KR19980024828A

KR19980024828A - 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링

Info

Publication number: KR19980024828A
Application number: KR1019970047973A
Authority: KR
Inventors: 카주오 츠루; 츠기오 마츠시타; 노부히토 사카이
Original assignee: 고요 세이코 가부시키가이샤, 이노우에 히로시; 고요 세이코 가부시키가이샤
Priority date: 1996-09-30
Filing date: 1997-09-22
Publication date: 1998-07-06
Also published as: GB2317656A; JP3624998B2; US5904426A; KR100281621B1; JPH10103361A; GB9719282D0; GB2317656B

Abstract

리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링의 각각의 내부 및 외부 링은 이들의 트랙 표면에 형성된, 불소 함유 합성 수지로된 마모 저항성 고체막을 구비한다. 고체막은 내부 및 외부 링의 윤활에 효과적인, 예를 들면 불소 함유 그리스와 같은 증기압이 낮은 극소량의 그리스를 수용하며, 이들 사이에 구름 요소가 유지되며, 그리고 고체막에 의해 먼지 생성이 억제된다. 그리스의 양은 베어링의 개방 공간 체적의 5％를 초과하지 않는다.

Description

리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링

본 발명은 리테이너를 구비하지 않은 유형(non-retainer type)의 구름 베어링에 관한 것으로, 특히 베어링의 외경에 비해 벽 두께가 얇은 베어링 링을 구비한 구름 베어링에 관한 것이다.

벽 두께가 얇은 유형의 구름 베어링은 예를 들면, 각종 유형의 기계의 회전을 위한 지지부의 제조에 비교적 직경이 큰 베어링이 필요한 경우 사용된다. 그러나, 상기와 같은 유형의 베어링은, 특히 이것의 리테이너는 강도가 약하다.

회전함에 따라, 리테이너는 변형되며, 진원도(眞圓度; roundness)가 낮아지며 그리고 내부 링 또는 외부 링과 불규칙하게 접촉할 경향이 높아져 고르지 못하게 마모되며 마모 먼지를 생성한다.

상기와 같은 먼지는 청정한 환경에서 제조되어져야만 하는 반도체 등의 제조에 악영향을 끼침으로, 전술한 유형의 공지된 베어링은 상기와 같은 환경에 사용될 수 없다.

본 출원인은 리테이너가 설치되어 있지 않음으로 인해 베어링의 원주방향으로 상호 간격이 좁아져 보다 많은 수의 구름 요소(rolling element)를 포함할 수 있게된, 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링의 사용 방법을 창안하였다.

그러나, 모든 두 개의 인접하는 구름 요소 사이의 간격이 보다 좁아짐으로써 서로를 방해하기가 쉬워질 수도 있다.

이에 따라, 구름 요소의 마모와, 구름 요소가 링에서 미끄러짐에 따라 링의 트랙 표면에 유발되는 마모와, 그리고 구름 요소간의 서로 다른 속도로의 구름 운동을 포함하는 많은 문제가 발생하여, 구름 요소의 불규칙한 분포 또는 토오크 변동을 초래하는 경향이 있다.

상기 문제점들은 구름 베어링의 제조시 구름 요소의 적정 수와 크기의 선택을 포함하는 다양한 조건의 제어가 가능하다면 어느 정도 개선될 수 있다. 그러나, 상기와 같은 제어가 실현되기는 매우 어렵다.

따라서, 본 발명의 목적은 제조시 어려운 조건들의 제어가 요구되지 않고 용이하게 제조될 수 있는, 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 바람직하지 못한 다량의 먼지를 생성하지 않도록 마모 저항이 충분히 높은 링을 구비한, 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링을 제공하는 것이다.

본 발명의 또다른 목적은 부드러운 작동을 포함하는 구름 운동 특성이 향상된, 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링을 제공하는 것이다.

상기 목적들은 베어링 링과, 상기 베어링 링의 트랙 표면에 유지된 복수의 구름 요소를 포함하는, 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링에 의해 근본적으로 달성되며, 상기 트랙 표면에는 증기압(vapor pressure)이 낮은 극소량의 그리스(grease)를 수용하는 불소 함유 합성 수지의 고체막이 형성된다.

본 발명의 베어링에 리테이너가 설치되어 있지 않다는 것은, 리테이너를 구비한 공지된 베어링의 단점인 먼지 문제 발생이 없다는 것을 의미한다. 베어링 링 트랙 표면에 불소 함유 수지의 고체막과 극소량의 그리스가 존재함으로 해서 베어링 링과 구름 요소간의 마찰 마모 저항이 상당히 향상된다. 따라서, 베어링 링과 구름 요소간의 바람직하지 못한 마모와 먼지 생성이 억제되며 베어링의 부드러운 작동이 보장된다. 그리스는 거의 흩어지거나 증발되지 않긴 하지만, 고체막에 의하여 생성된 마모 먼지를 제거하여 그리스가 흩어지는 것을 보다 효과적으로 억제한다.

구름 요소로는 세라믹 재료로된 볼이 바람직하다. 세라믹 재료로 제조됨으로써 볼들의 상호 간섭에 의해 불안정한 운동이나 볼들의 미끄러짐이 유발되는 것을 상당히 방지할 수 있다. 고체막이 베어링 링의 전체 표면에 형성된다면 세라믹 볼에 의해 베어링은 부식 환경에서 사용하기에도 적합해진다.

베어링은 베어링 링의 원주방향으로 서로 인접하는 두 개의 구름 요소 사이 마다 배치된 하중을 받지않는 볼 형상의 복수의 세퍼레이터(separator)를 추가로 포함하는 것이 바람직하다. 세퍼레이터는 구름 요소가 하중을 받아 서로를 간섭하는 것을 방지하여 베어링의 부드러운 작동을 보장한다.

베어링 링은 베어링강과, 마르텐사이트 스테인레스강, 또는 석출 경화형(precipitation hardening) 스테인레스강으로 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 다른 목적, 특징 및 장점은 아래의 기술로부터 분명해질 것이다.

본 발명의 일부로서 개시되어 있는 첨부 도면은 실시예를 도시한 것으로, 기술된 내용과 함께 본 발명의 원리를 설명하는데 소용된다.

모든 도면들에서, 동일한 요소들은 동일한 도면 부호로 도시되어 있다.

도1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 구름 베어링 상부 절반부의 단면도,

도2는 도1의 선(2)-(2)을 따라 절단한 단면도,

도3은 베어링이 설치된 장치의 평면도,

도4(a) 및 도4(b)는 베어링의 내부 및 외부 링에 형성된 고체막의 구조를 도시한 다이아그램.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

A : 구름 베어링

1 : 내부 링

2 : 외부 링

3 : 구름 요소

4 : 세퍼레이터

5 : 고체막

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 구름 베어링은 도1 및 도2를 참조하여 이하에 기술된다. 베어링(A)은 앵귤러(angular) 볼 베어링으로서, 리테이너를 구비하고 있지 않다. 베어링(A)은 내부 링(1)(일 베어링 링)과, 외부 링(2)(나머지 베어링 링)과, 각각의 내부 및 외부 링(1,2)의 트랙 표면(1a,2a)에서 구름 운동하는 복수의 구름 요소(3)와, 그리고 복수의 볼 형상의 세퍼레이터(4)를 포함한다.

각각의 내부 및 외부 링(1,2)은 트랙 홈(1b 또는 2b)을 구비하며, 구름 요소(3)는 상기 트랙 홈 내에서 구름 운동한다. 외부 링(2)은 이것의 트랙 홈(2b)의 일측면에 카운터보어(2c)를 구비하여, 구름 요소(3)를 적소에 배치하는 것을 용이하게 한다. 구름 요소(3)는 내부 및 외부 링(1,2)의 원주방향으로, 또는 트랙 홈(1b,2b)을 따라 서로 이격된다. 각각의 세퍼레이터(4)는 두 개의 인접하는 구름 요소(3) 사이에 배치된다. 세퍼레이터(4)는 하중을 받지 않도록 구름 요소(3)보다 직경이 작다. 내부 및 외부 링(1,2)은 베어링의 외경에 비해 두께가 얇다.

각각의 내부 및 외부 링(1,2)은 트랙 표면(1a,2a)을 포함한 전체 표면에 형성된 고체막(5)을 구비한다. 하나의 내부 및 외부 링(1,2)의 적어도 트랙 표면의 고체막(5)은 윤활제와 같은 증기압이 낮은 극소량의 그리스(도시하지 않음)를 수용한다.

내부 및 외부 링(1,2)은 일본 산업 표준(JIS)에 의해 SUJ2로 명명된 고탄소 크롬 베어링강으로 형성된다. 변형예에서, 내부 및 외부 링은 JIS에 의해 SUS440C로 명명된 마르텐사이트 스테인레스강, 또는 JIS에 의해 SUS630으로 명명된 석출 경화형의 스테인레스강을 적당히 경화 열처리하여 얻어진 재료로 형성될 수도 있다.

구름 요소(3)는 질화규소가 주성분인 세라믹 재료로 형성된다. 세라믹 재료는 질화규소(Si₃N₄)가 주성분으로, 소결 보조제와 같은 알루미늄(Al₂O₃) 또는 이트리아(Y₂O₃)를 포함하며, 필요하다면 질화알루미늄(ALN)과, 산화티탄(TiO₂) 또는 스피넬(MgAl₂O₄)을 추가로 포함할 수도 있다. 변형예에서, 세라믹 재료는 예를 들면, 알루미늄(Al₂O₃), 탄화규소(SiC), 지르코니아(ZrO₂), 산화마그네슘(MgO) 그리고 질화알루미늄(AlN)중 선택될 수도 있다. 변형예에서, 구름 요소(3)는 전술한 바와 같은 금속 재료로 형성될 수도 있다.

세퍼레이터(4)는 JIS에 의해 SUS440C로 명명된 마르텐사이트 스테인레스강, 또는 JIS에 의해 SUS630으로 명명된 석출 경화형 스테인레스강을 적당히 경화 열처리하여 얻어진 재료로 형성될 수도 있다. 세퍼레이터(4)는 구름 요소(3)의 직경보다 10 내지 50 미크론 작은 직경을 구비한다.

고체막(5)은 불소 함유 합성 수지로 형성된다. 특히, 예를 들면 바인더(binder)로서의 열경화성 합성 수지 내에 불소 함유 수지를 분산시켜 형성된다. 특히, 열경화성 수지로서, 이미드 또는 아미드-이미드 본드(예를 들면, 응축 중합 반응에 의하여 생성된 폴리이미드 또는 폴리아미드-이미드 수지)를 구비한 수지와 같은 고온에서 접착 강도가 거의 떨어지지 않으면서 열저항과, 접착 특성과, 치수 안정성 그리고 마찰 및 마모 저항이 높은 것을 사용하는 것이 바람직하다. 불소 함유 수지로는, 예를 들면 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 또는 ETFE(에틸렌테트라플루오로에틸렌)을 사용하는 것이 바람직하다. PTFE가 사용될 경우, 입자 직경이 2 내지 3 미크론이며 평균 분자량이 1×10⁴내지 5×10⁴인 중합체를 선택하는 것이 바람직하다.

예를 들면, 불소를 함유한 증기압이 낮은 그리스는 베어링의 개방 공간 체적의 5％를 초과하지 않는 극소량이 사용된다. 그리스는 내부 링(1) 또는 외부 링(2)의 트랙 홈에 보내지며, 회전을 조절하여 다른 영역으로도 퍼진다.

전술한 바와 같은 고체막(5)과 그리스는 내부 및 외부 링(1,2)과 구름 요소(3)의 윤활에 효과적으로 협력하여, 이들의 마찰 및 마모를 상당히 감소시킨다.

세퍼레이터(4)가 구름 요소(3)의 상호 간섭을 방지함에 따라, 구름 요소(3)의 운동이 안정되며 토오크 변동이 억제되어 베어링의 부드러운 작동이 보장된다. 또한, 고체막(5)은 전술한 바와 같은 재료로 제조된 덕택에 자체로 마모 저항이 높으며, 전술한 바와 같이 그리스는 쉽게 흩어지거나 증발되지 않는다. 더욱이, 고체막(5)에 의하여 생성된 마모 먼지는 그리스에 의하여 제거되며 그리스의 흩어짐은 상당히 감소된다.

따라서, 본 발명에 따라 실시된 구름 베어링(A)은 수명이 길며, 진공의, 고온 또는 저온의 열악한 환경이나 부식 환경에서 조차도 우수한 구름 특성을 나타낸다.

이하의 내용은 PVD 또는 CVD 용 장치의 반도체 웨이퍼등을 운반하는데 사용되는 시스템(50)을 도시한 도3을 참조하여 기술된다. 두 개의 모터(52)는 중공 샤프트(51)를 중심으로 설치된다. 신장 가능한 아암(53)은 모터(52)의 회전자에 부착된다. 반도체 웨이퍼(54)등이 장착된 운반 플랫폼(55)은 신장 가능한 아암(53)의 말단부에 부착된다. 래디얼 구름 베어링(A)은 모터(52)의 회전자와 샤프트(51) 사이에 배치된다.

본 발명은 전술한 상기 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 다양한 변형 또는 수정이 가능하다.

(1) 본 발명의 상기 실시예가 앵귤러 볼 베어링을 예를 들어 기술되어 있긴 하지만, 본 발명은 다른 유형의 구름 베어링에도 적용 가능하다.

(2) 고체막(5)이 내부 및 외부 링(1,2)에 형성되는 것으로 기술되어 있긴 하지만, 고체막은 구름 요소(3) 및 세퍼레이터(4)에 형성될 수 있다. 고체막(5)이 내부 및 외부 링(1,2)의 트랙 표면이 아닌 이들의 외면에도 형성되는 것으로 기술되어 있긴 하지만, 외면에도 형성될 필요는 없다.

(3) 고체막(5)의 재료가 상기 실시예의 전술된 내용에 언급되어 있긴 하지만, 변형예에서 고체막은 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물로 형성될 수 있다. 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)은 일반식 -CxF₂x-O-(x는1 내지 4의 정수)으로 나타내어지는, 평균 분자량이 수백만 이상이되는 유닛을 주성분으로 하며, 경화 반응에 의해 분자 사이에 우레탄 결합이 형성된 삼차원 그물형 구조로 되어 있다.

삼차원 그물형 구조는 화학적 구조에 관한 표현으로, 고체막의 단면이 그물형으로 되어 있을뿐만 아니라, 고체막이 그물을 형성하는 방식으로 서로 결합된 분자들에 의하여 형성된 조밀하면서 균질한 구조로 되어있음을 의미한다.

상기와 같은 화합물은 아래의 화학식 1에 도시된 바와 같이 이것의 분자 단부에 이소시아네이트 작용기를 불소 함유 중합체의 화학 구조를 변경함으로써 얻어질 수 있다.

이소시아네이트 작용기를 구비한 불소 함유 중합체로서는 퍼플루오르폴리에테르(PFPE) 유도체가 사용되는 것이 바람직하며, 구체적으로 예를 들면 몬테카티니(Montecatini)사의 상품명 폰블린 제트 유도체(FONBLIN Z DISOC등)이다.

불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)을 형성하기 위한 공정이 예를 들어 후술된다.

(a) 베어링 구성 요소(내부 및 외부 링(1,2)과 구름 요소(3))를 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)을 형성하기 위하여 준비된 용액에 분리 또는 조립 상태로 침지(浸漬)하여 수차례 회전시킴으로써, 액체막이 베어링 구성 요소(내부 및 외부 링(1,2)과 구름 요소(3))의 전표면에 부착될 수도 있다(피복 단계).

상기 준비된 용액은 불소 함유 중합체의 농도가 1 mass％의 농도가 될 때까지 분자 단부에 이소시아네이트 작용기를 구비한 불소 함유 중합체[폰블린 제트 유도체]를 용매(불소 함유 용매, SV90D)에 희석시킴으로써 얻어진다.

(b) 액상막을 부착한 베어링(A)은 전체적으로 40 내지 50℃에서 약 1분간 가열되어, 액상막에 함유된 용매를 제거할 수도 있다(건조 단계). 막은 여전히 액상이며 유동성이 있다.

(c) 그후, 예를 들면 100 내지 200℃에서 20 시간동안 가열된다(경화 단계). 그 결과, 액상막의 화학 구조가 변경되며, 이에 따라 경화 반응에 의해 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)이 형성된다.

특히, 액상막의 불소 함유 중합체의 분자들은 화학식 2 내지 화학식 5에 도시된 바와 같은 네종류의 경화 반응을 거쳐, 이소시아네이트(NCO) 말단기를 제거한 상태로 우레탄 결합에 의해 함께 연합되어 삼차원 그물형 구조를 형성한다.

우레탄 결합은 화학식 2 및 화학식 3에 의하여 도시된 경화 반응의 결과로써 도4(a)에 다이아그램으로 도시된 바와 같이 일차원 가교결합(cross-linkage)을 형성하며, 화학식 4 및 화학식 5에 의하여 도시된 경화 반응의 결과로써 도4(b)에 다이아그램으로 도시된 바와 같은 삼차원 가교결합을 형성한다. 도4(a) 및 도4(b)는 아래의 화학식 1을 화학식 6에 의하여 도시된 바와 같은 단순한 형태로 다이아그램으로 도시한 도면이다.

삼차원 그물형 구조를 구비한 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)은 피복될 재료상에 조밀한 피복층을 형성하며 또한 자가윤활 특성도 구비한다. 따라서, 베어링 요소중 하나의 구름 운동 또는 미끄럼 운동 동안의 마모 또는 필링(peeling)에 의해 먼지가 생성되는 것을 억제한다. 또한, 베어링 구성 요소간의 직접 접촉을 방지할 수 있다.

변형예에서, 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)은 분자 모두 연합하는 우레탄 결합에 의해 형성된 삼차원 그물형 구조에 플루오르폴리에테르와 같은 불소 함유 중합체를 유동 가능하게 분산 첨가한 구조로 형성될 수도 있다. 이 경우, 전술한 바와 같은 피복 단계를 위하여 준비될 용액은, 이소시아네이트 작용기를 구비한 불소 함유 중합체[예를 들면, 상품명 폰블린 제트 유도체를 구비한 생성물]와 이소시아네이트 작용기를 구비하지 않은 불소 함유 중합체[예를 들면, 상품명 폰블린 제트 유도체(FONBLIN Z-60)의 생성물]가 적정 비율로 혼합되어 있는 불소 함유 화합물과 같은 혼합액일 수도 있다. 작용기를 구비하지 않은 불소 함유 중합체는 경화 단계(c) 동안 작용기를 구비한 불소 함유 중합체와 결합하는 대신, 불소 함유 폴리우레탄 고분자 화합물의 고체막(5)에서 유동하여 고체막으로부터 새어나와 윤활 작용을 한다.

불소 함유 중합체는 작용기를 구비하지 않은 상기 불소 함유 중합체에만 한정되는 것은 아니며, 변형예에서는 화학식 7 내지 화학식 9에 의하여 도시된 작용기를 구비한 불소 함유 중합체에서 선택될 수도 있다.

본 발명에 따르면, 고체막과 증기압이 낮은 그리스는, 베어링 링과 구름 요소에 의하여 생성되는 먼지 뿐만 아니라 이들 자체의 먼지를 상당히 감소시킬 수 있으며, 마찰 저항도 낮출 수 있음에 따라 베어링의 먼지 억제 특성과 작동 안정성 향상에 기여한다.

본 발명에 따르면, 세라믹 구름 요소는 서로 간섭하는 경우에도 먼지를 거의 생성하지 않는다.

본 발명에 따르면, 하중을 받지않는 볼 형상의 세퍼레이터는 구름 요소가 하중을 받아 서로 간섭하는 것을 방지한다.

따라서, 구름 요소간의 서로 다른 속도로의 불규칙 운동으로 인한 구름 요소의 미끄러짐 또는 고르지못한 분포를 방지할 수 있어, 베어링의 작동 안정성이 보장된다. 본 발명에 따라, 베어링 링은 베어링강을 사용하여 적은 비용으로 형성될 수 있으며, 트랙 표면의 전표면을 덮고 있는 고체막의 부식 저항이 향상되어 베어링은 부식 환경에 사용하기에 적합해질 수 있다.

따라서, 본 발명의 구름 베어링은 높은 정확도가 요구되는 반도체 제조 공정과 같은 무균 환경에 사용하기에 바람직한데, 그 이유는 베어링이 상기와 같은 환경에서 대기를 거의 오염시키지 않기 때문이다. 또한, 본 발명의 구름 베어링은 반도체 제조시 생산량 향상에 기여하며, 고온 또는 부식 환경에서 수명이 길다.

본 발명은 바람직한 실시예를 참조하여 기술되어 있지만, 첨부된 청구 범위 내에서 본 발명의 영역과 정신을 벗어남이 없이 다양한 수정이 이루어질 수 있음을 알 수 있다.

Claims

트랙 표면에 형성된 불소 함유 합성 수지로 이루어진 고체막을 구비하며, 상기 고체막이 증기압이 낮은 그리스를 수용하게 되는 베어링 링과, 그리고

상기 트랙 표면에 유지된 복수의 구름 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
트랙 표면에 마모 저항성 고체막과, 상기 고체막의 마모에 의하여 생성된 먼지의 제거 작용과 윤활 작용을 하는 윤활제를 수용하는 베어링 링과, 그리고

상기 트랙 표면에 유지된 복수의 구름 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제2항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성 수지인 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제2항에 있어서, 상기 윤활제는 증기압이 낮은 그리스인 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제2항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성 수지이며, 상기 윤활제는 증기압이 낮은 극소량의 그리스인 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제2항에 있어서, 원주방향으로 서로 인접하는 두 개의 상기 구름 요소 사이 마다 배치된, 상기 구름 요소보다 직경이 작은 볼 형상의 복수의 세퍼레이터를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제6항에 있어서, 상기 구름 요소는 세라믹 재료로 되어 있으며 상기 세퍼레이터는 스테인레스강으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제6항에 있어서, 상기 베어링 링의 재료는 베어링강과, 마르텐사이트 스테인레스강 그리고 석출 경화형 스테인레스강으로 구성된 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
트랙 표면에 마모 저항성의 고체막 및 상기 고체막에 의하여 생성된 마모 먼지 제거 작용과 윤활 작용을 하는 윤활제를 수용하는 내부 링과,

트랙 표면에 마모 저항성의 고체막 및 상기 고체막에 의하여 생성된 마모 먼지 제거 작용과 윤활 작용을 하는 윤활제를 수용하는 외부 링과, 그리고

상기 내부 및 외부 링의 상기 트랙 표면 사이에 유지된 볼들로 구성된 복수의 구름 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 고체막은 각각의 상기 링의 전표면을 덮는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성 수지인 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 윤활제는 증기압이 낮은 극소량의 그리스인 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 고체막은 불소 함유 합성 수지이며, 상기 윤활제는 증기압이 낮은 극소량의 그리스인 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 외부 링은 이것의 트랙 홈의 일측면에 카운터보어를 구비하는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제9항에 있어서, 원주방향으로 서로 인접하는 두 개의 상기 구름 요소 사이 마다 배치된, 상기 구름 요소보다 직경이 작은 볼 형상의 복수의 세퍼레이터를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.
제9항에 있어서, 상기 윤활제는 불소 함유 그리스인 것을 특징으로 하는 리테이너를 구비하지 않은 구름 베어링.