JP3831469B2 - ベーパ乾燥装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄した後の半導体ウェーハなどを乾燥させるベーパ乾燥装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路の製造における、水洗い等による洗浄後の半導体ウェーハを乾燥する装置として、特開昭56−168072号公報及び実開昭59−138232号公報などに示されるベーパ乾燥装置50(図5に示す)が知られている。
【0003】
図5に例示されたベーパ乾燥装置50は、装置50の外郭を構成する装置本体51と、この装置本体51の内部に半導体ウェーハ3を支持する支持装置52と、上記半導体ウェーハ3の表面において有機溶剤Yと置換された水等を回収する回収部53とを備えている。
【0004】
上記装置本体51は、イソプロピルアルコール等の有機溶剤Yを収容するベーパ槽54と、このベーパ54槽の外周を包囲する外周槽55とを備えた二重構造となっている。上記ベーパ槽54の底部56と外周槽55との間に発熱装置57が設けられている。
【0005】
上記ベーパ槽54の上端部でかつ内側に、側壁面58に沿って、冷却水を循環する冷却管59が設けられている。この冷却管59は内部に冷却水を循環させることによって、上記発熱装置57によって加熱された有機溶剤YのベーパV(図6及び図7に示す)を冷却し液化して、装置50の外部にベーパVが排出されて失われることを防止する。
【0006】
上記ベーパ乾燥装置50は、複数枚のウェーハ3を治具で保持した状態で、イソプロピルアルコール(以下IPAと呼ぶ)等の有機溶剤YのベーパV中に浸漬し、ウェーハ3とベーパVとの温度差によって水とベーパVである有機溶剤Yとを置換させ、その後、有機溶剤Yが蒸発することによってウェーハ3を乾燥させている。
【0007】
一般に、乾燥工程においてベーパV内に浸漬される前のウェーハ3は、前工程の洗浄工程において水洗いされ、この水により湿潤した状態になっているとともに、比較的温度の低い状態になっている。
【0008】
上記従来のベーパ乾燥装置50は、ウェーハ3の挿入前においては、図6に示すように発熱装置57を用いて有機溶剤Yを加熱しかつベーパ槽内54にベーパVを充満させた状態となっている。なお、このとき、ベーパVと大気との境界面(図示中の二点鎖線B1に示す)は、おおむね、下側に位置する冷却管59と略同じ高さに位置している。
【0009】
そして、洗浄後のウェーハ3が、図6に示した状態のベーパ乾燥装置50内に挿入されると、ウェーハ3が低温状態であるためベーパVが冷却されて瞬く間に凝結し、図7に示すように、ベーパVと大気との境界面(図示中の二点鎖線B2に示す)が、ウェーハ3の下端と略同じ高さまで低下する。
【0010】
ウェーハ3は、大気中にさらされることとなり、ベーパVが再度ウェーハ3の全体を浸漬するまでの間つまりウェーハ3の表面において水と有機溶剤Yとが置換するまでの間、大気中で自然乾燥することとなる。このため、ウェーハ3の乾燥後に、表面に湿潤していた水滴の輪郭等に沿ったしみ(以下ウォ−タマークと呼ぶ)が生じることとなる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、洗浄後の低温状態にある半導体ウェーハ3を、上記従来のベーパ乾燥装置50を用いて乾燥させると、半導体ウェーハ3の表面にウォ−タマークが生じることがあって、半導体集積回路の製造上好ましくない。
【0012】
本発明は前記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、低温状態のウェーハを乾燥する際においても、ベーパと大気との境界面を低下させずにウェーハの表面において水と有機溶剤とを置換させて、ウェーハの表面にウォ−タマークを発生させないベーパ乾燥装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、請求項1に記載の本発明のベーパ乾燥装置は、洗浄液によって湿潤した状態の洗浄後の半導体ウェーハを乾燥する装置であって、内部に有機溶剤を収容するベーパ槽と、上記有機溶剤を加熱気化する発熱装置と、この発熱装置によって気化された有機溶剤のベーパ内に洗浄後の半導体ウェーハを支持する支持装置と、上記半導体ウェーハの表面において上記有機溶剤のベーパと置換された洗浄液を回収する回収部と、上記有機溶剤のベーパ内に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えたベーパ乾燥装置において、上記ガス供給手段は、不活性ガスを噴射するガス噴射口を備えるとともに、上記ガス噴射口が有機溶剤の液面と半導体ウェーハとの間に開口したことを特徴とする。
【0016】
請求項2に記載の本発明のベーパ乾燥装置は、請求項1に記載のベーパ乾燥装置は、上記ガス供給手段は、上記ベーパ槽の側壁面に沿って設けられた周管部と、上記周管部に不活性ガスを供給するガス供給管と、上記周管部に設けられたガス噴射口とを備えるとともに、上記ガス噴射口を、ガス噴射方向が互いに向き合うように上記周管部に設けたことを特徴としている。
【0017】
本発明のベーパ乾燥装置は、半導体ウェーハの乾燥工程において、低温状態の半導体ウェーハを乾燥する際においても、ベーパ内に不活性ガスを供給するのでベーパが希釈され体積が増加するとともにベーパ内に上昇気流が発生して、ベーパと大気との境界面の高さを維持することとなって、ベーパが半導体ウェーハを浸漬することとなる。
このため、半導体ウェーハを湿潤している水が大気中で自然乾燥することがなく、確実に有機溶剤と置換されることとなる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図3は第1の実施形態を示し、図1は本発明の第1の実施形態のベーパ乾燥装置1の縦断面図を示し、図2はベーパ乾燥装置1のガス供給手段2の平面図を示している。
【0019】
図1に示すように、ベーパ乾燥装置1は、装置1の外郭を構成する装置本体4と、この装置本体4の内部に洗浄後の半導体ウェーハ3を支持する支持装置5と、上記半導体ウェーハ3の表面において有機溶剤と置換された水等の洗浄液を回収する回収部6と、装置本体4の内部に窒素ガス(N2 )等の不活性ガスを供給するガス供給手段2とを備えている。
【0020】
上記装置本体4は、内部にイソプロピルアルコール等の有機溶剤Yを収容するベーパ槽7と、このベーパ槽7の外周を包囲しかつベーパ槽7の内部を外部の温度などから遮断する外周槽8とを備えた二重構造となっている。上記ベーパ槽7と外周槽8とは共に上部に、上記支持装置5を装置本体4内に出し入れ可能とする支持装置出入口9,10を設けている。
【0021】
上記ベーパ槽7は有機溶剤Yによって腐食されにくい石英等からなる箱状に形成されている。上記外周槽8はベーパ槽7に装置1の外部の温度を伝えにくいステンレス等などからなる箱状に形成されている。
【0022】
上記ベーパ槽7の底部11と外周槽8との間に発熱装置12が設けられている。この発熱装置12は、ベーパ槽7内に供給されるイソプロピルアルコール(IPA)等の有機溶剤Yを加熱する機能を有しており、公知のプレートヒータ等によって得ることができる。
【0023】
また、上記ベーパ槽7には上記外周槽8を通って、装置本体4の外部と連通する溶剤供給管14が接続している。この供給管14はベーパ槽7の内部に有機溶剤Yを供給する機能を有している。ベーパ槽7の下端部の一部13には外周槽8を通って装置本体4の外部と連通する溶剤排出管60が接続している。この排出管60はベーパ槽7に収容された有機溶剤Yを排出する機能を有している。ベーパ槽7の内側でかつ支持装置出入口9の近傍には、ベーパ槽7の側壁面15に沿って、冷却水を循環する冷却管16が設けられている。
【0024】
この冷却管16は内部に冷却水を循環させることによって、上記発熱装置12によって加熱された有機溶剤YのベーパV(図3に示す)を冷却し液化して、支持装置出入口9から装置1の外部にベーパVが排出されて失われることを防止する機能を有している。
【0025】
上記回収部6は、上記ベーパ槽7の内部に設けられたベーパ室内槽17と排液管18とを備えている。上記ベーパ室内槽17は、上記有機溶剤Yの液面Rより上方に設けられており、上部に開口部19を有している。ベーパ室内槽17の開口部19は、有機溶剤YのベーパVと置換され、かつ上記支持装置5に支持される半導体ウェーハ3から水及びパーティクルとともに流れ落ちるIPA凝縮液を十分に回収できる大きさに形成されている。
【0026】
上記排液管18は、一端20が上記ベーパ室内槽17の底部に接続しており、他端21がベーパ槽7及び外周槽8を通って、装置1の外部にIPA凝縮液等の液体を排出できるようになっている。
【0027】
上記支持装置5は、図1に示すように、半導体ウェーハ3を保持するキャリア部材22と、上記キャリア部材22を吊持する一対の吊持部材23,24とから構成されている。
【0028】
キャリア部材22は、円盤状の半導体ウェーハ3を、その中心同士を結ぶ線が略直線となるとともに、その表面が互いに平行でかつ等間隔に保持できるように形成されている。キャリア部材22は、図示中の手前側(正面側)から奥側に亘って一対の引掛け部25,25を形成している。この引掛け部25は、図1に示すように正面側からみてベーパ槽7の側壁面15にむかって凸に形成されており、この凸を構成する最も下側に位置する面26は、略平坦に形成されている。
【0029】
上記吊持部材23,24は、図1に示すように装置本体4の鉛直方向に沿って延びたアーム状に形成されており、その下端に互いに向かい合うように内側に折曲げられる等して形成されたフランジ部27を一体に備えている。
【0030】
上記吊持部材23,24は、後述する搬送装置によって互いに近接する方向に移動させられて、そのフランジ部27,27がキャリア部材22の引掛け部25,25に係止するようになっている。そして、吊持部材23,24は、引掛け部25の面26が平坦に形成されているので、フランジ部27,27と引掛け部25,25との係止によってキャリア部材22を吊持して、キャリア部材22を所望の位置に移動させるようになっている。吊持部材23,24は、吊持するキャリア部材22の長さ等によって、装置1の正面側から奥側に亘って、複数以上設けられても良い。
【0031】
また、吊持部材23,24の上端は図示しない搬送装置等と接続している。この搬送装置は、一対の吊持部材23,24を互いに近接する方向、一対の部材23,24が一体となって上下方向及び洗浄装置等からベーパ乾燥装置1までの移動等を自在としている。
【0032】
上記吊持部材23,24は上述したように構成されることによって、上記キャリア部材22を支持装置出入口9から装置本体4の内部に出し入れ自在とし、装置本体4の内部にキャリア部材22を上方から吊持することとなる。
【0033】
上記ガス供給手段2は、ガス供給管30と、周管部31と、ガス噴射口32とを備えている。上記ガス供給管30は、図示しない不活性ガス供給源等に接続し、かつ上記外周槽8と上記ベーパ槽7とを通って周管部31に接続している。
【0034】
上記周管部31は、上記ベーパ槽7の側壁面15の内側に沿ってかつ上記有機溶剤Yの液面Rと回収部6との間に設けられ、図2に示すように上方からみて四角形となるように複数のパイプ部材33が互いに連結されて構成されている。
【0035】
上記ガス噴射口32は、図2に示すようにオリフィス状に形成され、かつ上記周管部31の互いに相対するパイプ部材33,33にガス噴射方向が互いに向き合って複数設けられている。
【0036】
このように構成されることによって、上記ガス噴射口32は、有機溶剤Yの液面Rと半導体ウェーハ3との間に開口することとなる。上記ガス供給手段2は、不活性ガス供給源から供給された不活性ガスを、上記ガス供給管30を通して、周管部31の互いに相対するガス噴射口32から噴射するようになっている。
【0037】
前述した構成により、まず溶剤供給管14を通して有機溶剤Yをベーパ槽7内に供給する。図3に示すように、発熱装置12を用いて有機溶剤Yを加熱してベーパVを発生させる。このベーパVは、ベーパ槽7の冷却管16から下側の部分を気液平衡状態にする。なお、この時ベーパVと大気との境界面Bは、おおむね下側に位置する冷却管16とほぼ同じ高さに位置している。
【0038】
そして、一対の吊持部材23,24を用いて、水等によって湿潤した半導体ウェーハ3を保持したキャリア部材22をベーパ槽7内に挿入して吊り下げると略同時に、不活性ガス供給源からガス供給管30に不活性ガスNを供給する。
【0039】
すると、半導体ウェーハ3が低温状態であるためベーパVが冷却されて瞬く間に凝結するとともに、図3に示すように、ガス噴射口32から不活性ガスNが噴射されるのでベーパVが希釈されかつ体積が増加するとともに、上記不活性ガスNは互いに相対するガス噴射口32,32から噴射されるので、互いにぶつかって、図示中の矢印N1に示すように上昇気流を発生する。また、上記不活性ガスNは互いに相対するガス噴射口32,32から噴射されるので、ベーパVは略均一に希釈されることとなる。
【0040】
このため、希釈されたベーパVと大気との境界面Bがほぼウェーハ3挿入前の高さに維持されることとなり、ベーパVが半導体ウェーハ3を浸漬することとなる。
【0041】
その後、半導体ウェーハ3の表面に付着していた水分が有機溶剤YのベーパVと置換して凝縮していく。表面に付着していた水分が有機溶剤Yと置換されると、図3に示すように、水分Sは半導体ウェーハ3の表面に付着していたパーティクルとともにベーパ室内槽17に流れ落ちることとなる。
【0042】
半導体ウェーハ3の表面に付着していた水分が有機溶剤と置換されて除去された後、ガス噴射口32からの不活性ガスNの噴射を停止する。そして、ベーパ槽7内の有機溶剤YのベーパVの乾燥作用により、半導体ウェーハ3は完全に乾燥され、その後、吊持部材23,24によってキャリア部材22ごと、次の工程に移送される。
【0043】
なお、図3に示すように、半導体ウェーハ3から流れ落ちた水及びパーティクルを含んだIPA凝縮液Sはベーパ室内槽17の中に落下し排液管18から装置1外に排出されるので、ベーパ槽7内の有機溶剤Yの純度は略一定に保たれることとなる。
【0044】
一方、冷却管16の近傍においては、有機溶剤YのベーパVが冷却されて凝縮し、凝縮した有機溶剤Yはベーパ槽7内に図示中のY1に示すように落下する。このため、有機溶剤YのベーパVがベーパ槽7の支持装置出入口9から極力排出されにくくなる。
【0045】
本実施形態によれば、低温状態の半導体ウェーハ3を乾燥する際においても、ベーパVにガス噴射口32から不活性ガスNを供給するのでベーパVが希釈され体積が増加するとともに、ベーパV内に上昇気流が発生して、半導体ウェーハ3を浸漬することとなる。このため、半導体ウェーハ3を湿潤している水は、大気中で自然乾燥することなく確実に有機溶剤Yと置換されることとなる。
【0046】
したがって、半導体ウェーハ3の表面にウォータマーク等が生じることもなく確実に、半導体ウェーハ3の表面を乾燥させることができる。
また、ガス噴射口32を互いに相対する周管部31のパイプ部材33に設けたので不活性ガスNが上昇気流を発生するとともに、不活性ガスNがほぼ均一にベーパVを希釈することとなって、より確実に表面にウォータマーク等を生じさせることもなく半導体ウェーハ3を乾燥させることができる。
【0047】
また、ベーパ乾燥装置1は、発熱装置12を用いて有機溶剤Yを加熱すると、有機溶剤Yが沸点すぎても沸騰せずに突然大きな泡を生じて沸騰する、所謂突沸とよばれる現象を発生することがある。この突沸が生じると、ベーパ槽7、ベーパ室内槽17等を破損する恐れがあって好ましくない。
【0048】
図4は、第2の実施形態を示し、第1の実施形態と同一構成部分は同一符号を付して説明を省略する。本実施形態において、ガス供給手段2の周管部40は、図4に示すように、有機溶剤Yの液面Rの下に位置するように、有機溶剤Yの中に浸漬されて設けられている。すなわち、ガス噴射口32は、有機溶剤Y内に開口することとなる。
【0049】
ベーパ乾燥装置1は、前述した構成によれば、発熱装置12を用いて有機溶剤Yを加熱する際に、ガス噴射口32から有機溶剤Y内に不活性ガスNを噴射して、有機溶剤Yを泡だち所謂バブリングしている。このため、バブリング効果によりベーパ発生量を増加させると同時に不活性ガスNによる希釈IPAベーパの上昇気流を発生することが出来るので半導体ウェーハ3の表面に付着していた水分が大気中で自然乾燥することなく確実に有機溶剤YのベーパVと置換されるとともに、有機溶剤Yを沸点において確実に沸騰させることが可能となる。
【0050】
本実施形態によれば、半導体ウェーハ3の表面に付着していた水と有機溶剤Yとを置換させて、ウォータマーク等が生じることなく確実に表面を乾燥させることができるとともに、有機溶剤Yの突沸を防ぐことができるので、ベーパ槽7、ベーパ室内槽17等を破損することを防止できる。
【0051】
【発明の効果】
請求項1の本発明によると、半導体ウェーハの乾燥工程において、低温状態の半導体ウェーハを乾燥する際においても、ベーパ内に不活性ガスを供給するのでベーパが希釈され体積が増加するとともにベーパ内に上昇気流が発生して、ベーパと大気との境界面の高さを維持することとなって、ベーパが半導体ウェーハを浸漬することとなる。
【0052】
このため、半導体ウェーハは、半導体ウェーハを湿潤している水が大気中で自然乾燥することなくウェーハの表面で有機溶剤と置換されて、乾燥されることとなる。したがって、乾燥後の半導体ウェーハの表面にしみ(ウォータマーク)が生じることはない。
【0053】
請求項2の本発明によると、請求項1の効果に加え、ガス噴射口を半導体ウェーハと有機溶剤の液面との間に設けたので、ベーパ内に確実に上昇気流を発生させることができる。したがって、より確実に表面にしみ(ウォータマーク)等を生じることなく半導体ウェーハを乾燥させることができる。
【0054】
請求項3の本発明によると、請求項1の効果に加え、ガス噴射口を有機溶剤内に設けたので、バブリング効果によりベーパ発生量を増加させるのと同時に不活性ガスによる希釈IPAベーパの上昇気流を発生させることができる。したがって、より確実に表面にしみ(ウォータマーク)等を生じることもなく半導体ウェーハを乾燥させることができる。
【0055】
また、不活性ガス噴射口を有機溶剤内に設けたので、沸点において確実に有機溶剤を沸騰させることが可能となる。したがって、沸点を超えても沸騰せずに、突然大きな泡を発生する突沸を防ぐことができ、ベーパ槽、ベーパ室内層等を破損することを防止できる。
【0056】
請求項4の本発明によると、請求項1の効果に加え、ガス噴射口をベーパ槽の側壁面に沿って設けられた周管部に、ガス噴射方向が互いに向き合うように設けたので、より均一にベーパを希釈することとなって、より確実に表面にしみ(ウォータマーク)等を生じることもなく半導体ウェーハを乾燥させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態のベーパ乾燥装置の縦断面図。
【図2】同実施形態のガス供給手段を示す平面図。
【図3】同実施形態のベーパ乾燥装置を用いた半導体ウェーハの乾燥工程を示す図。
【図4】この発明の第2の実施形態のベーパ乾燥装置の縦断面図。
【図5】従来のベーパ乾燥装置を示す縦断面図。
【図6】図5に示された従来のベーパ乾燥装置の半導体ウェーハ挿入前の状態を示す縦断面図。
【図7】図5に示された従来のベーパ乾燥装置の半導体ウェーハ挿入直後の状態を示す縦断面図。
【符号の説明】
1…ベーパ乾燥装置
2…ガス供給手段
3…半導体ウェーハ
5…支持装置
6…回収部
7…ベーパ槽
12…発熱装置
30…ガス供給管
31…周管部
32…ガス噴射口
Y…有機溶剤
V…ベーパ
N…不活性ガス
R…液面
Claims (2)
- 洗浄液によって湿潤した状態の洗浄後の半導体ウェーハを乾燥する装置であって、内部に有機溶剤を収容するベーパ槽と、上記有機溶剤を加熱気化する発熱装置と、この発熱装置によって気化された有機溶剤のベーパ内に洗浄後の半導体ウェーハを支持する支持装置と、上記半導体ウェーハの表面において上記有機溶剤のベーパと置換された洗浄液を回収する回収部と、上記有機溶剤のベーパ内に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えたベーパ乾燥装置において、
上記ガス供給手段は、不活性ガスを噴射するガス噴射口を備えるとともに、上記ガス噴射口が有機溶剤の液面と半導体ウェーハとの間に開口したことを特徴とするベーパ乾燥装置。 - 上記ガス供給手段は、上記ベーパ槽の側壁面に沿って設けられた周管部と、上記周管部
に不活性ガスを供給するガス供給管と、上記周管部に設けられたガス噴射口とを備えるとともに、
上記ガス噴射口を、ガス噴射方向が互いに向き合うように上記周管部に設けたことを特徴とする請求項1記載のベーパ乾燥装置。
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