KR19990031279A

KR19990031279A - 보호대를 가지는 번-인 기판

Info

Publication number: KR19990031279A
Application number: KR1019970051933A
Authority: KR
Inventors: 이병주; 이규남
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-10-10
Filing date: 1997-10-10
Publication date: 1999-05-06

Abstract

본 발명은 번-인 검사 중의 열적, 기계적 충격 등의 외부 충격으로인한 번- 인 기판의 파손으로부터 번-인 기판을 보호하기 위한 보호대를 가지는 번-인 기판에 관한 것으로, 본 발명에 따른 번-인 기판은 번-인 검사할 반도체 소자가 실장되며 반도체 소자와 전기적으로 연결된는 복수의 핀을 갖는 소켓과, 소켓의 핀과 전기적으로 연결되는 전도성 배선과, 전도성 배선과 전기적으로 연결되어 상기 소켓에 실장된 반도체 소자를 외부와 전기적으로 연결하는 기판 단자를 가지며, 소켓, 전도성 배선, 기판 단자가 설치되는 기판부와, 번-인 기판의 기판부 측면에 체결하여 번-인 검사시의 외부 충격으로부터 상기 기판부를 보호하는 보호대와, 상기 보호대를 상기 기판부에 고정시키는 고정대를 구비한다. 본 발명에 따르면 번-인 검사 공정에 따른 외부 충격에 의한 번-인 기판의 파손으로부터 번-인 기판을 보호할 수 있으며 번-인 검사의 효율을 향상시킬 수 있다.

Description

보호대를 가지는 번-인 기판

본 발명은 번-인 기판에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 번-인 검사 중 번-인 기판에 가해지는 외부 충격으로 인한 번-인 기판의 파손을 막는 보호대를 가지는 번-인 기판에 관한 것이다.

번-인 검사(burn-in test)는 반도체 집적회로 소자를 소비자에게 공급하기 전, 또느 시스템에 장착하기 전에 초기 불량 소자를 찾아내기 위한 신뢰성 검사의 일종으로서, 웨이퍼에서 분리된 반도체 칩을 조립공정을 거쳐 패키지한 다음 진행하는 것이 일반적이다. 번-인 검사가 진행되는 동안 집적회로 소자는 높은 온도와 높은 전계가 인가된 상태에서 동작하므로 불량 메카니즘이 가속된다. 따라서 수명이 길지 않은 초기 불량 소자들은 번-인 검사가 진행되는 가혹 조건을 견디지 못하고 불량을 발생시킨다. 이러한 번-인 검사를 통과한 양품 집적회로 소자는 오랜 기간의 수명을 보장해 줄 수 있기 때문에 시스템의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1을 참조하면, 도 1은 종래의 번-인 기판을 나타내는 평면도이다. 번-인 기판(10)은 번-인 검사할 소자(11)가 실장되는 복수의 소켓(12)을 구비하며, 소켓(12)은 소자(11)의 외부단자(도시되지 않음)와 전기적으로 연결된 복수의 핀(13)을 구비한다. 소켓의 핀(13)은 전도성 배선(19)을 통해 기판 단자(14)와 전기적으로 연결된다. 소켓(12), 전도성 배선(19), 기판 단자(14)는 기판부(20)에 설치된다. 도면 부호 15는 기판의 파손이 빈번하게 일어나는 부분인 번-인 기판의 삽입부 방향 양 모서리를 나타낸다.

번-인 기판은 번-인 검사가 반복됨에 따라 열적, 기계적 충격 등의 외부 충격으로 인하여 피로가 축적되어 파손되기 쉬운 상태가 되며 특히, 번-인 기판이 챔버로 이동하기 위해 랙(Rack;도시되지 않음)과 엑스 와이 테이블(XY table;도시되지 않음)에 삽입되는 과정에서 번-인 기판과 상기 랙과 엑스 와이 테이블이 접촉하는 부분인 번-인 기판의 삽입부 방향 양 모서리 부분의 파손이 빈번하게 일어난다. 이러한 번-인 기판의 파손은 번-인 기판의 삽입시 랙(Rack)에서 떨어지는 현상 및 번-인 기판이 엑스 와이 테이블에 걸리는 현상을 야기하며 이는 번-인 검사공정의 순간 정지를 일으킨다. 결국 이는 번-인 검사 공정의 효율을 저하시킨다.

따라서 본 발명의 목적은 번-인 기판이 번-인 검사 공정시 받는 외부 충격으로부터 번-인 기판을 보호하기 위한 보호대를 가지는 번-인 기판을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 보호대를 통하여 번-인 검사 공정시 받는 외부 충격으로부터 번-인 기판을 보호함으로써 번-인 기판의 내구성을 향상시키며 번-인 검사 공정의 흐름을 원활히 하는 것이다.

도 1은 종래의 번-인 기판을 나타낸 평면도,

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 번-인 기판의 일부분을 나타낸 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>

10,110 : 번-인 기판 117 : 고정대

11,111 : 검사할 소자 13,113 : 소켓핀

12,112 : 소켓 118 : 고정 나사

116 : 보호대 19,119 : 전도성 배선

14,114 : 기판 단자 20,120 : 기판부

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 번-인 기판의 기판부 외측면에 체결되어 번-인 검사 공정 시의 외부 충격으로부터 기판부를 보호하는 보호대를 가지는 번-인 기판을 제공한다.

본 발명에 따른 번-인 기판은 번-인 검사할 반도체 소자가 실장되며 반도체 소자와 전기적으로 연결된는 복수의 핀을 갖는 소켓과, 소켓의 핀과 전기적으로 연결되는 전도성 배선과, 전도성 배선과 전기적으로 연결되어 상기 소켓에 실장된 반도체 소자를 외부와 전기적으로 연결하는 기판 단자와, 소켓, 전도성 배선, 기판 단자가 설치되는 기판부를 가지며, 번-인 기판의 기판부 외측면에 체결하여 번-인 검사 공정 시의 외부 충격으로부터 상기 기판부를 보호하는 보호대와, 상기 보호대를 상기 기판부에 고정시키는 고정대를 구비하고 있다.

이하 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 보호대를 구비한 번-인 기판의 일부분을 나타낸 사시도이다. 번-인 기판(110)은 검사할 소자(111)가 실장되는 소켓(112)을 구비하며, 소켓(112)은 소자의 외부단자(도시되지 않음)와 전기적으로 연결되는 복수의 핀(113)을 구비하며 소켓의 핀(113)은 기판상에 형성되는 전도성 배선(119)을 통해 기판 단자(114)와 전기적으로 연결된다. 소켓(112), 전도성 배선(119), 기판 단자(114)는 기판부(120)에 설치된다. 보호대(116)는 기판부(120)의 외측면에 체결되며 고정대(117)는 보호대(116)을 기판부(120)에 고정 시킨다. 보호대(116)와 기판부(120)의 외측면에는 요철이 형성되어 있고 상기 요철이 맞물려서 서로 체결된다. 고정대(117)는 보호대(111)의 요철에 형성된 나사 구멍의 위치와 대응하는 나사 구멍을 갖고 고정 나사(118)에 의해 기판부(120)에 보호대(116)를 고정시킨다. 도 2에서는 도면을 간단하게 하기 위해 소켓의 특정 핀(113)과 연결되는 전도성 배선(119)과 기판 단자(114)만을 도시하였고 번-인 기판의 일부분만 도시하였다.

보호대(116)의 요철의 개수는 도 2와 같이 네 개로 특정되는 것은 아니며 요철의 기판부(120)쪽으로의 길이(l ₁)는 기판부(120)의 배선에 영향을 주지 않는 정도의 길이이다. 보호대(116)의 길이(l₂)와 고정대(117)의 길이(l₄)는 번-인 기판(110)의 측면의 길이(l₃)와 같다. 보호대(116)는 번-인 검사 공정시의 열적, 기계적 충격 등 외부 충격으로부터 기판부(120)를 보호할 수 있는 내구성을 갖는 물질로 되어 있으며 일예로 스테인레스 스틸(stainless steel)이나 알루미늄과 같은 금속 물질이 될 수 있다. 번 인 기판(110)은 랙과 엑스 와이 테이블의 홈에 측면을 따라서 삽입되므로 기판부(119)의 측면에 체결되는 보호대(116)의 두께(w₁)는 상기 홈의 두께보다 작다. 도 2의 본 발명의 일실시예에서는 보호대(116)의 두께(w₁)가 기판부(119)의 두께(w₂)와 같고 길이(l₂)는 기판부(119)의 외측면의 길이(l₃)와 같다. 고정대(117)는 도 2에 도시되었듯이 L자 형태를 하고 있으며 길이(l₄)는 기판부(119)의 측면의 길이(l₃)와 같다. 고정대(117)의 수직면은 번-인 기판(110)이 랙(도시되지 않음)과 엑스 와이 테이블(도시되지 않음)의 홈에 삽입 될 때 삽입되는 길을 잡아주는 역할을 함으로써 삽입이 원활하고 삽입 후 번-인 기판(110)이 홈에 충돌하는 것을 감소하도록 한다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 보호대를 구비하는 번-인 기판을 사용하면 번-인 기판이 번-인 검사 공정시 받는 외부 충격으로부터 번-인 기판을 보호하여 기판의 내구성을 향상 시키고 번-인 검사 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.

Claims

기판부를 보호하기 위한 보호대를 가지는 번-인 기판으로서,

검사할 반도체 소자가 실장되며 반도체 소자와 전기적으로 연결되는 복수의 핀을 갖는 소켓과,

상기 소켓의 핀과 전기적으로 연결되는 전도성 배선과,

상기 전도성 배선과 전기적으로 연결되어 상기 소켓에 실장된 반도체 소자를 외부와 전기적으로 연결하는 기판 단자와,

상기 소켓, 상기 전도성 배선, 상기 기판 단자가 설치되는 사각판형 기판부와,

상기 기판부의 외측면에 체결되는 보호대와,

상기 보호대를 상기 기판부에 고정시키는 고정대를 구비하는 것을 특징으로 하는 번-인 기판.
제 1항에 있어서, 상기 보호대와 상기 기판부는 외측면에 요철이 형성되어 있고 상기 요철이 서로 맞물려서 체결되는 것을 특징으로 하는 번-인 기판.
제 1항에 있어서, 상기 보호대는 스테인레스 스틸이나 알루미늄인 것을 특징으로 하는 번-인 기판.
제 1항에 있어서, 상기 고정대는 상기 보호대와 상기 기판부를 체결하며 상기 보호대를 상기 기판부에 고정시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 번-인 기판.