KR19980081263A - 기록장치와 기록방법 및 기록매체의 제조방법 - Google Patents

Abstract

기록매체에 정보를 기록하기 위한 기록장치를 제공하는 데, 상기 기록매체는 기판과, 어떤 보호막이 제공되지 않고 기판에 형성된 기록막을 포함한다. 기록장치는 488nm 이하의 파장을 갖는 광선(light beam)을 방출하는 레이저와; 기록매체를 회전구동하기 위한 구동회로와; 기록매체의 회전 중에 기록매체에서 떠있도록 배열된 슬라이더와; 상기 슬라이더와 일체로 형성된 반구형 렌즈와; 슬라이더가 기록매체에서 떠있는 동안에 반구형 렌즈와 슬라이더를 거쳐 기록매체의 기록막에 레이저로부터 방출된 광선을 조사하기 위한 광학시스템을 포함한다.

Description

기록장치와 기록방법 및 기록매체의 제조방법

본 발명은 기록매체에 정보를 기록하는 기록장치 및 기록방법과, 기록매체를 원판(master substrate)으로 사용함으로써 다른 기록매체를 제조하는 방법에 관한 것이다.

최근에, 정보화 사회의 진전에 따라 고밀도 및 대용량의 광기록매체를 요구하고 있다. 광기록매체의 기록밀도를 향상시키기 위해서, 더 짧은 파장의 레이저나 또는 개구수(NA)를 개선한 대물렌즈를 사용할 필요가 있다. 그러나, 더 짧은 레이저나 또는 더 많은 개구수의 렌즈를 실현하기가 어렵다. 따라서, 대물렌즈와 기록매체 사이에 반구형 렌즈를 설치함으로써 스폿 크기를 줄일려는 제안이 있었다(Appl. Phys. Lett., 68권, No.2, 1996, pp. 141-143)

도 5는 반구형 렌즈를 합체한 종래의 기록/재생 광학시스템(500)의 구조를 도시하고 있다. 기록/재생 광학시스템(500)은 광선(light beam:501)을 집속하기 위한 대물렌즈(502), 고굴절률을 갖는 반구형 렌즈(503), 상기 반구형 렌즈(503)와 동일한 굴절률을 갖는 슬라이더(504), 및 상기 슬라이더(504)를 지지하는 서스펜션(506)을 포함한다. 반구형 렌즈(503) 및 슬라이더(504)는 서로 접착되어 있다.

기록매체(505)는 실리콘(Si) 기판(505a), 산화 실리콘막(505b; SiO₂film), TbFeCo 막(505c), 및 질화 실리콘막(505d; SiN film)을 이 순서대로 적층함으로써 형성된다.

산화 실리콘막(505b)은 절연층으로서 작용한다. TbFeCo 막(505c)은 기록막으로서 작용한다. 질화 실리콘막(505d)은 보호막으로 작용한다.

이하에 기록/재생 광학시스템(500)의 작동을 설명하기로 한다.

기록매체(505)는 판독 또는 기록 작동 중에 회전구동 시스템(도시안됨)에 의해 회전된다.

기록매체(505)가 회전하여 일어나는 공기압은 슬라이더(504)의 공기 베어링 표면에 작용한다. 그 결과, 기록매체(505)가 회전함에 따라 슬라이더(504)가 기록매체(505)에서 떠오르게 되고, 그 후 기록매체(505) 상에서 비행한다.

일반적으로, 대물렌즈만을 사용하여 기록매체에 빔 스폿을 만드는 경우에는, 스폿 크기는 λ/NA(여기서 λ는 대물렌즈를 통해 집속된 광선의 파장을 나타내고, NA는 대물렌즈의 개구수를 나타낸다)에 비례한다.

반구형 렌즈 및 슬라이더(반구형 렌즈와 동일한 굴절률을 가짐)를 포함한 광학요소가 대물렌즈와 기록매체 사이에 제공되어 있는 경우에는, 기록매체에 발생된 빔 스폿의 크기가 λ/n²NA(여기서 n은 반구형 렌즈 및 슬라이더의 굴절률을 나타내고; λ는 대물렌즈를 통해 집속된 광선의 파장을 나타내고; NA는 대물렌즈의 개구수를 나타낸다)에 비례한다. 스폿의 크기는 반구형 렌즈와 슬라이더의 삽입에 의해 1/n²으로 축소되어 있음을 알 수 있다.

상기 Appl. Phys. Lett., 68권, No.2, 1996, pp. 141-143에 따르면, λ=830nm에 대하여 n=1.83이다. 따라서, 이 기술로 종래 스폿의 크기의 약 30%까지 스폿크기를 줄일 수 있다. 스폿 크기의 축소는 슬라이더를 투과하는 광선과 슬라이더에서 출사하는 소실광(evanescent light)의 작용에 의해 실현된다.

그러나, 소실광은 광선이 나오는 슬라이더의 표면의 좁은 근방에서만 작용할 수 있다. 그러므로, 스폿 크기를 축소하기 위해서는 기록매체의 기록막과 슬라이더와의 사이의 거리를 λ/5 이하로 축소할 필요가 있다.

대물렌즈를 통해 집속된 광선의 파장 λ가 비교적 긴 경우에는, 보호막이 기록막에 형성되어 있더라도 보호막과 슬라이더 사이에서 충분한 거리를 구할 수가 있다.

그러나, 파장 λ가 감소함에 따라, 기록매체의 기록막과 슬라이더와의 사이의 거리를 λ/5 이하로 유지하는 상기 조건을 만족시키면서 보호막과 슬라이더 사이의 충분한 거리를 얻기가 더욱 어렵다. 이것은 파장 λ가 감소함에 따라 슬라이더를 기록매체 위의 짧은 거리(이하 이 거리는 부상거리(floating distance)라고 한다)에서 안정적으로 떠있도록 요구한다는 것을 의미한다. 상기 부상거리가 실질적으로 영(zero)에 도달함에 따라, 슬라이더가 기록매체와 접촉할 가능성이 증가한다. 만일 슬라이더가 기록매체와 접촉하여 미끄러지면, 보호막에 상처를 줄 수가 있고 이에 의해 재생 신호에 심각한 악영향을 초래하게 된다. 더구나, 슬라이더는 기록매체와의 접촉 중에 손상될 수도 있다.

최근에 고밀도 기록을 달성할 필요성이 항상 그러한 시스템에서 대물렌즈를 통해 집속된 광선의 파장의 감소를 요구하고 있다.

도 1은 본 발명에 의한 기록장치(100)의 구조를 도시하는 블록선도.

도 2는 기록매체(110)의 구조를 도시하는 도면.

도 3a 및 3b는 반구형 렌즈(107) 및 슬라이더(108)를 서로 부착한 후에 반구형 렌즈(107)의 주변을 접착제(301)로써 슬라이더(108)에 고정시킴으로써 얻어진 구조를 도시하는 도면.

도 4a 내지 4h는 기록매체(110)를 원판으로 이용하여 기록매체(210)를 제조하는 단계를 도시하는 도면.

도 4i는 도 4a 내지 4h에 도시된 바와 같이 제조된 기록매체(210)의 정보를 재생하기 위한 방법을 도시하는 도면.

도 5는 종래의 기록/재생 광학시스템(500)의 구조를 도시하는 도면.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 기록 장치 107 : 반구형 렌즈

108 : 슬라이더 110, 210 : 기록매체

114 : 회전 모터 118 : 광변조기 드라이버

본 발명의 한 양상에 따라, 기록매체에 정보를 기록하기 위한 기록장치를 제공하고, 상기 기록매체는 기판과, 어떤 보호막이 제공되지 않고 기판에 형성된 기록막을 포함하고, 여기서 상기 기록장치는 488nm 이하의 파장을 갖는 광선을 방출하는 레이저와; 기록매체를 회전구동하기 위한 구동회로와; 기록매체의 회전 중에 기록매체에서 떠있도록 배열된 슬라이더와; 상기 슬라이더와 일체로 형성된 반구형 렌즈와; 슬라이더가 기록매체에서 떠있는 동안에 반구형 렌즈와 슬라이더를 거쳐 기록매체의 기록막에 레이저로부터 방출된 광선을 조사(照射)하기 위한 광학시스템을 포함한다.

본 발명의 한 실시예에서, 슬라이더 및 반구형 렌즈는 광선이 전송되는 영역에서 접착제를 사용하지 않고 서로 부착되어 있다.

본 발명의 다른 실시예에서, 슬라이더 및 반구형 렌즈는 유리로 형성되고, 1.8 이상의 굴절률을 가진다.

본 발명의 또다른 실시예에서, 구동회로는 기록매체의 회전속도를 제어하여서 기록매체를 일정한 선속도로 회전시킨다.

본 발명의 또다른 실시예에서, 기록매체는 제1 영역과 제2 영역을 포함하여서 기록동작을 시작할 때에 슬라이더가 기록매체의 제1 영역에서 부상하고, 기록동작을 끝날 때에 기록매체의 제1 영역에 착륙하며, 제2 영역에 정보가 기록된다.

본 발명의 제 2 양상에 따라, 기판과, 어떤 보호막이 제공되지 않고 기판에 형성된 기록막을 포함하는 기록매체에 정보를 기록하기 위한 방법을 제공하고, 이 방법은 기록매체를 회전시키는 단계와; 기록매체의 회전 중에 기록매체에서 슬라이더를 부상시키는 단계와; 상기 슬라이더가 기록매체에서 떠있는 중에 반구형 렌즈와 슬라이더를 통하여 기록매체의 기록막에 레이저로부터 방출된 광선을 조사하는 단계를 포함하고, 상기 반구형 렌즈는 슬라이더와 일체로 형성되고, 상기 광선은 488nm 이하의 파장을 가진다.

본 발명의 또다른 양상에 의하면, 상술한 방법에 의해 기록된 정보를 갖는 기록매체를 원판으로 사용함으로써 기록매체의 기록막에 기록된 정보를 다른 기록매체에 전사(transcribe)하는 단계를 포함하는 기록매체 제조 방법이 제공되어 있다.

따라서, 여기서 설명하는 발명은, (1) 짧은 파장의 광선(예로서 자외선 파장)을 사용하는 경우에도 슬라이더의 충분한 부상거리를 고정하면서 기록매체에 정보를 기록하는 기록장치 및 기록방법을 제공하고; (2) 상기 기록방법에 의해 기록된 정보를 갖는 기록매체를 사용함으로써 다른 기록매체를 제조하는 방법을 제공하는 장점을 발휘할 수 있다.

본 발명의 상기 장점 및 다른 장점은 첨부한 도면을 참고하여 아래의 설명을 읽고 이해한 숙련자에게는 더욱 명백할 것이다.

이하에서 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 의한 기록장치(100)의 구조를 도시한다. 기록장치(100)는 아르곤(Ar) 레이저(101), HeNe 레이저(112), 및 HeNe 레이저(116)를 포함한다. Ar 레이저(101)에서 방출된 광선은 기록매체(110)에 정보를 기록하는 데 사용된다. HeNe 레이저(112)에서 방출된 광선은 초점을 제어하는 데 사용된다. HeNe 레이저(116)에서 방출된 광선은 기록매체(110)의 회전속도를 제어하는 데 사용된다.

본 명세서에서, 488nmm 와 동일하거나 짧은 파장은 단파장으로 정의한다.

Ar 레이저(101)는 위에서 정의한 단파장 예로서 488nm, 450nm, 364nm 또는 275nm를 갖는 레이저 광선을 방출한다. 이와 같은 단파장을 갖는 광선은 기록매체(110)에 정보를 고밀도로 기록하기 위해 사용된다.

Ar 레이저(101)에서 방출된 광선은 광 변조기(102), 기록 광학시스템(103), 및 하프 미러(half mirror: 104)를 통과하고, 대물렌즈(105), 반구형 렌즈(107), 및 슬라이더(108)에 의해 기록매체(110)에 집속된다. 기록매체(110)에 기록하고자 하는 정보의 패턴은 광 변조기(102)에 의해 제어된다. 상기 광 변조기(102)는 광 변조기 드라이버(118)에 의해 구동된다.

HeNe 레이저(112)에서 방출된 광선은 기록매체(110)에 의해 반사된다. 이 반사광은 하프 미러(104) 및 하프 미러(124)를 경유하여 수광기(113)에 입사된다. 상기 수광기(113)는 입사광을 기초로 하여 초점 오류신호를 발생한다. 포커스 서보(focus servo: 119)는 초점 오류신호를 기초로 하여 초점 구동코일(106)을 구동한다. 따라서, 대물렌즈(105)의 위치는 Ar 레이저(101)에서 방출된 광선이 항상 기록매체(110)에 집속되도록 제어된다.

대물렌즈(105)는 반경방향을 따라 이동하지 않도록 배열된다. 따라서, 대물렌즈(105)와 반구형 렌즈(107)의 상대 횡단위치는 변하지 않는다. 그 결과, 대물렌즈(105)와 반구형 렌즈(107)의 위치의 횡단 오프셋으로 인한 수차(aberration)가 발생하지 않는다.

HeNe 레이저(116)에서 방출된 광선은 회전 모터(114)에 의해 반사된다. 상기 회전 모터(114)로부터 나온 반사광은 하프 미러(125)를 경유하여 수광기(117)에 입사된다. 상기 수광기(117)는 입사광을 기초로 하여 기록매체(110)의 위치를 가리키는 신호를 발생한다. 이송 피치 모니터(122)는 기록매체(110)의 위치에 따라 기록매체(110)의 회전속도를 제어하도록 기록매체(110)의 위치를 모니터하므로, 기록매체(110)가 일정한 선속도로 회전된다. 기록매체(110)는 회전 모터(114)에 의해 회전된다. 기록매체(110)의 회전속도는 회전 모터 드라이버(121)에 의해 제어된다.

기록매체(110)의 위치는 이송 모터(115)에 의해 결정된다. 이송 모터(115)는 이송 모터 드라이버(120)에 의해 구동된다.

슬라이더(108)는 회전하는 기록매체(110)에서 부상한 다음에 기록매체(110) 위에서 비행하도록 배열된다. 슬라이더(108)는 서스펜션(suspension: 109)에 의해 지지된다.

반구형 렌즈(107)는 슬라이더(108)와 일체로 형성된다. 예를 들면, 반구형 렌즈(107)와 슬라이더(108) 사이의 접촉면은 광학적으로 평평해질 때까지 경면가공되고, 반구형 렌즈(107)와 슬라이더(108)는 접착제를 사용하지 않고 서로 부착될 수 있다. 접착제를 사용하면, 접촉면의 두께 변화를 ±0.2μm 이하로 제어하여야 하고, 그러한 접촉면의 정확도는 접착제를 사용하지 않으면 필요가 없다.

본 명세서에서, 반구형 렌즈는 구형 렌즈의 일부를 예정 평면, 즉 반구형 렌즈(107)와 슬라이더(108)가 서로 부착되어 있는 평면을 따라 절단함으로써 구해진 형상을 갖는 렌즈로서 정의되어 있다. 상기 정의를 기초로 하여 반구형 렌즈(107)는 구형 볼렌즈의 정확한 절반(1/2)이 되는 렌즈로 제한되지는 않는다. 반구형 렌즈(107)의 높이와 슬라이더(108)의 높이의 합은 r 또는 r+r/n(여기서 r은 반구형 렌즈(107)의 반경을 나타내고, n은 반구형 렌즈(107)와 슬라이더(108)의 굴절률을 나타낸다)에서 규정되는 것이 바람직하다.

반구형 렌즈(107) 및 슬라이더(108)는 유리로 형성되는 것이 바람직하다. 반구형 렌즈(107) 및 슬라이더(108)의 굴절률은 1.8 이상이 바람직하다.

기록매체(110)는 기판(110a)과, 이 기판(110a)에 형성된 기록막(110b)을 포함한다. 양호한 실시예에서, 기판(110a)은 유리기판이고, 기록막(110b)은 포토레지스트층이다. 포토레지스트층은 감광성 재료로서 형성된다. 포토레지스트층을 광으로 조사함으로써 정보를 나타내는 패턴이 포토레지스트층에 기록될 수 있다.

보호막은 기록막(110b)에 형성되지 않는다. 그 결과, 기록매체(110)에 정보를 기록하기 위해 단파장을 사용하는 경우에도 기록매체(110)의 기록막(110b)에 정보를 나타내는 패턴을 형성할 수 있다.

도 2는 양호한 실시예에서 기록매체(110)의 구조를 도시한다. 전술한 바와 같이, 포토레지스트층(110b)은 유리기판(110a)에 형성된다. 그러한 구조는 예로서 감광성 재료(용제로 희박하게 된)를 스핀 코팅법으로 유리기판(110a)에 코팅함으로써 형성될 수 있다. 포토레지스트층(110b)의 표면은 거친 영역(21)과 부드러운 영역(22)을 포함한다. 슬라이더(108)는 기록 동작이 시작할 때에 기록매체(110)의 거친 영역(21)에서 부상하고, 기록 동작이 끝날 때에 기록매체(110)의 거친 영역(21)에 착륙한다. 상기 부드러운 영역(22)에 정보가 기록된다.

거친 영역(21)은 기록매체(110)의 주변에 형성된다. 거친 영역(21)은 약 수십 나노미터에서 약 수백 나노미터의 범위의 조도(coarseness)를 가지도록 형성된다. 그러한 거친 영역(21)은 예로서 스퍼터 에칭법에 의해 형성될 수 있다.

도 3a 및 3b는 반구형 렌즈(107)와 슬라이더(108)를 서로 부착하고 그 후에 반구형 렌즈(107)를 슬라이더(108)에 접착제(301)로써 고정시킴으로써 구해진 구조를 도시한다. 따라서, 반구형 렌즈(107) 및 슬라이더(108)의 접촉면이 실질적으로 광학적으로 평평하다는 것을 보장함으로써 반구형 렌즈(107) 및 슬라이더(108)는 접촉면에서 접착제를 사용하지 않고 서로 고정될 수 있다. 그 결과, 반구형 렌즈(107) 및 슬라이더(108)는 광선이 전송되는 영역에서 어떤 접착제도 사용하지 않고 서로 고정된다.

이하에서 상술한 구조를 갖는 기록장치(100)의 작동을 설명하기로 한다.

기록매체(110)에 정보를 기록하기 전에, 기록매체(110)의 회전을 시작한다. 기록매체(110)가 회전 모터(114)에 의해 회전됨에 따라, 슬라이더(108)는 기록매체(110)의 거친 영역(21)에서 부상한다. 슬라이더(108)의 부상거리가 일정하게 된 후에, 이송 모터(115)가 구동되어 거친 영역(21) 위에서 부터 부드러운 영역(22) 위로 슬라이더(108)의 위치를 이동시킨다.

그 후에 광 변조기(102)가 기록매체(110)에 기록된 정보에 따라 구동된다. 그 결과, 기록패턴이 기록매체(110)의 부드러운 영역(22)에 기록될 수 있다. 기록매체(110)는 예정된 피치 만큼 이송 모터(115)에 의해 이송된다. 그 결과, 기록패턴이 예정된 피치에 따라 기록매체(110)의 부드러운 영역(22)에 기록된다.

기록매체(110)의 위치는 이송 모터(115)에 의해 정해진다. 기록매체(110)의 회전속도는 기록매체(110)의 위치에 따라 제어된다. 그 결과, 기록매체(110)는 일정한 선속도로 회전된다.

슬라이더(108)는 기록매체(110)가 일정한 선속도에서 유지되면 부상거리가 일정하게 되도록 서스펜션(109)에 의해 지지된다. 따라서, 기록매체(110)가 일정한 선속도로 회전하기 때문에 기록매체(110)의 어느 위치에 주어진 정보를 기록하는 경우에도 슬라이더(108)의 부상거리가 일정하게 유지된다. 이것은 일정한 조건하에서 기록매체(110)에 정보를 기록할 수 있게 한다.

단파장(예로서 자외선 파장)의 광선을 반구형 렌즈(107)를 통해 작은 빔 스폿으로 집속하고 소실광을 이용함으로써 기록매체(110)의 기록막(110b)에 정보를 기록하는 경우에, 슬라이더(108)와 기록막(110b) 사이의 거리를 약 15nm 와 약 60nm 사이의 범위내에서 유지하는 것이 바람직하다. 상기 거리를 약 15nm 와 30nm 사이의 범위내에서 유지하는 것이 가장 바람직하다.

보호막이 기록매체의 기록막에 형성되어 있는 종래 기술에서는, 슬라이더의 부상거리가 보호막의 두께에도 불구하고 슬라이더와 기록막 사이의 필요한 거리를 얻기 위해 실질적으로 영이어야 한다. 즉, 부상거리는 보호막의 두께에 해당하는 양 만큼 감소된다. 그 결과, 기록매체는 반드시 상처 및 손상을 입을 것이다.

한편, 본 발명은 기록매체의 기록막에 보호막이 형성되지 않도록 배열된 기록매체를 사용한다. 그 결과, 슬라이더(108)는 단파장(예로서 자외선 파장) 광선을 사용하는 경우에서도 약 15nm 내지 60nm의 부상거리를 고정시킨다. 따라서, 본 발명에 따라 고밀도 정보 기록이 실현될 수 있다.

도 4a 내지 4h는 기록매체(110)를 원판으로 사용하여 기록매체(210)를 제조하기 위한 단계들을 도시하는 도면들이다. 도 4i는 도 4a 내지 4h에 도시한 바와 같이 제조된 기록매체(210)에 정보를 재생하는 방법을 도시하는 도면이다. 클래스(class) 1000의 공기 청정은 아래의 단계(401) 내지 단계(408)을 따르는 것이 바람직하다. 특히 클래스 100의 공기 청정은 단계(403)을 따르는 것이 바람직하다.

단계(401): 기록매체(110)는 유리기판(110a)에 포토레지스트층(110b)을 형성시킴으로써 형성된다(도 4a). 기록매체(110)는 예로서 스핀 코팅법에 의하여 유리기판(110a)에 포토레지스트(용제로 희박하게 된)를 코팅함으로써 형성될 수 있다. 포토레지스트층(110b)은 정보를 나타내는 패턴을 기록하기 위한 기록막으로서 작용한다. 포토레지스트층(110b)의 두께는 프리베이킹(prebaking) 이후에 약 40nm 이다.

단계(402): 거친 영역(21)이 기록매체(110)의 주변에 형성된다(도 4b). 거친 영역(21)은 예를 들어 기록매체(110)의 외주면에만 아르곤 이온(Ar⁺)을 이용하여 스퍼터 에칭을 가함으로써 형성될 수 있다.

단계(403): 상기 기록장치(100)(도 1에 도시된)를 사용함으로써 Ar 레이저(101)에서 방출된 단파장 광선이 기록매체(110)의 포토레지스트층(110b)에 조사된다(도 4c). 그 결과, 정보를 표시하는 패턴이 기록매체(110)의 포토레지스트층(110b)에 기록된다. 단계(403)(기록장치(100)에서 기록막(110)의 결합 및 해제를 포함한다)는 슬라이더가 안정된 부상상태에서 작동할 수 있다는 것을 보장하도록 청정 환경에서 수행되는 것이 바람직하다. 그 결과, 기록의 신뢰성이 현저히 향상될 수 있다.

단계(404): 포토레지스트층(110b)을 현상함에 따라 광선으로 조사된 포토레지스트층(110b)의 부분이 제거된다(도 4d). 그 결과, 정보를 표시하는 패턴이 포토레지스트층(110b)에 만들어진 볼록면 및 오목면(convexity and concavity)으로서 나타난다.

단계(405): 복제물(replica; 220)이 형성된다(도 4e). 상기 복제물(220)은 예를 들어 기록매체(110)의 표면에 스퍼터링으로 니켈을 증착하고, 증착된 니켈을 전극으로 사용하여 니켈 도금을 실시하고, 그 니켈 도금 위에 백킹(backing)을 제공하고, 이렇게 만들어진 합성물을 기록매체(110)에서 벗겨냄으로써 형성될 수 있다. 또한 단계(405)에서, 기록매체(110)의 외주면에 제공된 거친 영역(21)과 대향하는 부분이 제거된다.

단계(406): 기판(230)은 복제물(220)을 스탬퍼로 사용하여 형성된다(도 4f). 기판(230)은 수지재료로서 형성된다. 따라서, 포토레지스트층(110b)의 볼록면 및 오목면이 기판(230)에 전사된다.

단계(407): 반사막(240)이 기판(230)에 형성된다(도 4g). 상기 반사막(240)은 예를 들어 기판(230)에 알루미늄을 코팅함으로써 형성될 수 있다.

단계(408): 보호막(오버코팅)(250)은 반사막(240)에 형성된다(도 h). 상기 보호막(250)은 수지재료로서 형성된다. 보호막(250)은 예로서 스핀 코팅에 의해 형성될 수 있다. 따라서, 기판(230), 반사막(240) 및 보호막(250)을 포함한 기록매체(210)가 형성될 수 있다.

단계(409): 기판(230)의 볼록면 및 오목면에 해당하는 볼록/오목 신호는 청색 레이저빔을 기판(230)을 통해 기록매체(110)에 조사함으로써 재생된다. 청색 레이저빔은 예로서 420nm의 파장을 가진다.

전술한 바와 같이, 기록매체(210)는 기록매체(110)를 원판으로서 사용함으로써 제조될 수 있고, 상기 기록매체(210)에 기록된 정보는 청색 레이저빔을 기판(230)에 통과시킴으로써 무제한으로 재생될 수 있다. 기록매체(210)는 종래의 기록매체와 동일한 방법으로 처리될 수 있다.

도 4a 내지 4h를 참고로 하여 설명한 단계(401) 내지 단계(408)은 기록매체(210)를 판독전용매체로서 제조하는 데 필요한 단계들이다. 그러나, 기록매체(210)를 판독/기록 매체로서 제조할 수도 있다. 기록매체(210)를 판독/기록 매체로서 제조하기 위해서, 트랙홈이 단계(403)에서 형성될 수 있고(정보를 기록하는 대신에), 또 단계(407)에서 자기광학막 또는 위상변화 기록막 등(알루미늄막을 형성하는 대신에)을 형성할 수 있다. 따라서, 단계(409)에서 청색 레이저빔을 사용하여 기록매체(210)에 정보를 기록할 수 있고, 이어서 기록매체(210)에서 정보를 재생할 수 있다.

이 경우, 단계(403)에서 기록을 안정화시키고 또 단계(409)에서 접근속도를 향상시키기 위해서, 단계(403)에서 일정한 선속도로 기록과정을 수행하고 또 단계(409)에서 일정한 각속도로 재생 또는 기록/재생을 수행하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따라, 슬라이더의 안정된 부상거리가 단파장 광선을 방출하는 레이저와, 보호막이 없는 기록막 상에서 부상하는 슬라이더와, 반구형 렌즈와의 조합에 의하여 구해질 수 있다. 그 결과, 0.2μm 이하의 크기를 갖는 기록마크를 안정적으로 형성할 수 있는 놀라운 효과를 발휘한다. 게다가, 슬라이더와 반구형 렌즈를 접촉면에 접착제를 사용하지 않고 부착함으로써 그러한 접착층의 두께의 오류로 인한 수차를 최소한으로 줄일 수 있게 된다. 그 결과, 조립 정확도가 현저히 향상된다.

본 발명의 정신 및 범위를 벗어남이 없이 기술에 숙련된 자는 여러가지 변경 및 수정이 가능하다. 이에 따라 첨부한 청구범위는 전술한 설명에 제한받지 않는다.

Claims (7)

1. 기판과, 어떤 보호막이 제공되지 않고 기판에 형성된 기록막을 포함하는 기록매체에 정보를 기록하기 위한 기록장치에 있어서,

   488nm 이하의 파장을 갖는 광선을 방출하는 레이저와;

   기록매체를 회전구동하기 위한 구동회로와;

   기록매체의 회전 중에 기록매체에서 떠있도록 배열된 슬라이더와;

   상기 슬라이더와 일체로 형성된 반구형 렌즈와;

   슬라이더가 기록매체에서 떠있는 동안에 반구형 렌즈와 슬라이더를 거쳐 기록매체의 기록막에 레이저로부터 방출된 광선을 조사(照射)하기 위한 광학시스템을 포함하는 기록장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 슬라이더 및 반구형 렌즈는 광선이 전송되는 영역에서 접착제를 사용하지 않고 서로 부착되어 있는 기록장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 슬라이더 및 반구형 렌즈는 유리로 형성되고, 또 1.8 이상의 굴절률을 가지는 기록장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 구동회로는 기록매체의 회전속도를 제어하여서 기록매체를 일정한 선속도로 회전시키는 기록장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 기록매체는 제1 영역과 제2 영역을 포함하여서 기록동작을 시작할 때에 슬라이더가 기록매체의 제1 영역에서 부상하고, 기록동작을 끝낼 때에 기록매체의 제1 영역에 착륙하며, 제2 영역에 정보가 기록되는 기록장치.
6. 기판과, 어떤 보호막이 제공되지 않고 기판에 형성된 기록막을 포함하는 기록매체에 정보를 기록하기 위한 방법에 있어서,

   기록매체를 회전시키는 단계와;

   기록매체의 회전 중에 기록매체에서 슬라이더를 부상시키는 단계와;

   상기 슬라이더가 기록매체에서 떠있는 중에 반구형 렌즈와 슬라이더를 통하여 기록매체의 기록막에 레이저로부터 방출된 광선을 조사하는 단계를 포함하고,

   상기 반구형 렌즈는 슬라이더와 일체로 형성되고, 상기 광선은 488nm 이하의 파장을 가지는 기록방법.
7. 제 6 항에 의한 방법에 의해 기록된 정보를 갖는 기록매체를 원판으로 사용함으로써 기록매체의 기록막에 기록된 정보를 다른 기록매체에 전사(transcribe)하는 단계를 포함하는 기록매체 제조 방법.