JPH0320735A - フォトマスク乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は半導体分野のフォトマスク乾燥装置に関するも
のである。

従来の技術 フォトマスクの乾燥装置としては、回転機構を用いて、
スピン乾燥や蒸気乾燥等が利用されている。

以下に従来のマスク乾燥装置の中で蒸気乾燥装置につい
て説明する。

第２図は従来の蒸気乾燥装置の概略図を示すものである
。第２図において、１はリフター、２はキャリア、３は
マスク、４は冷却管、５はヒーター、６はイソプロビル
アノレコーノレである。

以上のように構或された蒸気乾燥装置について、以下そ
の動作を説明する。

１ず、槽内にイソプロビルアノレコー／Ｖ　８　ｔ入れ
ヒーター“６であたため沸騰させ冷却管４の所１で蒸気
を発生させる。次にマスク３をのせたキャリア２をイン
プロヒルアルコールの蒸気内にリフター１を下げて入れ
る。マスク３が蒸気内の温度に達した後、リフター１で
徐々に引き上げマスク３を乾燥させる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記の従来の構或では、イソプロビルアル
コールの蒸気を利用するので、コストがかかシ、有害で
あり、防災設備も必要であるという欠点を有していた。

本発明は上記従来の問題点を解決するもので、イソプロ
ビルアルコールを使用しないマスク乾燥装置を提供する
ことを目的とする。

課題を解決するための手段 この目的を達戊するために本発明のマスク乾燥装置はマ
スクを浸水させるオーバーフロー橿と水温を一定に保つ
温度調節器とマスクを引き上げるためのりフターの構或
を有している。

作　　　用 との構或によって、オーバーフロー槽中のマスクは、水
温と同じ温度１であたためられ、これをリフターで徐々
に引き上げることによって、マスク上の水分はマスクの
熱によって蒸発し、乾燥することができる。

実施例 以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。

第１図は本発明の一実施例にかけるマスク乾燥装置の概
略図を示すものである。第１図に釦いて１はリフター、
２はキャリア、３はマスク，５はヒーター、７ぱオーバ
ーフロー槽、ａはポンプ、９はフィルター　１０は温度
調節器、１１は水である。

以上のように構戊されたマスク乾燥装置について、以下
その動作を説明する。

まず、オーバーフロー槽７の水をボンプ８で循環させヒ
ーター５であたため水温を温度調節器１ｏで一定にする
。次にキャリア２にのせたマスク３をオーバーフロー槽
７の水中に完全に浸水させる。

マスクの温度が水温と同じ温度になった後、リフター１
で徐々にマスク３を引き上げ乾燥させる。

以上のように本実施例によれば、水のオーバーフロー槽
と水温た一定にする温度調節器とりフターを設けること
により、インプロヒルアノレコーノレの蒸気を使用する
ことなしにマスクを乾燥させることができる。

発明の効果 以上のように本発明はオーバーフロー槽と水温を一定に
する温度調節器とリフターを設けることによ９、イソプ
ロビルアノレコ−ノレを使用することなしにマスクを乾
燥することができる優れたマスク乾燥装置を実現できる
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に釦けるマスク乾燥装置の概略
図、第２図は従来の蒸気乾燥装置の概略図である。 １・・・・・・リフター、２・・・・・・キャリア、３
・・・・・・マスク、４・・・・・・冷却管、６・・・
・・・ヒーター、ｅ・・・・・・イソブロピルアノレコ
ーノレ、ア・・・・・・オーバーフロー槽、８・・・・
・・ポンプ、９・・・・・・フィノレター、１０・・・
・・・温度調節器、１１・・・・・・水。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. オーバーフロー機構と、液温を一定に保つ温度調節器を
   備えたマスク洗浄槽と、洗浄槽からマスクを定め速さで
   引き上げるリフターをもつフォトマスク乾燥装置。