JPH08226516A

JPH08226516A - ボールねじおよびボールねじの潤滑薄膜形成方法

Info

Publication number: JPH08226516A
Application number: JP3079995A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Toyoda; 豊田　　泰
Original assignee: Koyo Seiko Co Ltd
Current assignee: Koyo Seiko Co Ltd
Priority date: 1995-02-20
Filing date: 1995-02-20
Publication date: 1996-09-03
Anticipated expiration: 2022-04-11
Also published as: JP3903151B2

Abstract

(57)【要約】【目的】ボールねじにおいて、発塵の抑制および潤滑性
の向上を図り、長寿命を達成できるようにすること。【構成】外周面に螺旋溝１１を有するねじ軸１と、内周
面にねじ軸１の螺旋溝２１を有するナット２と、これら
の両螺旋溝１１，２１の間に転動自在に介装される複数
のボール３とを備えたボールねじＡにおいて、螺旋溝１
１を含むねじ軸１の外周面、ナット２の内周面およびボ
ール３の表面に、官能基を有する含フッ素重合体からな
る潤滑薄膜５が付着されている。つまり、潤滑薄膜５と
して、従来の固体潤滑剤のコーティング膜のような剥離
や欠落の他、摩耗のない流動性を有するものとしてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ボールねじおよびボー
ルねじの潤滑薄膜形成方法に係り、特に通常のグリース
やオイルの使用ができない真空環境、清浄環境および腐
食環境等で用いるのに好適なボールねじに関する。

【０００２】

【従来の技術】前述の環境として、例えば半導体製造装
置内部に配設される搬送系などが挙げられるが、このよ
うな環境では、ボールねじの潤滑剤としてグリースを用
いていると、グリースの油分が蒸発することにより、潤
滑機能の劣化や使用環境の汚染といった不具合が発生す
る。

【０００３】このような場合、従来では、ねじ軸および
ナットの軌道面やボールの表面の少なくともいずれか
に、金、銀、鉛、銅などの軟質金属、カーボンや二硫化
モリブデンなどの固体潤滑剤を膜状にコーティングする
ことが行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述の固体
潤滑剤からなるコーティング膜では、このコーティング
膜がボールの転動動作に伴い僅かずつ剥がれるなど、発
塵状況がグリース使用時に比べると低レベルになるもの
の、特に清浄環境では不適合となるレベルである。特
に、高荷重条件においては発塵量が増大する。

【０００５】また、本願出願人は、バインダーにふっ素
系樹脂を混合した固体潤滑剤を、ねじ軸およびナットの
軌道面やボールの表面の少なくともいずれかにコーティ
ングすることを行っており、この場合には、先の従来例
よりも発塵を桁違いに減らせるようになる。しかしなが
ら、このコーティング膜でも、比較的大きなアキシャル
荷重がかかる状況において、剥離や欠落の他、摩耗によ
る発塵が著しく増加し、発塵寿命が短くなる。

【０００６】しかも、前述のようなコーティング膜の剥
離、欠落が発生すると、転動・摺接部位での潤滑作用が
低下して、金属どうしの接触となるなど凝着しやすくな
る他、各構成要素の摩耗が促進されるなど、寿命という
点において問題がある。

【０００７】また、腐食性ガスがある環境では、前述の
ようにコーティング膜の剥離、欠落箇所の軸受構成要素
が腐食されることになる。

【０００８】したがって、本発明の目的は、ボールねじ
において、発塵の抑制および潤滑性の向上を図り、長寿
命を達成できるようにすることである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のボールねじは、
ねじ軸およびナットが金属材で、少なくとも前記ねじ軸
およびナットの軌道面に、官能基を有する含フッ素重合
体からなる潤滑薄膜が形成されている。

【００１０】本発明のボールねじは、ねじ軸およびナッ
トが金属材で、ボールがセラミックス材で形成されてお
り、少なくともねじ軸およびナットの軌道面に、官能基
を有する含フッ素重合体からなる潤滑薄膜が形成されて
いる。

【００１１】なお、前述の薄膜は、０．２μｍ以下でそ
の近傍に設定するのが好ましい。この場合の薄膜は、パ
ーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）あるいはその誘導
体との混合物を希釈溶媒で０．２５ｍａｓｓ％にまで希
釈した潤滑油により形成することができる。

【００１２】本発明のボールねじの潤滑薄膜形成方法
は、ねじ軸、ナットおよびボールを組み立てたボールね
じにおいてそれら各要素の少なくとも転動、摺動部位
に、官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑油を膜
状に付着させる工程と、膜状とした潤滑油を加熱するこ
とにより、それに含まれる混合物を除去する工程とを含
むものである。

【００１３】

【作用】本発明のボールねじでは、潤滑要素として、従
来の固体潤滑剤のコーティング膜のように剥離、欠落の
他、摩耗が起こらない流動性を有する潤滑薄膜としてい
る。しかも、この潤滑薄膜は、従来のようにボールねじ
内部に潤滑油を封入するといった形態でもないので、そ
れらの外部漏洩の心配もない。

【００１４】このような本発明の潤滑薄膜では、比較的
大きなアキシャル荷重がかかる状況でも、各構成要素間
での摺接が金属どうしの無潤滑の接触状態とならず、常
に各構成要素の表面全面に途絶えることなく付着する状
態が維持されるから、各構成要素それぞれの転動、摺動
が常に潤滑油を介して行われるようになり、潤滑作用が
安定的に維持されるようになる。しかも、従来のコーテ
ィング膜に比べてボールの転動抵抗が小さくなるととも
に、ボールをねじ軸およびナット間にある程度、負隙間
で配設することが可能となるから、ボールねじの動作を
高精度にできるようになる。

【００１５】特に、薄膜の膜厚を特定すると、発塵性と
潤滑性との両方に関して優れた結果が得られるようにな
る。この膜厚については、薄膜を形成するベースとなる
潤滑油を特定すれば、容易に設定できるようになる。

【００１６】また、本発明のボールねじの潤滑薄膜形成
方法では、油膜形成対象部位に対して、官能基を有する
含フッ素重合体からなる潤滑油の薄膜を発塵性と潤滑性
との両方に優れた膜厚で、良好に形成することが可能と
なる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の詳細を図面に示す実施例に基
づいて説明する。図１および図２は本発明の一実施例に
かかり、図１は、ボールねじの概略構成を示す縦断面
図、図２は、図１のＢ部拡大図である。

【００１８】図中、Ａはボールねじ、１はねじ軸、２は
ナット、３はボール、４はサーキュレータチューブ、５
は潤滑薄膜である。

【００１９】ねじ軸１は、その外周面に螺旋溝１１が形
成されている。ナット２は、ねじ軸１に外嵌されてお
り、その内周面にねじ軸１の螺旋溝１１に対応する螺旋
溝２１が形成されている。複数のボール３は、ねじ軸１
の螺旋溝１１と、ナット２の螺旋溝２１との間に介装さ
れている。サーキュレータチューブ４は、ねじ軸１また
はナット２のいずれか一方の回転により両螺旋溝１１，
２１間に介装されるボール３を転動循環させるためのも
ので、ナット２に取り付けられている。

【００２０】ねじ軸１の螺旋溝１１およびナット２の螺
旋溝２１の断面形状は、ゴチックアーチ状、すなわち二
つの曲率中心の異なる円弧の組み合わせによりほぼＶ字
形に形成されている。なお、両螺旋溝１１，２１の断面
形状は、図３に示すような円弧とすることもできる。

【００２１】これらねじ軸１、ナット２、ボール３およ
びサーキュレータチューブ４は、耐食性材料により形成
されている。具体的に、ねじ軸１およびナット２の素材
としては、例えばＪＩＳ規格ＳＵＳ４４０Ｃなどのマル
テンサイト系ステンレス鋼に適当な硬化熱処理を施した
ものや、ＪＩＳ規格ＳＫＨ４、ＡＩＳＩ規格Ｍ−５０材
などの耐熱鋼とすることができる。また、ボール３は、
前述と同様の鋼材の他、セラミックス材とすることがで
きる。さらに、サーキュレータチューブ４は、例えばＳ
ＵＳ３０４などのステンレス鋼で形成される。なお、前
述のセラミックス材としては、焼結助剤として、イット
リア（Ｙ₂Ｏ₃）およびアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、その他、
適宜、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化チタン（Ｔｉ
Ｏ₂）、スピネル（ＭｇＡｌ₂Ｏ₄）を用いた窒化けい素
（Ｓｉ₃Ｎ₄）を主体とするものの他、アルミナ（Ａｌ₂
Ｏ₃）や炭化けい素（ＳｉＣ）、ジルコニア（Ｚｒ
Ｏ₂）、窒化アルミ（ＡｌＮ）などが好ましい。

【００２２】このような材料でボールねじＡの各構成要
素を形成すれば、例えば半導体製造装置などにおいて用
いられるハロゲン系腐食性ガスに対しても、腐食せずに
済むようになる。

【００２３】そして、ねじ軸１の外周面、ナット２の内
周面、ボール３の表面およびサーキュレータチューブ４
の内面には、潤滑薄膜５が被覆形成されている。

【００２４】この薄膜５は、官能基を有する含フッ素重
合体からなる。この含フッ素重合体としては、フルオロ
ポリエーテル重合体またはポリフルオロアルキル重合体
が好ましい。フルオロポリエーテル重合体は、−Ｃ_XＦ
_2X−Ｏ− という一般式（Ｘは１〜４の整数）で示され
る単位を主要構造単位とし、いずれも数平均分子量が１
０００〜５００００の重合体とするものが挙げられる。
ポリフルオロアルキル重合体は、下記化学式１に示すも
のが挙げられる。また、前述の官能基は、金属に対して
親和性の高いもの（例えばエポキシ基、アミノ基、カル
ボキシル基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート
基、スルフォン基またはエステル基など）が好ましく、
例えば下記化学式２，３に示すものが挙げられる。この
ような含フッ素重合体は、単独で用いるか、または２種
以上を併用して用いてもよい。その場合は、より耐摩耗
性の優れた薄膜が得られるように、組み合わされた基が
互いに反応して重合体をより高分子量化させるように配
慮するのが望ましい。

【００２５】

【化１】

【００２６】

【化２】

【００２７】

【化３】

【００２８】前述の薄膜５として、より詳しくは、パー
フルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）あるいはその誘導体
との混合物、具体的に例えばモンテカチーニ社の商品名
フォンブリン（FONBLIN）Ｙスタンダード、フォンブリ
ンエマルジョン（FE20、EM04など）またはフォンブリン
Ｚ誘導体（FONBLIN Z DEAL、FONBLIN Z DIAC、FONBLIN
Z DISOC、FONBLIN Z DOL、FONBLIN Z DOLTX2000、FONBL
IN Z TETRAOLなど）が好適に用いられる。これら例示し
たものは、いずれも濃度が濃く、金属に対する親和性が
きわめて悪いので、そのままでは膜状に付着させること
が困難である。そのため、薄膜５の形成は、下記するよ
うな方法が適用される。なお、前述のフォンブリンＺ誘
導体は、真空環境で用いると、真空排気系に対して害を
及ぼす可能性があるので、使用環境を考慮するのが好ま
しい。

【００２９】次に、前述の潤滑薄膜５の形成方法の一例
を説明する。

【００３０】（ａ）ボールねじＡを完成状態に組み立
ててから、このねじ軸１とナット２との間でボール３の
存在する箇所において、用意した潤滑油をスポイドなど
により数滴、注入し、数回回転させることにより、潤滑
油を膜状にねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキ
ュレータチューブ４の転動、摺動部位に被覆させる（供
給処理）。この潤滑油の供給はスプレーにより塗布して
もよいし、また、潤滑油の貯溜槽に浸漬してもよい。こ
こで用意した潤滑油は、例えばフォンブリンエマルジョ
ンＦＥ２０（フォンブリン濃度２０ｍａｓｓ％の）を適
当な希釈溶媒でフォンブリン濃度を０．２５ｍａｓｓ％
にまで希釈したものである。なお、前述の希釈溶媒は、
メタノール溶液、アルコール溶液や水などの揮発性のも
のとすることができる。

【００３１】（ｂ）前記潤滑油を塗布したボールねじ
Ａの全体を４０〜５０度で約３分間加熱し、潤滑油に含
むメタノール溶液など溶媒を除去する（乾燥処理）。

【００３２】（ｃ）この後、ボールねじＡの使用環境
での雰囲気温度に応じて、例えば１５０〜３００度で１
５〜３０分間、加熱する（仕上げ乾燥処理）。

【００３３】なお、（ａ）、（ｂ）は必要に応じて数回
繰り返すようにしてもよく、最終的には、潤滑薄膜５の
膜厚を例えば０．２μｍ以下に設定する。

【００３４】このようにすれば、ボールねじＡの各構成
要素において互いに接触する部位に潤滑薄膜５を好適な
膜厚で形成することができる。そして、前述したように
溶媒を除去しておけば、ボールねじＡの動作時の不要な
発塵成分がなくなる。また、潤滑薄膜５の膜厚をきわめ
て薄く設定しているから、油成分による発塵もほとんど
なくなる。さらに、最終の加熱処理により、使用環境で
の発塵をもなくせるようになる。

【００３５】次に、上述した潤滑油について、希釈濃
度とボールねじにおける回転初期の発塵量との関係、
薄膜５を形成するときの供給処理および乾燥処理の繰返
回数（ディッピング回数）とボールねじにおける回転初
期の発塵量との関係、誘導体分子の有無と発塵寿命と
の関係をそれぞれ調べているので、説明する。

【００３６】試験は、図４に示す装置を用いている。図
中、６０はボールねじＡのねじ軸、６１はボールねじＡ
のサポート軸受、６２は負荷用ばね、６３はパーティク
ルカウンター、６４はボールねじＡのナット、６５は支
持板、６６はナット６４のハウジング、６７はハウジン
グの回転止め、６８はモータ、６９はモータ６８とねじ
軸６０とのカップリングである。

【００３７】試験条件は、下記のとおり。

【００３８】・回転速度：１２０ｒｐｍ・荷重：アキシャル荷重（Ｆａ）４９０Ｎ・ストローク：５０ｍｍ・雰囲気：大気、クリーンベンチ内（クラス１０）・環境温度：室温・計測条件：粒子径０．１μｍ以上、０．３μｍ以上
の発塵粒子数試験に用いたボールねじＡは、呼び番号１４０４、７Ｔ
Ｓ３、５Ｃ７で、ねじ軸１の軸径を１４ｍｍ、ボール３
の径を２ｍｍ（３．５巻、１列）、リードを３／１６″
（４．７６３ｍｍ）としている。

【００３９】試験時間は、回転初期１０時間（ｈ）
とする。潤滑油は、フォンブリンエマルジョンＦＥ２０
のフォンブリン濃度（ｍａｓｓ％）を、“５”、
“２”、“０．５”、“０．２５”の４段階に希釈溶媒
（エチルアルコールまたは水）で希釈したものを用いて
いる。薄膜５の形成方法は、前述した方法とする。但
し、供給処理および乾燥処理を二回繰り返してから、仕
上げ乾燥（１７０℃、１５分間）を施す。

【００４０】結果は、下記表１に示すように、０．２５
ｍａｓｓ％とした場合の発塵量が、他に比べて格段に少
なくなっている。

【００４１】

【表１】

【００４２】試験時間は、回転初期１０時間（ｈ）
とする。供給処理および乾燥処理の繰り返し回数は、
“４”、“３”、“２”、“１”の４段階としている。
潤滑油は、前述ので述べたもの（フォンブリンエマル
ジョンＦＥ２０のフォンブリン濃度を０．２５ｍａｓｓ
％に希釈したもの）を用いる。

【００４３】結果は、下記表２に示すように、繰り返し
回数を２回以下とした場合の発塵量が、他に比べて格段
に少なくなっている。

【００４４】

【表２】

【００４５】上記での繰り返し回数別の薄膜５それぞ
れの膜厚について、ボール３の質量増加量に基づいて推
定した。この場合、薄膜５を得た後で、ボールねじＡを
分解し、ボール３の質量増加量を測定している。結果
を、下記表３に示す。

【００４６】

【表３】

【００４７】・膜の比重：１．８８ｇ／ｃｍ³ ・ボールの表面積：０．４９５ｃｍ² この結果と、上記，の結果とに鑑み、薄膜５の膜厚
については０．２μｍ以下とするのが好ましいと言え
る。但し、０．２μｍ以下と言えどもあまり薄くしすぎ
ると、金属材どうしの摺接部位における潤滑性が低下す
るおそれがあるので、０．２μｍ以下でその近傍に設定
するのが好ましいと言える。

【００４８】試験時間を発塵寿命とするので、限定
しない。発塵寿命は、総発塵量が１０００個／０．１ｃ
ｆ以上となる状況を、連続１０回測定した時点までの時
間を計測している。なお、測定は１０分間隔とする。

【００４９】試験では、三つの実施例品、比較品、従来
品を用いている。実施例品は、フォンブリンエマルジョ
ンＦＥ２０を希釈溶媒（エチルアルコールまたは水）で
フォンブリン濃度を０．２５ｍａｓｓ％にまで希釈した
潤滑油を用いており、同一仕様のものを三つ用いてい
る。比較品は、フォンブリンＺ２５を希釈溶媒（ガルデ
ンＳＶ９０）でフォンブリン濃度を０．２５ｍａｓｓ％
にまで希釈した潤滑油を用いている。つまり、実施例品
の潤滑油は誘導体を含み、比較品の潤滑油は誘導体を含
まない。従来品は、内・外輪および保持器全面にコーテ
ィング膜を形成したものとする。このコーティング膜
は、熱硬化性合成樹脂からなるバインダー中にポリテト
ラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を分散混合したもので
ある。

【００５０】結果は、下記表４に示すように、アキシャ
ル荷重を１００Ｎとした場合、実施例品が比較品および
従来品に比べ、約１０倍と耐荷重性が大幅に向上してお
り、特に高荷重条件下で用いる場合に優位であると言え
る。ちなみに、従来品のコーティング膜でも、他の一般
的な固体潤滑剤のコーティング膜に比べると発塵量が格
段に少ない。このような結果が得られる理由は、本実施
例品である潤滑薄膜５が流動性を有していて、ねじ軸、
ナットおよびボールの摺接が常に潤滑油を介する状態と
なり、従来品である固体潤滑剤のコーティング膜のよう
な剥離や欠落の他、摩耗が発生しないからと言える。

【００５１】

【表４】

【００５２】なお、実施例品と比較品とにおける回転初
期１０時間の発塵量は、下記表５に示すように、ほとん
ど差がなかった。

【００５３】

【表５】

【００５４】このの結果より、薄膜５を形成する潤滑
油としても、誘導体分子を含むものとするのが特に耐荷
重性において優れることが判った。

【００５５】以上〜の各試験における結果が示すよ
うに、薄膜５としては、使用潤滑油の性状、薄膜形成方
法や生成後の膜厚などを、ある程度、特定することが、
発塵性、耐荷重性において重要となることが判るであろ
う。

【００５６】ところで、前述した潤滑油（フォンブリン
エマルジョンＦＥ２０を希釈したもの）からなる薄膜５
を形成したボールねじＡにおいて、ねじ軸１、ナット
２、ボール３およびサーキュレータチューブ４を金属材
料としたものの場合、偏荷重などが作用したりすると、
はなはだしい場合に摺接部位において腐食が発生する可
能性があると考えられる。というのは、偏荷重などが作
用したときに、薄膜５の一部がかきとられてしまうと、
ねじ軸１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチ
ューブ４の表面（金属面上の酸化面）が露出することに
なって、ここで金属材どうしの凝着摩耗が発生するよう
になるが、このような凝着摩耗が発生すると、ねじ軸
１、ナット２、ボール３およびサーキュレータチューブ
４の表面でも新生面（酸化されていない純粋の金属面）
が露出することになるため、この新生面が潤滑油の成分
中のフッ素と反応し、腐食されることが起こりうるので
ある。また、凝着摩耗時の触媒作用によりフッ素成分の
ガスを発生することも起こりうる。これに対して、ボー
ルねじＡにおいて少なくともボール３をセラミックス材
とすれば、前述したような凝着摩耗が発生せずに済むの
で、前述したような腐食やガス発生といった心配がなく
なる。したがって、ボールねじＡの構成を、少なくとも
ボール３についてセラミックス材で形成したものの方が
すべて金属材とするものに比べて優れていると言える。

【００５７】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものでなく、種々な応用や変形が考えられる。

【００５８】（１）ナット２の軸方向一端または軸方
向両端には、必要に応じねじ軸１の螺旋溝１１に対して
近接する非接触タイプのシールを設けてもよく、この場
合には低発塵性により貢献できる。このシールとして
は、合成ゴムなどの弾性体により円筒形に形成されてお
り、内周面の所要角度範囲にねじ軸１の螺旋溝１１に近
似する断面形状の凸部を有するものが考えられる。

【００５９】（２）本発明のボールねじＡは、真空環
境のみに限定されず、大気環境でも使用することができ
る。

【００６０】

【発明の効果】本発明のボールねじでは、従来の固体潤
滑剤のコーティング膜のような剥離や欠落の他、摩耗が
ない流動性を有する潤滑薄膜を用いるから、比較的大き
なアキシャル荷重がかかる状況でも、各構成要素間での
摺接が金属どうしの無潤滑の接触状態とならず、常に潤
滑油を介して摺接する状態となり、発塵が格段に少なく
なって潤滑性が格段に向上するようになる。このよう
に、潤滑薄膜からの発塵だけでなく、各構成要素からの
発塵を抑制できるとともに、動作安定性の向上に貢献で
きる。しかも、従来のコーティング膜に比べてボールの
転動抵抗が小さくなるとともに、ボールをねじ軸および
ナット間にある程度、負隙間で配設することが可能とな
るから、ボールねじの高精度化に寄与できる。

【００６１】したがって、例えば半導体製造過程のよう
に高精度な加工が要求されるところに本発明のボールね
じを用いると、清浄雰囲気を阻害しにくくなるので、半
導体製造品の歩留まり向上に貢献できる。

【００６２】特に、薄膜の膜厚を特定すると、発塵性と
潤滑性との両方に関して優れた結果が得られるようにな
る。この膜厚については、薄膜を形成するベースとなる
潤滑油を特定すれば、容易に設定できるようになる。

【００６３】また、本発明のボールねじの潤滑薄膜形成
方法では、油膜形成対象部位に、官能基を有する含フッ
素重合体からなる潤滑油の薄膜を発塵とならない量でか
つ潤滑作用を妨げない量として良好に付着させることが
できるから、発塵がほとんどなくて、しかも各構成要素
間での潤滑作用を安定的に得ることができて、ボールね
じの長寿命化を達成できるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のボールねじの概略構成を示す縦断面
図。

【図２】図１のＢ部を拡大した断面図。

【図３】ボール転動溝の他の例を示す部分断面図。

【図４】試験装置の概略構成を示す縦断面図。

【符号の説明】

Ａボールねじ１ねじ軸２ナット３ボール４サーキュレータチューブ５潤滑薄膜１１ねじ軸の螺旋溝２１ナットの螺旋溝

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ねじ軸およびナットが金属材で、少なく
とも前記ねじ軸およびナットの軌道面に、官能基を有す
る含フッ素重合体からなる潤滑薄膜が形成されている、
ことを特徴とするボールねじ。
【請求項２】ねじ軸およびナットが金属材で、ボール
がセラミックス材で形成されており、少なくともねじ軸
およびナットの軌道面に、官能基を有する含フッ素重合
体からなる潤滑薄膜が形成されている、ことを特徴とす
るボールねじ。
【請求項３】前記薄膜の膜厚が、０．２μｍ以下でそ
の近傍に設定されている、ことを特徴とする請求項１ま
たは２のボールねじ。
【請求項４】前記薄膜が、パーフルオロポリエーテル
（ＰＦＰＥ）あるいはその誘導体との混合物を希釈溶媒
で０．２５ｍａｓｓ％にまで希釈した潤滑油により形成
されてなる、ことを特徴とする請求項３のボールねじ。
【請求項５】ねじ軸、ナットおよびボールを組み立て
たボールねじにおいてそれら各要素の少なくとも転動、
摺動部位に、官能基を有する含フッ素重合体からなる潤
滑油を膜状に付着させる工程と、膜状とした潤滑油を加熱することにより、それに含まれ
る混合物を除去する工程と、を含むことを特徴とするボールねじの潤滑薄膜形成方
法。