JPH08114910A - マスク保護装置の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目 的】 ガラス基板上に製膜した有機質の薄膜を引
剥がしたのち、枠の上端面に接着し、ついで枠外側のエ
ッジよりはみ出る薄膜を切断するマスク保護装置の製造
法において、枠外側端のエッジよりはみ出る薄膜の切断
をメスを用いて行う際、刃先が枠外側端のエッジに引掛
かってスムースな動きを阻害されたり、エッジを削り取
って発塵することのないようにする。 【構 成】 刃先が１４ａがテーパ状をなすメス１４の
本体１４ｂを枠外側端のエッジに接触させ、かつ刃先を
枠より浮かせた状態で、枠の形状に沿って移動させ、枠
外側のエッジよりはみ出る薄膜の切断を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集積回路の製造工程に
おけるフォトリソグラフィ工程で使用されるマスク或い
はレチクル（以下「マスク」という）に塵埃等が付着す
るのを防止する目的で用いられるマスク保護装置の製造
法に関する。

【０００２】

【従来技術】フォトリソグラフィ工程では、マスク上に
塵埃等が付着すると、これが半導体ウエハーに投影さ
れ、不良製品となりがちである。この問題を解消し、マ
スク上に塵埃等が付着するのを防止するため、マスクパ
ターンを囲う大きさの枠の一側面に透明な薄膜を張設
し、他側端面をマスク上に粘着テープ等の接着手段によ
り接着してマスクを薄膜により一定の間隔を存して覆う
ようにしたマスク保護装置が供用されるようになった。

【０００３】こうしたマスク保護装置は通常、スピンコ
ート法、溶液中に浸漬させて引上げる引上げ法等によっ
てガラス基板上に製膜したニトロセルロースやエチルセ
ルロース等の有機質の薄膜を、周縁に井桁状に貼付した
接着テープを掴むことにより引剥し、ついで図１に示す
ように、周縁の接着テープ１を支持枠２に支持させた薄
膜３に対し、昇降枠４に載せられる枠５を支持枠２を下
降させることによって薄膜３に押し当て、枠上端面に塗
布した接着剤にて接着したのち、枠５外側のエッジより
はみ出る薄膜を切断することによって得られ、枠５外側
のエッジよりはみ出る薄膜の切断は、従来、注射針状の
針７先端を枠外側のエッジに接触ないし接近させ、枠外
側のエッジ面に沿わせて移動させながら、針より有機質
の薄膜を溶解する有機溶媒を注出することによって行っ
てきた（特開昭６３−１９１６１９号）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述する従来の方法で
は、溶解した切り屑が昇降枠の間より枠内に入り込むこ
とによって発塵を生じる恐れがある。本発明は、そのた
めメスによる薄膜の切断を行おうとするものであるが、
メスを枠外側のエッジに沿わせて移動させようとする場
合、刃先が枠外側のエッジに引掛かって円滑な移動がで
きにくゝ、エッジを削り取ることによって発塵を生ずる
おそれもある。

【０００５】本発明は、上記の問題を解消することがで
きるマスク保護装置の製造法を提供することを目的をす
る。

【０００６】

【課題の解決手段】本発明のマスク保護装置の製造法
は、ガラス基板上に製膜した有機質の薄膜を引剥がした
のち、枠の一側面に接着し、ついで枠外側のエッジより
はみ出る薄膜を切断するマスク保護装置の製造法におい
て、枠外側のエッジよりはみ出る薄膜の切断を刃先がテ
ーパ状ないしＶ形断面をなすメスを用い、該メスの本体
を枠外側のエッジに接触させ、かつ刃先を枠外側のエッ
ジより浮かせた状態で、枠外側のエッジに沿わせて移動
させることにより行うことを特徴とし、上記メスは枠外
側コーナのアールに沿って移動できるように、好ましく
は水平に旋回できるようにされる。

【０００７】

【作用】刃先が枠外側のエッジより若干浮いた状態で移
動することにより、枠外側のエッジに引掛かることな
く、スムースに移動し、エッジを削り取ることもない。
なお膜の切れ端はメスの厚み分、枠外側のエッジより若
干はみ出るようになるが、使用には何ら支障を生じるこ
とはない。

【０００８】

【実施例】図２及び図３は、ｘｙ方向の動きが制御され
る直交ロボット（図示省略）に捩込みよって取付けられ
る切断装置Ａについて示すもので、ロボットへの捩込部
１１と、テーパ状の刃取付面１２ａを備えた回転可能な
取付部１２と、刃取付面１２ａに止ネジ１３にて止着さ
れ、刃取付面１２ａより斜め下向きに伸び出しているメ
ス１４とよりなっている。

【０００９】メス１４は図４に示されるように、本体１
４ｂの一側の刃先１４ａがテーパ状をなすか、或いは図
５に示されるようにＶ形断面をなし、刃取付面１２ａよ
り刃先１４ａが若干浮いた状態で取付けられるようにな
っている。上述の切断装置Ａによる膜の切断は、枠１５
上に薄膜１７を接着剤１６にて接着したのち、切断装置
Ａを枠１５上に降ろし、メス１４を下側面を枠外側のエ
ッジに当て、かつ刃先１４ａを枠外側のエッジより若干
離れた薄膜１７に当てた状態で、切断装置Ａをｘｙ制御
して枠外側のエッジに沿わせ移動させることにより行
う。

【００１０】本方法によれば、メスは枠形状に沿い、枠
外側のエッジに接触して移動し、コーナ部ではアールに
沿い旋回しつゝ移動するが、刃先は枠外側のエッジより
浮いた状態で移動するため、枠外側のエッジに引掛かっ
て円滑な動きを阻害されたり、エッジを削り取って発塵
を生じたりするようなことがない。

【００１１】

【発明の効果】本発明のマスク保護装置の製造法は以上
のように、枠に接着した薄膜の枠外側のエッジよりはみ
出る部分の切断を刃先がテーパ状ないしＶ形断面ををな
すメスを用い、刃先を枠外側のエッジより浮かせた状態
でエッジに沿わせて移動させることにより行うようにし
たもので、刃先をエッジに接触しないようにして移動さ
せるため、刃先が枠外側のエッジに引掛かって円滑な動
きが阻害されたり、エッジを削り取って発塵するような
こともない。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来法について示す断面図

【図２】本発明方法で用いる薄膜切断装置の斜視図

【図３】同装置による薄膜切断時を示す部分断面側面図

【図４】切断時におけるメスの断面図

【図５】メスの別の態様の断面図

【符号の説明】

１１・・・捩込部 １２・・・取付部 １３・・・
止ネジ １４・・・メス １４ａ・・・刃先 １５・・・枠 １６・・・接着剤 １７・・・薄膜 Ａ・・・切断
装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板上に製膜した有機質の薄膜を
   引剥がしたのち、枠の一側面に接着し、ついで枠外側の
   エッジよりはみ出る薄膜を切断するマスク保護装置の製
   造法において、枠外側のエッジよりはみ出る薄膜の切断
   を刃先がテーパ状ないしＶ形断面をなすメスを用い、該
   メスの本体を枠外側のエッジに接触させ、かつ刃先を枠
   外側のエッジより浮かせた状態で、枠外側のエッジに沿
   わせて移動させることにより行うことを特徴とするマス
   ク保護装置の製造法。