KR102637389B1 - 물품 수납 선반, 및 물품 수납 선반을 구비한 물품 수납 설비 - Google Patents

물품 수납 선반, 및 물품 수납 선반을 구비한 물품 수납 설비 Download PDF

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Abstract

수납 대상인 물품의 주위에 다운플로우를 형성하기 쉽고, 또한 상기 물품의 하중을 적절히 지지 가능한 선반체를 구비한 물품 수납 선반, 및 이와 같은 물품 수납 선반을 구비한 물품 수납 설비를 실현한다.
선반체(S)는, 수평면을 따르는 판형의 지지판부(50)와 그 아래쪽에 배치되어 지지판부(50)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지 프레임(51)을 포함하고, 또한 선반 좌우 방향에서의 지지판부(50)의 폭이 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되고, 지지 프레임(51)은, 지지판부(50)를 따라 배치된 장척 부재로 구성되어, 절결부에 대하여 지지판부(50)의 선반 좌우 방향의 양측으로 나누어져 한 쌍 설치되고, 기단측 부분(51a)은, 선반 좌우 방향에서 보았을 때 아래쪽에 형성된 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지는 동시에, 한 쌍의 지지 프레임(51)에서의 기단측 부분(51a)의 양쪽이 상하 방향에서 볼 때 물품 수납 영역보다 선반 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다.

Description

물품 수납 선반, 및 물품 수납 선반을 구비한 물품 수납 설비{ARTICLE STORAGE RACK AND ARTICLE STORAGE FACILITY INCLUDING SAME}
본 발명은, 물품이 수납되는 물품 수납 선반에 관한 것이다.
상기와 같은 물품 수납 선반의 일례가 일본 공개특허 제2002-252277호 공보(특허 문헌 1)에 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 물품 수납 선반은 청정실의 내부에 설치되어 있고, 반도체 기판을 복수 수용하는 용기를 수납 대상으로 하고 있다(특허 문헌 1의 단락 [0033] 참조). 특허 문헌 1의 도 1에 나타낸 바와 같이, 선반체는, 수평면을 따르는 판형의 천정판(5)을 구비하고 있다.
특허 문헌 1의 물품 수납 선반에서의 천정판(5)에는, 상하 방향으로 관통하는 동시에 돌출 방향을 향해 개구되는 절결부(切缺部; cut-out portion)가 형성되어 있다. 절결부는, 수납 대상의 용기를 지지하는 이송탑재 장치(transfer device)의 이동 지지체가 상하 방향으로 통과할 수 있는 크기로 형성되어 있다. 특허 문헌 1의 물품 수납 선반은, 용기를 지지하고 있는 이동 지지체를 절결부를 통해 천정판(5)의 위쪽으로부터 아래쪽으로 이동시킴으로써, 용기를 이동 지지체로부터 선반체로 이송탑재(transfer)할 수 있다. 또한, 특허 문헌 1의 물품 수납 선반은, 용기를 지지하고 있지 않은 이동 지지체를 절결부를 통해 용기를 지지하고 있는 천정판(5)의 아래쪽으로부터 위쪽으로 이동시킴으로써, 용기를 선반체로부터 이송탑재할 수 있다. 이와 같은 절결부가 형성됨으로써, 천정판(5)의 강도가 약해진다. 천정판(5)을 보강하기 위해, 특허 문헌 1의 물품 수납 선반에는, 천정판(5)을 아래쪽으로부터 지지하는 지지 리브(supporting ribs)(6)가 형성되어 있다.
특허 문헌 1의 물품 수납 선반에는, 기준면보다도 돌출 방향으로 돌출된 지주(支柱; column)(3)가, 수평 방향에서 돌출 방향과 직교하는 좌우 방향으로 이격되어 복수 설치되어 있다. 그리고, 좌우 방향에 있어서 인접하는 한 쌍의 지주(3)의 사이에, 물품이 수납되는 물품 수납 영역이 형성되어 있다. 지지 리브(6)의 기단부(基端部)는, 기준면보다도 돌출 방향으로 오프셋된 위치에서 지주(3)에 장착되어 있다. 또한, 용기의 하중을 적절히 지지하기 위해, 지지 리브(6)의 선단측 부분은, 상하 방향에서 볼 때 물품의 존재 영역과 중복되는 위치에 배치되어 있다.
일본 공개특허 제2002-252277호 공보
특허 문헌 1과 같이, 물품 수납 선반이 설치되는 청정실의 내부에서는, 용기에 수용된 반도체 기판을 오염시키는 원인으로 되는 미소(微小) 입자(미립자)가 상기 용기의 주위를 부유하는 것을 억제하기 위해, 물품 수납 선반의 설치 영역에 있어서 위쪽으로부터 아래쪽으로 기류(다운플로우)를 발생시켜, 부유하는 미립자를 아래쪽으로 이동시켜 집진(集塵)하게 되어 있다. 그러나, 특허 문헌 1에서는, 용기를 지지한 천정판(5)의 상하 방향에서 볼 때의 형상은, 선반 좌우 방향의 외측 쪽까지 연장하도록 형성되어 있고, 천정판(5)에 지지된 용기의 외측 쪽의 공간은 상하로 구획되어 있다. 그러므로, 천정판(5)에 지지된 용기의 주위에 다운플로우를 형성하기 어렵다.
그래서, 수납 대상인 물품의 주위에 다운플로우를 형성하기 쉽고, 또한 상기 물품의 하중을 적절히 지지 가능한 선반체를 구비한 물품 수납 선반, 및 이와 같은 물품 수납 선반을 구비한 물품 수납 설비가 요구된다.
본 발명에 관한 물품 수납 선반은,
상하 방향을 따르는 기준면을 가지는 선반 프레임((rack frame)); 및
상기 선반 프레임에 장착되어 수납 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 복수의 선반체;를 포함하고,
복수의 상기 선반체가 상하 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되고, 상하 방향으로 인접하는 2개의 상기 선반체의 사이에 물품이 수납되는 물품 수납 영역이 형성되고, 복수의 상기 선반체의 각각은, 상기 기준면으로부터 수평 방향을 따른 돌출 방향으로 돌출하는 캔틸레버형(cantilever fashion)으로 상기 선반 프레임에 장착되고,
상기 선반체는, 수평면을 따르는 판형의 지지판부와, 상기 지지판부의 아래쪽에서의 상하 방향에서 볼 때 상기 지지판부와 중복되는 위치에 배치되어 상기 지지판부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지 프레임을 포함하고,
수평면을 따른 방향으로서 상기 돌출 방향과 직교하는 선반 좌우 방향에서의 상기 지지판부의 폭이, 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되고,
상기 지지판부에는, 상하 방향으로 관통하는 동시에 상기 돌출 방향을 향해 개구되는 절결부가 형성되고,
상기 지지 프레임은, 상기 지지판부를 따라 배치된 장척(長尺) 부재로 구성되어, 상기 절결부에 대하여 상기 지지판부의 상기 선반 좌우 방향의 양측으로 나누어져 한 쌍 설치되고,
한 쌍의 상기 지지 프레임의 각각은, 상기 기준면에 맞닿는 기단부를 가지는 기단측(基端側) 부분과 상기 기단측 부분보다 상기 돌출 방향측의 부분인 선단측 부분을 가지고,
상기 기단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지고,
상기 선단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역보다 위쪽에 위치하고,
한 쌍의 상기 지지 프레임은, 한 쌍의 상기 기단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역보다 상기 선반 좌우 방향의 외측에 배치되고, 한 쌍의 상기 선단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지도록, 상기 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 상기 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있다.
즉, 지지판부의 폭이, 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있으므로, 선반 좌우 방향에서의 지지판부의 양측의 사이드 에지보다도 외측에 다운플로우가 통과할 수 있는 공간(선반체 외측 공간이라고 함)을 형성할 수 있다. 여기서, 지지 프레임은, 기단부가 선반 프레임의 기준면에 맞닿는 상태에서, 상하 방향에서 볼 때 지지판부와 중복되는 위치에 배치되므로, 지지 프레임의 기단측 부분을 선반 좌우 방향으로 서로 근접시킬 수 있다. 또한, 지지 프레임은, 기단부를 기준면에 맞닿게 한 상태에서 돌출 방향으로 돌출하고, 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있다. 그러므로, 지지판부의 폭을 돌출 방향의 전체에 걸쳐 협폭(狹幅)으로 할 수 있어, 선반체 외측 공간을 돌출 방향의 전체에 걸쳐 형성할 수 있다. 따라서, 선반 좌우 방향에서의 지지판부의 양측의 사이드 에지보다도 외측에 다운플로우를 형성하기 쉽다.
또한, 지지 프레임에서의 한 쌍의 선단측 부분의 양쪽은 상하 방향에서 볼 때 물품 수납 영역과 중복되도록 배치되어 있으므로, 지지판부에 지지하고 있는 물품의 하중을 상기 물품의 아래쪽에서 적절히 지지할 수 있다.
이와 같이, 본 특징적 구성에 의하면, 수납 대상인 물품의 주위에 다운플로우를 형성하기 쉽고, 또한 상기 물품의 하중을 적절히 지지 가능한 선반체를 구비한 물품 수납 선반을 실현할 수 있다.
도 1은 반도체 용기 스토커(stocker)의 전체 평면도
도 2는 반도체 용기 스토커의 측면에서 볼 때의 단면도(斷面圖)
도 3은 보관 선반(storage rack) 유닛의 정면도
도 4는 보관 선반 유닛의 사시도
도 5는 보관 선반 유닛의 평면도
도 6은 보관 선반 유닛의 주요부 측면도
도 7은 지지 프레임의 기단측 부분과 선단 부분과의 위치 관계를 나타낸 선반체의 평면도 및 측면도
도 8은 보관 선반 유닛의 정면에서 볼 때의 단면도
도 9는 중량 용기에 대응한 새로운 선반체의 장착 방법을 나타낸 분해사시도
도 10은 이미 설치된 선반체의 장착 방법을 나타낸 분해사시도
이하, 본 발명에 관한 물품 수납 선반의 실시형태에 대하여, 물품 수납 설비의 일례인 반도체 용기 스토커에 본 발명을 적용한 경우를 예로 들어, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1∼도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 관한 반도체 용기 스토커(10)는, 수납 대상의 물품으로서 반도체 기판을 수용하는 FOUP 또는 FOSB 등의 반도체 용기(B)를 수납한다. 반도체 용기 스토커(10)는, 보관 선반 유닛(U)으로서의 선반 좌우 방향으로 복수 배열된 물품 수납 선반을 포함하고, 또한 보관 선반 유닛(U)은, 반도체 용기(B)의 출입 방향이 반대로 되는 형태로 선반 전후 방향으로 이격되어 한 쌍 배치되어 있다. 그리고, 선반 전후 방향으로 배열되는 한 쌍의 보관 선반 유닛(U)의 사이에는 스태커 크레인(stacker crane)(C)이 이동하는 이동 공간이 형성되어 있고, 그 이동 공간에, 선반 좌우 방향을 따라 주행 레일(R)이 설치되어 있다. 또한, 반도체 용기 스토커(10)의 내부와 외부와의 사이에서 반도체 용기(B)를 출입하는 입출고(入出庫) 스테이션(10T)이 설치되어 있다.
보관 선반 유닛(U)은, 선반 프레임과, 상기 선반 프레임에 장착되어 수납 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 선반체(shelf member)(S)를 구비하고 있다. 선반 프레임은, 선반 좌우 방향으로 간격을 두고 배열되는 지주(33)와, 인접하는 지주(33)의 사이에 길이 방향을 수평 방향을 따라 장착된 가로행(橫行) 부재(30)와, 가로행 부재(30)로부터 수평 방향을 따라 돌출되도록 장착된 선반체(S)를 구비하고 있다. 이 경우의 돌출 방향은, 수평 방향을 따라 또한 평면에서 볼 때 주행 레일(R)에 대하여 직교하면서 향하는 방향을 말한다. 본 실시형태에서는, 선반체(S)의 돌출 방향에서의 후단부가, 가로행 부재(30)에 의해 지지되어 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 스태커 크레인(C)는, 주행 레일(R) 상을 주행하는 주행부(21)와, 주행부(21)에 세워 설치된 승강 안내 마스트(guide mast)(20)와, 승강 이동 가능한 상태로 승강 안내 마스트(20)에 지지되는 승강체(22)와, 승강체(22)에 지지되어, 반도체 용기(B)를 지지하는 이동 지지체(24)를 선반의 전후 방향에서 이동 공간 측과 보관 선반 유닛(U)의 물품 수납 공간 측으로 출퇴(出退) 이동 가능하게 이동 조작하는 출퇴 암(23)을 구비하여 구성되어 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 반도체 용기 스토커(10)는, 보관 선반 유닛(U)과 스태커 크레인(C)이 존재하는 선반 설치 영역을 포위하는 구획벽(10W)을 구비하고 있다. 이 구획벽(10W)에 의해, 선반 설치 영역(E1)과 외부 영역(E2)이 구획되어 있다. 또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 보관 선반 유닛(U)의 상단(上端)에는 기류 발생 장치(D)가 설치되어 있다. 그리고, 구획벽(10W)의 하단부 근방에는 개구가 형성되어 있고, 이 개구로부터 반도체 용기 스토커(10)가 설치되는 반도체 제조 설비의 바닥(F)의 아래쪽에 설치되는 기체(氣體) 회수 유로(流路; flowpath)로, 선반 설치 영역(E1)의 기체가 배출된다. 이로써, 기류 발생 장치(D)는, 선반 설치 영역(E1)에 있어서, 상하 방향으로 나란히 존재하는 선반체(S)의 범위에서 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 기류(다운플로우)를 발생시킬 수 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 반도체 용기(B)의 전면(前面)의 개구에는 커버부가 설치되어 있고, 반도체 용기(B)는, 평면에서 볼 때 커버부와는 반대측의 단부(端部)(후면)에 가까워짐에 따라 좌우 방향의 폭이 좁아지는 형상으로 형성되어 있다. 이후, 반도체 용기(B)에 대하여, 커버부 측을 전단부(前端部), 커버부와는 반대측의 단부를 후단부라고 한다.
도 5 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 반도체 용기(B)는, 바닥면(Bb)에 3개의 위치결정홈(Bm)을 구비하고 있다. 3개의 위치결정홈(Bm) 중 2개[도 5, 도 6에 나타낸 위치결정홈(Bm2)]는, 반도체 용기(B)의 전단부에 근접하고 또한 좌우 방향으로 이격되어 형성되어 있다. 3개의 위치결정홈(Bm) 중 하나[도 5, 도 6에 나타낸 위치결정홈(Bm1)]는, 반도체 용기(B)의 후단부에 근접하고 또한 좌우 방향으로 2개의 위치결정홈(Bm2)의 중간에 형성되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 이동 지지체(24)의 기단측은, 상하 방향을 따르는 회동축(回動軸)(J)을 통하여 출퇴 암(23)에 지지되어 있다. 이동 지지체(24)는, 상단에 반도체 용기(B)를 탑재하는 탑재면을 포함하고, 상기 탑재면에, 반도체 용기(B)의 바닥면(Bb)에 구비되는 3개의 위치결정홈(Bm)과 걸어맞추어지는 3개의 위치결정핀(Q)이 설치되어 있다. 그리고, 위치결정핀(Q)으로서, 2개의 위치결정홈(Bm2)과 각각 걸어맞추어지는 2개의 위치결정핀(Q2)과, 1개의 위치결정홈(Bm1)과 걸어맞추어지는 1개의 위치결정핀(Q1)이 설치되어 있다.
이동 지지체(24)는, 스태커 크레인(C)이 이동하는 이동 공간과 보관 선반 유닛(U)과의 사이에서 반도체 용기(B)를 이송탑재(移載; transfer) 가능하게 되어 있다.
도 1∼도 4에 나타낸 바와 같이, 선반 프레임은, 선반 좌우 방향으로 이격되고, 또한 상하 방향을 따르는 자세로 하단부로부터 세워 설치된 한 쌍의 지주(33)와, 그 한 쌍의 지주(33)의 사이에 수평 방향을 따른 자세로 설치되고, 또한 좌우 양단부의 각각이 한 쌍의 지주(33)에 고정된 복수의 장척형(長尺形)의 가로행 부재(30)를 구비하고 있다.
복수의 가로행 부재(30)는, 한 쌍의 지주(33) 간에 있어서 선반 좌우 방향을 따라 배치되는 동시에 상하 방향으로 서로 이격되어 배치되어 있다. 또한, 단일의 가로행 부재(30)에는, 2개 또는 3개의 선반체(S)가, 선반 좌우 방향으로 배열된 상태로 장착되어 있다.
본 실시형태에 있어서는, 선반 좌우 방향을 따르는 자세로, 또한 상하 방향으로 나란히 배치되는 복수의 가로행 부재(30) 모두를 포함하는 가상적인 면이, 기준면에 상당한다.
즉, 보관 선반 유닛(U)은, 상하 방향을 따르는 기준면을 가지는 선반 프레임을 구비하는 동시에, 선반 프레임에 장착되어 수납 대상의 반도체 용기(B)를 아래쪽으로부터 지지하는 선반체(S)를 복수 구비하고 있다. 복수의 선반체(S)가 상하 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되어 있다. 상하 방향으로 인접하는 2개의 선반체(S)의 사이에, 반도체 용기(B)가 수납되는 물품 수납 영역이 형성되어 있다. 복수의 선반체(S)의 각각은, 기준면으로부터 수평 방향을 따른 돌출 방향으로 돌출하는 캔틸레버형으로 선반 프레임에 장착되어 있다.
그런데, 반도체 용기(B)는 규격에 따라 외형이 규정되어 있지만, 외형을 유지한 채 반도체 기판의 수납 밀도를 향상시키는 등의 개량이 가해지는 것에 의해, 반도체 용기(B)의 중량이 무거워지는 경우가 있다. 이후, 개량이 가해지기 전의 반도체 용기(B)를 경량 용기, 개량이 가해진 후의 반도체 용기(B)를 중량 용기라고 한다. 또한, 경량 용기에 대응하는 보관 선반 유닛(U)[개수(改修) 전의 유닛이라고 함]의 선반체(S)를 도 10에 나타낸다.
이하, 경량 용기에 대응하는 보관 선반 유닛(U)의 구성을 설명한다. 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1 가로행 부재(31)는 지주(33)에 장착되어 있다. 또한, 제1 가로행 부재(31)의 상면 및 하면이 수평면을 따라 형성되어 있다. 경량 용기에 대응하는 선반체(S1)는, 수평면을 따르는 판형의 지지판부(90)와, 지지판부(90)의 아래쪽, 또한 상하 방향에서 볼 때 지지판부(90)와 중복되는 위치에 배치되어 지지판부(90)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지 프레임(91)을 구비하고 있다.
지지판부(90)에는, 상하 방향으로 관통하는 동시에 돌출 방향을 향해 개구되는 절결부(90Y)가 형성되어 있다. 지지 프레임(91)은, 지지판부(90)를 따라 배치된 장척 부재로 구성되어 있고, 절결부(90Y)에 대하여[선반 좌우 방향으로 절결부(90Y)를 협지(sandwich)하도록] 지지판부(90)의 선반 좌우 방향의 양측으로 나누어져 한 쌍 설치되어 있다.
지지판부(90)의 상면에는, 반도체 용기(B)의 바닥면(Bb)에 구비되는 3개의 위치결정홈(Bm)과 걸어맞추어지는 3개의 위치결정핀(P)이 설치되어 있다. 위치결정핀(P)으로서, 2개의 위치결정홈(Bm2)과 각각 걸어맞추어지는 2개의 위치결정핀(P2)과, 1개의 위치결정홈(Bm1)과 걸어맞추어지는 1개의 위치결정핀(P1)이 설치되어 있다. 또한, 지지판부(90)의 상면에는, 반도체 용기(B)가 선반체(S1)에 지지되어 있는지의 여부를 검출하는 재고 센서(G)가 설치되어 있다.
또한, 선반체(S1)는, 제1 가로행 부재(31)의 상면에 맞닿는 상측 맞닿음부(92)와, 제1 가로행 부재(31)의 하면에 맞닿는 하측 맞닿음부(93)를 구비하고 있다. 상측 맞닿음부(92)와 하측 맞닿음부(93)는, 지지 프레임(91)의 기단측 부분으로부터 연속하여 형성되어 있다.
제1 가로행 부재(31)의 상면에는 수나사(31B)가 나사결합되는 암나사공(31hu)이 형성되고, 제1 가로행 부재(31)의 하면에는 수나사(31B)가 나사결합되는 암나사공(31hd)이 형성되어 있다.
그리고, 상측 맞닿음부(92)에서의 제1 가로행 부재의 암나사공(31hu)에 대응하는 위치에, 수나사(31B)의 호칭 지름(nominal diameter)보다도 큰 관통공(92h)이 형성되어 있다. 하측 맞닿음부(93)에서의 제1 가로행 부재(31)의 암나사공(31hd)에 대응하는 위치에, 수나사(31B)의 호칭 지름보다도 큰 관통공(93h)이 형성되어 있다.
또한, 상측 맞닿음부(92)와 하측 맞닿음부(93)와의 양쪽이, 지지 프레임(91)의 기단부로부터 수평 방향을 따라 돌출 방향과 반대 방향으로 연장되어 있다. 상측 맞닿음부(92)와 하측 맞닿음부(93)는, 제1 가로행 부재(31)의 상하 방향의 치수 L1에 상당하는 거리만큼 상하 방향으로 이격되어 배치되어 있다.
그리고, 제1 가로행 부재(31)의 상면과 하면을 상측 맞닿음부(92)와 하측 맞닿음부(93)에서 끼워넣고, 수나사(31B)를, 상측 맞닿음부(92)의 관통공(92h)에 통과시키는 동시에 제1 가로행 부재(31)의 상면의 암나사공(31hu)에 나사결합시킨다. 그리고, 수나사(31B)를, 하측 맞닿음부(93)의 관통공(53h)에 통과시키는 동시에 제1 가로행 부재(31)의 하면의 암나사공(32hu)에 나사결합시킨다. 이로써, 선반체(S)를 제1 가로행 부재(31)에 고정시킨다.
본 실시형태에서는, 경량 용기에 대응하는 보관 선반 유닛(U)에서의 선반 프레임을 유용하여, 보관 선반 유닛(U)을, 중량 용기의 하중에 견딜 수 있는 선반체(S2)를 구비한 것으로 개수하는[이하, 개장(改裝; retrofit이라고 함] 것이 가능하다. 그러므로, 선반 프레임 전체를 중량 용기의 하중을 지지 가능한 것으로 만들어 바꾸는 경우와 비교하여, 비용을 저감할 수 있다.
이하, 보관 선반 유닛(U)의 개장의 방법에 대하여 설명한다.
도 6, 도 8, 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 제1 가로행 부재(31) 및 제2 가로행 부재(32)의 각각은, 선반 좌우 방향에서 보았을 때 직사각형으로 형성되고, 또한 제1 가로행 부재(31) 및 제2 가로행 부재(32)의 각각의 상면 및 하면이 수평면을 따라 형성되어 있다.
제1 가로행 부재(31)는 지주(33)에 장착되어 있다. 이 제1 가로행 부재(31)의 아래쪽으로부터, 선반 좌우 방향의 치수가 제1 가로행 부재(31)와 대략 같은 치수인 제2 가로행 부재(32)를 맞닿게 한다. 그 후, 지지용 블록(35)을 아래쪽으로부터 제2 가로행 부재(32)와 맞닿게 한 상태에서, 수나사(35B)를 상기 지지용 블록(35)의 관통공(35hy)에 통해 지주(33)의 암나사공(33h)에 나사결합시킨다. 이로써, 지지용 블록(35)을 지주(33)에 고정할 수 있어, 제2 가로행 부재(32)가 제1 가로행 부재(31)의 아래쪽에 위치하는 상태를 유지할 수 있다.
도 6, 도 8, 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 제1 가로행 부재(31)의 상면에는 수나사(31B)가 나사결합되는 암나사공(31hu)이 형성되어 있다. 제1 가로행 부재(31)의 하면에는 수나사(32B)가 나사결합되는 암나사공(31hd)이 형성되어 있다. 또한, 제2 가로행 부재(32)에서의 제1 가로행 부재(31)의 암나사공(31hd)에 대응하는 위치에는, 수나사(32B)의 호칭 지름보다도 큰 관통공(32h)이 형성되어 있다.
그리고, 상측 맞닿음부(52)에서의 제1 가로행 부재의 암나사공(31hu)에 대응하는 위치에는, 수나사(31B)의 호칭 지름보다도 큰 관통공(52h)이 형성되어 있다. 하측 맞닿음부(53)에서의 제1 가로행 부재(31)의 암나사공(31hd)에 대응하는 위치에는, 수나사(32B)의 호칭 지름보다도 큰 관통공(53h)이 형성되어 있다.
즉, 제1 가로행 부재(31)의 상면 및 하면에, 수나사(31B, 32B)가 나사결합되는 암나사공(31hu, 31hd)이 형성되어 있고, 제2 가로행 부재(32)에서의 제1 가로행 부재(31)의 암나사공(31hd)에 대응하는 위치에, 수나사(32B)의 호칭 지름보다도 큰 관통공(32h)이 형성되어 있다.
또한, 상측 맞닿음부(52) 및 하측 맞닿음부(53)에서의 제1 가로행 부재(31)의 암나사공에 대응하는 위치에, 수나사(31B, 32B)의 호칭 지름보다도 큰 관통공(52h, 53h)이 형성되어 있다.
도 5∼도 7에 나타낸 바와 같이, 중량 용기에 대응하는 선반체(S2)는, 수평면을 따르는 판형의 지지판부(50)와, 지지판부(50)의 아래쪽에서의 상하 방향에서 볼 때 지지판부(50)와 중복되는 위치에 배치되어 지지판부(50)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지 프레임(51)을 구비하고 있다.
지지판부(50)에는, 상하 방향으로 관통하는 동시에 돌출 방향을 향해 개구되는 절결부(50Y)가 형성되어 있다. 지지 프레임(51)은, 지지판부(50)를 따라 배치된 장척 부재로 구성되어 있고, 선반 좌우 방향으로 절결부(50Y)를 협지하도록 지지판부(50)의 선반 좌우 방향의 양측으로 나누어져 한 쌍 설치되어 있다.
지지판부(50)의 상면에는, 반도체 용기(B)의 바닥면(Bb)에 구비되는 3개의 위치결정홈(Bm)과 각각 걸어맞추어지는 3개의 위치결정핀(P)이 설치되어 있다. 위치결정핀(P)으로서, 2개의 위치결정홈(Bm2)과 각각 걸어맞추어지는 2개의 위치결정핀(P2)과, 1개의 위치결정홈(Bm1)과 걸어맞추어지는 1개의 위치결정핀(P1)이 설치되어 있다.
도 5∼도 7에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 지지 프레임(51)의 각각은, 기준면에 맞닿는 기단부를 가지는 기단측 부분(51a)[도 7에 있어서 영역(W1)에 포함되는 부분]과 상기 기단측 부분(51a)보다도 돌출 방향측의 부분인 선단측 부분(51b)[도 7에 있어서 영역(W2)에 포함되는 부분]을 가진다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 기단측 부분(51a)은, 선반 좌우 방향에서 보았을때, 지지판부(50)의 아래쪽에 형성된 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가진다.
또한, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 선단측 부분(51b)은, 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 선단측 지지판부(50)의 아래쪽에 형성된 물품 수납 영역보다 위쪽에 위치하고 있다. 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 지지 프레임(51)은, 한 쌍의 기단측 부분(51a)의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 물품 수납 영역보다 선반 좌우 방향의 외측에 배치되고, 한 쌍의 선단측 부분(51b)의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지도록, 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있다.
또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 지지판부(50)의 선반 좌우 방향의 양측의 사이드 에지의 각각이, 직선형 부분을 가지고 있다. 한 쌍의 지지 프레임(51)의 각각은, 한 쌍의 사이드 에지의 직선형 부분으로부터 하방향으로 절곡된 판형부를 가지고 있다.
도 5∼도 9에 나타낸 바와 같이, 선반체(S2)는, 가로행 부재(30)의 상면에 맞닿는 상측 맞닿음부(52)와, 가로행 부재(30)의 하면에 맞닿는 하측 맞닿음부(53)를 구비하고 있다.
도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 상측 맞닿음부(52)와 하측 맞닿음부(53)는, 지지 프레임(51)의 기단측 부분(51a)으로부터 연속하여 형성되어 있다. 상측 맞닿음부(52)와 하측 맞닿음부(53)와의 양쪽은, 지지 프레임(51)의 기단부(51e)로부터 수평 방향을 따라 돌출 방향과 반대 방향으로 연장되어 있다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 상측 맞닿음부(52)와 하측 맞닿음부(53)는, 제1 가로행 부재(31)의 상하 방향의 치수 L1과 제2 가로행 부재(32)의 상하 방향의 치수 L2와의 합에 상당하는 거리만큼 상하 방향으로 이격되어 배치되어 있다.
또한, 기단부(51e)는, 돌출 방향의 반대 방향을 향하는 면이다. 기단부(51e)에 대하여 돌출 방향을 향하는 면(이하, 전면이라고 함)에는, 전면 맞닿음부(54)가 형성되어 있다. 기단부(51e)와 전면 맞닿음부(54)는, 1개의 판형 부분에 형성된 서로 반대 방향을 향하는 면으로 되어 있다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 전면 맞닿음부(54)에는, 수나사(54B)의 호칭 지름보다도 큰 관통공(54h)이 형성되어 있다. 제2 가로행 부재(32)의 전면에는, 수나사(54B)가 나사결합되는 암나사공(32hy)가 형성되어 있다. 그리고, 수나사(54B)를 큰 관통공(54h)에 통과시키는 동시에 암나사공(32hy)와 나사결합시키는 것에 의해, 기단부(51e)와 제1 가로행 부재(31) 및 제2 가로행 부재(32)의 전면을 맞닿게 한 상태에서 고정시킬 수 있다.
상기와 같은 구성에 의해, 제1 가로행 부재(31)의 아래쪽으로부터 제2 가로행 부재(32)를 맞닿게 한 상태에서, 상측 맞닿음부(52)와 하측 맞닿음부(53)에 의해 상기 제1 가로행 부재(31)와 제2 가로행 부재(32)를 끼워넣는다. 그리고, 수나사(31B)를 상측 맞닿음부(52)의 관통공(52h)에 통과시키는 동시에 제1 가로행 부재(31)의 상단의 암나사공(31hu)에 나사결합시킨다. 또한, 수나사(32B)를 하측 맞닿음부(53)의 관통공(53h) 및 제2 가로행 부재(32)의 관통공(32h)에 통과시키는 동시에 제1 가로행 부재(31)의 하단(下端)의 암나사공(32hu)에 나사결합시킨다. 이로써, 제1 가로행 부재(31)와 제2 가로행 부재(32)를 연결한다. 즉, 제1 가로행 부재(31)와 제2 가로행 부재(32)가, 상측 맞닿음부(52) 및 하측 맞닿음부(53)에 의해 연결된다.
본 실시형태에서는, 제1 가로행 부재(31)와 제2 가로행 부재(32)에 의해 가로행 부재(30)가 구성된다. 즉, 복수의 가로행 부재(30)의 각각은, 선반 좌우 방향의 양 단부가 지주(33)에 고정된 제1 가로행 부재(31)와, 상기 제1 가로행 부재(31)에 대하여 아래쪽으로부터 맞닿는 제2 가로행 부재(32)를 구비하고 있다.
이와 같이, 지주(33)에 고정되어 있는 제1 가로행 부재(31)를 유용(流用)하면서, 중량 용기에 대응하는 선반체(S2)를 장착 가능하도록 선반 프레임을 개수할 수 있으므로, 선반 프레임 전체를 중량 용기의 하중을 지지 가능한 것으로 만들어 바꾸는 경우와 비교하여, 비용을 저감할 수 있다. 또한, 선반체(S2)를 선반 프레임에 장착하기 위한 상측 맞닿음부(52) 및 하측 맞닿음부(53)에, 제1 가로행 부재(31)와 제2 가로행 부재(32)를 연결하는 기능을 겸용시킴으로써, 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 지지 프레임을, 지지판부(50)의 선반 좌우 방향의 양측의 사이드 에지의 직선형 부분으로부터 하방향으로 절곡된 판형부로 하는 구성을 설명하였다. 그러나, 판형부를 지지판부(50)와는 별체로 형성하여, 그 판형부와 지지판부(50)의 선반 좌우 방향의 양측의 사이드 에지를 용접 등에 의해 접속하도록 구성해도 된다. 또한, 지지 프레임을, 판형이 아니고 중실(中實) 또는 중공(中空)의 봉형체(棒形體)로서 구성해도 된다. 이와 같이, 지지 프레임은, 한 쌍의 기단측 부분의 양쪽이 상하 방향에서 볼 때 물품 수납 영역보다 선반 좌우 방향의 외측에 배치되고, 한 쌍의 선단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지도록, 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있는 한, 그 구조나 형성 방법은 자유롭게 선택 가능하다.
(2) 상기 실시형태에서는, 한 쌍의 지주(33)와, 선반 좌우 방향의 양단부가 한 쌍의 지주(33)에 고정되어 한 쌍의 지주(33)의 사이를 접속하는 복수의 장척형의 가로행 부재(30)에 의해 선반 프레임이 구성되는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 선반 프레임은 이와 같이 구성되어 있지 않아도 되고, 예를 들면, 단일의 지주를 구비하고, 그 지주로부터 수평 방향을 따라 연장되는 가로행 부재(30)를 구비하는 구성으로 해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 제1 가로행 부재(31) 및 제2 가로행 부재(32)의 각각이, 선반 좌우 방향에서 보았을때 직사각형으로 형성되어 있는 구성을 예로 설명하였다. 그러나, 제1 가로행 부재(31) 및 제2 가로행 부재(32)의 선반 좌우 방향에서 볼 때의 형상은 직사각형에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 가로행 부재(31)의 선반 좌우 방향에서 볼 때의 형상을 위쪽으로 돌출하는 반원 형상으로 하고, 제2 가로행 부재(32)의 선반 좌우 방향에서 볼 때의 형상을 아래쪽으로 돌출하는 반원 형상으로 하여, 이들이 상하 방향에서 연결됨으로써, 전체로서 원형상으로 되도록 해도 된다. 이 때, 상측 맞닿음부는 적어도 제1 가로행 부재(31)의 상면에 맞닿고, 하측 맞닿음부는 적어도 제2 가로행 부재(32)의 하면에 맞닿도록 구성한다. 또한, 제1 가로행 부재(31)와 제2 가로행 부재(32)를 상하 방향으로 연결한 경우에서의 선반 좌우 방향에서 볼 때의 형상이 타원 형상 또는 직사각형 이외의 이형(異形) 단면(斷面) 형상으로 되도록 해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 제1 가로행 부재(31)의 상면 및 제2 가로행 부재(32)의 하면을 수평면을 따라 형성하고, 상측 맞닿음부(52)와 하측 맞닿음부(53)와의 양쪽을, 지지 프레임(51)의 기단부로부터 수평 방향을 따라 돌출 방향과 반대 방향으로 연장시키는 구성을 예로 설명하였다. 그러나, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 가로행 부재(31)의 상면을 돌출 방향에 가까워질수록 아래쪽으로 경사지는 경사면으로서 형성하고, 제2 가로행 부재(32)의 하면을 돌출 방향에 가까워질수록 위쪽으로 경사지는 경사면으로서 형성하고, 상측 맞닿음부(52)를 제1 가로행 부재(31)의 상면을 따르는 각도로 형성하고, 하측 맞닿음부(53)를 제2 가로행 부재(32)의 하면을 따르는 각도로 형성해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 제2 가로행 부재(32)를 제1 가로행 부재(31)에 대하여 아래쪽으로부터 맞닿게 하는 형상을 설명하였으나, 제2 가로행 부재(32)를 제1 가로행 부재(31)에 대하여 위쪽으로부터 맞닿게 하도록 구성해도 된다. 이 경우, 제2 가로행 부재(32)의 관통공(32h)은, 제1 가로행 부재(31)의 상면의 암나사공(31hu)에 대응하는 위치에 형성한다.
(6) 상기 실시형태에서는, 반도체 용기(B)를 수납 대상으로 하는 경우를 예로 설명하였다. 본 발명은, 이와 같은 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 식품 등의 반도체 용기(B) 이외의 물품을 수납 대상으로 해도 된다. 이 경우, 예를 들면, 식품 보존용의 냉동 가스나 냉장 가스 등을 선반 설치 영역에서의 선반체(S)의 존재 범위의 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동(流動; flow)시키도록 구성해도 된다.
(7) 상기 실시형태에서는, 선반 좌우 방향으로 배열된 2개 또는 3개의 선반체(S)를 구비하는 보관 선반 유닛(U)을 예로 설명하였으나, 선반 좌우 방향으로 배열된 4개 이상의 선반체(S)를 구비하는 보관 선반 유닛(U)으로 해도 된다. 또한, 선반체(S)를 1개만 구비하는 보관 선반 유닛(U)으로 해도 된다.
(8) 상기 실시형태에서는, 복수의 보관 선반 유닛(U)의 각각의 기준면이 동일면 상에 배치되도록 보관 선반 유닛(U)이 배열되어 배치되는 예에 대하여 설명하였다. 그러나, 본 발명은, 이와 같은 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 복수의 보관 선반 유닛(U)을, 평면에서 볼 때 돌출 방향의 위치를 서로 어긋나게 하여 배치해도 된다. 또한, 상하 방향으로 이동 가능하고, 또한 상하 축심을 따라 회동(回動) 가능한 이송탑재 장치를 구비한 반송 장치(搬送裝置; transport device)를 설치하고, 복수의 보관 선반 유닛(U)을, 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 장치를 주위 방향으로 에워싸도록 배치해도 된다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 수납 선반의 개요에 대하여 설명한다.
물품 수납 선반은,
상하 방향을 따르는 기준면을 가지는 선반 프레임; 및
상기 선반 프레임에 장착되어 수납 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 복수의 선반체;
를 포함하고,
복수의 상기 선반체가 상하 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되고, 상하 방향으로 인접하는 2개의 상기 선반체의 사이에 물품이 수납되는 물품 수납 영역이 형성되고, 복수의 상기 선반체의 각각은, 상기 기준면으로부터 수평 방향을 따른 돌출 방향으로 돌출하는 캔틸레버형으로 상기 선반 프레임에 장착되고,
상기 선반체는, 수평면을 따르는 판형의 지지판부와, 상기 지지판부의 아래쪽에서의 상하 방향에서 볼 때 상기 지지판부와 중복되는 위치에 배치되어 상기 지지판부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지 프레임을 포함하고,
수평면을 따른 방향으로서 상기 돌출 방향과 직교하는 선반 좌우 방향에서의 상기 지지판부의 폭이, 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되고,
상기 지지판부에는, 상하 방향으로 관통하는 동시에 상기 돌출 방향을 향해 개구되는 절결부가 형성되고,
상기 지지 프레임은, 상기 지지판부를 따라 배치된 장척 부재로 구성되어, 상기 절결부에 대하여 상기 지지판부의 상기 선반 좌우 방향의 양측으로 나누어져 한 쌍 설치되고,
한 쌍의 상기 지지 프레임의 각각은, 상기 기준면에 맞닿는 기단부를 가지는 기단측 부분과 상기 기단측 부분보다 상기 돌출 방향측의 부분인 선단측 부분을 가지고,
상기 기단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지고,
상기 선단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역보다 위쪽에 위치하고,
한 쌍의 상기 지지 프레임은, 한 쌍의 상기 기단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역보다 상기 선반 좌우 방향의 외측에 배치되고, 한 쌍의 상기 선단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지도록, 상기 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 상기 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있다.
즉, 지지판부의 폭이, 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있으므로, 선반 좌우 방향에서의 지지판부의 양측의 사이드 에지보다도 외측에 다운플로우가 통과할 수 있는 공간(선반체 외측 공간이라고 함)을 형성할 수 있다. 여기서, 지지 프레임은, 기단부가 선반 프레임의 기준면에 맞닿는 상태에서, 상하 방향에서 볼 때 지지판부와 중복되는 위치에 배치되므로, 지지 프레임의 기단측 부분을 선반 좌우 방향으로 서로 근접시킬 수 있다. 또한, 지지 프레임은, 기단부를 기준면에 맞닿게 한 상태에서 돌출 방향으로 돌출하고, 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되어 있다. 그러므로, 지지판부의 폭을 돌출 방향의 전체에 걸쳐 협폭으로 할 수 있고, 선반체 외측 공간을 돌출 방향의 전체에 걸쳐 형성할 수 있다. 따라서, 선반 좌우 방향에서의 지지판부의 양측의 사이드 에지보다도 외측에 다운플로우를 형성하기 쉽다.
또한, 지지 프레임에서의 한 쌍의 선단측 부분의 양쪽은 상하 방향에서 볼 때 물품 수납 영역과 중복되도록 배치되어 있으므로, 지지판부에 지지하고 있는 물품의 하중을 상기 물품의 아래쪽에서 적절히 지지할 수 있다.
이와 같이, 본 특징적 구성에 의하면, 수납 대상인 물품의 주위에 다운플로우를 형성하기 쉽고, 또한 상기 물품의 하중을 적절히 지지 가능한 선반체를 구비한 물품 수납 선반을 실현할 수 있다.
또한, 상기 지지판부의 상기 선반 좌우 방향의 양측의 사이드 에지의 각각이, 직선형 부분을 가지고, 한 쌍의 상기 지지 프레임의 각각은, 한 쌍의 상기 사이드 에지의 직선형 부분으로부터 하방향으로 절곡된 판형부를 가지고 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 한 쌍의 지지 프레임의 각각은, 지지판부의 선반 좌우 방향의 양측의 사이드 에지에서의 직선형 부분으로부터 하방향으로 절곡한다는 간단한 방법으로 형성할 수 있다.
또한, 상기 선반 프레임은, 한 쌍의 지주와, 복수의 장척형의 가로행 부재를 구비하고, 복수의 상기 가로행 부재는, 한 쌍의 상기 지주의 사이에 있어서 상기 선반 좌우 방향을 따라 배치되는 동시에 상하 방향으로 서로 이격되어 배치되고, 상기 선반체가, 상기 가로행 부재의 상면에 맞닿는 상측 맞닿음부와, 상기 가로행 부재의 하면에 맞닿는 하측 맞닿음부를 구비하고, 복수의 상기 가로행 부재의 각각은, 상기 선반 좌우 방향의 양 단부가 상기 지주에 고정된 제1 가로행 부재와, 상기 제1 가로행 부재에 대하여 위쪽 또는 아래쪽으로부터 맞닿는 제2 가로행 부재를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
즉, 한 쌍의 지주에 고정된 제1 가로행 부재에 대하여 위쪽 또는 아래쪽으로부터 제2 가로행 부재를 접촉시킴으로써 가로행 부재를 보강할 수 있다.
그러므로, 제1 가로행 부재를 구비한 선반 프레임과 상기 선반 프레임에 대하여 장착하는 선반체를 구비한 이미 설치된 물품 수납 선반이 존재하는 경우에, 상기 물품 수납 선반에서의 선반 프레임에 대하여 제2 가로행 부재를 부가하고, 제1 가로행 부재 및 제2 가로행 부재로 이루어지는 보강된 가로행 부재에 대응하는 선반체를 장착함으로써, 보다 중량이 큰 물품을 수납할 수 있게 된다.
이와 같이, 수납 대상의 물품으로서 보다 무거운 물품을 수납할 필요가 생긴 경우라도, 이미 설치된 물품 수납 선반을 유용 가능하므로, 기기(機器) 비용을 삭감하는 것이 가능해진다.
또한, 상기 상측 맞닿음부와 상기 하측 맞닿음부가, 상기 지지 프레임의 상기 기단측 부분으로부터 연속하여 형성되고, 상기 제1 가로행 부재와 상기 제2 가로행 부재가, 상기 상측 맞닿음부 및 상기 하측 맞닿음부에 의해 연결되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재에 의해 가로행 부재를 형성하는 경우에는, 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재를 연결할 필요가 있다. 이 구성에서는, 지지 프레임의 기단측 부분으로부터 연속하여 형성된 상측 맞닿음부와 하측 맞닿음부에 의해 상하로부터 끼워넣는 형태로 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재를 연결하므로, 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재를 연결하기 위한 부재와 선반체를 공용할 수 있고, 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재를 연결하기 위한 부재(예를 들면, 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재를 상하 방향으로 관통하는 볼트와 너트나 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재를 일체로 체결하는 벨트 등)를 별도 사용하는 구성과 비교하여, 물품 수납 선반을 구성하는 부재의 수의 저감을 도모할 수 있다.
또한, 상기 제1 가로행 부재의 상면 및 하면에, 수나사가 나사결합되는 암나사공이 형성되고, 상기 제2 가로행 부재에서의 상기 제1 가로행 부재의 상기 암나사공에 대응하는 위치에, 상기 수나사의 호칭 지름보다도 큰 관통공이 형성되고, 상기 상측 맞닿음부 및 상기 하측 맞닿음부에 있어서 상기 제1 가로행 부재의 암나사공에 대응하는 위치에, 상기 수나사의 호칭 지름보다도 큰 관통공이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 이미 설치된 물품 수납 선반으로서, 중량이 작은 물품용의 선반체를 구비한 것에 있어서, 제1 가로행 부재의 상면 및 하면에, 상기 선반체를 장착하기 위한 암나사공이 형성되어 있으므로, 제2 가로행 부재에서의 제1 가로행 부재의 암나사공에 대응하는 위치에 형성된 관통공에 수나사를 통과시켜 새로운 중량이 큰 물품용의 선반체를 장착할 수 있다.
이와 같이, 제1 가로행 부재와 제2 가로행 부재에 의해 가로행 부재를 구성하는 경우라도, 제1 가로행 부재의 암나사공을 유용할 수 있으므로, 제2 가로행 부재에 의한 선반 프레임의 보강 및 새로운 선반체의 장착에 있어서, 이미 설치된 물품 수납 선반에서의 선반 프레임에 대한 가공의 수고를 생략할 수 있다.
또한, 상기 제1 가로행 부재 및 상기 제2 가로행 부재의 각각은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때 직사각형으로 형성되고, 또한 상기 제1 가로행 부재 및 상기 제2 가로행 부재의 각각의 상면 및 하면이 수평면을 따라 형성되고, 상기 상측 맞닿음부와 상기 하측 맞닿음부와의 양쪽이, 상기 지지 프레임의 상기 기단부로부터 수평 방향을 따라 상기 돌출 방향과 반대 방향으로 연장하고, 상기 상측 맞닿음부와 상기 하측 맞닿음부는, 상기 제1 가로행 부재 및 상기 제2 가로행 부재의 상하 방향의 치수의 합에 상당하는 거리만큼 상하 방향으로 이격되어 배치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 상측 맞닿음부와 하측 맞닿음부와의 양쪽이, 제1 가로행 부재 및 제2 가로행 부재의 상하 방향의 치수의 합에 상당하는 거리만큼 상하 방향으로 이격되어 지지 프레임의 기단부로부터 수평 방향을 따라 돌출 방향과 반대 방향으로 연장되어 있으므로, 상하 방향으로 인접시킨 제1 가로행 부재 및 제2 가로행 부재를 상하로부터 끼워넣어 적절히 고정시킬 수 있다.
물품 수납 선반을 구비한 물품 수납 설비는, 물품 수납 선반이 설치되는 선반 설치 영역을 포위하여 상기 선반 설치 영역의 외부와 내부를 구획하는 구획벽과, 상기 선반 설치 영역 내에 있어서, 상하 방향으로 배열되는 상기 선반체의 존재 범위에서 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 기체를 유동시키는 기류 발생 장치를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
즉, 물품 수납 설비의 선반 설치 영역 내에 있어서, 상하 방향으로 배열되는 선반체의 존재 범위에서 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 기체를 유동시키는(다운플로우를 발생시키는) 것이 가능하다.
이와 같은 구성에 있어서, 선반체 선반의 좌우 방향에서의 지지판부의 양측의 사이드 에지보다도 외측에 다운플로우가 통과할 수 있는 공간이 형성되어 있으므로, 물품 수납 설비에 있어서 적절히 다운플로우를 형성할 수 있다.
10: 물품 수납 선반(반도체 용기 스토커)
10W: 구획벽
S1, S: 선반체
50: 지지판부
51: 지지 프레임
51a: 기단측 부분
51b: 선단측 부분
52: 상단 맞닿음부
52h: 관통공
53: 하단 맞닿음부
53h: 관통공
B: 물품(반도체 용기)
D: 기류 발생 장치
30: 가로행 부재
31: 제1 가로행 부재
31h(31hu, 31hd): 암나사공
32: 제2 가로행 부재
32h: 관통공
33: 지주

Claims (7)

  1. 상하 방향을 따르는 기준면을 가지는 선반 프레임(rack frame); 및
    상기 선반 프레임에 장착되어 수납 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 복수의 선반체(shelf member);
    를 포함하고,
    복수의 상기 선반체가 상하 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되고, 상하 방향으로 인접하는 2개의 상기 선반체 사이에 물품이 수납되는 물품 수납 영역이 형성되고, 복수의 상기 선반체의 각각은, 상기 기준면으로부터 수평 방향을 따른 돌출 방향으로 돌출하는 캔틸레버형(cantilever fashion)으로 상기 선반 프레임에 장착되고,
    상기 선반체는, 수평면을 따르는 판형의 지지판부와, 상기 지지판부의 아래쪽에서의 상하 방향에서 볼 때 상기 지지판부와 중복되는 위치에 배치되어 상기 지지판부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지 프레임을 포함하고,
    수평면을 따른 방향으로서 상기 돌출 방향과 직교하는 선반 좌우 방향에서의 상기 지지판부의 폭이, 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되고,
    상기 지지판부에는, 상하 방향으로 관통되는 동시에 상기 돌출 방향을 향해 개구되는 절결부(切缺部)가 형성되고,
    상기 지지 프레임은, 상기 지지판부를 따라 배치된 장척(長尺) 부재로 구성되어, 상기 절결부에 대하여 상기 지지판부의 상기 선반 좌우 방향의 양측으로 나누어져 한 쌍 설치되고,
    한 쌍의 상기 지지 프레임의 각각은, 상기 기준면에 맞닿는 기단부(基端部)를 구비하는 기단측 부분과 상기 기단측 부분보다 상기 돌출 방향측의 부분인 선단측 부분을 포함하고,
    상기 기단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 포함하고,
    상기 선단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역보다 위쪽에 위치하고,
    한 쌍의 상기 지지 프레임은, 한 쌍의 상기 기단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역과 중복하지 않도록 배치되고, 한 쌍의 상기 선단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지도록, 상기 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 상기 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되고,
    상기 지지판부의 상기 선반 좌우 방향의 양측의 사이드 에지의 각각이, 직선형 부분을 포함하고,
    한 쌍의 상기 지지 프레임의 각각은, 한 쌍의 상기 사이드 에지의 직선형 부분으로부터 하방향으로 절곡된 판형부를 구비하여 구성되어 있는,
    물품 수납 선반.
  2. 상하 방향을 따르는 기준면을 가지는 선반 프레임(rack frame); 및
    상기 선반 프레임에 장착되어 수납 대상의 물품을 아래쪽으로부터 지지하는 복수의 선반체(shelf member);
    를 포함하고,
    복수의 상기 선반체가 상하 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되고, 상하 방향으로 인접하는 2개의 상기 선반체 사이에 물품이 수납되는 물품 수납 영역이 형성되고, 복수의 상기 선반체의 각각은, 상기 기준면으로부터 수평 방향을 따른 돌출 방향으로 돌출하는 캔틸레버형(cantilever fashion)으로 상기 선반 프레임에 장착되고,
    상기 선반체는, 수평면을 따르는 판형의 지지판부와, 상기 지지판부의 아래쪽에서의 상하 방향에서 볼 때 상기 지지판부와 중복되는 위치에 배치되어 상기 지지판부를 아래쪽으로부터 지지하는 지지 프레임을 포함하고,
    수평면을 따른 방향으로서 상기 돌출 방향과 직교하는 선반 좌우 방향에서의 상기 지지판부의 폭이, 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되고,
    상기 지지판부에는, 상하 방향으로 관통되는 동시에 상기 돌출 방향을 향해 개구되는 절결부(切缺部)가 형성되고,
    상기 지지 프레임은, 상기 지지판부를 따라 배치된 장척(長尺) 부재로 구성되어, 상기 절결부에 대하여 상기 지지판부의 상기 선반 좌우 방향의 양측으로 나누어져 한 쌍 설치되고,
    한 쌍의 상기 지지 프레임의 각각은, 상기 기준면에 맞닿는 기단부(基端部)를 구비하는 기단측 부분과 상기 기단측 부분보다 상기 돌출 방향측의 부분인 선단측 부분을 포함하고,
    상기 기단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 포함하고,
    상기 선단측 부분은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때, 상기 기단측 부분을 포함하는 상기 지지 프레임이 지지하는 상기 지지판부의 아래쪽에 형성된 상기 물품 수납 영역보다 위쪽에 위치하고,
    한 쌍의 상기 지지 프레임은, 한 쌍의 상기 기단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역과 중복하지 않도록 배치되고, 한 쌍의 상기 선단측 부분의 양쪽이, 상하 방향에서 볼 때 상기 물품 수납 영역과 중복되는 부분을 가지도록, 상기 선반 좌우 방향에서의 서로의 이격 거리가 상기 돌출 방향을 향함에 따라 좁아지는 방향으로 상기 돌출 방향에 대하여 경사지게 배치되고,
    상기 선반 프레임은, 한 쌍의 지주(支柱; column)와, 복수의 장척형(長尺形)의 가로행(橫行) 부재를 구비하고,
    복수의 상기 가로행 부재는, 한 쌍의 상기 지주의 사이에 있어서 상기 선반 좌우 방향을 따라 배치되는 동시에 상하 방향으로 서로 이격되어 배치되고,
    상기 선반체가, 상기 가로행 부재의 상면에 맞닿는 상측 맞닿음부와, 상기 가로행 부재의 하면에 맞닿는 하측 맞닿음부를 구비하고,
    복수의 상기 가로행 부재의 각각은, 상기 선반 좌우 방향의 양 단부가 상기 지주에 고정된 제1 가로행 부재와, 상기 제1 가로행 부재에 대하여 위쪽 또는 아래쪽으로부터 맞닿는 제2 가로행 부재를 구비하고 있는,
    물품 수납 선반.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상측 맞닿음부와 상기 하측 맞닿음부가, 상기 지지 프레임의 상기 기단측 부분으로부터 연속하여 형성되고,
    상기 제1 가로행 부재와 상기 제2 가로행 부재가, 상기 상측 맞닿음부 및 상기 하측 맞닿음부에 의해 연결되어 있는, 물품 수납 선반.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 가로행 부재의 상면 및 하면에, 수나사가 나사결합되는 암나사공이 형성되고, 상기 제2 가로행 부재에서의 상기 제1 가로행 부재의 상기 암나사공에 대응하는 위치에, 상기 수나사의 호칭 지름(nominal diameter)보다도 큰 관통공이 형성되고,
    상기 상측 맞닿음부 및 상기 하측 맞닿음부에 있어서 상기 제1 가로행 부재의 암나사공에 대응하는 위치에, 상기 수나사의 호칭 지름보다 큰 관통공이 형성되어 있는, 물품 수납 선반.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1 가로행 부재 및 상기 제2 가로행 부재의 각각은, 상기 선반 좌우 방향에서 보았을 때 직사각형으로 형성되고, 또한 상기 제1 가로행 부재 및 상기 제2 가로행 부재의 각각의 상면 및 하면이 수평면을 따라 형성되고,
    상기 상측 맞닿음부와 상기 하측 맞닿음부 양쪽이, 상기 지지 프레임의 상기 기단부로부터 수평 방향을 따라 상기 돌출 방향과 반대 방향으로 연장되고,
    상기 상측 맞닿음부와 상기 하측 맞닿음부는, 상기 제1 가로행 부재 및 상기 제2 가로행 부재의 상하 방향의 치수의 합에 상당하는 거리만큼 상하 방향으로 이격되어 배치되어 있는, 물품 수납 선반.
  6. 제1항 또는 제2항에 기재된 물품 수납 선반;
    상기 물품 수납 선반이 설치되는 선반 설치 영역을 포위하여 상기 선반 설치 영역의 외부와 내부를 구획하는 구획벽; 및
    상기 선반 설치 영역 내에 있어서, 상하 방향으로 배열되는 상기 선반체의 존재 범위에서 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 기체(氣體)를 유동(流動)시키는 기류 발생 장치;
    를 포함하는 물품 수납 설비.
  7. 삭제
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