JP2522546Y2 - 温純水乾燥装置 - Google Patents

温純水乾燥装置

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JP2522546Y2
JP2522546Y2 JP3624990U JP3624990U JP2522546Y2 JP 2522546 Y2 JP2522546 Y2 JP 2522546Y2 JP 3624990 U JP3624990 U JP 3624990U JP 3624990 U JP3624990 U JP 3624990U JP 2522546 Y2 JP2522546 Y2 JP 2522546Y2
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松夫 秋林
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スピードファムクリーンシステム株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、ワークを温純水によって乾燥する温純水乾
燥装置に関するものである。
[従来の技術] 例えば、特開昭64-53549号公報に開示されているよう
に、洗浄等により濡れたワークを所定温度の温純水中に
浸漬させて加熱した後、ゆっくり引き上げることによ
り、該ワークを自己の熱で乾燥させるようにした温純水
乾燥法は公知である。
かかる温純水乾燥においては、所定の温度に加熱した
温純水を温純水槽内に供給するようにしているが、この
とき重要なことは、温純水の水面を波立たせることな
く、常に静止した平面に保持することであって、水面が
波により乱れると、ワークを温純水から引き上げるとき
に該ワークが不規則にしかも同じ部分で何回も水面と接
触し、シミや乾燥むら等を生じ易くなる。
ところが、一般に、水をヒータで加熱するとき、該ヒ
ータの表面に気泡が発生するという問題があり、この気
泡が温純水と共に温純水槽中に流入して浮遊することに
より、水面の乱れを引き起こすことになる。このとき、
水温が低ければ、ヒータ表面で発生した気泡は瞬時に液
中に吸収されるが、水温が約70℃以上になると、ヒータ
表面の気泡は遊離して水中に浮遊するようになる。
一方、ワークの乾燥時間は槽内水温が高いほど短く、
このため、第4図に示すように、槽内水温を高くすれば
それだけワークの引き上げ速度を速くして短時間で効率
的な乾燥を行うことができる。従って、ワークの材質等
に応じて槽内水温をできるだけ高くすることが望ましい
が、上述したように水温が高いほど発生する気泡が多く
なり、シミや乾燥ムラの原因となり易い。
このため、従来は、ヒータで加熱された温純水を温純
水槽に供給する供給管の途中に気泡捕集室を設け、ここ
で気泡を捕集するようにしていたが、水温が高いと、捕
集室を過ぎた後の温純水にも気泡が発生するため、これ
が温純水槽中に流入して水面の乱れを誘発するなど、効
果が不十分であった。
また、温純水を水面が波立たないように少量づつ温純
水槽内に供給すると、槽内における温純水の対流が生じ
にくいため、温度の高い温純水が槽の上部に集まって滞
留し、槽の上部と下部とで温純水の温度差が生じ易いと
いう欠点もあった。
[考案が解決しようとする課題] 本考案の課題は、温純水槽内に流入する気泡を捕集し
て水面の乱れを確実に防止することができると共に、温
純水の対流を生じさせて槽内水温を均一化することがで
きる温純水乾燥装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するため、本考案は、所定の温度に加
熱した温純水を槽の下部に設けた供給口から温純水槽内
に供給し、該温純水中にワークを浸漬させた後ゆっくり
引き上げることにより該ワークを乾燥させるようにした
ものにおいて、上記温純水槽の内部に、供給口から温純
水と共に流入する気泡を捕集して槽外に排出するための
泡取器を配設してなり、該泡取器が、上記供給口を囲み
且つ覆う捕集部と、該捕集部の頂部に取り付けられて槽
外に開口する泡排出筒とからなっていて、上記捕集部
に、供給口からの温純水を周囲に分流させるための複数
の流路を放射方向に備えていることを特徴とするもので
ある。
[作用] ワークを温純水乾燥するとき、温純水槽内には、ヒー
タにより所定の温度に加熱された温純水が供給口を通じ
て定量づつ連続的に供給されている。
このとき、上記供給口から温純水と共に泡取器の捕集
部内に流入した気泡は、該捕集部において全て捕集さ
れ、泡排出筒を通じて外部に排出される。従って、気泡
が水面に現れることによる水面の乱れがなく、該水面は
静止状態に保たれる。
また、供給口から上記捕集部内に流入した温純水は、
該捕集部に放射方向に形成された複数の流路を通じて槽
内に分流し、該槽内を均等に拡散することによって温純
水の対流を生じさせるため、槽内水温は均一化され、槽
の上部に高温の温純水が集まって槽の上下で温純水の温
度差が生じるというようなことがない。
この状態で、ワークが温純水中に一定時間浸漬された
あと水面が波立たない程度のゆっくりとした速度で引き
出されると、該ワークは、自己の熱で温純水より引き出
された部分から順次乾燥し、温純水乾燥が行われる。
[実施例] 以下、本考案の実施例を図面を参照しながら詳細に説
明する。
第1図及び第2図において、1は温純水Wを充填する
ための角形の温純水槽であって、該温純水槽1の底部1a
は、その中央部が最も低くなるように傾斜し、この中央
部に温純水供給口2が設けられており、該供給口2に温
純水の供給管3が接続されると共に、該供給管3が電熱
やスチーム等を熱源とするヒータ4を介して純水源5に
接続され、該純水源5からの不純物を取り除かれた純水
が、ヒータ4により所定温度に加熱されて供給口2から
定量づつ連続的に温純水槽1に供給されるようになって
いる。
温純水槽1に供給された温純水Wは槽の上部からオー
バーフローするが、オーバーフローした温純水を回収す
るため、該温純水槽1の上部周囲には回収溝8が形成さ
れ、該回収溝8に回収管9が接続されており、この回収
管9で回収溝8に流れ込んだ温純水を外部に排出するよ
うになっている。この場合、回収管9に耐熱性のフィル
タ10を設け、温純水中の不純物を該フィルタ10で除去し
たあと該温純水を上記ヒータ4又は純水源5に供給し、
循環的に再使用するように構成することもできる。
上記温純水槽1の内底部には、供給口2から温純水と
共に流入する気泡を捕集して槽外に排出するための泡取
器12が配設されている。この泡取器12は、第3図からも
明らかなように、上記供給口2を囲み且つ覆った状態で
槽底1a上に載置される方形箱を伏せた形の捕集部13と、
該捕集部13の上壁13aの一部から立上がって槽外に開口
する泡排出筒14とからなるもので、上記捕集部13におけ
る上壁13aは、泡排出筒14の部分で最も高くなるように
傾斜し、捕集した気泡が円滑に泡排出筒14に導かれるよ
うになっており、また、上壁13aから下向きに延びる各
側壁13bは、その下端を中央部において側壁高さが最も
高くなるような円弧状に形成することにより、該側壁13
bの両端部が槽底1aから離間せしめられており、これに
より捕集部13の各角部には、供給口2から該捕集部13内
に供給される温純水を槽1内に分流させるための複数の
流路15が放射方向に形成されている。
上記泡取器12は、金属やセラミックス等のように100
℃程度の水温に耐えられるような耐熱性及び耐腐食性を
備えた素材であれば、どのような素材によっても構成す
ることができる。
また、上記温純水槽1の上部には、第1図に示すよう
に、隔壁21で囲まれた乾燥室20が形成されている。該乾
燥室20は、温純水Wから引き上げたワーク22の乾燥を促
進するためのもので、排気口23に接続された排気管24に
よりミストキャッチ25を介して排気ファン26に接続さ
れ、該排気ファン26で水面及びワーク22の表面から蒸発
する水蒸気を取引、排出することにより、該水蒸気がワ
ーク22に接触して該ワーク22を濡らすのを防止するよう
になっており、この際、水蒸気をほゞ水平方向に吸引し
てより効果的な接触防止を図るため、該乾燥室20の内部
には、水平方向の空気流を発生させる複数の仕切板27が
角度調整自在に設けられている。なお、上記ミストキャ
ッチ25で捕集された純水は、排水管28を通じて上記回収
管9により排出される。
なお、図中30はワーク22を収容する籠、31は該籠30に
入れたワーク22を搬送する搬送アームで、該搬送アーム
31は、籠30を吊持するフック32を備え、該フック32を送
り螺子33によりガイド34に沿って昇降自在としている。
上記構成を有する温純水乾燥装置は、例えば洗浄機構
の後段に配設され、洗浄により濡れた状態で送られてく
るワークを温純水により乾燥するもので、次のように作
用する。
即ち、温純水槽1内には、ヒータ4により所定の温度
に加熱された温純水Wが供給口2を通じて定量づつ連続
的に供給され、オーバーフローした温純水が回収溝8に
流れ込み、回収管9を通じて排出されている。
このとき、上記供給口2から一旦泡取器12の捕集部13
内に流入した温純水は、該捕集部13に放射方向に形成さ
れた複数の流路15を通じて槽1内に分流し、該槽内を均
等に拡散することによって温純水全体の対流を生じさせ
る。このため、温純水槽1の上部に高温の温純水が集ま
って槽の上下で温純水の温度差が生じるというようなこ
とがなく、槽内水温が均一化される。また、温純水と共
に捕集部13内に流入した気泡は、該捕集部13において全
て捕集され、泡排出筒14を通じて外部に排出される。従
って、気泡が水面に現れることによる水面の乱れが全く
なく、該水面は静止状態に保たれている。
一方、乾燥室20内の空気は排気ファン26により吸引さ
れ、水面から蒸発した水蒸気がこの空気流と共にほゞ水
平方向に排出されている。
この状態で、籠30に入れられたワーク22が搬送アーム
31に吊持されて温純水槽1の上部に運ばれて来ると、フ
ック32が下降し、該ワーク22は籠30ごと温純水W中に浸
漬される。そして、該ワーク22が温純水に一定時間浸漬
されて加熱されると、フック32がゆっくりと上昇し、該
ワーク22は水面が波立たない程度のゆっくりとした速度
で温純水から引き出される。これにより該ワーク22は、
自己の熱で温純水より引き出された部分から順次乾燥
し、温純水乾燥が行われる。また、上記乾燥室20内にお
いては、水面から蒸発した水蒸気が排気ファン26により
ほゞ水平方向に排出され、ワーク22と接触しないように
なっているため、乾燥したワーク22の表面が水蒸気によ
って再度濡れることがなく、従って、再湿潤による乾燥
ムラやシミの発生がない。
なお、ワーク22を温純水から完全に引上げた後は、爾
後の作業を迅速化するため該ワーク22を上記引上速度よ
り早い速度で上昇させるようにしても良い。
上記泡取器12における捕集部13の形状は、必ずしも図
示したような四角形に限定される訳ではなく、その他の
多角形や円形、楕円形など、温純水槽1の形状に応じた
任意の形状とすることができる。従って、上記温純水槽
1も四角形以外の任意の形状とすることができる。
また、図示の実施例では、泡取器12における捕集部13
の側壁13bの下端を円弧状に形成しているが、該下端を
直線状に形成し、ここに適当な形の切欠を適数入れるこ
とによって放射方向の流路を形成することもできる。
更に、温純水槽1に供給口2を設ける場合、上記実施
例では、槽低2aの中央部を窪ませてここに供給口2を開
口させているが、中央部以外の部分を窪ませて供給口を
開口させたり、槽低2aを平坦とし、槽の側壁下端部から
パイプを挿入して槽中央部に開口させ、これによって供
給口を形成するようにしてもよい。
[考案の効果] このように本考案によれば、温純水槽内に泡取器を配
設し、この泡取器で供給口から流入する気泡を捕集する
ようにしたので、気泡による水面の乱れを確実に防止し
て水面を静止状態に保つことができる。しかも、このよ
うに気泡を確実に捕集することができるようになった結
果、槽内水温をより高くすることができるので、乾燥時
間を短縮することにより2次汚染を防いで乾燥精度を高
めることができる。
また、上記泡取器には、複数の流路を放射方向に設
け、供給口から供給される温純水をこれらの流路を通じ
て槽内に放射方向に分流させるようにしたので、この分
流により槽内全体に温純水の対流を生じさせ、槽内水温
を均一化させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る温純水乾燥装置の一実施例を示す
断面図、第2図はその要部拡大図、第3図は泡取器の斜
視図、第4図は温純水乾燥特性についての線図である。 W……温純水、1……温純水槽、2……供給口、12……
泡取器、13……捕集部、13a……上壁、13b……側壁、14
……泡排出筒、15……流路、22……ワーク。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】所定の温度に加熱した温純水を槽の下部に
    設けた供給口から温純水槽内に供給し、該温純水中にワ
    ークを浸漬させた後ゆっくり引き上げることにより該ワ
    ークを乾燥させるようにしたものにおいて、 上記温純水槽の内部に、供給口から温純水と共に流入す
    る気泡を捕集して槽外に排出するための泡取器を配設し
    てなり、該泡取器が、上記供給口を囲み且つ覆う捕集部
    と、該捕集部の頂部に取り付けられて槽外に開口する泡
    排出筒とからなっていて、上記捕集部に、供給口からの
    温純水を周囲に分流させるための複数の流路を放射方向
    に備えていることを特徴とする温純水乾燥装置。
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TW513594B (en) * 1996-06-14 2002-12-11 Seiko Epson Corp Pull-up Novel pull-up drying method and apparatus
JP5014066B2 (ja) * 2007-11-01 2012-08-29 三菱電機株式会社 過酸化水素製造用電解セル

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