KR19980033319A

KR19980033319A - 광학 박피 및 팩키지

Info

Publication number: KR19980033319A
Application number: KR1019970056359A
Authority: KR
Inventors: 왕칭-보어
Original assignee: 영 티사이 웬; 마이크로리토그래피인코포레이티드
Priority date: 1996-10-30
Filing date: 1997-10-30
Publication date: 1998-07-25
Also published as: CA2219562A1; JPH10133360A; SG53117A1; EP0840169A1; US5820950A; TW370505B; KR19980068650A

Abstract

본원은 광학 박피(薄皮) 및 팩키지에 관한 것이다. 광학 박피는 박피 막과 커버 사이드, 막 사이드, 및 외부 모서리가 있는 박피 프레임을 구비한다. 장착된 박피 막은 박피 프레임의 막측의 일부분을 커버한다. 박피 프레임의 막 사이드에는 박피 막 너머로 연장된 둘레 지대가 있다. 본 발명의 일 실시예에서, 둘레 지대는 박피 프레임의 막 사이드의 둘레에서 경감부(relieved portion)를 구비한다. 다른 실시예는 상술된 광학 박피와 팩키지의 어느 한개를 구비한다. 팩키지는 제 1 피스와 제 2 피스를 구비한다. 제 1 피스는 광학 박피를 지지하는 구조체를 구비한다. 상기 구조체는 박피 막이 팩키지의 제 1 피스와의 접촉으로 부터 자유롭도록 지지하는 구조이다. 팩키지의 제 2 피스는 제 1 피스와 대응되는 구조로서 팩키지 내의 광학 박피를 둘러싼다. 팩키지 내에 둘러싸이면, 박피 막이 팩키지의 제 1 및 제 2 피스와의 접촉으로 부터 자유롭게 된다. 팩키지 박피를 조립하는 방법을 제공하는 것이다.

Description

광학 박피 및 팩키지

본 발명은 광학 박피에 관한 것이며, 특정하게는 광학 박피 팩키징 시스템에 관한 것이다.

반도체 칩 산업에서 포토마스크로 부터 기판으로 전달되는 패턴은 광원에 마스크를 노출시켜 이루어 진다. 패턴 전달 프로세스, 또는 일명 포토리토그래피 프로세스 중에, 포토마스크에 패턴은 포토 민감성 물질로 처리되어진 기판위로 돌출되어 진다. 이러한 사실은 기판상에 마스크 에칭이 재현되게 한다. 불행히도, 마스크 표면상에 임의적인 외부 물질도 기판에 재현될것이고, 따라서 기판으로의 적절한 패턴 전달이 방해를 받게될 것이다.

마스크면의 오염물을 제거하기 위해서는, 박피(pellicle)로 알려진 프레임된 얇은 막을 마스크 면에 장착시켜 박피 막이 그로부터 이격진 예정된 거리로 마스크와 평행하게 연장시킨다. 마스크 면에 일반적으로 랜드되는 오염물은 박피 막에 떨어지게 된다.

박피 막에 오염물이 기판에 돌출되지 않기 때문에 박피가 상기 오염물을 대체로 소거하였다. 박피의 프레임은 박피 막위에 미립자 또는 다른 오염물이 패턴 전달중에 모여들지 않도록 마스크 면으로 부터 이격진 거리에서 막을 지지한다.

박피의 사용은 생성회로의 질을 향상시키어 회로구조 생산성을 상당히 향상시킨다. 결과적으로, 고 질의 박피가 포토리토그래피 프로세스의 성공에 중요하게 작용하기 때문에 박피 제조기술의 중요성이 커짐은 당연한 사실이다.

박피 제조 프로세스동안에, 박피 막에 증착되는 상당히 큰 또는 작은 오염물 입자의 어느하나로의 가능성도 최소화 시키는 것이 중요하다. 이들이 모여들지 않더라도, 포토리토그래피 동안에 기판에 재현될 수 있기 때문에 상당히 큰 입자를 수용할 수는 없다. 동일하게 수용불가한 것은 박피 막 또는 박피 프레임의 하부측에 증착되는 (큰 또는 작은)입자이다. 상기 입자는 박피를 사용하여 피해지게되는 정밀함이 있는 포토리토그래피 동안에 마스크 면에 드롭될 수 있다.

또한, 박피 막은 그 표면을 횡단하는 지나친 투명성과 균일성이 중요한 것이다. 이러하기 때문에, 박피 막은 일반적으로 지나치게 얇고 따라서 실로 파손성이 있게된다. 현존의 패키징 시스템은 주로 박피 자체가 박피 팩키지와 접촉시키는 방식으로 광학 박피를 유지시킨다. 이러한 접촉은 찢겨지는 방식으로 박피 막을 손상시키어 그 사용이 불가하다. 또한, 입자 또는 다른 잔해가 패키지와 접촉하는 박피 막의 둘레 모서리를 벗겨내는 방식으로 유형성이 거의 없는 패션으로 박피 막이 손상을 받을수도 있다.

밍 하우 잉(Ming Haw Ying)의 미국 특허 제4,697,701호는 상기 기술된 종래의 일 패키징 시스템을 개시하고 있다. 상기 특허의 도 3 에는 팩키지의 정상부가 광학 박피 막의 둘레부와 직접 접촉하는 것이 나타나 있다. 상기 시스템의 다른 예로는 안네 케이. 엠. 밀러(Anne K. M. Miller)의 미국 특허 제4,511,038호에 개시된 것이 있다. 상기 특허의 도 3 과 도 8 은 팩키지의 바닥부가 박피 막의 둘레부와 직접 접촉하는 것을 나타내고 있다.

본 발명의 목적은 종래 기술의 결함과 제한이 피해진 개량된 박피 팩키징 시스템을 제공하는 것이다. 특히, 본 발명은 박피의 팩키징, 전달, 및 언패키징 동안에 박피 막에 손상이 가는것을 방지하도록, 박피 막 자체가 패키징 시스템의 부분과 접촉되지 않는 패키징 시스템으로 개량하는 것을 목적으로 하는 것이다. 본 발명의 목적은 저렴한 제조가와, 상당한 클린, 그리고 숙련, 교육 또는 훈련량을 최소로 갖는 용도에 사용될 수 있는 박피 팩키징 시스템을 개량시킨 것이다.

발명의요약

본 발명의 일면은 막 사이드로 부터 커버 사이드 쪽으로 하방향으로 연장되는 외부 모서리와, 정상부 막 사이드와, 바닥 커버 사이드를 가진 박피 프레임과 박피 막을 구비하는 광학 박피를 포함하는 것이다. 박피 막은 박피 프레임의 막 사이드에 장착되어 그 일부분을 커버한다. 박피 프레임의 막 사이드는 박피 막 너머로 커버 사이드 쪽으로 하방향으로 연장되는 둘레 지대를 구비한다.

본 발명의 일 실시예에서, 둘레 지대는 박피 프레임의 막 사이드의 둘레에 경감부를 구비한다. 본 발명을 변경하면, 경감부는 둥근홈(chamfer)을 구비한다. 다른 변경으로, 경감부는 원호형이다. 다른 변경으로, 경감부는 제 1 한정 각도에 외부 모서리 쪽으로 연장된 제 1 지대와 그리고 제 2 한정 각도로 제 1 지대로 부터 외부 모서리로 연장되는 제 2 지대를 구비한다. 다른 실시예에서는 박피 프레임이 다수개의 코너 지대를 갖는 다각형 구조를 갖는 상술된 일 광학 박피를 구비하고, 둘레 지대는 박피 프레임의 코너 지대를 구비한다.

본 발명의 다른 면은 그 위에 배치된 막을 가지도록 설계된 평면 막 사이드와, 커버를 수용하도록 설계된 커버 사이드를 갖는 광학 박피 프레임을 포함하고, 막 사이드는 막 평면을 따라 배치된다. 본원에 사용되는 막 평면 용어는 막 사이드의 면과 부합하는 가상 평면으로 참고되는 것이다. 외부 모서리는 커버 사이드와 막 사이드 사이에서 연장된다. 프레임은 부가적으로 막 평면을 벗어나는 막 사이드로 부터 연장된 둘레 지대를 구비한다.

본 발명의 다른 면은 광학 박피와 팩키지를 구비한 팩키지 광학 박피인 것이다. 박피는 프레임에 장착된 막을 구비한다. 프레임은 커버 사이드와 막 사이드 사이에서 연장되는 외부 모서리와 막 사이드와 커버 사이드를 구비한다. 막 사이드는 부가로 외부 모서리 쪽으로 연장되는 둘레 지대를 구비한다. 박피 막은 둘레 지대와는 다른 막 사이드에 장착되어 대체로 전체를 커버한다. 본원에 기재된 대체로 전체 표현은, 막이 짧은 둘레 모서리까지 이어지는 막 트리밍 동작을 고려하고 공차를 만들기위해 둘레 모서리로 부터 약간 막이 삽입되는 박피를 포함하는 표현이다.

본 발명의 다른 면은 광학 박피 팩키징 방법을 포함하는 것이다. 상기 방법은:(1)팩키지는, 광학 박피를 지지하는 구조체를 가진 제 1 피스와, 제 1 피스와 대응하는 구조로된 제 2 피스를 구비하고, 광학 박피는, 박피 프레임의 막 사이드와 커버 사이드 사이에서 연장되는 외부 모서리와 커버 사이드와 막 사이드를 가진 박피 프레임과, 박피 프레임의 막 사이드에 장착되어 대체로 일부를 커버하는 박피 막과, 박피 프레임의 커버 사이드에 장착되고 함께 연장되는 보호성 커버를 구비하는, 팩키지와 광학 박피를 제공하는 단계와; (2)팩키지의 제 1 피스에 광학 박피를 지지하는 구조체에 인접하여 광학 박피를 위치설정시키는 단계와; (3)박피 막이 팩키지의 제 1 피스와의 접촉으로부터 자유롭도록 광학 박피를 지지하는 구조체에 광학 박피를 배치시키는 단계와; (4)박피 막이 팩키지의 제 1 및 제 2 피스와의 접촉으로 부터 자유롭도록 팩키지의 제 2 피스에 팩키지의 제 1 피스를 결합시켜 광학 박피를 둘러싸는 단계를 포함하는 것이다.

도 1 은 광학 박피와 팩키지의 일 단부를 따라 취해진 단면을 가진, 팩키지와 직접 접촉하는 박피 막을 구비하는 종래기술의 광학 박피와 팩키지의 사시도.

도 2 는 절취된 보호성 커버의 일부분 만을 가진 본 발명에 따라 구조된 광학 박피의 사시도.

도 3 은 도 2 의 3-3선을 따라 절취된 도 2 의 박피를 확대하여 단면으로 도시한 측 입면도.

도 4 는 도 2 의 4-4선을 따라 절취된 도 2 의 박피를 확대하여 단면으로 도시한 측 입면도.

도 5 및 도 6 은 도 2 와 도 4 에 도시된 광학 박피의 다른 실시예를 확대하여 단면으로 도시한 측 입면도.

도 7 은 본 발명에 따라 구조된 팩키지 광학 박피의 사시도.

도 8 은 도 7 의 분해된 팩키지 광학 박피의 사시도.

도 9 는 도 7 의 9-9선을 따라 절취된 도 7 의 팩키지 광학 박피를 확대하여 단면으로 도시한 측 입면도.

도 10 은 도 7 의 10-10선을 따라 절취된 도 7 의 팩키지 광학 박피를 확대하여 단면으로 도시한 입면도.

도 11 은 제거된 팩키지의 제 2 피스를 가진 도 7 의 팩키지 광학 박피의 변경된 실시예의 상부 평면도.

도 12 은 팩키지가 제 1 피스, 제 2 피스, 및 제 1 피스와 제 2 피스를 활주식으로 결합된 네개 클립을 포함하며, 본 발명에 따라 구조된 팩키지 광학 박피의 다른 실시예의 사시도.

도 13 은 제거된 클립을 가진 도 12 의 분해된 팩키지 광학 박피의 사시도.

도 14 는 도 12 의 14-14선을 따라 절취된 제거된 클립을 가진 도 12 의 팩키지 광학 박피를 확대하여 단면으로 도시한 측 입면도.

도 15 는 도 12 의 15-15선을 따라 절취된 제거된 클립을 가진 도 12 의 팩키지 광학 박피를 확대하여 단면으로 도시한 측 입면도.

도 16 은 도 12 에 도시된 일 클립의 전방 사시도.

도 17 은 도 12 에 도시된 일 클립의 후방 사시도.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

10, 110 : 광학 박피 12, 130, 230 : 팩키지

14, 112 : 박피 막 16, 114 : 박피 프레임

20 : 베이스 116 : 접착제

117 : 보호성 커버 119 : 탭

120 : 막 사이드 122 : 외부 모서리

124 : 둘레 지대 125 : 코너 지대

126 : 경감부 130 : 팩키지

140 : 어깨 지대 242, 250 : 립

236 : 클립 244 : 돌출부

248 : 리세스 260 : 치부

도 1 은 종래의 광학 박피(10)와 팩키지(12)를 도시한 도면이다. 상술된 포토리토그래피를 적용하여 먼지 덮개로서 사용되는 박피(10)는 박피 막(14)과 박피 프레임(16)을 구비한다. 박피 막(14)과 프레임(16)은 접착층(18)에 함께 장착된다. 부가로 박피(10)는 박피 막(14)으로 박피 프레임(16)의 대향측에 장착된 보호성 커버(15)를 구비한다. 먼지 또는 다른 미립자가 포토마스크 면에 떨어지는것이 방지되도록 포토마스크(도시 않음)에 직접 배치되도록 박피(10)가 설계된다. 대신에, 먼지 또는 다른 미립자가 박피 막(14)에 떨어져 포토 마스크 면으로 부터 이격진 거리에서 상기 미립자는 유지된다. 따라서, 상기 미립자는 포토리토그래피 동작으로 집중되지 않고 따라서 포토마스크(도시 않음) 밑에 예정된 거리에 위치된 실리콘 웨이퍼(도시 않음)에서 정상적으로 재현되지 않는다.

도 1 은 또한 팩키징, 저장 및 전달동안에 광학 박피(10)를 보호하는데 사용되는 종래의 팩키지를 나타낸 도면이다. 팩키지(12)는 베이스(20)와 리드(lid)(도시 않음)를 구비한다. 베이스(20)는 광학 박피(10)를 수용하는 구조이고, 리드는 베이스(20)를 이동가능하게 수용하는 구조이어서, 광학 박피(10)를 둘러싸 박피 믹(14)이 손상 또는 오염되는 것을 방지한다. 도 1 에서 도면번호 21 로 나타낸 바와같이, 박피 막(14)은 팩키지(12)의 베이스(20)와 직접 접촉된다. 베이스(20)가 오직 그 둘레에 대하여 박피 막(14)과 접촉할 뿐이지만, 임의적인 환경에서는 이러한 접촉이 미립자를 발생시키는데 충분할 수 가 있어서 박피(10)의 실행성을 손상시키게 된다.

본 발명은 상기 미립자가 발생되어 박피를 오염시킬 가능성을 현저하게 감소시킨 광학 박피 및 팩키지를 다루는 것이다.

도 2 내지 도 4 는 본 발명에 따라 구조된 광학 박피(110)를 도시한 도면이다. 박피(110)는 박피 막(112)과 박피 프레임(114)을 구비한다. 도 1 내지 도 15 에 도시된 박피 막(112)의 두께는 설명을 목적으로 확대 도시된 것이다. 박피 프레임(114)은 커버 사이드(118)와 막 사이드(120)을 구비한다. 박피 막(112)은 박피 프레임(114)의 막 사이드(120)에 장착되고, 그 일부분을 커버한다. 도 2 내지 도 4 에 도시된 박피 막(112)은 박피 프레임(114)의 막 사이드(120)와 대체로 함께 연장된다. 박피 프레임(114)에 박피 막(112)을 장착시키는데에는 접착제(116)가 사용된다. 박피 프레임(114)은 프레임의 커버 사이드(118)와 막 사이드(120)사이에서 연장되는 외부 모서리(122)를 부가로 구비한다.

박피 막(112)은 셀루노즈 아세테이트와 같은 니트로셀루노즈 또는 다른 셀루노즈-기본 중합체로 조성된다. 이러한 물질은 일반적으로 적절한 솔벤트에서 먼저 용해되고 다음에 일부 종류의 둘레 프레임에 의해 그 모서리에서 지지를 받는 기판상에 잡아 늘여진다. 둘레 프레임은 조성 프로세스 동안에 사용되는 것이고 도 2 내지 도 11 에 도시된 박피 프레임(114)과는 다른 것이고 그리고 박피 막(112)이 그 위에서 고체로 된다.

접착제(116)는 보완적이면서 박피 막(112)을 저하시키지 않게 선택 설계된다. 또한, 포토리토그래피에서의 활용과 같은 광에 그리고 박피 필름 검사에서의 활용과 같은 전자기 방사선에 교란 및 노출 및 연장 시간에 걸친 접착성과 공간과 위치 집적성이 유지되도록 선택된다. 또한, 접착성(116)은 적용시에 뒤이어 이어지는 파편 또는 이동이 없는 완전한 위치 집적성이 유지되도록 선택된다. 양호하게, 접착제(116)는 노르랜드 프로덕츠 인코포레이티드(Norland Products, Inc.)에서 시판되는 노르랜드 광학 접착제 65번(Norland Optical Adhesive No. 65)과 같은 UV-컬 접착제로 선택된다. 다르게는 노르랜드 81 또는 61 접착제, 또는 다른 유사한 접착제 또는 종래 에폭시를 활용할 수 있다.

박피 프레임(114)은 그 구조를 사각형으로 나타내였지만, 그 구조는 이들이 사용되는 포토리토그래피 장치에 따라 다양한 구조의 박피 프레임인 것이다. 상기 구조의 다른 예를들면 다각형 구조, 라운드 또는 포물선 구조 및 라운드진 단부를 가진 직사각형 구조가 있다. 박피 프레임은 다른 물질로 변경시켜 구조되더라도 일반적으로는 양극처리된 알루미늄으로 조성된다.

도 2 에 도시된 광학 박피는 부가로 박피 프레임(114)의 커버 사이드(118)에 제거가능하게 장착된 보호성 커버(117)를 구비한다. 보호성 커버(117)는 5 또는 7.5mil 폴리에스테르로 조성되고, 미네소타 마이닝 앤드 매뉴팩쳐링 캄파니제로 시판되는 3M 966과 같은 아크릴성 접착제(도시 않음)로 박피 프레임(114)에 장착된다. 도시된 바로서, 보호성 커버(117)는 박피 프레임(114) 너머로 연장되는 탭(119)를 구비한다. 포토마스크에 광학 박피(110)를 장착시키기에 앞서 박피 프레임(114)으로 부터 보호성 커버(117)를 제거하도록 유저에 의해 용이하게 파지되는 면을 제공하는데 탭(119)이 사용된다. 상기 커버는 박피 막이 먼지 또는 다른 미립자에 의해 오염되는 가능성을 더욱 감소시키는 양호한 것일 지라도본 발명은 보호성 커버를 구비하지 않는 광학 박피를 실시할 수 있는 것이다.

박피 막(112) 너머로의 연장은, 박피 프레임(114)의 막 사이드(120)가 도 2 에 도시된 바와같이 둘레 지대(124)를 구비한다. 막 사이드(120)의 둘레 지대(124)는 외부 모서리(122)와 박피 막(112) 사이에서 연장하는 것으로 다르게 생각할 수 있는 것이다. 도 2 에 도시된 박피 프레임(114)은 다수개 코너 지대(125)를 가진 일반적인 다각형 구조 특정하게는 사각형 구조를 가진다. 둘레 지대(124)는 박피 프레임(114)에 코너 지대(125)를 구비한다. 코너 지대(125)를 구비하지 않는 라운드진 또는 다른 구조로된 박피 프레임(114)은 박피 프레임(114)의 막 사이드(120)상에서 외부 모서리(122)와 박피 막(112) 사이에서 연장되는 또는 박피 막(112) 너머로 연장되는 둘레 지대(124)를 아직은 구비한다. 상기 구조는 본 발명의 범위 내에 있는 것이다. 부가적으로, 둘레 지대(124)는 박피 막(112)을 구비하지 않고 임의적 부분도 없는 것이다. 또한, 둘레 지대(124)는 박피 프레임(114)의 전체 막 사이드(120) 둘레에 지속적으로 연장되지 않을 필요가 있다. 도시된 바와같이, 둘레 지대(124)는 박피 프레임(114)의 네개 코너 지대(125)에서만 연장된다. 도 4 에 양호하게 도시된 바로서, 박피 막(112)은 어느정도 짧은 둘레지대에서 정지되어 둘레 지대(124) 내로 겹쳐지는 가능성을 방지하고 제조 공차가 고려된다. 이러한 실시예에서의 박피 막은 둘레 지대와는 다른 막 사이드 모두를 커버하는 것이 고려된다. 또한, 이러한 사실은 도 5, 도 6, 도 9 및 도 14 에 나타난 실시예에서 진실이게 된다.

둘레 지대(124)는 부가적으로 박피 프레임(114)의 막 사이드(120)의 둘레에 경감부(126)를 구비한다. 도 2 와 도 4 에서, 경감부(126)는 둥근홈을 갖는다. 다른 실시예의 경감부(126)는 도 6 에서 126b로 도시된 경감부와 도 5 에서 126a로 도시된 원호형 경감부를 구비하고, 제 2 한정 각에 외부 모서리(122)로 제 1 지대(127)로 부터 연장되는 제 2 지대(129)와, 제 1 한정 각에 외부 모서리(122)쪽으로 연장되는 제 1 지대(127)를 구비한다. 제 1 및 제 2 지대(127, 129)는 대략 15。 와 75。 사이에 각으로 연장된다. 양호하게 이들은 대략 30。 와 60。 사이게 각으로 연장된다. 제 1 및 제 2 한정 각은 서로 동일하거나 또는 다를 수 있다. 그런데 중요하게는 제 1 지대(127)가 충분한 길이의 것이고 제 2 지대(129)가 팩키지(130)와 직접 접촉하는 박피 막(112)이 없는 팩키지(130)의 어깨 지대(140)로 결합될 수 있기에 충분한 각으로 연장된다.

본원의 경감부는 박피 프레임(114)의 외부 모서리(122)와 박피 프레임(114)의 막 사이드(120) 사이에 각으로 연장하는 모든 경사진, 둥근 또는 다른 직선 및/또는 원호형 지대 또는 면을 포함하는 의미로 표현된 것이다. 경감부(126)는 원래 돌출된 또는 다르게 형성된 박피 프레임(114)과 일체적인 파트인 것이다. 다르게, 경감부(126)는 종래 박피 프레임의 코너 지대(125)의 일 부분을 절단, 세이빙(shaving) 또는 다른 제거 동작으로 생성될 수 있는 것이다. 경감부(126)를 생성하는 다른 방법도 가능하다.

도 7 내지 도 10 은 본 발명에 따라 구조된 팩키지 광학 박피를 나타낸 것이다. 팩키지 광학 박피는 상술된 광학 박피(110)와 팩키지(130)의 하나를 구비한다. 팩키지(130)는 제 1 피스(132)와 제 2 피스(134)를 구비한다. 제 1 피스(132)는 광학 박피를 지지하는 구조체를 구비한다. 구조체는 박피 막(112)이 팩키지(130)의 제 1 피스(132)와의 접촉으로 자유롭도록 광학 박피(110)를 지지하는 구조이다. 팩키지(130)의 제 2 피스(134)는 제 1 피스(132)와 대응되는 구조로 도 7 과 도 8 에 도시된 바와같이 팩키지(130) 내에서 광학 박피(110)를 둘러싼다. 팩키지(130) 내에 둘러싸이면, 박피 막(112)는 팩키지(130)의 제 1 및 제 2 피스(132, 134)와의 접촉으로부터 자유롭다.

도 8 내지 도 10 에 도시된 바와같이, 제 1 피스(132)는 바닥부(138)를 가진 리세스(136)를 한정한다. 리세스(136)는 광학 박피(110)를 수용하는 구조이다. 한 쌍의 핑거 침강부(137)와 침강부분(133)은 제 1 피스(132) 내에 부가로 한정된다. 상기 쌍의 핑거 침강부(137)는 유저의 엄지 및 검지 또는 중지를 사용하여 제 1 부분(132)에 리세스(136)를 벗어나는 광학 박피를 유저가 당길수 있게 한다. 침강부분(133)은 광학 박피의 보호성 커버(117)에 탭(119)을 수용하는 구조이다. 광학 박피를 지지하는 구조체는 도 9 에 도시된 바와같이 리세스(136)를 가진 광학 박피(110)을 지지하는 박피 프레임(114)의 둘레 지대(124)의 적어도 일 부분과 결합하도록 리세스(136) 쪽의 내방향으로 연장되는 어깨 지대(140)를 구비한다.

제 2 피스(134)는 팩키지(130)의 제 1 피스(132)를 수용하는 구조로서 팩키지(130) 내의 광학 박피(110)를 둘러싼다. 다르게는, 제 1 피스(132)가 팩키지(130)의 제 2 피스(134)를 수용한다. 이러한 구조 또는 다른 구조가 박피 막(112)과의 직접적인 접촉없이 광학 박피(110)를 둘러싸 보호하는 대응하는 방식으로 제 1 및 제 2 피스(132, 134)가 있는한 본 발명의 범위 내에 있는 것이다. 도시된 바로서, 제 1 피스(132)는 또한 제 2 피스(134)와의 결합을 위한 제 1 쌍의 멈춤쇠(139)를 구비한다. 제 2 피스(134)는 제 1 및 제 2 피스(132, 134)가 서로 결합되게 안으로 전해지면 제 1 쌍의 멈춤쇠(139)에 놓여지는 구조로 된 제 2 쌍의 멈춤쇠(141)를 구비한다. 제 1 및 제 2 쌍의 멈춤쇠(137, 139)는 다른 구조가 임의적으로 가능하다고 할 수 있는 슬래트형 침강 형상으로 나타나 있다. 팩키지(130)의 제 1 및 제 2 피스(132, 134)에 위치된 접착 테이프(도시 않음)가 보완적인 결합수단으로 제공되어진다.

제 2 피스(134)는 부가로 침강 결합면(135)을 구비한다. 결합면(135)은 박피 프레임의 구조에 대응하는 구조이다. 광학 박피(110)가 팩키지(130) 내에 함유되면, 결합면(135)은 팩키지(130)의 제 1 피스(132)의 어깨 지대(140)에 대하여 광학 박피(110)를 바이어스 시킨다. 일반적으로 제 2 피스(134)는 이물질 보유를 목적으로 내 표면의 적어도 일 부분을 따라 접착 코팅(도시 않음)을 갖고 있다.

도 8 및 도 9 에 도시된 바와같이, 어깨 지대(140)는 광학 박피(110)와 결합하고 지지하도록 리세스(136) 내로 연장되는 다수 면(142)을 구비한다. 본 발명은 박피 프레임(114)의 막 사이드(120)의 둘레 지대(124)의 적어도 일 부분과 결합되는 구조로된 어깨 지대(140)의 다른 구조를 사용하여 실시될 수 있는 것이다. 양호하게, 어깨 지대(140)는 둘레 지대(124)의 경감부(126)의 적어도 일부분과 결합한다. 보다 양호하게는 어깨 지대(140)만이 둘레 지대(124)의 경감부(126)와 결합한다.

도 8 및 도 10 에 도시된 바와같이, 어깨 지대(140)는 경감부(126)의 각과 대응하는 각으로 리세스(136) 내로 연장된다. 이러한 구조에서, 어깨 지대(140)는 둘레 지대(124)의 경감부(126)와 대체로 평행하게 있다. 이러한 양호한 구조는 어깨 지대(140)와 경감부(126)와의 사이에 접촉면을 생성한다. 이러한 사실은 팩키지(130)와 광학 박피(110)와의 접촉으로 생성되는 미립자를 없게 한다. 그리고 어깨 지대(140)와 경감부(126)사이에 다른 결합 구조도 본 발명의 범위내에 있는 것이다. 몇몇 적용에서는, 경감부(126)와 어깨지대(140)와의 사이에 선 또는 점 접촉과 같은 다른 구조의 결합을 가지는 것이 필요한 경우도 있을 것이다. 본 발명은 부가적으로 상술된 광학 박피(110)와 종래 팩키지를 사용하여 실시될 수 있는 것이다.

코너 지대(125)를 구비하는 둘레 지대(124)를 가진 박피 프레임(114)이 사용시에는 어깨 지대(140)만이 박피 프레임(114)에 코너 지대(125)와 양호하게 결합된다. 상기 결과를 달성하기 위한 일 구조는 도 11 에 도시된 바와같이 리세스(136)가 라운드진 구조를 갖는 팩키지를 사용하는 것이다. 이러한 구조에서는 박피 막(112)과 접촉이 불가하게 있는 반면에 어깨 지대(140)만이 둘레 지대(124)에 직접 접촉이 가능하고, 양호하게는 코너 지대(125)만이 박피 프레임(114)의 막 사이드(120)에 직접 접촉이 가능하다. 코너 지대(125)가 경감부(126)를 구비하면, 어깨 지대(140)만이 코너 지대(125)의 경감부(126)와 양호하게 결합한다. 이러한 구조는, 만일 광학 박피(110)가 전달 또는 다른 이동을 하는 동안에 팩키지(130) 내에서 들어올려지면 박피 막(112) 및/또는 외부 모서리(122) 및 팩키지(130)의 제 1 피스(132)와의 사이에 동시적인 접촉으로 발생되는 미립자의 발생 가능성이 배제하였기 때문에 잇점이 있는 것이다.

양호하게, 어깨 지대(140)는 박피 막(112)이 팩키지(130)의 제 1 피스(132)에 리세스의 바닥부분(138)과 관련 공간이도록 리세스(136) 내에 박피 프레임(114)을 지지한다. 관련 공간 이란, 박피 막(112)이 리세스(136)의 바닥부(138)와 대면하지만 바닥 부분(138)와 또는 제 1 피스(132)의 다른 파트와 직접적으로 접촉하지 않음을 의미한다.

도 12 내지 도 15 는 본 발명에 따라 구조된 팩키지 광학 박피의 다른 양호한 실시예를 도시한 것이다. 팩키지 광학 박피는 상술된 광학 박피(110)와 팩키지(230)를 구비하는 것이다. 팩키지(230)는 제 1 피스(232)와 제 2 피스(234)를 구비한다. 제 1 피스(232)는 박피 막(112)이 팩키지(230)의 제 1 피스(232)와의 접촉이 자유롭도록 광학 박피(110)를 지지하는 구조로된 광학 박피를 지지하는 구조체를 갖는다. 팩키지(230)의 제 2 피스(234)는 제 1 피스(232)와 대응하는 구조로 도 12 및 도 13 에 도시된 바와같이 팩키지(230) 내에 광학박피(110)를 에워싼다. 팩키지(230)내에 둘러싸이면, 박피 막(212)은 팩키지(230)의 제 1 및 제 2 피스(232, 234)와의 접촉으로 부터 자유롭다. 팩키지(230)는 부가로 팩키지(230)의 제 1 및 제 2 피스(232, 234)와 활주식으로 결합하는 다수개의 제거가능한 클립(236)을 구비한다. 클립(236)은 제 1 및 제 2 피스(232, 234)가 분리되는 것을 막아 광학 박피(110)가 노출되어 손상 및 오염가능성이 있다.

도 13 내지 도 15 에 도시된 바와같이, 제 1 피스(232)는 베이스 둘레로 부터 상방향으로 연장되는 입상 립(242)과 베이스(238)를 구비한다. 광학 박피를 지지하는 구조체는 중앙 배치된 플랫폼(240)을 구비한다. 양호하게, 플랫폼(240)은 지지받는 광학 박피(110)에 박피 프레임(114)형상과 대체로 대응한다. 도 12 내지 도 15 에 도시된 박피 프레임(114)과 플랫폼(240)은 대체로 사각 구조를 갖는다. 그런데, 플랫폼(240)은 다른 광학 박피 형상과 대응하는 많은 다른 구조를 가질수 도 있는 것이다.

도 13 내지 도 15 에 도시된 바로서, 광학 박피를 지지하는 구조체는 부가로 플랫폼(240)에 광학 박피(110)를 마찰적으로 보유하는 플랫폼의 둘레에 이격된 다수개의 돌출부(244)를 구비한다. 돌출부(244)는 반구형상 팁(246)을 가진 원추형 구조를 가지고 또한 플랫폼(240)에 광학 박피(110)를 배치하기 위한 위치설정 가이드로서 역활을 한다. 팁(246)의 다른 구조도 가능하다. 일반적으로 라운드진 구조의 팁(246)이 광학 박피(110)를 긁거나 또는 손상을 주는 코너 또는 모서리를 구비하지 않기 때문에 양호하다. 도 13 에 도시된 바로서, 제 1 피스(232)는 두개가 플랫폼(240)의 각 사이드에 있는 여덟개의 돌출부(244)를 구비한다. 돌출부(244)의 다른 이격, 량 또는 높이를 사용하는 것과 같이 다른 형상을 갖는 돌출부(244)를 사용하는 본 발명의 실시가 가능한 것이다. 부가로, 광학 박피를 지지하는 구조체가 돌출부(244)를 구비하는 제 1 피스를 사용하는 본 발명의 실시도 가능한 것이며, 아직은 플랫폼(240)을 구비하지 않은 것이다. 이러한 변경에서는 돌출부(244)가 제 1 피스(232)의 베이스(238)로 부터 연장되고 광학 박피(110)의 형상을 수집적으로 외형져 나타난다.

도 12 내지 도 15 에 도시된 팩키지 광학 박피의 실시예에서는, 광학 박피(110)는 보호성 커버(117)가 플랫폼(240)과 접촉하도록 플랫폼(240)에 위치되어진다. 이러한 방향으로, 박피 막(112)과 둘레 지대(124)가 플랫폼(240)으로 부터 원격져 마주한다. 도 14 는 박피 프레임(113)의 외부 모서리(122)와 실질적으로 접촉하고 있는 돌출부(244)를 도시하였지만, 본 발명은 또한 박피 프레임의 외부 모서리(122) 너머로 연장하는 박피 커버(117)를 실질적으로 사용하는 것이다. 이러한 변경으로 돌출부(244)는 박피 프레임(114) 대신에 보호성 커버(117)의 모서리와 결합된다.

도 12 내지 도 15 에 도시된 바와같이. 제 2 피스(234)는 입상 상부면(247)을 가지고, 제 2 피스(234)의 둘레 주변으로 연장하는 립(250)을 구비하고, 팩키지(230)의 제 1 피스(232)에 립(242)의 형상과 대응한다. 제 2 피스(234)도 리세스(248)를 한정하고, 제 1 피스(232)에서 지지되는 광학 박피(110)의 둘레 지대(124)의 적어도 일부분과 결합되게 리세스(248) 쪽으로 내방향으로 연장되는 어깨 지대(252)를 구비한다. 어깨 지대(252)는 광학 박피(110)의 각각의 코너 지대(125)에 인접한 리세스(248) 쪽으로 연장되고, 박피 막(112)과 접촉하지 않는다. 양호하게, 어깨지대(252)는 둘레 지대의 경감부(126)의 형상과 대응한다. 도시된 바와같이 경감부(126)는 둥근홈을 구비하고, 어깨 지대(252)는 경감부(126)의 적어도 일부분과의 결합으로 경감부(126)와의 접촉면을 제공하는 구조이다. 그리고 어깨 지대(252)는 경감부(126)와 상술된 임의적인 경감 둘레 지대(124)의 형태와 대응하는 구조인 것이다. 일반적으로 제 2 피스(134)는 이물질 리텐션 목적을 위한 내 표면의 적어도 일부분을 따라 접착성 코팅(도시 않음)을 함유하고 있다.

광학 박피(110)가 팩키지(230) 내에 둘러싸이면, 클립(236)은 팩키지(230)가 부적절하게 개방되는 것을 방지하도록 팩키지(230)의 코너 위에 삽입된다. 클립(236)은 일반적인 사다리꼴 구조를 가지고 한 쌍의 각 사이드 벽(258)에 의해 접속된 전방 및 후방 부분(254, 256)을 구비한다. 클립(236)이 팩키지(230)의 코너 위로 삽입되도록 설계되어 팩키지(230)의 코너가 배면부(256)로 연장되어 클립(236)의 전방 부분(254)을 통해 더욱 연장된다. 배면부(256)는 클립(236)의 배면부(256)에 의해 팩키지의 코너의 활주식 결합이 용이하게 하는 한 쌍의 중앙위치 경사부분(254)을 구비한다. 클립(236)이 팩키지(230)에 완전결합되면, 전방 부분(254)에 한 쌍의 대향 치부(260)가 클립(236)이 팩키지(230)로 부터 잘못 이동되는 것을 방지한다. 도 16 에 도시된 바와같이, 치부(260)는, 팩키지(230)에 일단 부착된 클립(236) 제거에 대한 저항성이 있는상태로, 팩키지(230)의 코너로의 클립(236)의 활주식 결합이 용이하게하는 램프형 구조를 가진다. 본 발명은 클립(236) 대신에 다른 형태의 보완적인 결합 디바이스를 실시에 사용할 수 있는 것이다. 예를들면, 접착 테이프가 팩키지(230)의 제 1 피스 및 제 2 피스(232, 234)를 함게 접합시키는데 사용된다. 그런데 클립(236)의 잇점은 이들이 팩키지(230)에 잔류물을 남기지않고 팩키지(230)로 부터 반복적으로 부착 및 제거될 수 있다는 것이다.

상술된 팩키지(130, 230)의 어느 하나의 사용에서, 광학 박피(110)는 팩키지(130, 230)의 제 1 피스(132, 232)에 광학 박피를 지지하는 구조체에 근접하여 먼저 배치되어진다. 다음, 광학 박피(110)가 박피 막(112)이 팩키지(130, 230)의 제 1 피스(132, 232)와의 접촉으로 부터 자유롭도록 광학 박피를 지지하는 구조체에 배치된다. 끝으로, 박피 막(112)이 팩키지(130, 230)의 제 1 피스(132, 232)와 제 2 피스(134, 234)와의 접촉으로 부터 자유롭도록 팩키지(130, 230)의 제 1 피스(132, 232)와 제 2 피스(134, 234)를 결합시켜 광학 박피(110)가 팩키지(130, 230)에 둘러싸인다.

Claims

광학 박피는, 박피 막과; 막 사이드로 부터 커버 사이드로 하방향으로 연장되는 외부 모서리와 상부 막 사이드와 바닥 커버 사이드를 가진 박피 프레임을 포함하며; 박피 막은 박피 프레임의 막 사이드의 일부분에 장착되어 커버되고, 막 사이드는 박피 막 너머로 커버 사이드 쪽으로 하방향으로 연장되는 둘레 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 박피.
제 1 항에 있어서, 둘레 지대는 박피 프레임의 막 사이드의 둘레부에 경감부를 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 박피.
제 2 항에 있어서, 상기 경감부는 둥근홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 박피.
제 2 항에 있어서, 상기 경감부는 원호형인 것을 특징으로 하는 광학 박피.
제 2 항에 있어서, 경감부는 제 1 한정각과는 다른 제 2 한정각으로 제 1 지대로 부터 외부 모서리로 연장하는 제 2 지대와 제 1 한정각으로 외부 모서리 쪽으로 연장하는 제 1 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 박피.
제 2 항에 있어서, 박피 프레임의 커버 사이드에 이동 가능하게 장착된 보호성 커버를 부가로 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 박피.
제 2 항에 있어서, 박피 프레임은 다수개의 코너 지대를 가진 다각형 구조를 가지고, 둘레 지대는 박피 프레임의 코너 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 광학 박피.
광학 박피 프레임은 커버를 수용하는 디자인으로 된 커버 사이드와, 그 위에 배치된 막을 가지도록 디자인된 평면 막 사이드를 구비하고, 막 사이드는 막 평면을 따라 배치되고, 외부 모서리는 막 평면 밖의 막 사이드로 부터 연장하는 둘레 지대를 구비하는 막 사이드와 커버 사이드와의 사이에서 연장하는 것을 특징으로 하는 광학 박피 프레임.
제 8 항에 있어서, 둘레 지대의 적어도 일 부분은 커버 사이드 쪽으로 연장되는 것을 특징으로 하는 광학 박피 프레임.
팩키지 광학 박피는, 박피 막과; 외부 모서리 쪽으로 연장하는 둘레 지대를 가진 막 사이드와, 박피 프레임의 커버와 막 사이드 사이에서 연장하는 외부 모서리와 커버 사이드를 가진 박피 프레임과; 박피 프레임의 커버 사이드에 이동가능하게 장착된 보호성 커버와; 제 1 및 제 2 피스를 가진 팩키지를 포함하며; 박피 막은 둘레 지대와는 다른 막 사이드에 장착되어 대체로 막 사이드 모두를 커버하고; 박피 프레임, 박피 막 및 보호성 커버는 광학 박피를 구비하고; 제 1 피스는 팩키지의 제 1 피스와의 접촉으로 부터 박피 막이 자유롭도록 광학 박피를 지지하는 광학 박피 지지용 구조체를 구비하고, 팩키지의 제 2 피스는 제 1 피스와 대응하는 구조로, 박피 막이 팩키지의 제 1 및 제 2 피스와의 접촉으로부터 자유롭도록 팩키지 내에 광학 박피를 둘러싸는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 10 항에 있어서, 팩키지의 제 1 피스는 광학 박피를 수용하는 구조이고 바닥부분을 가진 리세스를 한정하고, 광학 박피를 지지하는 구조체는 리세스 내에 광학 박피를 지지하는 박피 프레임의 둘레 지대의 적어도 일부분과 결합하도록 리세스 쪽으로 내방향으로 연장되는 어깨 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 11 항에 있어서, 어깨 지대는 박피 막이 리세스의 바닥 부분과 관련 공간에 있도록 둘레 지대의 적어도 일부분과 결합하는 구조인 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 12 항에 있어서, 박피 프레임은 다수개의 코너 지대를 가진 다각형 구조를 가지고, 둘레 지대는 박피 프레임의 코너 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 13 항에 있어서, 리세스는 라운드진 구조를 가지고, 어깨 지대만이 박피 프레임의 코너 지대와 결합하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 14 항에 있어서, 박피 프레임의 코너 지대는 각각 박피 프레임의 막 사이드의 둘레부에 경감부를 각각 구비하고, 어깨 지대만이 코너 지대의 경감부와 결합하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 12 항에 있어서, 둘레 지대는 박피 프레임의 막 사이드의 둘레부에 경감부를 구비하고, 어깨 지대는 둘레 지대의 경감부의 적어도 일부분과 결합하는 구조인 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 16 항에 있어서, 어깨 지대만이 둘레 지대의 경감부와 결합하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 17 항에 있어서, 어깨 지대는 둘레 지대의 경감부에 평행하게 있는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 17 항에 있어서, 경감부는 둥근홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 19 항에 있어서, 경감부는 제 2 한정각으로 제 1 지대로부터 외부 모서리로 연장되는 제 2 지대와 제 1 한정각으로 외부 모서리쪽으로 연장되는 제 1 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 17 항에 있어서, 경감부는 원호형인 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 10 항에 있어서, 제 2 피스는 박피 프레임의 둘레 지대의 적어도 일부분에서의 결합을 위해 리세스 내로 연장하는 어깨 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 22 항에 있어서, 광학 박피를 지지하는 구조체는 박피 프레임의 외부 모서리와 결합을 위해 팩키지의 제 1 피스로 부터 연장하는 다수개의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 22 항에 있어서, 광학 박피를 지지하는 구조체는 박피 프레임의 형태와 대응하는 플랫폼을 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
제 24 항에 있어서, 플랫폼은 플랫폼에 광학 박피를 마찰식으로 보유하는 플랫폼의 둘레 주위로 이격진 다수개의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 팩키지 광학 박피.
광학 박피 팩키징 방법에 있어서, 상기 방법은: 팩키지와 광학 박피를 제공하는 단계와; 팩키지의 제 1 피스에 광학 박피를 지지하는 구조체에 인접하여 광학 박피를 위치설정시키는 단계와; 박피 막이 팩키지의 제 1 피스와의 접촉으로 부터 자유롭도록 광학 박피를 지지하는 구조체에 광학 박피를 배치하는 단계 및; 박피 막이 팩키지의 제 1 및 제 2 피스와의 접촉으로 부터 자유롭도록 팩키지의 제 2 피스와의 팩키지의 제 1 피스의 결합으로 광학 박피를 둘러싸는 단계를 포함하며; 상기 팩키지는 광학 박피를 지지하는 구조체를 가진 제 1 피스와, 제 1 피스와 대응하는 구조로된 제 2 피스를 구비하고, 광학 박피는 박피 프레임의 막 사이드와 커버 사이드와의 사이에서 연장하는 외부 모서리와 커버 사이드와 막 사이드를 가진 박피 프레임과, 박피 프레임의 막 사이드에 장착되고 그 전체 보다 적은 부분을 커버하는 박피 막과; 박피 프레임의 커버 사이드에 장착되고 그와 같이 연장되는 보호성 커버를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
제 26 항에 있어서, 제 1 피스는 리세스를 한정하고, 광학 박피를 지지하는 구조체는 리세스로 연장되는 어깨 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
제 27 항에 있어서, 박피 프레임의 막 사이드는 박피 막 너머로 연장하는 둘레 지대를 구비하고, 어깨 지대는 둘레 지대의 적어도 일부분과 결합되는 구조인 것을 특징으로 하는 방법.
제 26 항에 있어서, 박피 프레임의 막 사이드는 박피 막 너머로 연장하는 둘레 지대를 구비하고, 제 2 피스는 리세스를 한정하고 그리고 박피 프레임의 막 사이드에 둘레 지대의 적어도 일부분과 결합하는 리세스 내로 연장된 어깨 지대를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
제 26 항에 있어서, 광학 박피를 지지하는 구조체는 박피 프레임의 외부 모서리와 결합하는 팩키지의 제 1 피스로 부터 연장된 다수개의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
제 29 항에 있어서, 광학 박피를 지지하는 구조체는 박피 프레임의 형상에 대응하는 플랫폼을 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
제 31 항에 있어서, 상기 플랫폼은 플랫폼에 광학 박피를 마찰식으로 보유하는 플랫폼의 둘레 주변으로 이격진 다수개의 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.