KR19980021967U - 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치 - Google Patents

반도체 리드 프레임 제조용 노광장치 Download PDF

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류욱렬
김용남
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이대원
삼성항공산업 주식회사
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
    • G03F7/70925—Cleaning, i.e. actively freeing apparatus from pollutants, e.g. using plasma cleaning

Abstract

반도체 리드 프레임 제조용 노광장치가 개시된다. 개시된 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치는 노광용 마스크로 소재가 투입되는 인입부에 진로울러와 같은 클리닝수단기 구비된 점에 그 특징이 있는 것으로서, 이러한 특징에 의하면 소재의 표면에 부착된 먼지 등의 이물질이 노광용 마스크로 소재가 투입되기 이전에 진로울러에 의해 제거됨으로써 이물질에 의한 불량발생을 방지할 수 있다.

Description

반도체 리드 프레임 제조용 노광장치
본 고안은 노광장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에칭프로세스에 의한 반도체 리드 프레임을 제조하기 위해 사용되는 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치에 관한 것이다.
반도체 리드 프레임은 반도체 칩과 함께 반도체 패키지를 이루는 핵심 구성요소의 하나로서, 반도체 패키지의 내부와 외부를 연결해 주는 도선(lead)의 역할과 반도체 칩을 지지해 주는 지지체의 역할을 한다.
이러한 반도체 리드 프레임은 통상 스템핑(Stamping) 프로세스 또는 에칭(Etching) 프로세스에 의해 제조되는데, 상기한 스템핑 프로세스는 순차적으로 이송되는 프레스 금형장치를 이용하여 박판의 소재를 소정 형상으로 타발함으로써 제품을 형성하는 제조방법이다. 반면에, 상기 에칭 프로세스는 화학약품을 이용하여 소재의 국소 부위를 부식시키는 화학적 식각방법에 의해 제품을 형성하는 제조방법이다. 이러한 제조방법에 의해 제작되는 반도체 리드 프레임은 최근 반도체 칩의 고집적화와 박형화 및 소형화 추세에 따라 소형이면서 미세 피치를 가지는 다핀 리드 프레임의 개발이 요구되고 있다. 특히, 이러한 다핀 리드 프레임은 제조과정에 있어서 미세 피치의 형성 등을 위한 정밀도가 요구되므로, 주로 상기한 에칭프로세스를 통하여 제조된다. 에칭프로세스의 일예에 의하면, 박판의 소재 표면에 감광막을 코팅하고, 이를 글래스 마스크를 이용한 노광과정과 에칭과정 등을 거치게 함으로써 소정 패턴을 가지는 리드 프레임으로 제조된다.
도 1은 종래의 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치를 보인 개략적 단면 구성도로서, 이를 참조하면 종래의 노광장치는 사각 박스형 케이스(100)와, 이 케이스(100) 내의 상부 및 하부에 각각 회전 가능하게 마련되는 자외선 램프(110)(120)가 대칭적으로 설치되어 있다. 그리고, 상기 램프(110)(120)의 광출사측 즉, 110의 상부 및 120의 하부에는 각각의 램프(110)(120)로부터 출사되는 광을 개폐하기 위하여 좌우로 슬라이딩 가능하게 마련되는 셔터부재부재(111)(112)(121)(122)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 케이스(100)의 중앙부에는 소정 폭을 가지는 테이프 형상을 가지며 감광막이 부착된 박판의 소재(10)가 예컨대, 릴에 감긴 상태에서 다른 릴에 의해 감기면서 소정 피치씩 이송이 가능하게 연속적으로 공급되도록 통과할 수 있게 되어 있다. 또한, 상기 소재(10)의 일정 구간에서 그 상하면과 각각 접촉 및 이탈이 가능하도록 소정 패턴이 형성된 글래스 마스크(130)(140)가 상기 케이스(100)에 마련된 구동수단(150)(150')(160)(160')에 의해 유동가능하게 지지되어 있다.
상기와 같은 구성의 종래 노광장치에 따르면, 상기 글래스 마스크(130)(140)의 상부 및 하부로 예컨대, 감광성 드라이 필름과 같은 감광막이 코팅된 박판의 소재(10)가 공급되면서 상기 글래스 마스크(130)(140)가 각각 상기 소재(10)의 하면 및 상면에 밀착된다. 이때, 상기 램프(110)(120)가 점등됨과 동시에 상기 셔터부재(111)(112)(121)(122)가 열려 상기 램프(110)(120)로부터 출사된 광이 상기 글래스 마스크(130)(140)로 조사된다. 이로써, 상기 소재(10)의 감광막은 소정 시간(약 5초) 동안 노광된 다음, 상기 셔터부재(111)(112)(121)(122)가 닫힘과 동시에 상기 램프(110)(120)가 점멸된다. 이어서, 상기 글래스 마스크(130)(140)가 소재(10)의 표면으로부터 이탈된 상태에서 상기 소재(10)는 소정 피치 이송되어 이후의 에칭공정 등을 거쳐 반도체 리드 프레임으로 제작된다.
그런데, 상기한 바와 같은 종래의 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치는 상기 소재(10)가 노광장치로 공급되기 이전에 외부에 노출된 상태로 있기 때문에, 소재의 표면에 먼지 등의 이물질이 부착되어 이로 인한 피트 등의 불량이 발생하게 되는 문제점이 있다.
따라서, 본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 바와 같은 종래의 노광장치가 가지는 문제점을 개선하고자 창출된 것으로서, 본 고안의 목적은 노광과정을 통하여 소정 패턴을 형성하기 위한 소재의 노광부위를 노광과정 직전에 클리닝하여 불량발생을 방지할 수 있는 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치를 제공함에 있다.
도 1은 종래의 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치를 보인 개략적 구성도이고,
도 2는 본 고안에 의한 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치를 보인 개략적 구성도이다.
도면 주요부분에 대한 부호의 설명
10..소재
100..케이스
110, 120..램프
111, 112, 121, 122..셔터부재
130, 140..글래스 마스크
150, 150', 160, 160'..마스크 구동수단
200..클리닝부
210, 220..진로울러
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 의한 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치는, 감광막이 코팅된 박판의 소재를 소정 패턴이 형성된 마스크와 겹치도록 통과시키면서 상기 마스크로 광을 조사하여 상기 소재의 표면을 소정 패턴으로 노광시키기 위한 반도체 리드 프레임의 노광장치에 있어서, 상기 박판의 소재 표면을 클리닝하기 위한 클리닝수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 본 고안에 의한 반도체 리드 프레임의 노광장치에 있어서, 특히 상기 클리닝수단은 상기 박판의 소재 양면과 각각 밀착되는 1쌍의 로울러부재로 이루어지고, 그 로울러부재의 표면에는 상기 박판의 소재 표면에 부착되어 있는 이물질을 흡착하기 위한 접착재가 도포되어 있는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치를 상세히 설명한다.
도 2는 본 고안에 의한 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치를 보인 개략적 구성도로서, 이를 참조하면 본 고안에 따른 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치는 사각 박스형 케이스(100)와, 이 케이스(100) 내의 상부 및 하부에 각각 회전 가능하게 마련되는 자외선 램프(110)(120)가 대칭적으로 설치되어 있다. 그리고, 상기 램프(110)(120)의 광출사측 즉, 110의 상부 및 120의 하부에는 각각의 램프(110)(120)로부터 출사되는 광을 개폐하기 위하여 좌우로 슬라이딩 가능하게 마련되는 셔터부재부재(111)(112)(121)(122)가 설치되어 있다. 그리고, 상기 케이스(100)의 중앙부에는 소정 폭을 가지는 테이프 형상을 가지며 감광막이 부착된 박판의 소재(10)가 예컨대, 릴에 감긴 상태에서 다른 릴에 의해 감기면서 소정 피치씩 이송이 가능하게 연속적으로 공급되도록 통과할 수 있게 되어 있다. 또한, 상기 소재(10)의 일정 구간에서 그 상하면과 각각 접촉 및 이탈이 가능하도록 소정 패턴이 형성된 글래스 마스크(130)(140)가 상기 케이스(100)에 마련된 구동수단(150)(150')(160)(160')에 의해 유동가능하게 지지되어 있다. 한편, 상기 구성에 있어서 상기 소재(10)가 상기 마스크(130)(140)의 상부 및 하부로 투입되는 상기 케이스(100)의 소재 인입부에는 클리닝부(200)가 마련되어 있고, 상기 클리닝부(200)에는 상기 소재(10)의 표면을 클리닝하기 위하여 예컨대, 진로울러(210)(220)와 같은 클리닝수단을 포함하여 구성된다.
상기 구성의 본 고안에 의한 노광장치에 따르면 예컨대, 감광성 드라이 필름이 감광막으로 코팅된 박판의 소재(10)가 상기 글래스 마스크(130)(140)의 상부 및 하부로 공급되기 직전에, 상기 소재(10)의 표면에 상기 진로울러(210)(220)가 밀착되어 상기 소재(10)의 표면에 부착되어 있는 먼지 등의 이물질이 제거되어 클리닝된다. 이어서, 상기와 같이 클리닝된 소재(10)의 하면 및 상면에 각각 상기 글래스 마스크(130)(140)가 밀착되면서, 상기 램프(110)(120)가 점등됨과 동시에 상기 셔터부재(111)(112)(121)(122)가 열려 상기 램프(110)(120)로부터 출사된 광이 상기 글래스 마스크(130)(140)로 조사된다. 이로써, 상기 소재(10)의 감광막은 소정 시간(약 5초) 동안 노광된 다음, 상기 셔터부재(111)(112)(121)(122)가 닫힘과 동시에 상기 램프(110)(120)가 점멸된다. 이어서, 상기 글래스 마스크(130)(140)가 소재(10)의 표면으로부터 이탈된 상태에서 상기 소재(10)는 소정 피치 이송되어 이후의 에칭공정 등을 거쳐 반도체 리드 프레임으로 제작된다.
한편, 상기 구성의 본 고안에 의한 노광장치에 있어서 상기 클리닝수단은 상기 소재(10)의 양면과 각각 밀착되는 1쌍의 로울러부재의 표면에 접착재 등을 도포하여 상기 소재(10)의 표면에 부착되어 있는 이물질을 흡착할 수 있도록 구성할 수도 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치는, 노광용 마스크로 소재를 투입하기 전에 진로울러와 같은 클리닝수단을 구비하여 소재의 표면에 부착된 먼지 등의 이물질을 제거함으로써 이물질에 의한 불량발생을 방지할 수 있다.

Claims (3)

  1. 감광막이 코팅된 박판의 소재를 소정 패턴이 형성된 마스크와 겹치도록 통과시키면서 상기 마스크로 광을 조사하여 상기 소재의 표면을 소정 패턴으로 노광시키기 위한 반도체 리드 프레임의 노광장치에 있어서,
    상기 박판의 소재 표면을 클리닝하기 위한 클리닝수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임의 노광장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 클리닝수단은 상기 박판의 소재 양면과 각각 밀착되는 1쌍의 로울러부재로 이루어지고, 그 로울러부재의 표면에는 상기 박판의 소재 표면에 부착되어 있는 이물질을 흡착하기 위한 접착재가 도포되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임의 노광장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 클리닝수단은 상기 박판의 소재 양면과 표면 접촉이 가능하도록 된 진로울러인 것을 특징으로 하는 반도체 리드 프레임의 노광장치.
KR2019960035295U 1996-10-24 1996-10-24 반도체 리드 프레임 제조용 노광장치 KR19980021967U (ko)

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