JPH10133360A - 光学薄膜及びその包装方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄膜自体が包装システムの何れの部分とも接
触せず、薄膜の包装、輸送及び開梱中における薄膜の損
傷を防止すること。 【解決手段】 光学薄膜１１０は、薄膜メンブラン１１
２と、薄膜フレーム１１４とを備え、薄膜フレームは、
カバー側部１１８と、メンブラン側部１２０と、外縁部
１２２とを備える。薄膜メンブランは、薄膜フレームの
メンブラン側部に取り付けられ且つメンブラン側部の相
当な部分を覆う。薄膜フレームのメンブラン側部は、薄
膜メンブランを超えて伸長する周縁領域１２４を有す
る。周縁領域は、薄膜フレームのメンブラン側部の周縁
に切欠き部分１２６を備える。包装体１３０は、第一の
部片１３２と、第二の部片１３４とを備える。第一の部
片は光学薄膜を支持する構造体を備える。この構造体
は、薄膜メンブランが包装体の第一の部片と接触しない
ように光学薄膜を支持する。包装体の第二の部片は、第
一の部片と係合して、光学薄膜を包装体内に包み込む。
包装体内に包み込んだとき、薄膜メンブランは包装体の
第一及び第二の部片とは接触しない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は光学薄膜、具体的に
は光学薄膜の包装システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体のチップ業界において、フォトマ
スクから基板へのパターンの転写は、そのフォトマスク
を光源に露出させて行われることが周知である。このパ
ターンの転写工程（フォトリソグラフィ法とも呼ばれ
る）を行う間に、フォトマスク上のパターンは感光性物
質で処理された基板上に投影される。この結果、基板上
には、マスクエッチングが複製される。都合の悪いこと
に、マスクの表面の異物も基板に複製され、このため、
基板に適正にパターンを転写する妨げとなることがあ
る。

【０００３】マスク表面の不純物質を除去するため、薄
膜として公知のフレーム付きの薄いメンブランはマスク
表面上に取り付けられ、このため、薄膜メンブランは、
マスクから離間した所定の距離、マスクに対し平行に伸
長する。通常、マスク表面上に存在する全ての不純物質
は、薄膜上に落下する。

【０００４】薄膜メンブラン上にある不純物質は、一般
に基板上に投影されないため、薄膜は、実質的に、上述
の問題点が無い。薄膜上の全てのパーティクル、又はそ
の他の不純物質がパターンの転写中に、焦点外れとなる
ように、マスク表面から離間した距離にて薄膜のフレー
ムが薄膜を支持する。

【０００５】薄膜の使用は値形成される回路の品質を向
上させ、これにより、回路の製造の生産性を著しく向上
させる。従って、フォトリソグラフィ法が成功するため
には、高品質の薄膜であることが極めて重要であるか
ら、薄膜の製造技術は、益々、重要となっていることは
当然のことである。

【０００６】薄膜の製造工程中、比較的大きい又は小さ
い不純パーティクルが薄膜メンブラン上に存在する可能
性を最小にすることが重要である。比較的大きいパーテ
ィクルは、フォトリソグラフィ法を行う間に（焦点外れ
であっても）、基板に複製されるため、許容し得ない。
また、薄膜メンブラン、又は薄膜フレームの下側にパー
ティクル（大小を問わず）があることも同様に許容し得
ない。かかるパーティクルは、フォトリソグラフィ法を
行う間に、マスク表面に落下するが、このことこそ薄膜
を使用する防止すべきものである。

【０００７】また、薄膜メンブランは、その表面の全体
に亙って極めて透明で且つ均一であることも極めて重要
なことである。このため、薄膜メンブランは通常極めて
薄く、従って、損傷し易い。既存の包装システムは、薄
膜メンブラン自体が薄膜包装体と接触するような方法に
て光学薄膜を保持することが多い。この接触は、薄膜が
裂けて、使用し得なくなる程度に薄膜を損傷させる可能
性がある。また、より目に見えない状態ではあるが、包
装体に接触するパーティクルの薄膜の周縁部を微粒子、
又はその他の塵埃が擦るような状態で薄膜が損傷する可
能性がある。その結果、その薄膜は最終ユーザによって
不合格とされる。

【０００８】上述のような一つの従来の包装システム
は、ミング・ハウ・イングの米国特許第４，６９７，７
０１号に開示されている。この特許の図３において、そ
の包装体の頂部は光薄膜の周縁部分に直接、配置するこ
とが分かる。別のシステムは、アン・Ｋ．Ｍ．ミラーへ
の米国特許第４，５１１，０３８号に開示されている。
この第二の特許の図３及び図８には、包装体の底部分が
薄膜メンブランの周縁部分と直接、接触していることが
示してある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】このため、本発明の一
つの目的は、従来技術の提案による欠点及びその問題点
を防止する薄膜実システムを開発することである。より
具体的には、本発明は、薄膜自体が包装システムの何れ
の部分とも接触せず、薄膜の包装、輸送、及び開梱中に
おける薄膜の損傷を防止する、包装システムを開発する
ことを目的とする。

【００１０】又、低廉に製造でき、極めて清浄であり、
技能、教育及び熟練程度が低い者でも使用することがで
きる薄膜の包装システムを開発することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の一つの実施の形
態は、薄膜メンブランと、薄膜フレームとを備える光学
薄膜であり、該薄膜フレームが、底部のカバー側部と、
メンブランの頂側部と、メンブランの側部からカバー側
部まで下方に伸長する外縁部とを有する光学薄膜に関す
るものである。この薄膜メンブランは、薄膜フレームの
メンブラン側部の相当部分に取り付けられ且つ該部分を
覆う。この薄膜フレームのメンブラン側部は、薄膜メン
ブランを超えてカバー側部の方向に略下方に伸長する周
縁領域を有する。

【００１２】本発明の一つの実施の形態において、該周
縁領域は、薄膜フレームのメンブラン側部の周縁に切欠
き部分を有する。本発明の一つの変形例において、この
切欠き部分は、面取り加工部分を有する。もう一つの変
形例において、この切欠き部分は、円弧状である。本発
明の更に別の変形例において、該切欠き部分は、第一の
所定の角度で外縁部に向けて伸長する第一の領域と、第
二の所定の角度で第一の領域から外縁部まで伸長する第
二の領域とを備えている。もう一つの実施の形態は、上
述の光学薄膜の一つを備え、この場合、薄膜フレーム
は、複数のコーナ領域を有する略多角形の形態をしてお
り、その周縁領域は、薄膜フレームのコーナ領域を有し
ている。

【００１３】本発明のもう一つの形態は、カバーを受け
得るような設計としたカバー側部と、その上にメンブラ
ンが配置された設計とした平坦なメンブラン側部とを有
する光学薄膜フレームを備え、該メンブラン側部は、メ
ンブラン面に沿って配置されている。本明細書で使用す
る「メンブラン面」という用語は、メンブラン側部の表
面と一致する仮想面を意味する。外縁部は、カバー側部
とメンブラン側部との間を伸長する。このフレームは、
メンブランの略面外にて、メンブラン側部から伸長する
周縁領域を更に備えている。

【００１４】本発明の更に別の形態は、光学薄膜と包装
体とを含む、包装した光学薄膜である。この薄膜は、フ
レームに取り付けられたメンブランを備えている。この
フレームは、カバー側部と、メンブラン側部と、カバー
側部とメンブラン側部との間を伸長する外縁部とを備え
ている。このメンブラン側部は、外縁部に向けて伸長す
る周縁領域を更に備えている。この薄膜メンブランは、
メンブラン側部上に取り付けられ且つ周縁領域以外のメ
ンブラン側部の略全体を覆う。本明細書で使用する
「略」という語は、製造許容公差のため、メンブランが
周縁部から僅かに差し込まれる薄膜を包含するため、ま
た、メンブランが外縁部の手前で終端となるようにする
メンブランの縁処理工程を考慮して使用するものであ
る。

【００１５】本発明の更に別の形態は、光学薄膜を包装
する方法に関するものである。この方法は、（１）光学
薄膜を支持する構造体を有する第一の部片と、該第一の
部片と係合し得る形態とした第二の部片とを備える包装
体を提供し、また、メンブラン側部と、カバー側部と、
該カバー側部と薄膜フレームのメンブラン側部との間を
伸長する外縁部と、薄膜フレームのメンブラン側部に取
り付けられ且つその相当な部分を覆う薄膜メンブラン
と、薄膜フレームのカバー側部の上に取り付けられ且つ
該カバー側部と略同程度に伸びる保護カバーとを備える
光学薄膜を提供するステップと、（２）包装体の第一の
部片上に光学薄膜を支持する構造体の基端方向に光学薄
膜を配置するステップと、（３）薄膜メンブランが包装
体の第一の部片と接触しないように、光学薄膜を支持す
る構造体の上に光学薄膜を配置するステップと、（４）
薄膜メンブランが包装体の第一及び第二の部片と接触し
ないように包装体の第一の部片を包装体の第二の部片と
係合させることにより、光学薄膜を包み込むステップと
を備えている。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明のその他の各種の特徴、目
的、及び有利な点は、本明細書を読むに伴い、より明ら
かになるであろう。

【００１７】先ず、図面を参照すると、図１には、従来
の光学薄膜１０及び包装体１２が図示されている。上述
したように、フォトリソグラフィ法でダストカバーとし
て使用される薄膜１０は、薄膜メンブラン１４と、薄膜
フレーム１６とを備えている。これらの薄膜メンブラン
１４及び薄膜フレーム１６は、接着剤層１８で共に取り
付けられている。該薄膜１０は、薄膜メンブラン１４の
反対側にて薄膜フレームの側部に取り付けられた保護カ
バー１５を更に備えている。塵埃及びその他の微粒子が
フォトマスクの表面に落下するのを防止し得るように、
フォトマスク（図示せず）の上に薄膜１０を直接、配置
し得るような設計にされている。その代わり、塵埃及び
その他の微粒子が薄膜メンブラン１４に落下し、これに
より、かかる微粒子がフォトマスクの表面から隔てた位
置に保たれるようにする。このように、かかる微粒子
は、フォトリソグラフィ工程中に焦点外となり、このた
め、フォトマスク（図示せず）の下方の所定の距離の位
置に配置されたシリコンがウェーハ（図示せず）に複製
されない。

【００１８】また、図１には、包装、貯蔵、及び輸送中
に光学薄膜１０を保護するために使用される従来の包装
体１２が図示されている。該包装体１２は、基部２０
と、蓋（図示せず）とを備えている。該基部２０は、光
学薄膜１０を受け入れる設計とされ、該蓋は該基部２０
を取り外し可能に受け入れて、光学薄膜１０を包み込
み、損傷又は汚染しないように薄膜メンブラン１４を保
護し得るような形態とされている。図１に符号２１で示
すように、薄膜メンブラン１４は、包装体１２の基部２
０と直接、接触している。基部２０は、その外周の周り
で薄膜メンブラン１４にのみ接触する一方、ある状況下
にて、この接触は、微粒子を発生させ、これにより、薄
膜１０の有効性を損なうのに十分である。

【００１９】本発明は、かかる微粒子が発生して、薄膜
を汚染させる可能性を著しく少なくする光学薄膜及び包
装体に関するものである。

【００２０】本発明に従って形成された光学薄膜は、図
２乃至図４に図示され、全体として参照符号１１０で示
されている。該薄膜１１０は、薄膜メンブラン１１２
と、薄膜フレーム１１４とを備えている。図１乃至図１
５に図示するように、図面の目的上、薄膜メンブラン１
１２の厚さは誇張して示してある。該薄膜フレーム１１
４は、カバー側部１１８と、メンブラン側部１２０とを
備えている。該薄膜メンブラン１１２は、薄膜フレーム
１１４のメンブラン側部１２０に取り付けられて、その
相当部分を覆う。図２乃至図４に図示するように、薄膜
メンブラン１１２は、薄膜フレーム１１４のメンブラン
側部１２０と略同程度に伸びている。薄膜メンブラン１
１２を薄膜フレーム１１４に取り付けるために接着剤１
１６が使用される。該薄膜フレーム１１４は、薄膜フレ
ームのカバー側部１１８とメンブラン側部１２０との間
を伸長する外縁部１２２を更に備えている。

【００２１】薄膜メンブラン１１２は、通常、ニトロセ
ルロース、又はセルロース系アセテートのようなその他
のセルロース系重合体で製造されている。この材料は、
典型的に、最初に適当な溶剤中に溶解させて、ある種の
周縁フレームによりその縁部にて支持される間に基板に
紡糸される。この周縁フレームは、製造工程中に使用さ
れるものであり、図２乃至図１１に図示した薄膜フレー
ム１１４（薄膜フレーム１１２がその上に配置された状
態で販売され且つ使用されるもの）とは異なる。

【００２２】薄膜フレーム１１２に適合し、該薄膜フレ
ーム１１２に対して劣化しない接着剤１１６が選択され
且つ設計される。また、撹拌及び電磁放射線（薄膜フィ
ルムの検査に利用されるような放射線）及び光（フォト
リソグラフィ法に利用されるような光）に長期間に亙っ
て露出されたとき、その空間的及び位置の完全性を保
ち、また、その接着性能を保持し得る接着剤を選択す
る。また、適用後に分解したり、又は移行しないような
完全な位置的完全性を保ち得る接着剤１１６を選択す
る。この接着剤１１６は、ノーランド・プロダクツ・イ
ンコーポレーテッドから販売されているノーランド・オ
プチカル接着剤（Ｎｏ．６５接着剤のような紫外線硬化
性接着剤）を選択することが好ましい。これと代替的
に、ノーランド８１又は６１型接着剤、その他の同様の
接着剤、又は従来のエポキシ系のものを利用してもよ
い。

【００２３】薄膜フレーム１１４は矩形の形態として図
示されているが、使用されるフォトリソグラフィ装置に
対応して、この薄膜フレームは各種の異なる形態とする
ことが可能である。その他の形態の例としては、多角形
の形態、円形又は楕円形の形態、及び丸みを付けた端部
を有する長円形の形態がある。薄膜フレームは、各種の
その他の材料で形成することが可能であるが、典型的に
は、陽極処理したアルミニウムで製造される。

【００２４】図２に示した光学薄膜は、保護カバー１１
７（薄膜フレーム１１４のカバー側部１１８に取り外し
可能に取り付けられている）を更に備えている。該保護
カバー１１７は、通常、５又は７．５ミル・ポリエステ
ルの何れかで製造されており、典型的に、ミネソタ・マ
イニング・アンド・マニファクチャリング・カンパニー
が販売する３Ｍ９６６のようなアクリル系接着剤（図示
せず）により薄膜フレーム１１４に取り付けられてい
る。図示するように、該保護カバー１１７は、薄膜フレ
ーム１１４を超えて伸長するタブ１１９を備えている。
光学薄膜１１０をフォトマスクに取り付ける前に、保護
カバー１１７を薄膜フレーム１１４から除去し得るよう
にユーザが容易に把持可能な面を提供するためにこのタ
ブ１１９が使用される。本発明は塵埃又はその他の微粒
子で薄膜メンブランが汚染される可能性を更に少なくす
るために、この保護カバーを使用することが好ましいこ
とが多いが、その保護カバーを備えない光学薄膜と共に
本発明を実施することも可能であることを理解すべきで
ある。

【００２５】薄膜フレーム１１４のメンブラン側部１２
０は、図２に図示するように、薄膜メンブラン１１２を
超えて伸長する周縁領域１２４を備えている。これと代
替的に、このメンブラン側部１２０の周縁領域１２４
は、薄膜メンブラン１１２と外縁部１２２との間を伸長
するもと考えてもよい。図２に図示した薄膜フレーム１
１４は、複数のコーナ領域１２５を有する、略多角形の
形態、具体的には、略矩形の形態を有している。この周
縁領域１２４は、薄膜フレーム１１４の上に設けられた
これらのコーナ領域１２５を有している。コーナ領域１
２５を有さない円形、又は別の形態の薄膜フレーム１１
４は、薄膜フレーム１１４のメンブラン側部１２０の上
にて薄膜メンブラン１１２を超えて伸長し、又は、薄膜
メンブラン１１２と外縁部１２２との間を伸長する周縁
領域１２４を含むことが可能であることを理解すべきで
ある。かかる形態は本発明の範囲に包含することを意図
するものである。周縁領域１２４は、薄膜メンブラン１
１２、又はその何れの部分をもを含まないことを更に理
解すべきである。更に、この周縁領域１２４は、薄膜フ
レーム１１４のメンブラン側部１２０の全体に亙って連
続的には伸長しない。図示するように、該周縁領域１２
４は、薄膜フレーム１１４の４つのコーナ領域１２５で
のみ伸長する。図４に最も良く図示するように、薄膜メ
ンブラン１１２は、周縁領域の多少、手前の位置にて停
止し、周縁領域１２４内に重なり合う可能性を防止し且
つ製造許容公差を許容することができる。この図示した
実施の形態において、該薄膜メンブランは、周縁領域以
外の略全てのメンブラン側部を覆うものと考えることが
できる。このことは、図５、図６、図９及び図１４に示
した実施の形態にも当て嵌まる。

【００２６】周縁領域１２４は、薄膜フレーム１１４の
メンブラン側部１２０の周縁に切欠き部分１２６を更に
備えている。図２及び図４において、この切欠き部分１
２６は面取り加工部分を含む。この切欠き部分１２６の
その他の実施の形態としては、図５に符号１２６ａで示
す円弧状の切欠き部分と、図６に符号１２６ｂで示す切
欠き部分とを備えている。この切欠き部分１２６ａは、
周縁部１２２に向けて第一の所定の角度で伸長する第一
の領域１２７と、該第一の領域１２７から外縁部１２２
まで第二の所定の角度にて伸長する第二の領域１２９と
を含む。これらの第一の領域１２７及び第二の領域１２
９は１５°乃至７５°の範囲の角度で伸長している。こ
れらの領域は、３０°乃至６０°の範囲の角度で伸長す
ることが好ましい。これらの第一及び第二の所定の角度
は、互いに等しくし、又は異なるものとすることが可能
である。しかしながら、重要なことは、第一の領域１２
７は、包装体１３０の肩部領域１４０が第二の領域１２
９に接触する（薄膜メンブラン１１２が包装体１３０に
直接、接触せずに）のに十分な長さであり且つ十分な角
度であることである。

【００２７】「切欠き部分」という語は、薄膜フレーム
１１４のメンブラン側部１２０と薄膜フレーム１１４の
外縁部１２２との間である角度で伸長する全ての斜角
面、面取り加工部分、又は、その他の直線状及び／又は
円弧状領域、又は面を意味するものとする。この切欠き
部分１２６は、最初に押出し成形し、又はその他の方法
で形成されるときに、薄膜フレーム１１４の一体部分と
することができる。これと代替的に、この切欠き部分１
２６は、従来の薄膜フレームのコーナ領域１２５の一部
を切り取り、削り、又はその他の方法で除去することに
より形成してもよい。この切欠き部分１２６を形成する
その他の方法も可能である。

【００２８】図７乃至図１０には、本発明に従って構成
された包装した光学薄膜が図示されている。この包装し
た光学薄膜は、上述した光学薄膜１１０の一方及び包装
体１３０を備えている。この包装体１３０は、第一の部
片１３２と、第二の部片１３４とを備えている。該第一
の部片１３２は、光学薄膜を支持する構造体を備えてい
る。この構造体は、薄膜メンブラン１１２が包装体１３
０の第一の部片１３２と接触しないように、光学薄膜１
１０を支持し得る形態とされている。この包装体１３０
の第二部片１３４は、第一の部片１３２と係合し、これ
により、図７及び図８に示すように、包装体１３０内に
光学薄膜１１０を包み込む形態とされている。薄膜メン
ブラン１１２は、包装体１３０内に包み込まれたなら
ば、包装体１３０の第一の部片１３２及び第二の部片１
３４と接触しない。

【００２９】図８乃至図１０に図示するように、この第
一の部片１３２は、底部分１３８を有する凹部１３６を
画成する。この凹部１３６は、光学薄膜１１０を受け入
れ得る形態とされている。一対の指穴１３７及びへこみ
部分１３３が第一の部片１３２に更に画成されている。
この対の指穴１３７は、ユーザが自己の親指、人指し指
又は中指を使用して、光学薄膜１１０を第一の部分１３
２の凹部１３６から引き出すことを可能にする。このへ
こみ部分１３３はタブ１１９を光学薄膜の保護カバー１
１７の上に受け得る形態とされている。この光学薄膜を
支持する構造体は、肩部領域１４０を備えている。この
肩部領域１４０は、凹部１３６内に内方に伸長して、薄
膜フレーム１１４の周縁領域１２４の少なくとも一部に
係合して、図９に図示するように、光学薄膜１１０を凹
部１３６内に支持する。

【００３０】第二の部片１３４は包装体１３０の第一の
部片１３２を受け入れて、これにより、光学薄膜１１０
を包装体１３０内に包み込む形態とされている。これと
代替的に、この第一の部片１３２は、包装体１３０の第
二の部片１３４を受け入れるようにしてもよい。第一の
部片１３２及び第二の部片１３４が何らかの方法にて、
薄膜メンブラン１１２に直接、接触せずに、光学薄膜１
１０を包み込み且つその光学薄膜を保護する限り、その
何れの形態、又は、その一方の形態も本発明の範囲に属
するものである。図示するように、この第一の部片１３
２は、第二の部片１３４に係合するための第一の対の止
め部分１３９を備えている。この第二の部片１３４は、
これらの第一部片１３２及び第二の部片１３４が互いに
係合したとき、上記の第一の対の止め部分１３９に嵌ま
り得る形態とされた第二の対の止め部分１３９を備えて
いる。これらの対の指穴１３７及び対の止め部分１３９
は、その他の形態も採用可能であるが、スラット状ヘこ
み部分の形態にて図示されている。包装体１３０の第一
の部片１３２及び第二の部片１３４の上には、通常、接
着テープ（図示せず）の形態とした補助的な係合手段を
設けることが望ましい。

【００３１】この第二の部片１３４はへこんだ係合面１
３５を更に備えている。この係合面１３５は、全体とし
て、薄膜フレームの形態と適合している。光学薄膜１１
０が包装体１３０内に収容されたならば、係合面１３５
は光学薄膜１１０を包装体１３０の第一の部片１３２の
肩領域１４０に対して偏倚させる。第二の部片１３４
は、典型的に、塵埃を保持する目的のため、その内面の
少なくとも一部に沿って接着剤のコーティング（図示せ
ず）を含んでいる。

【００３２】図８及び図９に図示するように、この肩部
領域１４０は、光学薄膜１１０に係合し且つ該光学薄膜
を支持し得るように凹部１３６内に伸長する複数の面１
４２を備えている。本発明は、薄膜フレーム１１４のメ
ンブラン側部１２０の周縁領域１２４の少なくとも一部
に係合し得る形態とされた肩部領域１４０のその他の形
態を使用して実施することも可能であることを理解すべ
きである。肩部領域１４０は周縁領域１２４の切欠き部
分１２６の少なくとも一部に係合することが好ましい。
この肩部領域１４０は、周縁領域１２４の切欠き部分１
２６にのみ係合するようにすることがより好ましい。

【００３３】図８及び図１０に図示するように、この肩
部領域１４０は切欠き部分１２６の角度に対応する角度
にて凹部１３６内に伸長する。この形態において、該肩
部領域１４０は、周縁領域１２４の切欠き領域１２６に
対し略平行である。この好適な実施の形態は、肩部領域
１４０と切欠き部分１２６との接触面を形成する。この
平滑な接触領域は、包装体１３０と光学薄膜１１０との
接触により、微粒子が形成される可能性をより小さくす
る点で有利である。しかしながら、切欠き部分１２６と
肩部領域１４０との係合のその他の形態も本発明の範囲
に属するものであることを理解すべきである。一部の適
用例の場合、この切欠き部分１２６と肩部領域１４０と
の線接触、又は点接触のような異なる係合形態とするこ
とが望ましいことがある。本発明は、従来の包装体及び
上述した光学薄膜１１０の一つを使用して、実施するこ
とが可能であることを更に理解すべきである。

【００３４】コーナ領域１２５を含む周縁領域１２４を
有する薄膜フレーム１１４が使用される時、肩部領域１
４０は、薄膜フレーム１１４上のコーナ領域１２５にし
か係合しないことが好ましい。かかる結果を得るための
一つの形態は、凹部１３６が図１１に図示するような略
円形の形態を有する包装体１３０を使用することであ
る。この形態において、肩部領域１４０は、周縁領域１
２４に直接、接触し得るのみであり、また好ましくは、
薄膜メンブラン１１２には、接触し得ない一方で、薄膜
フレーム１１４のメンブラン側部１２０のコーナ領域１
２５にのみ接触するようにする。コーナ領域１２５が切
欠き部１２６を有するとき、肩部領域１４０は、コーナ
領域１２５の切欠き部分１２６にのみ係合することが好
ましい。輸送、又はその他の移動中、光学薄膜１１０が
包装体１３０内で移動するとき、包装体１３０の第一の
部片１３２と外縁部１２２及び／又は薄膜メンブラン１
１２とが誤って接触することにより薄膜が分離する可能
性を解消する点でこの形態は、好ましい。

【００３５】薄膜メンブラン１１２が包装体１３０の第
一の部片１３２の凹部の底部分１３８と離間した関係に
あるように、肩部領域１４０が薄膜フレーム１１４を凹
部１３６内に支持する。このため、この「離間した関
係」という語は、薄膜メンブラン１１２が凹部１３６の
底部分１３８の方を向いているが、底部分１３８、又は
第一の部片１３２のその他の何れの部分とも直接、接触
しないことを意味するものとする。

【００３６】図１２乃至図１５には、本発明に従って形
成された包装した光学薄膜の別の実施の形態（現在の好
適な実施の形態）が図示されている。この包装した光学
薄膜は、上述した光学薄膜１１０の一方と、包装体２３
０とを備えている。この包装体２３０は、第一の部片２
３２と、第二の部片２３４とを備えている。この第一の
部片２３２は、薄膜メンブラン１１２が包装体２３０の
第一の部片２３２と接触しないように光学薄膜１１０を
支持し得る形態とされた、光学薄膜を支持する構造体を
備えている。包装体２３０の第二の部片２３４は、第一
の部片２３２と係合し得る形態とされ、このため、図１
２及び図１３に図示するように、光学薄膜１１０を包装
体２３０内に包み込む。包装体２３０内に包み込まれた
とき、薄膜メンブラン２１２は、包装体２３０の第一の
部片２３２と、第二の部片２３４と接触しない。この包
装体２３０は、包装体２３０の第一の部片２３２、及び
第二の部片２３４に摺動可能に係合する、複数の取り外
し可能なクリップ２３６を更に備えている。これらのク
リップ２３６は第一の部片２３２及び第二の部片２３４
が分離して、これにより、光学薄膜１１０が損傷したり
汚染する可能性を防止する。

【００３７】図１３乃至図１５に図示するように、この
第一の部片２３２は、基部２３８と、基部の円周から上
方に伸長する立ち上がり張り出し部２４２とを備えてい
る。この光学薄膜を支持する構造体は、中央に配置され
たプラットフォーム２４０を備えている。このプラット
フォーム２４０は、支持すべき光学薄膜１１０の薄膜フ
レーム１１４の形状に略対応することが好ましい。図１
２乃至図１５に図示したこの薄膜フレーム１１４及びプ
ラットフォーム２４０は、略矩形の形態をしている。し
かしながら、このプラットフォーム２４０は、その他の
光学薄膜の形状と対応するその他の多数の形態とするこ
とができる。

【００３８】図１３乃至図１５に図示するように、光学
薄膜を支持する構造体は光学薄膜１１０をプラットフォ
ーム２４０の上に摩擦状に保持するため、プラットフォ
ームの周縁の周りで離間された複数の突起２４４を更に
備えている。これらの突起２４４は、半球状の張り出し
部２４６を有する略円錐形の形態をしており、光学薄膜
１１０をプラットフォーム２４０上に配置する位置決め
ガイドとしても機能する。張り出し部２４６のその他の
形態も可能である。しかしながら、先端２４６を略円形
の形態としたものが好ましく、それは、この形態は光学
薄膜１１０にスクラッチ傷、又は損傷を与えるコーナ部
分、又は縁部がないからである。図１３に図示するよう
に、第一の物片２３２はプラットフォーム２４０の各側
部に２つずつ設けられた８つの突起２４４を有してい
る。本発明は、突起２４４の異なる形状、その他の間
隔、数、又は高さを使用して、実施することが可能であ
ることを理解すべきである。本発明は、第一の部片を使
用して実施し、光学薄膜を支持する構造体が突起２４４
を有するが、プラットフォーム２４０を有しない形態と
することも可能であることを更に理解すべきである。こ
の改変例において、突起２４４は、第一の部片２３２の
基部２３８から伸長し、全体として、光学薄膜１１０の
形状の外形となる。

【００３９】図１２乃至図１５に図示した包装した光学
薄膜の実施の形態において、光学薄膜１１０は、保護カ
バー１１７がプラットフォーム２４０に接触するよう
に、プラットフォーム２４０の上に配置されることを理
解すべきである。この方向を向いているとき、薄膜メン
ブラン１１２及び周縁領域１２４は、プラットフォーム
２４０から離れる方向を向いている。図１４には、薄膜
フレーム１１３の外縁部１２２と実際に接触した突起２
４４が図示されているが、本発明は、薄膜フレーム１１
４の外縁部１２２を超えて伸長する薄膜カバー１１７を
使用して実施することも可能であることを理解すべきで
ある。この改変例において、突起２４４は、薄膜フレー
ム１１４ではなくて、保護カバー１１７の縁部に係合す
る。

【００４０】図１２乃至図１５に図示するように、この
第二の部片２３４は、立ち上がった上面２４７と、張り
出し部２５０とを備えている。この張り出し部２５０
は、第二の部片２３４の円周の周りを伸長し、包装体２
３０の第一の部片２３２の張り出し部２４２の形状に対
応する。この第二の部片２３４は、凹部２４８を画成し
且つ肩部領域２５２を備えている。この肩領域２５２
は、凹部２４８内に内方に伸長し、第一の部片２３２に
支持された光学薄膜１１０の周縁領域１２４の少なくと
も一部分に係合する。肩部領域２５２は、光学薄膜１１
０の各コーナ領域１２５に隣接する位置にて凹部２４８
内に伸長して、薄膜メンブラン１１２に接触していな
い。肩部領域２５２は、周縁領域の切欠き部分１２６の
形状に対応することが好ましい。図示するように、この
切欠き部分１２６は、面取り加工部分を有し、肩部領域
２５２は、切欠き部分１２６の少なくとも一部に係合す
ることにより、切欠き部分１２６との接触面を提供し得
る形態とされている。しかしながら、この肩部領域２５
２は、上述の切り欠いた周縁領域１２４及び切欠き部分
１２６の何れかの形状に対応する形態とすることができ
ることを理解すべきである。この第二の部片１３４は、
典型的に、塵埃を保持する目的のため、その内面の少な
くとも一部に沿って接着剤コーティング（図示せず）を
含んでいる。

【００４１】光学薄膜１１０を包装体２３０内に包み込
んだならば、包装体２３０が誤って開くのを防止するた
め、クリップ２３６を包装体２３０のコーナ部分の上に
挿入することが可能である。これらのクリップ２３６
は、略台形の形状をしており、前方部分２５４と、後方
部分２５６とを含んでいる。これらの部分は、一対の角
度付きの側壁２５８により接続されている。これらのク
リップ２３６は、包装体２３０のコーナ部の上方に亙っ
て挿入し、包装体２３０のコーナ部が後方部分２５６内
に伸長し且つクリップ２３６の前方部分２５４を貫通し
て更に伸長している。この後方部分２５６は、中央に配
置された一対の傾斜領域２６２を備えている。この傾斜
領域２６２は、クリップ２３６の後方部分２５６が包装
体のコーナ部分に摺動可能にな係合することを容易にす
る。クリップ２３６が包装体２３０に完全に係合する
と、前方部分２５４の一対の対向した歯２６０がクリッ
プ２３６が包装体２３０から誤って外れるのを防止す
る。図１６に図示するように、この歯２６０は、略傾斜
路状の形態を有している。この形態は、クリップ２３６
が包装体２３０のコーナ部分に係合するのを容易にする
一方で、包装体２３０に取り付けたならば、クリップ２
３６が外れるのを防止する。本発明は、クリップ２３６
ではなくて、その他の補助的な係合装置の形態を使用し
て、実施することが可能であることを理解すべきであ
る。包装体２３０の第一の部片２３２及び第二の部片２
３４を共に接合するために、例えば、接着剤テープを使
用してもよい。しかしながら、このクリップ２３６を使
用することの有利な点は、包装体２３０を磨損させた
り、その包装体に残留物を残すことなく、繰り返し包装
体２３０に取り付け且つ取り外すことができる点であ
る。

【００４２】上述した包装体１３０、２３０の何れかを
使用するためには、光学薄膜１１０は最初に包装体１３
０、２３０の第一の部片１３２、２３２の上に光学薄膜
１１０を支持する構造体の基端方向に位置決めしなけれ
ばならない。次に、薄膜メンブラン１１２が包装体１３
０、２３０の第一の部片１３２、２３２と接触しないよ
うに、光学薄膜１１０を光学薄膜を支持する構造体の上
に配置する。最後に、包装体１３０、２３０の第一の部
片１３２、２３２及び第二部片１３４、２３４を係合さ
せることにより、光学薄膜１１０を包装体１３０、２３
０内に包み込む。このため、薄膜メンブラン１１２は、
包装体１３０、２３０の第一の部片１３２、２３２及び
第二の部片１３４、２３４と接触しない。

【００４３】好適な実施の形態に対する上記及びその他
の改変例は、この開示の本発明の精神及び範囲、並び
に、特許請求の範囲に包含されるものであることを理解
すべきである。

【図面の簡単な説明】

【図１】光学薄膜（包装体と直接、接触した薄膜メンブ
ランを備える）及び包装体の一端に沿った断面に関す
る、従来技術の光学薄膜及び包装体の断面斜視図であ
る。

【図２】保護カバーの一部分のみを切り欠いた、本発明
に従って形成された光学薄膜の斜視図である。

【図３】図２の線３−３に沿った、図２の薄膜の拡大断
面側面図である。

【図４】図２の線４−４に沿った、図２の薄膜の拡大断
面側面図である。

【図５】図２に示した光学薄膜の代替的な実施の形態の
拡大断面側面図である。

【図６】図４に示した光学薄膜の代替的な実施の形態の
拡大断面側面図である。

【図７】本発明に従って形成された包装後の光学薄膜の
斜視図である。

【図８】図７の包装した光学薄膜の分解斜視図である。

【図９】図７の線９−９に沿った、図７の包装後の光学
薄膜の拡大断面側面図である。

【図１０】図７の線１０−１０９に沿った、図７の包装
後の光学薄膜の拡大断面側面図である。

【図１１】包装体の第二の部片を切り欠いた、図７の包
装した光学薄膜の代替的な実施の形態の平面図である。

【図１２】本発明に従って形成された包装した光学薄膜
の更に別の実施の形態の斜視図である。該包装体は、第
一の部片と、第二の部片と、これらの第一及び第二の部
片を摺動可能に係合させる４つのクリップとを備えてい
る。

【図１３】クリップを除去した、図１２の包装後の光学
薄膜の分解斜視図である。

【図１４】クリップを除去した、図１２の線１４−１４
に沿った図１２の包装後の光学薄膜の拡大断面側面図で
ある。

【図１５】クリップを除去した、図１２の線１５−１５
に沿った図１２の包装後の光学薄膜の拡大断面側面図で
ある。

【図１６】図１２のクリップの一つを示す前方斜視図で
ある。

【図１７】図１２のクリップの一つを示す後方斜視図で
ある。

【符号の説明】

１０ 従来の光学薄膜 １２ 従来の包装体 １４ 薄膜メンブラン １５ 保護カバー １６ 薄膜フレーム １８ 接着剤層 ２０ 包装体の基部 １１０ 本発明の光学薄膜 １１２ 薄膜メンブ
ラン １１４ 薄膜フレーム １１６ 接着剤 １１７ 保護カバー １１８ フレームの
カバー側部 １１９ タブ １２０ フレームの
メンブラン側部 １２２ フレームの外縁部 １２４ フレームの
周縁領域 １２５ 光学薄膜のコーナ領域 １２６、１２６ａ、１２６ｂ 切欠き部分 １２７ 薄膜フレームの第二の領域 １２９ 薄膜フレームの第二の領域 １３０ 包装体 １３２ 包装体の第
一の部片 １３３ 包装体のへこみ部分 １３４ 包装体の第
二の部片 １３５ 第二の部片の係合面 １３６ 第一の部片
の凹部 １３７ 第一の部片の指穴 １３８ 凹部の底部
分 １３９ 第一の部片の止め部分 １４０ 包装体の肩
部領域 １４２ 肩部領域の面

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年４月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

フロントページの続き (71)出願人 596100753 1247−９ Ｅｌｋｏ Ｄｒｉｖｅ， Ｓｕ ｎｎｙｖａｌｅ， Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ 94089−2211， Ｕｎｉｔｅｄ Ｓｔａ ｔｅｓ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａ

Claims (32)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学薄膜にして、 薄膜メンブランと、 底部のカバー側部と、頂部のメンブラン側部と、該メン
   ブラン側部から前記カバー側部まで下方に伸長する外縁
   部とを有する薄膜フレームとを備え、 前記薄膜メンブランが、前記薄膜フレームの前記メンブ
   ラン側部の上に取り付けられ且つ該メンブラン側部の相
   当の部分を覆い、 前記メンブラン側部が、前記薄膜メンブランを超えて前
   記カバー側部に向けて略下方に伸長する周縁領域を備え
   ることを特徴とする光学薄膜。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光学薄膜にして、前記
   周縁領域が、前記薄膜フレームの前記メンブラン側部の
   周縁に切欠き部分を備えることを特徴とする光学薄膜。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の光学薄膜にして、前記
   切欠き部分が面取り加工部分を含むことを特徴とする光
   学薄膜。
4. 【請求項４】 請求項２に記載の光学薄膜にして、前記
   切欠き部分が円弧状であることを特徴とする光学薄膜。
5. 【請求項５】 請求項２に記載の光学薄膜にして、前記
   切欠き部分が、第一の所定の角度にて前記外縁部に向け
   て伸長する第一の領域と、前記第一の所定の角度と異な
   る第二の所定の角度にて前記第一の領域から前記外縁部
   まで伸長する第二の領域とを備えることを特徴とする光
   学薄膜。
6. 【請求項６】 請求項２に記載の光学薄膜にして、前記
   薄膜フレームの前記カバー側部に取り外し可能に取り付
   けられた保護カバーを更に備えることを特徴とする光学
   薄膜。
7. 【請求項７】 請求項２に記載の光学薄膜にして、前記
   薄膜フレームが、複数のコーナ領域を有する略多角形の
   形態を有し、前記周縁領域が前記薄膜フレームの前記コ
   ーナ領域を含むことを特徴とする光学薄膜。
8. 【請求項８】 カバーを受け入れ得る設計としたカバー
   側部と、メンブランがその上に配置された設計とした平
   坦なメンブラン側部とを備える光学薄膜フレームにし
   て、前記メンブラン側部が、メンブラン面に沿って配置
   され、外縁部が前記カバー側部と前記メンブラン側部と
   の間を伸長し、該メンブラン側部が、前記メンブランの
   面から略外方に前記メンブラン側部から伸長する周縁領
   域を含むことを特徴とする光学薄膜フレーム。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の光学薄膜フレームにし
   て、前記周縁領域の少なくとも一部が前記カバー側部に
   向けて略伸長することを特徴とする光学薄膜フレーム。
10. 【請求項１０】 包装した光学薄膜にして、 薄膜メンブランと、 カバー側部と、メンブラン側部と、前記カバーと前記薄
    膜フレームのメンブラン側部との間にて伸長する外縁部
    とを有する薄膜フレームとを備え、 前記メンブランが、前記外縁部に向けて伸長する周縁領
    域を備え、 前記薄膜メンブランが、前記周縁領域以外のメンブラン
    側部に取り付けられ且つ該メンブラン側部の略全てを覆
    い、 前記薄膜フレームの前記カバー側部上に取り外し可能に
    取り付けられた保護カバーを備え、前記薄膜フレーム、
    薄膜メンブラン及び保護カバーが光学薄膜を備え、 第一の部片及び第二の部片を有する包装体を備え、該第
    一の部片が、光学薄膜を支持する構造体を備え、前記薄
    膜メンブランが前記包装体の第一の部片に接触せず、前
    記包装体の前記第二の部片が、前記第一の部片と係合す
    る形態とされ、これにより、前記光学薄膜を前記包装体
    内に包み込み、前記薄膜メンブランが前記包装体の前記
    第一の部片及び第二の部片に接触しないように、前記構
    造体が光学薄膜を支持することを特徴とする包装した光
    学薄膜。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記包装体の前記第一の部片が、底部分を有す
    る凹部を画成し、前記凹部が、光学薄膜を受け入れ得る
    形態とされ、光学薄膜を支持する前記構造体が、前記凹
    部内に内方に伸長して、前記薄膜フレームの周縁領域の
    少なくとも一部に係合して、前記光学薄膜を前記凹部内
    に支持する肩部領域を備えることを特徴とする包装した
    光学薄膜。
12. 【請求項１２】 請求項１１に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記肩部領域が、前記薄膜メンブランが前記凹
    部の底部分と離間した関係となるように、前記周縁領域
    の少なくとも一部分に係合する形態とされることを特徴
    とする包装した光学薄膜。
13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記薄膜フレームが、複数のコーナ領域を有す
    る略多角形の形態を有し、前記周縁領域が、前記薄膜フ
    レームのコーナ領域を含むことを特徴とする包装した光
    学薄膜。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記凹部が略円形の形態を有し、前記肩部領域
    が、前記薄膜フレームの前記コーナ領域にのみ係合する
    ことを特徴とする包装した光学薄膜。
15. 【請求項１５】 請求項１４に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記薄膜フレームの前記コーナ領域の各々が、
    前記薄膜フレームの前記メンブラン側部の周縁に切欠き
    部分を含み、前記肩部領域が、前記コーナ領域の切欠き
    部分にのみ係合することを特徴とする包装した光学薄
    膜。
16. 【請求項１６】 請求項１２に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記周縁領域が、前記薄膜フレームの前記メン
    ブラン側部の周縁に切欠き部分を有し、前記肩部領域
    が、前記周縁領域の前記切欠き部分の少なくとも一部分
    に係合し得る形態とされることを特徴とする包装した光
    学薄膜。
17. 【請求項１７】 請求項１６に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記肩部領域が前記周縁領域の前記切欠き部分
    にのみ係合することを特徴とする包装した光学薄膜。
18. 【請求項１８】 請求項１７に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記肩部領域が、前記周縁領域の前記切欠き部
    分に対して略平行であることを特徴とする包装した光学
    薄膜。
19. 【請求項１９】 請求項１７に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記切欠き部分が面取り加工部分を含むことを
    特徴とする包装した光学薄膜。
20. 【請求項２０】 請求項１９に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記切欠き部分が、第一の所定の角度にて前記
    外縁部に向けて伸長する第一の領域と、第二の所定の角
    度にて前記第一の領域から前記外縁部まで伸長する第二
    の領域とを備えることを特徴とする包装した光学薄膜。
21. 【請求項２１】 請求項１７に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記切欠き部分が円弧状であることを特徴とす
    る包装した光学薄膜。
22. 【請求項２２】 請求項１０に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記第二の部片が、凹部を画成し且つ肩部領域
    を備え、該肩部領域が、薄膜フレームの前記周縁領域の
    少なくとも一部分に係合し得るように前記凹部内に伸長
    することを特徴とする包装した光学薄膜。
23. 【請求項２３】 請求項２２に記載の包装した光学薄膜
    にして、光学薄膜を支持する前記構造体が、前記薄膜フ
    レームの前記外縁部に係合し得るように前記包装体の前
    記第一の部片から伸長する複数の突起を備えることを特
    徴とする包装した光学薄膜。
24. 【請求項２４】 請求項２２に記載の包装した光学薄膜
    にして、光学薄膜を支持する前記構造体が、前記薄膜フ
    レームの形状に略適合するプラットフォームを備えるこ
    とを特徴とする包装した光学薄膜。
25. 【請求項２５】 請求項２４に記載の包装した光学薄膜
    にして、前記プラットフォームが、光学薄膜を該プラッ
    トフォームの上に摩擦状態に保持し得るように該プラッ
    トフォームの周縁の周りに離間された複数の突起を備え
    ることを特徴とする包装した光学薄膜。
26. 【請求項２６】 光学薄膜を包装する方法にして、 光学薄膜を支持する構造体を有する第一の部片と、該第
    一の部片と係合し得る形態とされた第二の部片とを備え
    る包装体を提供し、及びメンブラン側部を有する薄膜フ
    レームと、カバー側部と、該カバー側部と前記薄膜フレ
    ームのメンブラン側部との間を伸長する外縁部と、前記
    薄膜フレームのメンブラン側部に取り付けられ且つ該メ
    ンブラン側部の略全体より少ない部分を覆う薄膜メンブ
    ランと、前記薄膜フレームの前記カバー側部に取り付け
    られ且つ該カバー側部と略同程度に伸びる保護カバーと
    を備える光学薄膜を提供するステップと、 光学薄膜を前記包装体の第一の部片の上に支持する構造
    体の基端方向の位置に前記光学薄膜を位置決めするステ
    ップと、 前記薄膜メンブランが前記包装体の前記第一の部片と接
    触しないように、光学薄膜を支持する前記構造体の上に
    光学薄膜を配置するステップと、 前記薄膜メンブランが前記包装体の前記第一の部片及び
    第二の部片と接触しないように、該包装体の前記第一の
    部片を該包装体の前記第二の部片と係合させることによ
    り、前記光学薄膜を包み込むステップとを備えることを
    特徴とする包装方法。
27. 【請求項２７】 請求項２６に記載の包装方法にして、
    前記第一の部片が凹部を画成し、光学薄膜を支持する前
    記構造体が該凹部内に伸長する肩部領域を備えることを
    特徴とする包装方法。
28. 【請求項２８】 請求項２７に記載の包装方法にして、
    前記薄膜フレームの前記メンブラン側部が、該薄膜メン
    ブランを超えて伸長する周縁領域を備え、前記肩部領域
    が、該周縁領域の少なくとも一部分と係合し得る形態と
    されることを特徴とする包装方法。
29. 【請求項２９】 請求項２６に記載の包装方法にして、
    前記薄膜フレームの前記メンブラン側部が、該薄膜メン
    ブランを超えて伸長する周縁領域を備え、前記第二の部
    片が、凹部を画成し且つ前記薄膜フレームのメンブラン
    側部の上の周縁領域の少なくとも一部分と係合し得るよ
    うに前記凹部内に伸長する肩部領域を備えることを特徴
    とする包装方法。
30. 【請求項３０】 請求項２６に記載の包装方法にして、
    光学薄膜を支持する前記構造体が、前記薄膜フレームの
    外縁部と係合し得るように前記包装体の前記第一の部片
    から伸長する複数の突起を備えることを特徴とする包装
    方法。
31. 【請求項３１】 請求項２９に記載の包装方法にして、
    光学薄膜を支持する前記構造体が、前記薄膜フレームの
    形状に略適合するプラットフォームを備えることを特徴
    とする包装方法。
32. 【請求項３２】 請求項３１に記載の包装方法にして、
    前記プラットフォームが、前記光学薄膜を該プラットフ
    ォームの上に摩擦状態に保持し得るように該プラットフ
    ォームの周縁の周りで離間された複数の突起を備えるこ
    とを特徴とする包装方法。