또는 하나의 공급 스테이션으로부터 유입되는 가스를 분배하는 분배 스테이션을 포함한다. 가스 분배 스테이션을 이용하면, 단 하나의 가스 공급 스테이션으로부터 여러 개의 컨슈머 스테이션(도시 생략)에 동시에 가스를 공급하는 것이 가능하다.
이러한 가스 공급 스테이션과 분배 스테이션은 당업자에게 잘 공지되어 있으므로, 상세히 설명하지 않기로 한다.
산업 설비(3)의 작동 상태를 모니터하기 위하여, 모니터링 장치는 검출기의 그룹(G1, G2, G3···Gn)(여기서, n은 어떤 자연수)을 포함한다.
다양한 그룹의 검출기는 대문자 D로 표시되며, 첨자로서 첫 번째 숫자는 그룹의 숫자에 대응하며, 두 번째 숫자는 이 그룹 내의 검출기의 숫자에 대응한다.
그러므로, 검출기 Di,j는 i번째 그룹에 속하는 j번째 검출기이다(도 1에 표시된 k, ℓ, m, p와 더불어 i, j는 어떤 자연수).
각 그룹(G1, G2, G3···Gn)은 산업 설비(3)의 모니터될 특정 대상과 관련되어 있다.
예로서, 검출기의 그룹(G1)은 가스 누설 검출기(D1,1내지 D1,k)를 구비한다. 이러한 검출기(D1,1내지 D1,k)는 예컨대, 가스 공급 스테이션과 분배 스테이션(P1, P2···P0)이 설치되는 공간과 같은 산업 설비(3)의 적절한 위치에 설치된다.
검출기의 그룹(G2)은 각 특정 스테이션의 작동 상태를 모니터하도록 가스 공급 스테이션과 분배 스테이션(P1, P2···P0)의 가스가 흐르는 파이프에 존재하는 압력(pressure prevailing)을 감지하는 예컨대, 센서(D2,1···D2,ℓ)를 구비한다.
검출기의 그룹(G3)은 산업 설비(3)의 적절한 지점에 설치된 예컨대, 화염 검출기(D3,1내지 D3,m)를 구비한다.
추가로, 모니터링 장치(1)는 그룹(G1, G2, G3···Gn)의 각각의 검출기(Di,j)에 의하여 획득된 작동 상태를 전달하는 통신 수단(13)이 구비되어 있는 디스플레이 유닛(11)을 포함한다.
그룹(G1, G2, G3···Gn)의 검출기와 디스플레이 유닛(11) 사이에는 한편으로 각 검출기(Di,j)에 의하여 획득된 작동 상태를 처리하고, 다른 한편으로는 전체적인 작동 상태와 관련한 정보를 디스플레이 유닛(11) 상에 선택적으로 디스플레이하는 것을 제어하는 수단(15)이 배치되어 있다.
이러한 목적을 위하여, 상기 제어 수단(15)은, 한편으로 모든 검출기(D1,1···Dn,j)에 접속되고, 다른 한편으로는 디스플레이 유닛(11)의 통신 수단(13)과 접속되는 중앙 유닛(17)을 포함한다.
전체적인 작동 상태는 예정된 검출기(Di,1···Di,k)의 그룹(Gi)과 연관된 작동 상태를 의미하는 것으로 이해되며, 예정된 그룹(Gi)의 모든 검출기(Di,1··· Di,k)에 의하여 획득된 올바른 작동 상태 또는 예정된 그룹(Gi)의 하나 이상의 검출기(Di,j)에 의하여 획득된 경보 또는 오작동에 대응하는 것으로 이해된다.
그러므로, 예컨대 가스 누설과 관련한 경보는 가스 공급 스테이션에서 발생되는 오작동과는 용이하게 구분될 수 있으며, 이것은 감지되는 경보 또는 오작동과 관련하여 취해지는 대응책과 관련하여 결정 과정의 속도를 바람직하게 증가시킬 수 있다.
또한, 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 수단(15)은 중앙 유닛(17)과 접속된 명령 입력 유닛(19)에 의하여 전체 산업 설비(3)를 모니터하는 책임이 있는 작동자에 의하여 제어될 수 있다.
추가로, 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 수단(15)은 메모리 플랜에서의 저장을 위한 저장 수단(21)을 구비하며, 각 메모리 플랜은 산업 설비(3)의 구조물의 레이아웃의 적어도 일부와 이러한 구조물에 위치된 공급 스테이션 및 분배 스테이션(P1, P2···P0)의 레이아웃의 적어도 일부를 나타낸다. 이러한 플랜은 명령 입력 유닛(19)에 의한 명령 입력을 매개로 하여 작동자의 제어 상태하에서 하나 이상의 검출기(Di,j)에 의하여 획득된 하나 이상의 오작동의 지리적 위치를 디스플레이된 플랜상에 디스플레이하는 하나 이상의 정보의 항목과 함께 상기 디스플레이 유닛(11)상에서 디스플레이되도록 의도된다.
이러한 플랜은 다양한 레벨의 세목이며, 전술한 것 중에서, 특히 최하위 레벨의 세목을 가지며 산업 설비 전체를 나타내는 제네랄 플랜과, 예컨대 특정 가스 공급 스테이션 또는 분배 스테이션(Pi)과 같은 기본적인 객체를 개략적인 다이아그램으로서 상세하게 나타내는 최상위 레벨의 세목을 가지는 플랜을 설명한 것 중 어느 하나의 다양한 레벨의 세목이다.
도 2 및 도 3을 참조로 매우 자세하게 설명할 전술한 예에서, 3가지 레벨의 세목이 존재한다.
ⅰ) 최하위 레벨의 세목을 구비하며 설비를 전체적으로 나타내는 제네랄 플랜,
ⅱ) 설비의 한 공간과, 이러한 공간 내에 있는 가스 공급 스테이션 또는 분배 스테이션의 레이아웃을 나타내는 중간 플랜(intermediate plan),
ⅲ) 각각의 가스 공급 스테이션 또는 분배 스테이션을 개략적인 다이아그램으로서 상세하게 나타내는 최상위 레벨의 세목을 가지는 플랜.
물론, 설비의 크기에 따라서 도면에서의 세목의 갯수를 증가시키는 것이 가능하다.
디스플레이될 플랜을 선택하기 위하여, 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 수단(15)은 메모리 저장 수단(21)과 중앙 유닛(17) 사이에 배치되어 있는 플랜 선택을 위한 선택 수단(23)을 또한 포함한다.
한편으로, 명령 입력 유닛(19)을 통한 작동자의 명령 입력에 의존하여, 다른 한편으로는 디스플레이 유닛(11)에 의하여 디스플레이된 플랜에 의존하여, 선택 수단(23)은 메모리 저장 수단(21)으로부터 약간 상위 레벨의 세목 또는 디스플레이된 플랜의 약간 하위 레벨의 플랜을 선택하는 것을 가능하게 하여 작동자가 한 레벨의 세목으로부터 다른 레벨의 세목으로 이동할 수 있게 한다.
또한, 통신 수단(13)은 최상위 레벨의 세목을 가지며 기본적인 객체를 개략적으로 나타내는 플랜 상에 기본적 객체와 관련된 검출기(Di,j)에 의하여 획득되어 그 작동 상태를 나타내는 측정치를 디스플레이하는 수단을 포함한다.
작동자가 디스플레이 유닛(11)에 의하여 디스플레이되는 이미지 상에서 오작동 또는 경보를 확인하는 것을 용이하게 하기 위하여, 제네랄 플랜은 디스플레이 유닛(11)상에 영구적으로 디스플레이되고 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 플랜중 하나와 나란하게 디스플레이되며, 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 다른 플랜과 나란하게 나타낸 설비의 부품의 위치와 관련된 정보의 항목을 이러한 제네랄 플랜 상에 디스플레이하는 수단(27)을 추가로 포함한다.
추가로, 선택적인 디스플레이를 제어하고 처리하는 수단(15)은 상기 정보가 코드화된 형태로 디스플레이될 수 있도록 작동 상태를 코드화시키는 수단(29)을 구비한다.
유리하게는, 코드화 수단(29)에 의하여 이용되는 코드는 3색 코드이며, 한 색깔은 올바른 작동과 관련이 있으며, 예컨대 초록색이며, 또 한 색깔은 그다지 중요하지 않은 오작동과 관련이 있으며, 예컨대 노란색이며, 나머지 한 색깔은 심각한 오작동과 관련이 있으며, 예컨대 빨간색이다.
유리하게는, 본 발명에 따른 모니터링 장치는 디스플레이 스크린, 키보드, 마우스를 가지는 컴퓨터와, 한편으로 전술한 플랜을 구비하며, 다른 한편으로 검출기에 의하여 획득된 작동 상태를 처리하고 상기 스크린에 선택적인 디스플레이를 제어하는 작용을 수행하도록 설계된 프로그램을 포함하는 로드되는 메모리를 포함한다.
지금부터는, 디스플레이 유닛(11)에 의하여 디스플레이된 도 2 및 도 3의 이미지를 참조로 모니터링 장치의 작동을 설명하기로 한다.
도 2는 동작중인 모니터링 장치가 디스플레이 유닛(11)에 의하여 스크린 상에 디스플레이되는 이미지의 예를 나타낸다.
스크린의 상부에서, 이러한 이미지는 아이콘(I1, I2, I3···In)이 디스플레이 되어 있는 제1 영역(50)을 포함한다. 아이콘이 관련된 검출기의 그룹(G1, G2, G3···Gn)의 이름이 상기 아이콘(I1, I2, I3···In) 내에 기재되어 있다.
이러한 아이콘(I1, I2, I3···In)은 제1 영역(50)에 영구적으로 디스플레이 되어 있으며, 각 그룹(Gi)의 전체적인 작동 상태를 작동자에게 전달한다. 그러므로, 심지어 작동자가 없는 경우에도, 아이콘은 예컨대 특정 스테이션의 작동 상태를 실시간에 작동자에게 알리며, 그룹(Gi)의 작동 상태와 전체 설비(3)의 작동 상태를 작동자에게 알리며, 이로 인하여 어떤 오작동이 발생한 경우에 작동자는 신속하게 효과적으로 반응할 수 있다.
그룹(Gi)의 모든 검출기에 의하여 올바른 상태가 감지된 경우에, 대응하는 아이콘(Ii)은 초록색이다. 그룹(Gi)의 하나 이상의 검출기(Di,j)가 그다지 중요하지 않은 오작동 또는 심각한 오작동을 감지한 경우, 대응하는 아이콘(Ii)은 오작동 또는 경보의 심각성에 의존하여 색깔이 변화되어, 노란색 또는 빨간색으로 된다.
스크린의 오른쪽에서, 이미지는 최하위 레벨의 세목을 가지며 산업 설비를 전체적으로 나타내는 제네랄 플랜(general plan)이 디스플레이되는 영역(52)을 포함한다. 실시예에 있어서, 산업 설비(3)는 3개의 방(room)을 포함한다. 또한, 이러한 제네랄 플랜은 영구적으로 디스플레이 되어 있다.
이미지의 나머지 부분, 즉 영역(54)에는, 방(S3)의 플랜이 디스플레이 되어 있다. 이러한 플랜은 보다 상세하며, 중간 레벨의 세목의 부분을 이룬다. 이 플랜은 여러 스테이션(P1내지 P6)의 레이아웃을 나타내며, 방(S3)을 나오고 들어가는 방법을 나타낸다.
나타나 있는 이미지에 있어서, 가스 공급 스테이션(P2)에 가스를 공급하는 것을 절단한 것은 예로서 간주된다.
이러한 경우에, 스테이션(P2)과 연관된 그룹(G2)의 검출기중 하나는 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 수단에 경보를 전달한다. 코드화 수단(29)은 상기 경보를 코드화하여, 중앙 유닛(17)은 통신 수단(13)이 아이콘(I2)을 빨간색으로 나타내도록 명령하며, 이것은 도 2에 진하게 표시되어 있다. 이에 의하여, 산업 설비(3)를 모니터링 할 책임이 있는 작동자는 가스 분배 스테이션 및 공급 스테이션에 심각한 오작동이 발생했음을 알 수 있다.
오작동에 대한 보다 상세한 정보를 얻기 위하여, 특히 오작동의 발생 위치를 알기 위하여, 작동자는 오작동이 발생한 방, 다시 말하면 디스플레이될 방(S3)의 플랜을 위해 중앙 유닛(19)을 매개로 명령을 입력한다. 방(S3)의 이러한 플랜 상에서, 스테이션(P2)은 빨간색으로 표시되어, 작동자는 오작동이 P2스테이션에서 발생한 것을 알 수 있다. 동시에, 그리고 디스플레이 수단(27)의 제어하에서, 일반적으로 산업 설비에 대해서 방(S3)의 지리적 위치가 비스듬한 해칭에 의하여 제네랄 플랜 상에 나타나 있다.
P2스테이션에서의 오작동의 정확한 성질를 결정하기 위하여, 작동자는 명령 입력 유닛(19)을 매개로 디스플레이되는 P2스테이션의 개략적인 다이아그램을 나타내는 최상위 레벨의 세목을 가지는 플랜에 명령을 입력한다.
그러므로, 디스플레이 유닛(11)의 스크린은 도 3에 표시된 이미지를 디스플레이 한다. 이 이미지는 한편으로는, P2스테이션의 개략적인 다이아그램이 도 2의 S3방의 플랜의 위치에서 스크린의 영역에 표시된다는 사실에 의하여 도 2에 표시된 이미지와 다르며, 다른 한편으로는 P2스테이션과 연관된 검출기에 의하여 포착되고 그 작동 상태를 나타내며 디스플레이 수단(25)에 의하여 제어되는 측정치가 P2스테이션의 개략적인 플랜 상에 표시된다는 사실에 의하여 도 2에 표시된 이미지와 다르다.
본 발명에 따른 모니터링 장치 및 방법에 의하여, 작동자는 감지된 경보 또는 오작동의 원인을 금방 알 수 있으며, 산업 설비에 책임이 있는 작동자가 산업 설비의 작동 상태를 빠르게 알 수 있으며, 발생된 오작동의 성질 및 발생 위치를 효과적으로 확인할 수 있다.

Claims (14)

  1. 산업 설비(3), 특히 마이크로일렉트로닉스 산업에서 회로를 제조하기 위해 가스를 공급하는 가스 공급 설비의 작동을 모니터링하는 모니터링 장치로서, 상기 산업 설비는 작동 부재(5; functional member)를 구비하며, 상기 모니터링 장치(1)는 각 그룹(G1, G2···Gn)의 검출기가 작동 부재(5)의 작동 상태를 모니터하거나 가스 누설을 모니터하는 것과 같이 모니터할 특정 대상과 각각 관련이 있는 각 작동 부재의 작동 상태를 감지하는 검출기(D1,1···Dn,p)의 그룹(G1, G2···Gn)과, 상기 검출기(D1,1···Dn,p)에 의하여 획득된 작동 상태를 전달하는 통신 수단(13)이 구비되어 있는 디스플레이 유닛(11)을 포함하는 모니터링 장치에 있어서,
    상기 검출기(D1,1···Dn,p)와 디스플레이 유닛(11) 사이에 배치되어 있고, 상기 검출기(D1,1···Dn,p)에 의하여 획득된 작동 상태를 처리하고, 예정된 검출기(D1,1···Dn,p)의 그룹(G1, G2···Gn)의 전체적인 작동 상태와 관련한 정보를 상기 디스플레이 유닛(11) 상에 선택적으로 디스플레이하는 것을 제어하는 수단(15)을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 장치.
  2. 제1항에 있어서, 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 상기 수단(15)은 작동자가 명령을 입력할 수 있는 명령 입력 유닛(19)과, 메모리 플랜(memory plan)에서의 저장을 위한 저장 수단(21)을 포함하며, 각 메모리 플랜은 산업 설비의 작동 부재(5)의 레이아웃(layout)의 적어도 일부를 나타내며, 작동자의 제어하에서 상기 디스플레이 유닛(11)에 의하여 상기 플랜은 예정된 그룹(G1, G2···Gn)의 하나 이상의 검출기(D1,1···Dn,j)에 의하여 획득된 하나 이상의 오작동의 지리적 위치를, 디스플레이된 플랜에 나타내는 정보들 중 하나 이상의 항목과 함께 디스플레이 되도록 의도되는 것을 특징으로 하는 모니터링 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 플랜은 다양한 레벨의 세목을 나타내며, 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 상기 수단(15)은 작동자의 제어하에서, 한 레벨의 세목에서 다른 레벨의 세목으로 이동하도록 플랜을 선택하는 선택 수단(23)을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 장치.
  4. 제3항에 있어서, 최상위 레벨의 세목을 가지는 플랜은 각각 기본적 객체(basic entity), 특히 가스를 공급하거나 분배하는 스테이션(P1, P2···P0)을 개략적인 다이아그램(synoptic diagram)으로서 나타내며, 상기 통신 수단(13)은 이러한 기본적 객체와 연관된 검출기(D1,1···Dn,j)에 의하여 획득된 측정치를 최상위 레벨의 세목을 가지는 이러한 플랜 위에 디스플레이하여 산업 설비의 작동 상태를 나타내는 디스플레이 수단(25)을 구비하는 것을 특징으로 하는 모니터링 장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 플랜은 최하위 레벨의 세목을 가지고 산업 설비(3)를 전체적으로 나타내는 제네랄 플랜(general plan)을 포함하며, 이 제네랄 플랜은 상기 디스플레이 유닛(11)에 의해 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 플랜과 나란하게 영구적으로 디스플레이되도록 의도되며, 상기 통신 수단(13)은 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 다른 개략적인 다이아그램과 나란하게 나타나게 되어 있는 산업 설비 부품의 위치와 관련한 정보의 항목을 상기 제네랄 플랜 위에 디스플레이하는 디스플레이 수단(27)을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 선택적인 디스플레이를 처리 및 제어하는 상기 수단(15)은 상기 정보가 코드 형태로 디스플레이될 수 있도록 작동 상태를 코드화시키는 수단(29)을 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 코드화 수단(29)에 의하여 이용되는 코드는 3색 코드이며, 한 색깔은 올바른 작동과 관련이 있으며, 또 한 색깔은 그다지 중요하지 않은 오작동과 관련이 있으며, 나머지 한 색깔은 심각한 오작동과 관련이 있는 것을 특징으로 하는 모니터링 장치.
  8. 작동 부재(5)를 구비하는 산업 설비(3), 특히 마이크로일렉트로닉스 산업에서 회로를 제조하기 위해 가스를 공급하는 설비의 작동을 모니터링하는 모니터링 방법에 있어서,
    - 작동 부재(5)의 작동 상태를 감지하는 단계와,
    - 감지된 작동 상태의 그룹을 형성하는 단계로, 특정 스테이션의 작동 상태를 모니터하거나 가스 누설을 모니터하는 것과 같이 모니터할 특정 대상과 연관되도록 각각의 그룹을 형성하는 단계와,
    - 상기 그룹의 전체적 작동 상태를 디스플레이 유닛(11)에 디스플레이하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  9. 제8항에 있어서, 작동자의 제어하에서 하나 이상의 감지된 오작동의 지리적 위치를 표시하는 정보의 하나 이상의 항목과 함께 산업 설비의 작동 부재의 레이아웃의 적어도 일부를 나타내는 플랜을 디스플레이 유닛(11)에 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 플랜은 다양한 레벨의 세목을 나타내며, 상기 모니터링 방법은 작동자의 제어하에서 한 레벨의 세목으로부터 다른 레벨의 세목으로 이동하도록 플랜을 선택하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  11. 제10항에 있어서, 최상위 레벨의 세목을 가지는 플랜은 각각 기본적인 객체, 특히 가스를 공급하거나 분배하는 스테이션(P1, P2···P0)을 개략적인 다이아그램으로서 나타내며, 상기 모니터링 방법은 감지된 작동 상태를 나타내는 측정치를 최상위 레벨의 세목을 가지는 이러한 플랜 위에 디스플레이 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 플랜은 최하위 레벨의 세목을 나타내는 제네랄 플랜(general plan)을 포함하며, 이 제네랄 플랜은 산업 설비(3)를 전체적으로 나타내며, 상기 모니터링 방법은 상기 제네랄 플랜을 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 플랜과 나란하게 영구적으로 상기 디스플레이 유닛(11)에 디스플레이하고, 보다 상위 레벨의 세목을 가지는 다른 개략적인 다이아그램과 나란하게 디스플레이되어 있는 산업 설비의 부품의 위치와 관련한 정보의 항목을 상기 제네랄 플랜 위에 나타내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  13. 제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 작동 상태를 코드화시키는 단계와, 코드화된 형태로 작동 상태를 디스플레이하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
  14. 제13항에 있어서, 코드화 수단에 의하여 이용되는 코드는 3색 코드이며, 한 색깔은 올바른 작동과 관련이 있으며, 또 한 색깔은 그다지 중요하지 않은 오작동과 관련이 있으며, 나머지 한 색깔은 심각한 오작동과 관련이 있는 것을 특징으로 하는 모니터링 방법.
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