JPH0229044U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0229044U JPH0229044U JP10740988U JP10740988U JPH0229044U JP H0229044 U JPH0229044 U JP H0229044U JP 10740988 U JP10740988 U JP 10740988U JP 10740988 U JP10740988 U JP 10740988U JP H0229044 U JPH0229044 U JP H0229044U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- corners
- cut
- utility
- range
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案によるペリクルの斜視図、第２
図は本考案によるペリクルに使用するフレームの
平面図。第３図は一般的なペリクルの断面図。 図中１は光学薄膜、２はフレーム、３は接着層
、４は両面テープ、５は保護フイルムを示す。
図は本考案によるペリクルに使用するフレームの
平面図。第３図は一般的なペリクルの断面図。 図中１は光学薄膜、２はフレーム、３は接着層
、４は両面テープ、５は保護フイルムを示す。
Claims (1)
- フレームの四隅がコーナー端より４mmから２０
mmの範囲でカツトされていることを特徴とするペ
リクル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10740988U JPH0229044U (ja) | 1988-08-16 | 1988-08-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10740988U JPH0229044U (ja) | 1988-08-16 | 1988-08-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229044U true JPH0229044U (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=31341797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10740988U Pending JPH0229044U (ja) | 1988-08-16 | 1988-08-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229044U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5878151A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-11 | Nec Kyushu Ltd | フオトマスク |
| JPS59182730A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-17 | 凸版印刷株式会社 | 高精度パタ−ン板用保護膜の製造方法 |
| JPS61169848A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Oki Electric Ind Co Ltd | マスク保護用ペリクルの剥離方法 |
-
1988
- 1988-08-16 JP JP10740988U patent/JPH0229044U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5878151A (ja) * | 1981-11-04 | 1983-05-11 | Nec Kyushu Ltd | フオトマスク |
| JPS59182730A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-17 | 凸版印刷株式会社 | 高精度パタ−ン板用保護膜の製造方法 |
| JPS61169848A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-07-31 | Oki Electric Ind Co Ltd | マスク保護用ペリクルの剥離方法 |