KR19990036216A - 인양식 건조 방법 및 건조 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 장치나 액정 패널의 기판 등을 건조시키기 위한 건조 장치에 있어서 건조시에 발생하는 오염의 위험성을 감소시키고 또, 설비 비용이나 설치 면적을 억제할 수 있고 게다가 일괄 처리가 가능한 신규한 건조 방법 및 건조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 인양조(10)의 상연부의 4 개의 변중 대향하는 1 쌍의 변은 다른 변보다 낮게 형성되어 내부의 물을 월류시켜서 배수조(20)로 배출하는 월류부(10a)로 되어 있다. 인양조(10)의 내측에는 막대상의 가열 히터(11)가 부착되며 이 위에는 히터 커버(12)가 배치되어서 1 쌍의 배기관(13, 13)이 도출되며 이 배기관(13)은 인양조(10)의 위쪽까지 상승하고 외부로 기체를 방출한다. 인양조(10)의 저면부에는 급수관(14)이 접속되고 후술하는 급수계에 의해 초순수가 공급된다. 배수조(20)의 하부에는 배수관(21)이 접속되고, 순환 펌프, 전환 밸브 등으로 구성되는 급수 제어 장치(22)에 접속된다.

Description

인양식 건조 방법 및 건조 장치

종래, 반도체 장치의 기판이나 액정 패널의 기판 등의 세정 공정에 있어선 세정 후에 수분이 이것들의 기판에 부착하고 있으면 더러움이 기판에 남거나 세균이 번식하거나 해서 오염된다는 문제가 있고 세정에 의해서 부착된 수분을 완전히 제거하기 위한 건조 공정이 필요하다.

기판의 건조 방법으로선 기판을 스피너에 의해 고속 회전시키고 원심력으로 수분을 털어내는 스핀 드라이어 건조 방법이 있으며, 또 물과의 상용성이 우수한 이소프로필 알콜(IPA) 증기에 의해 기판에 부착된 물을 IPA와 치환해서 제거하는 증기 건조법도 있다. 또한, 기판에 부착한 수분을 고압 에어에 의해 털어내는 에어나이프 건조법도 사용되고 있다.

상기 종래의 건조 방법 중, 스핀 드라이어 건조법이나 에어나이프 건조법에 있어선 일단 털어낸 물방울이 안개로 되어 내부의 순환 기류에 의해서 재부착할 가능성이 있으며, 풍압에 의해 더러움을 동반한 오염 안개가 발생하고 이것이 부착하는 것에 의해서 기판이 오염될 우려가 있다는 문제점이 있다. 또, 고속 회전이나 고압 에어에 의해서 재부착할 가능성이 있고 풍압으로 더러움을 동반한 오염 안개가 발생하고 이것이 부착하므로서 기판이 오염될 우려가 있다는 문제점이 있다. 또, 고속회전이나 고압 에어에 의해서 기판이 대전될 가능성도 있다.

또, 스핀 드라이어 건조법에 있어선 고속 회전으로 중심부가 음압화해서 외기가 당겨지며 이 때문에 기판 중앙부가 오염될 가능성이 있다.

증기 건조법에선 가연성 용매인 IPA 를 관리하는 보안 설비, 냉각회수 설비, IPA 의 순도 유지 설비 등이 필요하게 되며 설비 비용이 높고 큰 설치 면적이 필요하다는 문제점이 있다.

에어나이프 건조법에 있어선 기판마다 건조시킬 필요가 있기 때문에 다수개의 기판을 일시에 처리하는 일괄 처리가 불가능하며 건조 효율이 나쁘다. 또, 반송기구나 유지기구를 필요로 하기 때문에 이들 기구에서의 발진에 의해 오염될 가능성이 있다.

따라서 본 발명은 상기 각 문제점을 해결하는 것이며, 그 과제는 건조시에 발생하는 오염의 위험성을 감소시키고 또, 설비 비용이나 설치 면적을 억제할 수 있고 게다가 일괄 처리가 가능한 신규 건조 방법 및 건조 장치를 제공하는데 있다.

본 발명은 인양식 건조 방법 및 건조 장치에 관한 것이며, 특히 반도체 장치의 기판, 액정 패널의 기판 등 엄격한 청정화를 필요로 하는 부재의 건조에 적합한 건조 기술에 관한 것이다.

도 1은 본 발명에 관한 인양식 건조 장치의 실시 형태의 전체의 개략 구조를 도시하는 종단면도.

도 2는 동 실시 형태에 있어서의 가열 히터, 히터 커버 및 배기관의 구조를 도시하는 확대 사시도.

도 3은 동 실시 형태에 있어서의 인양조와 배수조의 개략 부착 구조를 도시하는 모식 사시도.

도 4는 동 실시 형태에 있어서의 캐리어의 평면 일부 단면도.

도 5는 동 실시 형태에 있어서의 캐리어의 종단면도.

도 6은 캐리어의 인양 상태를 도시하는 설명도.

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명이 강구한 수단은 수조 내의 물을 소정 온도로 가열하고 그 수면을 안정하게 유지한 상태로 하고 건조시켜야 할 부재를 그 수중에 일단 가라앉히고 나서 소정 속도로 인양하는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 방법이다.

이 수단에 의하면 소정 온도로 가열한 수중에서 안정하게 유지한 수면상에서 인양하므로서 물의 표면 장력과 물의 자연증발에 의해서 물방울을 남김없이 부재표면에서 물을 털어낸 상태로 해서 제거할 수 있으므로 고속 회전, 용제, 고압기류 등을 사용하지 않고 간단한 장치 구성으로 조용히 건조시킬 수 있다.

여기에서 상기 부재를 인양할 때에는 상기 수조의 위쪽에서 하강하는 기류를 발생시키는 것이 바람직하다.

상기 수단에 의하면 하강 기류에 의해 표면장력을 도와서 부재 표면의 물기 빼기를 촉진할 수 있음과 더불어 자연증발을 촉진시킬 수 있으므로 더욱 용이하게 건조시킬 수 있다.

또, 상기 소정 온도는 약 60 ℃ 이상 비점 미만이거나, 또는 상기 소정 속도는 약 200 mm/min 이하일 것이 바람직하다.

이같이 수온을 높이거나 또는 인양 속도를 낮게 억제하므로서 확실하게 부재 표면으로의 물방울의 부착을 방지할 수 있다.

또한, 상기 부재가 다각형상의 판재인 경우에는 상기 부재의 판면을 인양 방향에 평행으로 한 상태에서 상기 판면의 하변을 상기 수면에 대해서 경사시켜서 인양할 것이 바람직하다.

상기 수단에 의하면 판면의 하변을 경사시킨 자세로 인양하는 것에 의해서 하변에 물방울이 잔존하는 것을 방지할 수 있다.

다음에 인양식 건조 장치로선 적어도 그 상부 가장 자리의 일부에서 내부로부터 물이 월류하게 형성된 월류부를 구비하는 인양조와, 그 인양조의 월류부의 외측에 배수구를 구비한 배수조와, 상기 인양조에 수면하에서 물을 공급하는 급수 수단과, 건조시켜야 할 부재를 수면하에서 소정 속도로 인양하게 구성된 부재 인양 기구와, 상기 인양조의 수온을 제어하는 수온 제어 수단을 설치하는 것이다.

상기 수단에 의하면 상기 효과에 덧붙여서 수면하에서 물을 공급하는 급수 수단을 구비하고 있음과 더불어 인양조의 월류부에서 물을 넘치게 구성하고 있으므로 수면을 흔들지 않고 항상 물을 계속 흘릴 수 있으므로 물기를 빼는 성질을 확보하면서 청정성을 유지할 수 있다.

여기에서 상기 수온 제어 수단은 상기 인양조의 내부에 설치된 가열 히터와, 그 가열 히터를 위쪽부터 덮는 히터 커버와, 그 히터 커버의 내측으로부터 기체를 인양조 외부로 도망가게 하기 위한 배기관과, 상기 가열 히터에 의한 가열을 제어하는 가열 제어 장치로 구성되는 것이 바람직하다.

상기 수단에 의하면 가열 히터를 직접 인양조 내에 수용하고 있음에도 불구하고 가열 히터 근처에서 기포가 발생해도 히터 커버의 내부에 멈추게 하고 배기관에 의해서 방출할 수 있으므로 기포를 수면으로 향해서 상승시키는 일이 없고 수면을 안정상태로 유지할 수 있다. 따라서, 부재로의 물방울의 부착이 억제된다.

이 경우 상기 히터 커버는 단면 캡상으로 형성되고 상기 가열 히터의 근처에서 발생하는 기체를 수집하는 중앙부를 갖는 동시에, 상기 중앙부에 상기 배기관의 배기구가 배치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 수단에 의하면 히터 커버가 단면 캡상으로 형성되고 있으므로 기체를 그 중앙부에 머물게 하는 효과가 높아진다.

또, 상기 월류부는 상기 인양조의 대향하는 위치에 1 쌍 설치되는 것이 바람직하다.

상기 수단에 의하면 월류부가 대향 위치에 1 쌍 설치되어 있으므로 수류의 흐르는 방향을 월류부의 방향으로 항상 유지할 수 있기 때문에 이 수류 방향에 교차하는 방향으로 다수의 부재를 배열시키므로서 물의 체류부를 적게 할 수 있으며 부재의 청정 상태를 유지할 수 있다.

또한, 상기 인양조의 위쪽에는 급기 장치가 배치되며 상기 인양조의 상연부의 주위에는 배기구가 설치되어 있는 것이 바람직하다.

상기 수단에 의하면 상기 인양조로 향한 하강 기류를 발생시킬 수 있으므로 부재 표면의 물기 빼기를 촉진시킬 수 있다.

그리고 상기 부재 인양 기구는 상기 부재를 탑재가능한 캐리어가 설치됨과 더불어 그 캐리어를 경사 자세로 지지하는 캐리어 지지부를 구비하고 있는 것이 바람직하다.

상기 수단에 의하면 캐리어와 더불어 부재를 경사 자세로 인양하기 때문에 캐리어 부재의 저부에 물방울이 잔존하는 것을 방지할 수 있다.

다음에 첨부도면을 참조해서 본 발명에 관한 인양식 건조 방법 및 건조 장치의 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 1은 본 실시 형태에 사용하는 건조 장치의 전체 구성을 도시하는 개략 구성도이다. 중앙에는 합성수지(예컨대 염화비닐)제의 인양조(10)가 배치되며, 이 인양조(10)는 한 둘레 크게 형성된 배수조(20)의 내측에 수용되어 있다.

인양조(10)의 수평 단면 형상은 대략 정사각형이며 도 3에도 도시하듯이 인양조(10)의 상연부의 4 개의 변중 대향하는 1 쌍의 변은 다른 변보다 낮게 형성되고 내부의 물을 월류시켜서 배수조(20)로 배출하는 월류부(10a)로 되어 있다. 인양조(10)의 내측 하부에는 막대 형상의 가열 히터(11)가 부착되며 이 가열 히터(11)의 위에는 단면 캡상의 히터 커버(12)가 배치되어 있다. 히터 커버(12)의 내연부로부터는 1 쌍의 배기관(13, 13)이 도출되며, 이 배기관(13)은 인양조(10)의 위쪽까지 상승하고 외부로 기체를 방출하게 구성되어 있다. 인양조(10)의 저면부에는 급수관(14)이 접속되며 후술하는 급수계에 의해서 초순수가 공급되게 되어 있다.

인양조(10) 주위의 배수조(20)의 개구부는 월류부(10a)에서 넘치는 물을 받는 배수구(20a)로 되어 있다. 배수조(20)의 하부에는 배수관(21)이 접속되며 이 배수관(21)은 순환 펌프, 전환 밸브 등으로 구성되는 급수 제어 장치(22)에 접속된다. 이 급수 제어 장치(22)는 한쪽에서 필터(23)를 거쳐서 급수관(14)에 접속되며, 또 초순수 제조 장치(24)에도 접속되며 또한 드레인조(25)에도 접속되어 있다.

배수조(20)의 상연부에는 사방에 배기구(31a)를 각각 구비한 배기 덕트(31)가 부착되며 증기 트랩(32)을 거쳐서 도시가 생략된 배기장치에 접속되어 있다. 인양조(10)의 위쪽에는 클린 필터를 구비한 급기 장치(33)가 배치되며 크린룸과 마찬가지로 관리된 클린도의 공기를 위쪽에서 공급하게 구성되어 있다. 이같은 구성에 의해서 인양조(10)에는 후술하는 캐리어의 인양시에 있어서 항상 위쪽에서 클린 공기가 아래쪽으로 흐르게 구성되어 있다.

도 2는 인양조(10)의 내부에 배치된 가열 히터(11), 히터 커버(12) 및 배기관(13)의 구조를 도시한다. 가열 히터(11)의 위쪽에 히터 커버(12)가 배치되어 있으므로 가열 히터(11)의 근처에서 물이 비등하므로서 기포가 발생해도 그 증기의 기포는 히터 커버(12)의 내측의 중앙에 있는 최상부(12a)에 집합한다. 이 최상부(12a)에는 배기관(13)의 배기구(13a)가 있으며 이 배기구(13a)로부터 배기관(13)을 통해서 증기가 방출되며 배출구(13b)로부터 외부로 배출된다.

또한, 가열 히터(11)는 도시가 생략된 가열 제어 장치에 접속되어 있다. 이 가열 제어 장치는 가열 히터(11)에 내장된 온도 센서 또는 인양조에 별도 부착된 온도 센서에 의해서 검출된 수온에 의거해서 공지 기술에 의해 온도 제어를 행하게 구성된 것이다.

도 3은 증기 인양조(10)와 배수조(20)와의 관계를 도시하는 사시도이다. 인양조(10)의 4 개의 측면의 중앙부에는 세로로 접속된 지지판(15)이 각각 부착되며 이 지지판(15)은 배수조(20)의 내면에 고정되어 있다. 이 지지판(15)은 인양조(10)가 상기 가열 히터에 의해 가열된 물에 의해서 팽창하는 것을 억제하는 것이다. 여기에서 인양조(10)의 대향하는 2 개의 월류부(10a)에 대해서 인양되는 캐리어(40)에 탑재된 기판(50)은 2 개의 월류부(10a)로 향하는 방향에 기판면이 평행이 되게 위치 결정되며 이 자세로 인양된다.

상술한 바와같이 도 1 내지 도 3에 도시한 이 실시 형태에선 급수 제어 장치(22)에 의해서 초순수 제조 장치(24)에서 공급된 초순수를 필터(23)를 통해서 인양조(10)의 저면부에서 공급하고 인양조(10)의 월류부에서 월류하는 물을 배수조(20)에 모아서 배수관(21)에서 다시 급수 제어 장치(22)로 되돌린다. 급수 제어 장치(22)에선 배수된 초순수의 비저항을 측정하고 순도의 저하를 감시하고 배수를 다시 인양조(10)로 순환하면서 필요에 따라서 초순수 제조 장치(24)에서 새로운 초순수를 소정량 도입하고, 또는 배수의 일부를 드레인조(25)로 배출하고 결과로서 인양조(10) 내의 초순수를 일정 순도로 유지한다.

인양조(10) 내에는 다수의 기판을 탑재한 캐리어(40)를 가라앉히고 천천히 인양한다. 이때, 도 3에 도시하듯이 캐리어(40)에 탑재된 기판(50)의 표면이 상기 월류부(10a)로 향하는 방향에 대해서 평행으로 되게 자세를 제어한다. 이것에 의해서 기판(50) 주위의 물이 체류하지 않기 때문에 기판(50)을 청정 상태로 인양할 수 있다.

캐리어(40)의 구조는 도 4 및 도 5에 도시하고 있다. 이 캐리어(40)는 전후에 설치된 1 쌍의 지지판(41, 41)과, 이 지지판(41)간에 건네진 반원단면을 구비한 1 쌍의 지지틀(42, 42)과, 이 지지틀(42)의 아래쪽에 같은 형상으로 형성된 1 쌍의 지지틀(43, 43)과, 지지판(41)의 최하부에 부착된 단면 L 자 형상의 1 쌍의 지지틀(44, 44)로 구성된다.

지지틀(42, 43)은 그 원통면을 내측으로 향해서 부착되고 있으며 그 원통면에는 일정 간격으로 수직 방향으로 신장하는 단면 V 자 형상의 지지홈(42a, 43a)이 형성되고 있다. 한편, 지지틀(44)에선 그 L 자 형상의 단면 구조 중 수직으로 세워 설치하고 있는 부분에 수직 방향으로 신장하는 단면 V 자 형상의 지지홈(44a)이 형성되고, 또, 수평으로 형성되고 있는 부분에 수평 방향으로 신장하는 단면 V 자 형상의 지지홈(44b)이 형성되고 있다. 지지틀(44)에는 상기 지지홈(44a)의 밑에 있어서 수직 방향으로 연장된 긴 원 형상의 개구를 갖는 배수공(44c)이 형성되고 있다. 이 배수공(44c)의 최하부의 내주면은 물이 배수되기 쉽게 외측으로 경사하고 있다.

도시된 직사각형상의 기판(50)은 지지틀(42, 43, 44)에 설치된 각각의 지지홈(42a, 43a, 44a, 44b)에 의해서 기판(50)의 각부(능선)(50a)(도 4 참조)가 단면 V 자 형상의 지지홈의 경사된 내면에 선접촉하게 해서 안정하게 지지된다. 여기에서 지지홈의 경사내면을 돌출시키므로서 선 접촉이 아니고 점접촉으로 하는 것도 가능하다.

이와같이 기판(50)은 능선만이 캐리어(40)에 접촉하고 있는 것만으로 지지되므로 물의 체류가 적고 오염되기 어려운 상태로 유지되고 있으며 또한, 지지틀(42, 43)의 내측은 원통면으로 형성되어 있고, 게다가 지지틀(44)의 하부에는 배수공(44c)이 형성되고 있으므로 캐리어(40) 자체에도 물방울이 남기 어려운 구조로 되어 있다.

지지판(41, 41)에는 현수판(51, 51)이 부착되며 이 현수판(51) 사이에 2 개의 지지축(52, 52)이 건네지고 있다. 이 지지축(52)에는 각각 도 6 에 도시하듯이 2 개의 지지부재(53, 54)가 부착되며, 이 지지부재(53, 54)를 거쳐서 견인판(55)이 부착되어 있다. 견인판(55)에는 도시가 생략된 견인 기구에 접속된 견인 로드(56)가 접속되어 있다.

상기 구조에 의해서 다수의 기판(50)을 탑재한 캐리어(40)는 도시가 생략된 견인기구에 의해서 위쪽으로 소정속도로 완만하게 인양되게 구성되어 있다. 여기에서 본 발명의 부재 인양 수단으로선 기판(50)을 탑재하는 캐리어(40), 도 6 에 도시하는 캐리어(40)에 접속된 현수판(51), 지지축(52), 지지부재(53, 54), 견인판(55), 견인 로드(56)로 되는 캐리어 지지부를 구비한 상기 견인 기구로 구성된다.

상기와 같은 구성의 건조 장치를 써서 캐리어(40)를 완만하게 인양하므로서 기판(50)에 부착하고 있던 물은 그 표면 장력과 자연 증발에 의해서 기판 상부로부터 물기가 빠지며 깨끗하게 제거된다. 여기에서 도시된 것과 같은 각 형상의 기판(예컨대 액정 패널용의 기판)을 건조시키려면 도 6 에 도시하듯이 수면에 대해서 소정 각도(θ) 만큼 약간 경사시킨 자세로 인양하도록 하면 기판 하단의 변에 물방울이 남기 어렵고 완전히 수분을 제거할 수 있다. 또, 캐리어(40)도 경사 자세로서 인양하므로서 캐리어 자체로의 물방울의 부착도 방지된다는 이점이 있다. 이 경우, 캐리어(40)를 경사시키려면 도시한 바와 같이 이 경사 각도에 맞춰서 지지부재(53 및 54)의 길이를 바꾸면 된다.

상기 건조 장치에선 초순수를 항상 순환시키고 일정 순도로 유지하고 있기 때문에 기판에 더러움이 부착되기 어렵다. 또, 히터 커버(12)와 배기관(13)에 의한 기포의 제거나 인양조(10)의 저면부(저면부가 아니어도 수면하로부터의 공급이면좋다)에서의 물의 공급에 의해서 수면의 요동은 극력 억제되며 게다가 완만하게 인양하기 때문에 기판 표면으로부터 물방울을 남기지 않고 물기를 빼는 것이 가능하게 되며 게다가 초순수를 가열하고 있는 것 및 배기 덕트(31)나 급기 장치(33)에 의해서 충분한 환기가 이뤄지고 있는 것에 의해서 촉진되는 자연 증발에 의해서 완전 건조가 가능하게 된다.

여기에서 본 실시 형태에선 캐리어(40)의 인양 중에 항상 위쪽으로부터 기류를 하강시키고 있기 때문에 캐리어(40) 및 기판(50)에 대한 물기 빼기를 기류가 도우도록 구성되어 있다.

상기 실시 형태의 장치를 써서 기판(50)의 건조 실험을 행한 결과를 이하의 표 1에 나타낸다.

A: 완전건조, B: 기판 위 또는 기판 아래에 물방울, C: 기판 전체에 물방울

	기판세트방향	온도(℃)	인양속도(mm/min)	기판간격(mm)	평가
1	경사	40	300	20	C
2	"	50	"	"	"
3	"	60	"	"	"
4	"	70	"	"	"
5	"	80	"	"	"
6	"	90	"	"	"
7	"	40	200	"	"
8	"	50	"	"	"
9	"	60	"	"	B
10	"	70	"	"	A
11	"	80	"	"	"
12	"	90	"	"	"
13	"	40	150	"	C
14	"	50	"	"	"
15	"	60	"	"	B
16	"	70	"	"	A
17	"	80	"	"	"
18	"	90	"	"	"
19	"	40	100	"	C
20	"	50	"	"	"
21	"	60	"	"	B
22	"	70	"	"	A
23	"	80	"	"	"
24	"	90	"	"	"
25	"	40	50	"	C
26	"	50	"	"	"
27	"	60	"	"	B
28	"	70	"	"	A
29	"	80	"	"	"
30	"	90	"	"	"
31	"	80	150	15	"
32	"	"	"	10	B
33	"	"	"	5	"
34	평행	"	"	20	"
35	"	"	50	"	"

상기 표 1에 나타낸 바와 같이 수면에 대한 기판 세트 방향(기판 자세)은 경사진 경우 쪽이 건조되기 쉽다는 것을 알 수 있다. 기판의 경사 각도(θ)는 통상 20 내지 40 도의 범위 내가 적합하며 아래쪽에 존재하는 2 개의 변 중의 어느 것이 수평면에 가깝게 되고 있을 것이 2 개의 변의 각부에서 물방울이 잔류하지 않기 때문에 바람직하다. 도시된 바와 같이 직사각형의 기판(50)의 경우에는 경사 각도는 30 도 정도가 가장 양호하며, 표 1 에 도시하는 경우도 이 경사 각도로 실험하고 있다.

캐리어(40) 및 기판(50)을 경사시켜서 인양하면 쌍방의 상연부 및 하연부에 물방울이 잔류하는 것을 방지하고, 이것들의 장소가 선택적으로 오염되는 것을 회피할 수 있다는 효과가 얻어진다.

수온은 조건에 따라서도 다소 변하지만 약 60 ℃ 이상이 바람직하다. 이것은 수온을 어느 정도 높게하므로서 캐리어(40) 및 기판(50)의 표면에서의 증발을 기대할 수 있기 때문이다.

인양 속도는 약 200 mm/min 이하에서 양호한 결과가 얻어지고 있다. 인양 속도가 빠르면 표면에 물방울이 남은 채 인양된다. 인양 속도를 저하시키면 인양시에 있어서 수면으로부터 물이 분리되지 않기 때문에 캐리어(40) 및 기판(50)의 표면에 물방울이 잔존하지 않는다.

상기 중, 기판을 경사시켜서 유지하고 온도는 70 내지 90 ℃, 인양 속도는 200 mm/min 이하, 기판 간격을 15 mm 이상에 설정한 경우에는 어느 경우에도 기판(50)에는 물방울이 남지 않고 완전히 건조시킬 수 있었다. 또한, 온도 범위는 90 ℃ 를 넘으면 전체적으로 비등할 가능성이 있기 때문에 바람직한 범위로서 60 ℃ 이상 비점 미만, 가장 바람직한 범위로선 70 ℃ 이상 90 ℃ 미만이다. 또, 인양 속도는 늦어지게 할수록 좋으나 수면의 미소한 요동의 영향을 받기 쉽게 되며 처리 시간이 증대한다는 결점이 있기 때문에 약 50 내지 200 mm/min 의 범위 내가 바람직하다.

본 실시 형태에선 비교적 소형의 염가 장치로 충분 청정한 건조가 가능하며, 게다가 다수의 기판을 캐리어에 탑재해서 처리하는 것도 가능하며 효율적인 건조 처리를 행할 수 있다.

이상과 같이 본 발명은 건조시에 발생하는 오염의 위험성을 감소시키고 또 설비 비용이나 설치 면적을 억제할 수 있고, 게다가 일괄 처리가 가능하며 반도체 장치 기판, 액정 패널 기판 등의 엄격한 청정화를 필요로 하는 부재의 건조에 매우 적합한 신규한 건조 방법 및 건조 장치를 제공하는 것이다.

Claims (11)

1. 수조 내의 물을 소정 온도로 가열하고, 그 수면을 안정하게 유지한 상태로 하고, 건조시켜야 할 부재를 그 수중에 일단 가라앉히고 나서 소정 속도로 인양하는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 부재를 인양할 때에는 상기 수조의 위쪽에서 하강하는 기류를 발생시키는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 방법.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 소정 온도는 약 60 ℃ 이상, 비점 미만인 것을 특징으로 하는 인양식 건조 방법.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 소정 속도는 약 200 mm/min 이하인 것을 특징으로 하는 인양식 건조 방법.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 부재는 다각 형상의 판재이며, 상기 부재의 판면을 인양 방향으로 평행하게 한 상태에서, 상기 판면의 하변을 상기 수면에 대해서 경사시켜서 인양하는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 방법.
6. 적어도 그 상연부의 일부에서 내부로부터 물이 월류하게 형성된 월류부를 구비한 인양조와, 해당 인양조의 월류부의 외측에 배수구를 구비한 배수조와, 상기 인양조에서 수면 아래로부터 물을 공급하는 급수 수단과, 건조시켜야 할 부재를 수면 아래로부터 소정 속도로 인양하는 부재 인양 기구와, 상기 인양조의 수온을 제어하는 수온 제어 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 장치.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 수온 제어 수단은 상기 인양조의 내부에 설치된 가열 히터와, 그 가열 히터를 위쪽으로부터 덮는 히터 커버와, 그 히터 커버의 내측으로부터 기체를 조 외부로 벗어나게 하기 위한 배기관과, 상기 가열 히터에 의한 가열을 제어하는 가열 제어 장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 히터 커버는 단면 캡상으로 형성되고, 상기 가열 히터의 근처에서 발생하는 기체를 수집하는 중앙부를 갖는 동시에, 그 중앙부에 상기 배기관의 배기구가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 장치.
9. 제 6 항에 있어서, 상기 월류부는 상기 인양조의 대향하는 위치에 한쌍 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 장치.
10. 제 6 항에 있어서, 상기 인양조의 위쪽에는 급기 장치가 배치되고, 상기 인양조의 상연부의 주위엔 배기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 장치.
11. 제 6 항에 있어서, 상기 부재 인양 기구는 상기 부재를 탑재 가능한 캐리어가 설치됨과 동시에 그 캐리어를 경사 자세로 지지하는 캐리어 지지부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 인양식 건조 장치.