JPS6325657B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、IC，LSI等の半導体製造に用いら
れるフオトマスクを塵埃等から保護するためのマ
スク保護用ペリクルを、フオトマスクから剥離す
るマスク保護用ペリクルの剥離方法に関するもの
である。

（従来の技術） 従来、このような分野の技術としては、例えば
第２図のようなものがあつた。

第２図は従来のマスク保護用ペリクルの一構成
例を示す斜視図である。第２図において、１は輪
形のペリクルフレームで、このペリクルフレーム
１は例えば肉厚２mm、幅３〜８mmのAl材によつ
て作られている。ペリクルフレーム１の形状とし
ては、四角形等の他の形状のものもある。そして
ペリクルフレーム１の上面には粘着剤を用いて透
光性のペリクル膜２が張設されている。ペリクル
膜２は、例えば厚さ約0.2〜1.0μmのニトロセルロ
ースで作られている。

このように構成されるペリクルは、そのペリク
ルフレーム１の下面に粘着剤を塗布し、マスク１
０上に貼着して使用する。ここで、マスク１０
は、ガラス等で作られた透明基板１０ａとそれに
形成されたパターン部１０ｂとより構成され、そ
の大きさは通常、10.16cm（４インチ）、12.7cm
（５インチ）、15.24cm（６インチ）である。

ペリクル付きマスク１０を用いてホトエツチン
グを行うには、半導体基板上に塗布したホトレジ
スト面に、該ペリクル付きマスク１０を介して紫
外線を照射し、次いで有機溶剤等で現像レジスト
パターンを得た後、半導体基板上をエツチングす
る。このホトエツチングの際に、ペリクル膜２に
よつてマスク１０への塵埃等の付着が防止できる
ため、マスク１０の洗浄を省略できるか、あるい
はその洗浄回数を減少できる。

ところで、ペリクル膜２が使用中に何らかの要
因によつて膨張したり傷がついて破れた場合、あ
るいは使用上問題となるブロー（ガスの吹付け）
等では除去されない大きな欠陥（例えば、ゴミ等
の付着による欠陥）がペリクル膜２に生じた場合
は、新しいペリクルと交換する必要がある。その
ため、マスク１０から旧いペリクルを剥離し、該
マスク１０を再度洗浄して新しいペリクルを装着
し、再度使用される。

そして、従来行なわれているペリクルの剥離方
法を第３図１，２を用いて説明する。なお、第３
図１，２はペリクル付きマスクの断面図である。
まず、第３図１に示すように、ペリクル膜２をペ
リクルフレーム１より除去し、ペンチ等の工具２
０によつてペリクルフレーム１をはさむ。次い
で、第３図２の矢印方向ａに工具２０を引き上げ
てペリクルフレーム１をマスク１０より剥離す
る。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記のようなペリクルの剥離方
法では、ペリクル模２を破る際に、ペリクル模２
やその破片がマスク１０上に付着したり、あるい
はペンチ等の工具２０を使用するために、ペリク
ルフレーム１より金属粉が発生し、これがマスク
１０上に付着して、再使用のためのマスク１０の
洗浄が困難になるという問題点があつた。また、
ペリクルフレーム１の剥離の際に、工具２０の先
端部がマスクパターン部１０ｂに接触し、パター
ン部１０ｂ及び透明基板１０ａに修正不能な欠陥
を生じさせるという問題点もあつた。

この発明は、従来技術が持つていた問題点とし
て、ペリクル膜２や金属粉のマスク１０への付着
と、工具２０によるマスク１０の欠陥発生の点に
ついて解決したマスク保護用ペリクルの剥離方法
を提供するものである。

（問題点を解決するための手段） この発明は、前記問題点を解決するために、マ
スク保護用ペリクルの剥離方法において、環状の
ペリクルフレームの側面に、対峙する少なくとも
一対の開口部を形成すると共に、その開口部に塵
埃等の侵入防止用フイルタを設ける。そしてこの
ようなペリクルが粘着されたマスクを固定台に固
定し、前記開口部への挿脱可能な係合部を有する
ペリクル剥離用治具を用い、この治具の係合部を
前記開口部に挿入してペリクルフレームをマスク
から引離すようにしたものである。

（作用） この発明によれば、以上のようにペリクルの剥
離方法を構成したので、ペリクルフレームの開口
部は治具の係合部により引掛けられ、該治具によ
り引張力が付勢されたペリクルフレームが、固定
台に固定されたマスクから引離される。このため
ペリクルフレームやマスクに傷をつけることな
く、ペリクル膜が付着したペリクルフレームをマ
スクから剥離できる。したがつて前記問題点を除
去できるのである。

（実施例） 第１図１，２，３はこの発明の実施例を示すペ
リクルの剥離工程図である。なお、第１図におい
て前記第２図および第３図中の要素と同一の要素
には同一の符号が付されている。

そしてこのペリクルの剥離方法が第３図の方法
と異なる点は、環状のペリクルフレーム１の側面
に、対峙する少なくとも一対の開口部３０，３０
を形成すると共に、この開口部３０，３０に塵埃
等の侵入防止のためのフイルタ３１，３１を設
け、該開口部３０，３０にペリクル剥離用治具４
０を引掛けて、固定台５０に固定したマスク１０
からペリクルフレーム１を剥離するようにしたこ
とである。

ここで、開口部３０，３０をふさぐフイルタ３
１は、例えば肉厚1μm以下のメツシユ状のもの
で、かつそのメツシユ孔が塵埃等の侵入を阻止し
うる大きさのものが用いられる。このような通気
性のフイルタを用いると、ペリクルフレーム１を
マスク１０上へ装着する際、あるいは使用時にお
ける温度上昇のために、ペリクルフレーム１内の
空気圧が上昇してペリクル膜２の膨張による剥離
や破裂が防止できる利点がある。

また、ペリクル剥離用の治具４０は、コ字状の
把持部材４１と、この把持部材４１の両端に摺動
自在に取付けられ一端にほぼＬ形の係合部４２
ａ，４３ａをそれぞれ有する摺動部材４２，４３
と、この摺動部材４２，４３の他端を摺動可能に
収納する収納管４４とにより構成される。摺動部
材４２，４３の係合部４２ａ，４３ａは、ペリク
ルフレーム１の開口部３０，３０にそれぞれ挿入
されるものである。

このような治具４０を用いたペリクルの剥離方
法を第１図を参照しつつ説明する。

まず、第１図１，２に示すように、ペリクルが
貼着されたマスク１０を固定台５０に固定した
後、治具４０の係合部４２ａ，４３ａをペリクル
フレーム１の開口部３０，３０に挿入する。係合
部４２ａ，４３ａの挿入方法は、摺動部材４２，
４３を第１図２の矢印方向ｂ，ｃへ開き、係合部
４２ａ，４３ａを開口部３０，３０に当てがつて
該摺動部材４２，４３を矢印方向ｂ，ｃとは逆方
向に閉じる。すると、係合部４２ａ，４３ａがフ
イルタ３１，３１を破り開口部３０，３０内に挿
入される。次いで、第１図３に示すように、治具
４０の把持部材４１を手で持つて図の矢印方向ｄ
に引き上げると、ペリクルがマスク１０より剥離
される。

而して本実施例によれば、予めペリクルフレー
ム１の側面に開口部３０，３０を設けておき、こ
の開口部３０，３０へ治具４０の係合部４２ａ，
４３ａを挿入し、該治具４０に引張力を加えてペ
リクルをマスク１０から剥離するようにしたの
で、治具４０によりペリクル膜２が破れたり、ペ
リクルフレーム１が傷つけられたりしない。その
ためマスク１０へのペリクル膜２や金属粉の付着
が防止できる。また治具４０の係合部４２ａ，４
３ａは、開口部３０，３０へほぼ水平方向に挿入
された後、引上げられるため、マスク１０のパタ
ーン部１０ｂ及び透明基盤１０ａを傷つけること
がなく、簡単にペリクルの剥離を行える。

第４図１，２は、この発明のペリクル剥離方法
に用いられるペリクル剥離用治具の変形例を示す
ものである。

第４図１の治具６０は、コ字状の把持部材６１
と、この把持部材６１の両端に固着された収納管
６２と、収納管６２に螺着された固定用ねじ６
３，６４と、一端にほぼＬ形の係合部６５ａ，６
６ａを有し一端が収納管６２内に摺動自在に挿入
された摺動部材６５，６６とより構成される。そ
してこの治具６０の使用方法は、ねじ６３，６４
を弛め、摺動部材６５，６６を開、閉してその係
合部６５ａ，６６ａを開口部３０，３０へ挿入し
た後、ねじ６３，６４を締めて摺動部材６５，６
６を固定し、把持部材６１を上方に持上げれば、
ペリクルの剥離が行える。

第４図２の治具７０は、一端にほぼＬ形の係合
部７１ａ，７２ａを他端に把持部材７１ｂ，７２
ｂをそれぞれ有する部材７１，７２を、部材７３
によつて開閉自在に軸着したものである。そして
係合部７１ａ，７２ａを開、閉させてペリクルフ
レーム１の開口部３０，３０に挿入した後、把持
部材７１ｂ，７２ｂを持ち上げることにより、ペ
リクルの剥離を行う。

なお、以上のような治具６０，７０の他、例え
ば、第４図のものを変形して、把持部材６１及び
収納管６２を手で握ることにより摺動部材６５，
６６を開かせ、収納管６２から手を離すことによ
り摺動部材６５，６６を閉じるような構造の治具
等、種々の構造の治具がこの発明のペリクル剥離
方法に使用できる。

また、ペリクルフレーム１に設けられるフイル
タ付き開口部３０の数は、２個以上であつてもよ
く、さらにその形状は円形、四角形等、種々の形
状が採用でき、これに応じた種々の変形構造のペ
リクル剥離用治具が使用できる。ここで、ペリク
ル剥離治具の係合部は、ペリクルフレーム１の開
口部３０に係合できる形であればよく、従つてＬ
形のものに限定されない。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、この発明によれ
ば、ペリクルフレームの側面に、予め、対峙する
少なくとも一対の開口部を形成すると共に、この
開口部をフイルタで閉じておく。そしてこのよう
なペリクルを貼着したマスクを固定台に固定し、
前記開口部へペリクル剥離用治具の係合部を挿入
し、該治具に引張力を加えてペリクルを剥離する
ようにしたので、ペリクルフレームやマスクに傷
をつけることなく、ペリクル膜が付着したペリク
ルフレームを、マスクから簡易的確に剥離でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図１，２，３はこの発明の実施例を示すペ
リクルの剥離工程図、第２図は従来のペリクル付
きマスクの斜視図、第３図１，２は従来のペリク
ル剥離工程図、第４図１，２はこの発明に使用さ
れるペリクル剥離用治具の他の構造図である。 １……ペリクルフレーム、２……ペリクル膜、
１０……マスク、３０……開口部、３１……フイ
ルタ、４０，６０，７０……ペリクル剥離用治
具、４２ａ，４３ａ，６５ａ，６６ａ，７１ａ，
７２ａ……係合部、５０……固定台。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 環状をなしその下面が半導体用マスクに装着
   されるペリクルフレームと、前記マスクを被覆す
   るために前記ペリクルフレームの上面に張設され
   るペリクル膜とを具えたマスク保護用ペリクル
   を、前記マスクにより剥離するマスク保護用ペリ
   クルの剥離方法において、 前記ペリクルフレームの外側に、対峙する少な
   くとも一対の、フイルタを有する開口部を形成す
   ると共に、該ペリクルフレームを固定台に固定
   し、前記開口部への挿脱可能な係合部を有するペ
   リクル剥離用治具を用い、該係合部を前記開口部
   に挿入して前記ペリクルフレームを前記マスクか
   ら引離すようにしたマスク保護用ペリクルの剥離
   方法。