KR19990036334A - 세라믹 필터 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR19990036334A
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안토니우스 게라르더스 홀리붐
요하네스 브란트스마
헤르마너스 게라그더스 마리아 티터라어
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엠. 제이. 엠. 반캄
코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔. 브이
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Abstract

본 출원은 세라믹 필터 뿐만 아니라 그 제조방법을 서술한다. 이러한 필터는 필터의 작동중에 전자기적으로 결합되며 세라믹 유전체에 의해 분리되는 인쇄 금속층의 형태인 스트립라인 공진기를 두 개 이상 구비한다. 본 발명에 따르면, 금속층(바람직하게는 팔라듐의 금속층)은 최소 10 마이크로미터의 두께를 가져야만 하며, 단면 형상이 실질적으로 장방형이다. 이 특징을 갖는 필터는 작동중에 대단히 낮은 삽입 손실을 보인다. 본 발명은 소위 브로드라인-결합(broadline-coupling) 필터에 매우 효과적으로 사용될 수 있다.

Description

세라믹 필터 및 그 제조방법
세라믹 필터는, 특히 GSM, PCN 및 DECT 시스템용 수신기와 같은 고주파수 신호용 수신기 및 송신기에 사용된다. 이 시스템들은 MHz 범위의 고주파수 신호를 이용한다. 예를 들면, GSM(Global System for Mobile Communication)은 900MHz 밴드의 주파수에서 작동하고, PCN(Personal Communication Network)은 1800MHz의 주파수를 사용하며 DECT(Digital European Cordless System)도 대략 1800MHz의 주파수를 사용한다. 상기 필터는, 특히 원하는 신호의 주파수가 주파수 범위에서 벗어나서 사용될 때 상기 신호를 억제하도록 사용된다. 이것은 주파수 범위를 벗어난 강력한 송신기로 수신기의 과부하를 방지하는 것이 필요하다.
서두에 언급된 형식의 세라믹 필터 뿐만 아니라 상기 필터의 제조 방법이 그 자체로 공지되어 있다. 그 서술은 예를 들면 유럽특허출원 제 EP-A 541.397 호에 개시되어 있다. 상기 특허출원은, 특히 두 개의 은 또는 구리의 스트립라인 공진기를 구비하며 인쇄 기술, 즉 스크린 인쇄에 의해 세라믹 포일상에 배치되는 적층 필터를 설명한다. 공지된 필터의 작동중에, 전자기 결합이 공진기의 평면에서 발생한다(x, y 결합).
공지된 필터의 삽입 손실이 상대적으로 높다는 것이 실행중에 발견되었다. 이것은 상기 공지된 필터가 사용되는 수신기의 감도가 예기치않게 감소되게 한다.
본 발명은 필터의 작동중에 전자기적으로 결합되고 세라믹 유전체에 의해 분리되는, 인쇄 금속층의 형태인 적어도 두 개의 스트립라인 공진기를 구비하는 세라믹 필터에 관한 것이며, 또한 그러한 세라믹 필터의 제조 방법에 관한 것이다.
도 1은 x,y-결합을 갖는 세라믹 필터의 개략적인 사시도.
도 2는 z-결합을 갖는 세라믹 필터의 개략적인 사시도.
도 3은 도 2에 따른 필터의 종방향 단면도.
도 4는 도 2에 따른 필터의 횡방향 단면도.
도 5는 도 2에 따른 필터의 대안적인 실시예의 횡방향 단면도.
도 6은 본 발명에 따라 제조된 다수의 필터의 스트립라인 공진기의 횡방향 단면도.
명확성을 기하기 위하여, 도면은 비례하게 도시되지는 않는다.
본 발명의 목적은 필터의 작동중에 삽입 손실이 현저하게 감소되는 세라믹 필터를 제공하는데 있다.
본 발명의 이 목적 및 다른 목적은 필터의 작동중에 전자기적으로 결합되고 세라믹 유전체에 의해 분리되는 인쇄 금속층의 형태인 적어도 두 개의 스트립라인 공진기를 구비하는 세라믹 필터에 의해 달성되며, 이 필터는 금속층이 적어도 10 마이크로미터의 두께와 실질적으로 장방형 단면을 갖는 본 발명에 따라 특징된다.
본 발명은 공지의 필터의 삽입 손실이 스트립라인 공진기의 형태 및 두께에 의한 실질적인 정도에 좌우된다는 실험적으로 얻어진 통찰에 기초한다. 공진기가 적어도 10 마이크로미터의 두께를 갖는다면 삽입 손실이 실질적으로 감소되는 것을 알았다. 필터의 작동중에, 공진기가 적어도 10 마이크로미터 이하의 두께를 갖는다면 인쇄된 금속층의 전기 저항은 굉장한 저항 손실을 발생시킨다. 이 저항 손실은 실질적으로 필터의 삽입 손실의 원인이 된다. 스트립라인 공진기의 두께는 바람직하게는 15 마이크로미터 이상이다. 이 경우에, 금속층의 전기 저항은 단지 작은 범위에서 필터의 손실의 원인이 된다. 스트립라인 공진기의 두께가 20 내지 30 마이크로미터 사이의 범위에 있을 때 최상의 결과가 얻어진다. 실제로, 두께가 30 마이크로미터 이상인 금속층을 인쇄하는 것은 어렵다는 것을 발견하였다.
부가적으로, 또한 스트립라인 공진기의 형태가 삽입 손실의 양에 큰 영향을 갖는다는 것이 실험적으로 밝혀졌다. 이러한 타입의 세라믹 필터는 스트립라인 공진기의 측면이 단면에서 보았을 때 점모양으로 대개 제조된다. 그 결과로서, 스트립라인 공진기의 측면에서 고 전류 밀도가 필터의 작동중에 나타나게 된다. 이것은 삽입 손실의 증가를 유도한다. 그러나, 만약 필터가 실질적으로 장방형인 스트립라인 공진기를 구비하고 있다면, 상기 삽입 손실의 실질적인 감소가 이루어진다. "실질적으로 장방형"이란 표현은 금속층의 측면에서 측정된 금속층의 평균 두께가 금속층의 평균 두께의 적어도 60%, 바람직하게는 적어도 80%라는 것을 의미한다고 이해될 수 있다.
본 발명에 따른 세라믹 필터의 바람직한 실시예는 금속층이 같은 공간을 차지하지 않는 두 개 이상의 평행한 평면에서 연장하며, 상기 금속층이 금속층의 수직에 평행한 방향에서 보았을 때 일부 이상이 오버랩되는 것을 특징으로 한다.
이 구성을 갖는 세라믹 필터사이의 결합은 주로 스트립라인 공진기의 중앙에서 일어난다(z-결합). 이 타입의 필터는 유럽 PCT 특허출원 EP 745277-A1에 서술되어 있다. EP 541 397에 서술된 바와 같이, 공진기의 측면에서의 결점은 x,y 결합된 필터에서보다 z-결합 필터에서 더 작은 네가티브 효과를 가진다. z-결합 필터의 경우에 있어서, 실질적으로 장방형이고 상대적으로 두꺼운 공진기는 삽입 손실의 더한 감소를 유도한다.
본 발명에 따른 세라믹 필터의 다른 바람직한 실시예는, 금속층이 주로 팔라듐으로 구성되는 것을 특징으로 한다. 주로 팔라듐으로 구성되는 인쇄된 금속층 형태인 스트립라인 공진기는 간단한 방법으로 제조될 수 있다. 게다가, 팔라듐은 상대적으로 높은 용융점을 가지므로 이 재료의 스트립라인 공진기를 사용하는 것은 세라믹 유전체의 소결 온도를 선택하는데 제한을 가하지 않는다. 부가적으로, 인쇄된 금속층의 표면 거칠기는 삽입 손실의 원인이 된다는 것이 밝혀졌다. 표면 거칠기의 정도가 동일한 경우에, 팔라듐층은, 예를 들면 구리 또는 은으로 제조된 층보다 이 손실에 덜 영향을 준다. 팔라듐의 작은 포션(최고 40 중량퍼센트)은 다른 금속에 의해 대체될 수 있다.
또한, 본 발명은 필터의 작동중에 전자기적으로 결합되며 세라믹 유전체에 의해 분리되는 인쇄 금속층의 형태인 스트립라인 공진기를 두 개 이상 구비하는 세라믹 필터의 제조방법에 관한 것이며, 상기 방법은, 페이스트에 의해 금속층을 세라믹 포일상에 한 패턴에 따라 인쇄하는 단계와, 필터를 형성하기 위해 하나 이상의 인쇄된 포일과 다수의 인쇄되지 않은 포일을 적층하는 단계와, 상기 필터를 태워서 생석회로 만들어 소결하는 단계로 구성된다.
본 발명에 따른 방법은 금속층용으로 사용되는 인쇄 페이스트의 고체 함유물이 80% 이상이 되며 포일을 적층하기 위하여 세라믹 페이스트의 얇은 층이 인쇄된 포일상에 제공되는 것을 특징으로 한다.
이 측정의 사용은 단면 형상이 실질적으로 장방형인 공진기를 유도한다는 것을 발견하였다. 상술된 금속층용 페이스트의 사용은 필터가 다른 공정에 적용될 때 인쇄된 층의 확산을 억제한다고 추정된다. 이 페이스트의 금속 함유물은 바람직하게는 85% 이상이다. 세라믹 페이스트는 텅빈 다음 금속층을 충진시킨다고 추정된다. 이 페이스트의 금속 함유물은, 예를 들면 대략 60%이다. 요즈음의 페이스트에서, 바람직하게는 포일에서처럼 동일 세라믹 재료로 제조된 것이 사용된다. 양 측정은 단면 형상이 실질적으로 장방형인 인쇄된 금속층을 제조하는 것이 필요하다는 것을 발견하였다.
원칙적으로, 스트립라인 공진기를 사용하는 것은 금속 함유물이 주로 은 또는 구리로 구성되는 페이스트와 같이 다른 타입의 페이스트로 제조될 수 있다. 금속 함유물이 주로 팔라듐으로 구성되는 페이스트는 본 발명에 따른 세라믹 페이스트에 양호한 결과를 가져온다. 상기에 언급된 바와 같이 팔라듐의 사용은 필터의 제조(고 소결 온도)와 이 필터의 사용(낮은 삽입 손실)에 효과가 있다.
본 발명의 이 형태 및 다른 형태는 이하에서 서술되는 실시예를 참조하여 명백하게 설명될 것이다.
도 1은 본 발명으로 제조되는 x,y-결합을 갖는 세라믹 필터의 구조를 도시한다. 상기 필터는 대략 70의 유전체 상수를 갖는 바륨-네어디뮴-티탄산염으로 구성되는 다섯 개의 세라믹층을 구비한다. 명확성을 기하기 위해서, 상기 층들은 서로 떨어지도록 도시된다. 상기 필터는 인쇄 팔라듐의 제 1 기저판(36)이 위에 배치되는 하부층(31)을 구비한다. 상기 하부층은 팔라듐으로 된 두개의 인쇄 스트립라인 공진기(37, 38)가 위에 배치되는 제 1 중간층(32)을 지지한다. 상기 공진기는 적어도 10 마이크로미터, 바람직하게는 적어도 15 마이크로미터의 두께를 가진다. 이 경우에, 그 두께는 대략 22 마이크로미터이다. 인쇄 스트립라인 공진기는 주로 장방형 단면이다.
상기 제 1 세라믹 중간층(32)에는 제 2 중간층(33)이 배치된다. 두 개의 팔라듐 캐피시터판(39, 40)이 상기 제 2 중간층상에 인쇄된다. 인쇄 팔라듐인 제 2 기저판이 제공되는 제 3 중간층(34)은 중간층(33)에 적용된다. 비인쇄 세라믹 상부층(35)은 중간층(34)상에 존재한다. 각 세라믹층의 원하는 두께에 따라, 이 층들은 10개 이상의 세라믹 기층으로 구성된다. 바람직한 실시예의 서술에서 제공된 층들이 팔라듐으로 제조된다는 것을 알 수 있다. 그러나, 또한 본 발명에 따라 기대되는 효과는 여기에 서술된 필터에 은 또는 구리의 인쇄층이 교호적으로 제공된다면 달성될 수 있다.
또한 필터는 필터의 측면 전체를 커버하고 전기적으로 스트립라인 공진기(36, 37)에 접촉하는 접지 전극(42)을 구비한다. 또한 상기 필터는 캐피시터판(39, 40)에 전기적으로 각각 접촉하는 입력 접촉부(43)와 출력 접촉부(44)가 배치된다.
본 발명은 바람직하게는 z-결합을 갖는 세라믹 필터에 사용된다. 이 구성의 필터는 가장 낮은 손실을 얻는다. 그러한 필터는 도 2에 의해 서술된다. 상기 도면에 도시된 필터는 인쇄 금속층의 형태인 제 1 스트립라인 공진기(3)와 제 2 스트립라인 공진기(4)가 사이에 배치되는 제 1 기저판과 제 2 기저판을 구비한다. 본 발명의 기본적인 형태에 따라서, 이 금속층의 두께는 적어도 10 마이크로미터, 바람직하게는 적어도 15 마이크로미터이어야 된다. 이 경우에, 그 두께는 대략 24 마이크로미터이었다. 본 발명이 다른 기본적인 형태에 따라서, 금속층의 단면은 실질적으로 장방형이다. 이 경우에, 층의 측면에서 측정된 금속층의 평균 두께는 금속층의 평균 두께의 적어도 80%이었다. 팔라듐이 공진기용 재료로서 사용된다.
상기 제 1 스트립라인 공진기(3)와 제 2 스트립라인 공진기(4)는 전도성 측면(5)에 의해 양측의 제 1 기저판(1)과 제 2 기저판(2)의 단부에서 단부로 연결된다. 스트립라인 공진기(3)의 다른 단부는 캐피시터판(7, 8)에 의해 전도성 측면(6)에 전기 용량적으로 연결된다. 스트립라인 공진기(4)의 다른 단부는 캐피시터판(9, 10)에 의해 전도성 측면(6)에 전기 용량적으로 연결된다. 또한 상기 전도성 측면(6)은 제 1 기저판(1) 및 제 2 기저판(2)에 연결된다.
상기 스트립라인 공진기들은 λ/8의 길이를 갖는다. 캐피시터들은 λ/8의 길이를 갖는 스트립라인 공진기(3, 4)를 공진할 수 있다. 필터의 작동중, 스트립라인 공진기(3, 4)는 다른 전도체(11)의 결합 구멍을 통해 자기적으로 결합된다. 상기 전도체는 스트립라인 공진기(3, 4)사이에 배치된다. 결합 구멍의 크기는 제 1 스트립라인 공진기(3)와 제 2 스트립라인 공진기(4) 사이의 결합 정도를 결정한다. 필터의 입력 신호는 필터의 측면에 위치한 입력 접촉부(12)에 공급된다. 이 입력 접촉부는 전기도금된 탭(13)을 통해 제 1 스트립라인 공진기(3)에 연결된다. 필터의 출력 신호는 필터의 반대편 측면에 위치한 출력 접촉부(14)에 이용된다. 이 접촉부(14)는 전기도금된 탭(15)에 의해 제 2 스트립라인 공진기(4)에 연결된다.
전도체(16, 17)는 상기 필터가 조절될 수 있도록 필터의 측면에 배치된다. 상기 전도체(16, 17)는 측면(6), 제 1 기저판(1) 및 제 2 기저판(2)에 연결된다. 필터는 도전체(16) 및/또는 도전체(17)의 길이를 감소시키므로써 조절된다. 이것은 레이저로 적절한 도전체의 단부에서 재료를 제거하므로써 달성될 수 있다.
스트립라인 공진기(3, 4), 다른 전도체(11) 및 기저판(1, 2)은 바륨-네어디뮴-티탄산염 타입의 유전체 재료와 같이 상대적으로 고 유전체 상수를 갖는 유전체 재료에 깊숙이 박힌다. 그러한 재료는 대략 70의 유전체 상수를 갖는다. 상기 고 유전체 상수를 갖는 유전체는 제한된 치수를 갖는 필터의 사용을 가능하게 한다. 예를 들면, 바륨-네어디뮴-티탄산염을 기초로 하여 상술된 세라믹 재료로 제조된 그러한 필터는 1890 MHz 중앙 주파수용으로 3.2㎜×1.6㎜×1.5㎜의 치수를 갖는다.
도 3은 도 2에 따른 필터의 종단면도를 도시한다. 도 3은 전도성 측면(5)과 스트립라인 공진기(3)의 단부 사이의 연결을 명확하게 도시한다. 스트립라인 공진기(3)의 다른 단부는 캐피시터판(7, 8)에 의해 측면(6)에 전기 용량적으로 결합된다. 캐피시터판(7, 8)을 배치하는 중에 생기는 배열 에러는 캐피시터의 정전 용량치에 영향을 미치지 않는데, 그 이유는 서로에 대한 상기 캐피시터판과 스트립라인 공진기(3)의 작은 변위가 오버랩핑 표면에 영향을 미치지 않기 때문이다.
기저판(2)의 일부는 접촉부(12, 14)와 기저판(2) 사이의 단락을 방지하기 위해 제거된다. 필터를 조절하기 위해 단축될 수 있는 도전체(16, 17)는 상기 필터의 외측면상에 배치된다. 이것에 의해 도전체는, 필요하면 조정 작동을 수행하므로써 레이저에 쉽게 접근될 수 있다.
도 4는 도 2에 따른 세라믹 필터의 횡방향에서의 단면도이다. 필터의 작동중, 스트립라인 공진기(3, 4)는 결합 구멍을 통해 다른 도전체(11)에 전자기적으로 결합된다. 부가적으로, 양 스트립라인 공진기(3, 4)는 두 개의 기저판(1, 2)에 의해 둘러싸인다. 도 4에 따른 다른 실시예에서, 스트립라인 공진기(3,4)는 비스듬히 위치가 변경된다. 이 스트립라인 공진기(3, 4)의 비스듬한 위치변경은 이 스트립라인 공진기들 사이의 결합을 감소시켜서, 어떤 위치에서 다른 도전체(11)가 과다하게 될 수도 있다. 스트립라인 공진기(3)의 비스듬한 위치변경의 다른 결과는 전도체(16, 17)의 영향이, 관련된 전도체와 스트립라인 공진기중 하나와의 사이가 더 작게 떨어지게 되는 결과로 인해 증가된다는 것이다. 이것은 확장된 조율 범위에 이르게 된다.
상술된 타입의 필터는 두꺼운 필름 기술 및 다층 기술에 의해 제조될 수 있다. 이것은 이하에서 더 상세히 서술될 것이다.
대략 50 마이크로미터의 두께를 갖는 바륨-네어디뮴-티탄산염를 기초로 한 그린 세라믹 포일이 개시 재료로서 사용된다. 페이스트(paste)를 사용하면, 팔라듐 금속층이 이 포일상에 바라는 구성에 따라 인쇄된다. 이 방법으로, 스트립라인 공진기, 캐피시터판, 기저판 또는 결합 구멍을 갖는 다른 도전체의 구조가 개별적인 금속층으로 인쇄되는 포일이 얻어진다. 이렇게 형성된 금속 포일은 도 2에 도시된 하나에 대부분 대응하는 필터 구조를 형성하기 위해 다수의 인쇄되지 않은 포일과 함께 적층된다. 이 구조는 다수의 동일 세라믹 재료인 인쇄되지 않은 포일에 의해 서로 분리된 일곱 개의 인쇄 포일을 구비한다.
이렇게 얻어진 구조는 이어서 많은 바인더와 솔벤트가 포일에서 제거되도록 대략 350℃의 온도에서 태워서 생석회가 되게 만든다(calcing). 다음에, 이 구조는 가압됨과 동시에 대략 1300℃에서 소결된다. 소결은 바람직하게는 포일의 평면에 직각으로 가해지는 단축(uniaxial)의 압력의 영향하에서 발생된다. 이 기술은 미국 특허 출원 US 4,612,689에 더 상세히 기술되어 있다. 소결 작동중 단축의 압력의 가압은 x,y-방향(압력이 가해지는 방향의 횡방향)에서의 인쇄 금속층의 치수가 동일하게 존재하거나 단지 매우 미소하게 변화하게 하는 장점이 있다.
결과적으로, 인쇄 기술에 의해 필요한 전도체와 함께 소결된 필터가 측면에 제공된다. 단면은 상기 필터를 검사하기 위한 목적으로 이렇게 얻어진 다수의 필터로 만들어 진다. 스트립라인 공진기의 두께 및 형상은 측정용 현미경에 의해 가시적으로 점검된다.
제 1 실험에서, 일련의 필터들은 상술된 방법에 따라 제조되었다(A시리즈). 이 실험에서, 스트립라인 공진기와 다른 금속층을 인쇄하기 위해서는 대략 75%의 고체 함유물을 갖도록 제조된 팔라듐 페이스트가 사용되었다. 적용된 팔라듐층의 두께는 대략 10 마이크로미터이다. 소결후에 이 팔라듐층의 두께는 대략 5마이크로미터인 것이 밝혀졌다. 상대적으로 얇은 금속층이 포인트에서 제거되었다. 완성된 필터가 적용된 측정은, 손실이 상대적으로 높다는 것을 밝혀냈다(표 1참조).
제 2 실험에서, 일련의 필터가 상술된 방법에 따라 제조되었다(B시리즈). 이 실험에서, 동일하게 제조된 페이스트가 사용되었다. 이 경우에, 제공된 금속층은 40 마이크로미터의 두께를 갖는다. 소결 동작후에, 스트립라인 공진기의 중간에서 측정된 두께는 대략 21 마이크로미터가 된다는 것이 밝혀졌다. 상대적으로 두꺼운 금속층이 포인트에서 제거되었다. 완성된 필터가 적용된 측정은, 비록 A 시리즈에서 보다 손실이 더 낮다고 하더라도 손실이 여전히 상대적으로 높다는 것을 밝혀냈다(표 1참조).
제 3 실험에서, 일련의 시리즈가 상술된 방법에 따라 제조되었다(C시리즈). 이 실험에서, 금속층이 80%의 고체 함유물을 갖는 페이스트로 제조되었다. 이 경우에, 제공된 금속층은 대략 44 마이크로미터의 두께를 가졌다. 소결 동작후에, 층의 두께는 25 마이크로미터였다. 금속층은 표면의 대부분에 걸쳐서 동일한 평균 두께를 가졌다. 층은 V 형상 포인트에서 제거되었다. 또한 이경우에 손실이 여전히 높았다(표참조).
제 4 실험에서, 일련의 필터가 상술된 방법에 따라 제조되었다(D시리즈). 이 실험에서, 85%의 금속 함유물을 갖는 페이스트가 사용되었다. 각각 개별적으로 인쇄된 포일에는 세라믹 페이스트(고체 함유물 85%)의 얇은 층이 제공된다. 페이스트의 세라믹 재료는 포일의 세라믹 재료와 동일한 조성을 가진다. 이 경우에, 적용된 금속층은 대략 48 마이크로미터의 두께를 가진다. 소결 동작후에 층의 두께는 26 마이크로미터였다. 금속층은 주로 장방형 단부를 가진다. 양단부에서 측정된 두께는 층의 평균 두께의 80%이상이었다. 이 경우에, 손실은 용인할 수 있는 값을 나타내었다(표 1참조).
표 1에는 상술된 실험의 데이터가 목록에 기입되어 있다. 상기 표 1은 단면에서 본 형상이 장방형이고 두께가 적어도 10 마이크로미터인 스트립라인 공진기를 갖도록 제조된 필터가 사용된다면 용인될 수 있는 2.3dB의 값이 달성된다는 것을 보여준다.
시리즈 삽입 손실 장방형 두께
ABCD 5.1 dB3.2 dB2.8 dB2.3 dB ----+ 5 마이크로미터21 마이크로미터25 마이크로미터26 마이크로미터
도 6은 상술된 실시예에서 제조된 필터를 잘라내서 관찰할 때의 스트립라인 공진기의 형상을 단면으로 보여준다. 각 하나의 단면뒤에 있는 문자는 상술된 시리즈에 대응한다. 이 도면은 특정한 측정을 취했을 때 단면 형상이 주로 장방형인 상대적으로 두꺼운 스트립라인 공진기를 갖는 세라믹 필터가 제조될 수 있다는 것을 보여준다. 이것은 특히 적어도 80%의 고체 함유물을 갖는 팔라듐 페이스트와 세라믹 재료층을 조합시키므로써 달성될 수 있다. 그러한 충분한 두께를 갖는 주로 장방형의 공진기는 필터에서의 삽입 손실을 실질적으로 감소시킨다는 것을 알 수 있었다.

Claims (5)

  1. 필터의 작동중에 전자기적으로 결합되며 세라믹 유전체에 의해 분리되는 인쇄 금속층의 형태인 스트립라인 공진기를 두 개 이상 구비하는 세라믹 필터에 있어서,
    금속층이 10 마이크로미터 이상의 두께와 장방형 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 필터.
  2. 제 1 항에 있어서, 금속층은 같은 공간을 차지하지 않는 두 개 이상의 평행한 평면에서 연장하며, 상기 금속층은 금속층의 수직에 평행한 방향에서 보았을 때 일부 이상이 오버랩되는 것을 특징으로 하는 세라믹 필터.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 금속층은 주로 팔라듐으로 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 필터.
  4. 필터의 작동중에 전자기적으로 결합되며 세라믹 유전체에 의해 분리되는 인쇄 금속층의 형태인 스트립라인 공진기를 두 개 이상 구비하는 세라믹 필터를 제조하는 방법으로서,
    페이스트에 의해 금속층을 세라믹 포일상에 한 패턴에 따라 인쇄하는 단계와,
    필터를 형성하기 위해 하나 이상의 인쇄된 포일과 다수의 인쇄되지 않은 포일을 적층하는 단계와,
    상기 필터를 태워서 생석회로 만들어 소결하는 단계로 구성되는 세라믹 필터의 제조방법에 있어서,
    금속층용으로 사용되는 인쇄 페이스트의 고체 함유물은 80% 이상이 되며 포일을 적층하기 위하여 세라믹 페이스트의 얇은 층이 인쇄된 포일상에 제공되는 것을 특징으로 하는 세라믹 필터의 제조방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 페이스트의 금속은 주로 팔라듐으로 구성되는 것을 특징으로 하는 세라믹 필터의 제조방법.
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