KR102618629B1 - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

처리 배스 내의 미스트를 제어하여 공정불량을 최소화시킬 수 있는 기판 처리 장치가 제공된다. 상기 기판 처리 장치는 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛; 상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결되며, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배치된 다수의 배기홀을 포함하여, 상기 제1 처리 배스 내의 미스트를 배기하는 제1 배기 유닛을 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 방법{Substrate processing apparatus and method}
본 발명은 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것이다.
기판 처리 장치는 웨이퍼 또는 디스플레이용 기판을 처리하는 장치이다. 예를 들어, 디스플레이용 기판을 처리하는 장치는 순차적으로 인접하여 배치된 다수의 처리 배스를 포함한다. 디스플레이용 기판이 다수의 처리 배스를 지나가면서, 디스플레이용 기판에 세정액, 식각액, 현상액 등 다양한 약액이 분사될 수 있다.
한편, 처리 배스에는 분사된 약액을 외부로 배기하기 위한 배기 시스템이 적용되어 있다. 배기 시스템이 최적화되어 있지 않으면 분사된 약액이 처리 배스 내에서 미스트(mist) 형태로 돌아다니게 되고, 미스트 형태의 약액이 디스플레이용 기판에 재안착되어 공정 불량의 원인이 될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 처리 배스 내의 미스트를 제어하여 공정불량을 최소화시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 처리 배스 내의 미스트를 제어하여 공정불량을 최소화시킬 수 있는 기판 처리 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면(aspect)은, 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛; 상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결되며, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배치된 다수의 배기홀을 포함하여, 상기 제1 처리 배스 내의 미스트를 배기하는 제1 배기 유닛을 포함한다.
또한, 상기 제1 배기 유닛은 상기 제2 방향을 따라 길게 설치된 바디와, 상기 바디의 일단과 연결된 배기 연결관을 포함하고, 상기 배기 연결관과 상기 바디는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 의해 정의되는 평면 상에서 서로 오버랩되지 않는다.
상기 다수의 배기홀은 제1 배기홀과 제2 배기홀을 포함하고, 상기 제1 배기홀은 제2 배기홀보다 상기 배기 연결관에 가깝고, 상기 제2 배기홀의 사이즈는 상기 제1 배기홀의 사이즈보다 크다.
상기 제2 배기홀의 제2 방향의 폭은, 상기 제1 배기홀의 제2 방향의 폭보다 클 수 있다.
상기 제1 배기 유닛은, 상기 제1 처리 배스를 향해 상기 제1 격벽보다 돌출된 제1 측벽과, 상기 제1 측벽과 상기 제1 격벽을 연결하는 제1 연결벽을 포함하고, 상기 다수의 배기홀은 상기 제1 측벽에 설치될 수 있다.
상기 제1 배기 유닛은, 상기 제2 처리 배스를 향해 상기 제1 격벽보다 돌출된 제2 측벽과, 상기 제2 측벽과 상기 제1 격벽을 연결하는 제2 연결벽을 더 포함하고, 상기 제2 측벽에는 상기 제2 처리 배스 내의 미스트를 배기하기 위한 다수의 배기홀이 설치될 수 있다.
상기 제1 연결벽과 상기 제1 격벽은 둔각을 이룰 수 있다.
상기 배기홀과 상기 제1 연결벽 사이의 거리는, 1mm 보다 크고 10mm 보다 작을 수 있다.
상기 제1 측벽에, 상기 배기홀의 사이즈를 조절하기 위한 배기커버가 더 설치될 수 있다.
상기 제1 격벽에는 L자 형태의 드랍 방지 구조물을 포함하여, 상기 제1 연결벽을 따라 흘러내리는 약액을 받는다.
상기 드랍 방지 구조물은 상기 제1 격벽과 직접 연결된 받침대와, 상기 받침대와 직접 연결되어 상기 흘러내리는 약액을 수용하기 위한 수용벽을 포함하되, 상기 받침대와 상기 제1 격벽은 둔각을 이룰 수 있다.
상기 드랍 방지 구조물은 제2 방향을 따라 길게 배치되고, 상기 받침대는 기울어져 있을 수 있다.
상기 제1 격벽에 설치되어, 상기 출입구의 사이즈를 조절할 수 있는 커버를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 격벽은 상기 출입구를 기준으로 상부에 위치하는 상부 격벽과, 하부에 위치하는 하부 격벽을 포함하고, 상기 커버는 상기 상부 격벽에 설치된 제1 커버와, 상기 하부 격벽에 설치된 제2 커버를 포함할 수 있다.
상기 제2 처리 배스의 일면에 배치된 보조 배기홀을 더 포함할 수 있다.
제3 처리 배스를 더 포함하되, 상기 제1 방향으로 상기 제2 처리 배스, 상기 제1 처리 배스 및 상기 제3 처리 배스 순서로 배치되고, 상기 제1 처리 배스와 상기 제3 처리 배스 사이에 배치되고, 상기 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제2 격벽과, 상기 제1 처리 배스와 상기 제3 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제2 격벽과 연결되며, 상기 제1 방향과 다른 제3 방향을 따라 배치된 다수의 배기홀을 포함하여, 상기 제1 처리 배스 내의 미스트를 배기하는 제2 배기 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 면은, 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛; 상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결된 제1 배기 유닛을 포함하고, 상기 제1 배기 유닛은, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 길게 설치된 바디와, 상기 바디에 형성된 다수의 배기홀을 포함하고, 상기 바디는, 상기 제1 처리 배스를 향해 상기 제1 격벽보다 돌출되고, 상기 다수의 배기홀이 형성된 제1 측벽과, 상기 제1 측벽과 상기 제1 격벽을 연결하는 제1 연결벽을 포함하고, 상기 제1 연결벽과 상기 제1 격벽은 둔각을 이룰 수 있다.
상기 제1 배기 유닛은, 상기 바디의 일단과 연결된 배기 연결관을 더 포함하고, 상기 다수의 배기홀은 상기 제2 방향을 따라 배치된 제1 배기홀과 제2 배기홀을 포함하고, 상기 제1 배기홀은 제2 배기홀보다 상기 배기 연결관에 가깝고, 상기 제2 배기홀의 사이즈는 상기 제1 배기홀의 사이즈보다 클 수 있다.
상기 제1 격벽에는 L자 형태의 드랍 방지 구조물을 포함하여, 상기 제1 연결벽을 따라 흘러내리는 약액을 받을 수 있다.
상기 드랍 방지 구조물은 상기 제1 격벽과 직접 연결된 받침대와, 상기 받침대와 직접 연결되어 상기 흘러내리는 약액을 수용하기 위한 수용벽을 포함하되, 상기 받침대와 상기 제1 격벽은 둔각을 이룰 수 있다.
상기 제1 격벽에 설치되어, 상기 출입구의 사이즈를 조절할 수 있는 커버를 더 포함할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 또 다른 면은, 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽; 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛; 상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및 상기 제1 격벽의 상기 출입구의 상측에 설치되고, 상기 제1 격벽을 따라 흘러내리는 약액을 받는 L자 형태의 드랍 방지 구조물을 포함할 수 있다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 방법의 일 면은, 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스와, 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽, 상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결된 제1 배기 유닛을 포함하고, 상기 제1 격벽에 설치되는 L자 형태의 드랍 방지 구조물을 포함하되, 상기 제1 배기 유닛은 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 길게 설치된 바디와, 상기 바디에 형성된 다수의 배기홀을 포함하고, 상기 바디는 상기 제1 처리 배스를 향해 상기 제1 격벽보다 돌출되고, 상기 다수의 배기홀이 형성된 제1 측벽과, 상기 제1 측벽과 상기 제1 격벽을 연결하는 제1 연결벽을 포함하는 기판 처리 장치를 제공하고, 상기 다수의 배기홀을 통해서 제1 처리 배스 내의 약액 미스트가 배기되고, 상기 제1 측벽에 붙은 약액은 상기 제1 연결벽 및 상기 제1 격벽을 따라 흘러내려 상기 드랍 방지 구조물로 들어가는 것을 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1의 A 영역을 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 도 1의 제1 처리 배스와, 제1 배기 유닛 및 제2 배기 유닛 사이의 관계를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 1의 제1 배기 유닛의 구조를 설명하기 위한 정면도이다.
도 5는 도 2의 B 영역을 설명하기 위한 확대도이다.
도 6은 도 1의 드랍 방지 구조물을 설명하기 위한 정면도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 2는 도 1의 A 영역을 설명하기 위한 확대도이다. 도 3은 도 1의 제1 처리 배스와, 제1 배기 유닛 및 제2 배기 유닛 사이의 관계를 설명하기 위한 사시도이다. 도 4는 도 1의 제1 배기 유닛의 구조를 설명하기 위한 정면도이다. 도 5는 도 2의 B 영역을 설명하기 위한 확대도이다. 도 6은 도 1의 드랍 방지 구조물을 설명하기 위한 정면도이다. 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 도이다.
우선 도 1를 참고하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)는 제1 처리 배스(101), 제2 처리 배스(102), 제3 처리 배스(103), 제4 처리 배스(104), 제 5 처리 배스(105), 이송 유닛(110), 제1 약액 공급 유닛(120), 제1 배기 유닛(210), 제2 배기 유닛(310) 등을 포함한다.
제1 방향(X)으로 인접하여, 제5 처리 배스(105), 제4 처리 배스(104), 제2 처리 배스(102), 제1 처리 배스(101), 제3 처리 배스(103) 순서대로 배치될 수 있다.
인접한 처리 배스(101~105) 사이에는 격벽(250, 350, 250a)이 배치되고, 격벽(250, 350, 250a)에 의해서 처리 배스(101~105)가 구분될 수 있다. 예를 들어, 제1 처리 배스(101)와 제2 처리 배스(102) 사이에, 제1 격벽(250)이 설치되고, 제1 처리 배스(101)와 제3 처리 배스(103) 사이에, 제2 격벽(350)이 설치되고, 제2 처리 배스(102)와 제4 처리 배스(104) 사이에 제3 격벽(250a)이 설치된다. 격벽(250, 350, 350a)에는 기판이 통과하기 위한 출입구(도 2의 299 참고)가 형성되어 있다.
이송 유닛(110)은 다수의 처리 배스(101~105) 내에 설치되어, 기판을 이송시킨다. 도시된 것과 같이, 이송 유닛(110)은 일정 간격으로 배치된 롤러를 포함하고, 각 롤러는 이송 샤프트(transfer shaft)와 연결될 수 있다. 이송 샤프트의 회전에 따라 롤러가 회전하고, 롤러 상에서 기판이 이송될 수 있다. 이송 유닛(110)은 롤러에 한정되지 않는다. 예를 들어, 이송 유닛(110)은 에어 플로팅 시스템을 포함할 수도 있다.
제1 약액 공급 유닛(120)은 제1 처리 배스(101) 내에 설치되어, 기판에 약액을 공급할 수 있다. 제1 약액 공급 유닛(120)은 약액(예를 들어, 순수(deionized water))를 강한 압력으로 기판에 공급할 수 있다. 제1 약액 공급 유닛(120)은 순수로 기판을 타력하여 기판 상에 존재하는 파티클을 제거하게 할 수 있다.
제2 약액 공급 유닛(131a, 131b)은 제2 처리 배스(102) 내에 설치된다. 제2 약액 공급 유닛(131a, 131b)은 기판의 상면 및 하면에 약액을 분사하여, 기판이 웨팅(wetting)된 상태를 유지하도록 한다.
마찬가지로, 제3 약액 공급 유닛(132a, 132b)은 제3 처리 배스(103) 내에 설치되어, 기판의 상면과 하면에 약액을 분사한다.
제4 약액 공급 유닛(140)은 제4 처리 배스(104) 내에 설치되고, 기판을 프리 웨팅(pre-wetting)한다.
에어 커튼(150)은 제5 처리 배스(105)의 입구에 설치되어, 처리 배스(101~105) 내의 공간과 외부를 차단한다. 제5 처리 배스(105)의 천정에는 팬 필터 유닛(FFU, Fan Filter Unit)(199)이 설치되어 있다. 팬 필터 유닛(199)의 내부에는 팬과 함께 고성능 필터가 설치되어, 청정 공기를 처리 배스(101~105) 내에 공급한다.
제2 처리 배스(102)의 일면에는 제2 처리 배스(102) 내의 미스트를 제거하기 위한 보조 배기홀(102a)이 형성된다. 제4 처리 배스(104)의 일면에는 제4 처리 배스(104) 내의 미스트를 제거하기 위한 보조 배기홀(104a)이 형성될 수 있다.
여기서, 도 1 및 도 2를 참고하면, 제1 배기 유닛(210)은 제1 처리 배스(101)와 제2 처리 배스(102) 사이에 배치되고, 제1 격벽(250)과 연결된다.
제1 배기 유닛(210)은 제2 방향(Y)을 따라 길게 설치된 바디(220, 230)을 포함하고, 바디(220, 230)의 일단과 연결된 배기 연결관(도 3의 229 참고)을 포함한다.
바디(220, 230)는 측벽(221, 231)과 연결벽(222, 232)을 포함하고, 측벽(221, 231)과 연결벽(222, 232)에 의해 내부 공간이 정의된다. 제1 측벽(221)은 제1 처리 배스(101)를 향해 제1 격벽(250)보다 돌출된다. 제2 측벽(231)은 제2 처리 배스(102)를 향해 제1 격벽(250)보다 돌출된다. 제1 연결벽(222)은 제1 측벽(221)과 제1 격벽(250)을 연결하고, 제2 연결벽(232)은 제2 측벽(231)과 제1 격벽(250)을 연결한다.
제1 측벽(221)에는 배기홀(225)이 설치되고, 배기홀(225)를 통해서 제1 처리 배스(101) 내의 미스트가 흡입된다. 제2 측벽(231)에도 배기홀(235)이 설치되고, 배기홀(235)를 통해서 제2 처리 배스(102) 내의 미스트가 흡입된다.
또한, 제1 격벽(250)에는 L자 형태의 드랍 방지 구조물(280)이 형성된다. 드랍 방지 구조물(280)은 제1 연결벽(222) 및 제1 격벽(250)을 따라 흘러내리는 약액을 받는다(receive). 드랍 방지 구조물(280)은 출입구(299)의 상측에 배치되어, 출입구(299)를 통과하는 기판에 약액이 떨어지는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 도 5를 참고하면, 이러한 드랍 방지 구조물(280)은 제1 격벽(250)과 직접 연결된 받침대(281)와, 받침대(281)와 직접 연결되어 흘러내리는 약액을 수용하기 위한 수용벽(282)을 포함한다. 도 5에 도시된 것과 같이, 받침대(281)와 제1 격벽(250)이 이루는 각도(θ2)는 둔각일 수 있다. 수용벽(282)에 약액이 붙더라도, 상기 약액이 바로 아래로 떨어지지 않고, 둔각을 갖는 받침대(281)를 따라 흐를 수 있도록 한다. 이와 같이 함으로써 약액이 떨어지더라도 약액이 갖는 위치에너지를 최소화할 수 있다.
여기서 도 6을 참고하면, 드랍 방지 구조물(280)은 제2 방향(Y)을 따라 길게 배치되고, 드랍 방지 구조물(280)(특히, 받침대(281))가 기울어져 있다(각도(θ3) 참고). 도 6에 도시된 것과 같이, 드랍 방지 구조물(280)(특히, 받침대(281))의 연장방향과 출입구(299)의 연장방향이 이루는 각도(θ3)는 예각일 수 있다. 받침대(281)에 모인 약액은 기울어진 받침대(281)을 따라 제1 처리 배스(101) 외부로 제거될 수 있다.
다시 도 2를 참고하면, 한편, 제1 연결벽(222)과 제1 격벽(250) 사이의 각도(θ1)는 둔각일 수 있다. 배기홀(225)과 제1 연결벽(222) 사이의 제1 측벽(221)에 붙은 약액이 제1 연결벽(222) 및 제1 격벽(250)을 따라 흘러서, 드랍 방지 구조물(280)에 쉽게 모이도록 하기 위함이다.
제1 연결벽(222)과 제1 격벽(250) 사이의 각도(θ1)가 둔각이 아니라면, 제1 측벽(221)에 붙은 약액이, 중력에 의해 아래쪽으로 바로 떨어질 수 있다. 이와 같이 떨어지는 약액이 기판에 직접 떨어지면 불량의 원인이 될 수 있다.
여기서, 배기홀(225)과 제1 연결벽(222) 사이의 거리(d)는 1mm 보다 크고 10mm 보다 작을 수 있다. 거리(d)는 배기홀(225)의 최하측 에지(edge)와, 제1 연결벽(222)의 최상측 에지 사이의 거리일 수 있다. 거리(d)를 10mm보다 크면, 배기홀(225)과 제1 연결벽(222) 사이의 제1 측벽(221)에 붙은 약액이 제1 연결벽(222)을 따라 흐르지 않고, 중력에 의해 아래쪽으로 바로 떨어질 수 있다. 거리(d)를 최소화함으로써, 제1 측벽(221)에 붙은 약액이 제1 연결벽(222)으로 안정적으로 유도될 수 있다. 또한, 제1 측벽(221)에 배기홀(225)을 형성하는 공정을 안정적으로 하기 위해, 거리(d)를 1mm보다 크게 한다.
여기서, 도 3 및 도 4를 참고하면, 바디(220)는 제2 방향(Y)을 따라 길게 설치되고, 바디(220)의 일단에는 배기 연결관(229)이 설치될 수 있다. 도시된 것과 같이, 배기 연결관(229)과 바디(220)는, 제1 방향(X) 및 제2 방향(Y)에 의해 정의되는 평면 상에서 서로 오버랩되지 않는다.
바디(220)(또는 제1 측벽(221))에는 다수의 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)이 형성된다. 도시된 것과 같이, 제2 방향(Y)을 따라 제1 배기홀(2251), 제2 배기홀(2252), 제3 배기홀(2253), 제4 배기홀(2254)이 순서대로 배치될 수 있다.
제1 배기홀(2251)은 배기 연결관(229)에서 가장 가깝고, 제4 배기홀(2254)은 배기 연결관(229)에서 가장 멀 수 있다.
제1 배기홀(2251), 제2 배기홀(2252), 제3 배기홀(2253), 제4 배기홀(2254)을 통해서, 제1 처리 배스(101)의 미스트(P1, P2, P3, P4)가 흡입된다. 바디(220, 230)의 내부 공간으로 들어온 미스트는, 배기 연결관(229)을 통과해서 외부로 배기된다.
여기서, 배기 연결관(229)이 일측에 치우쳐 있기 때문에, 다수의 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)에서의 압력이 다를 수 있다. 따라서, 다수의 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)에서의 압력을 실질적으로 동일하게 하도록, 배기 연결관(229)에서 멀어질수록 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)의 사이즈가 커질 수 있다. 예를 들어, 제2 배기홀(2252)의 사이즈는 제1 배기홀(2251)의 사이즈보다 크고, 제3 배기홀(2253)의 사이즈는 제2 배기홀(2252)의 사이즈보다 크고, 제4 배기홀(2254)의 사이즈는 제3 배기홀(2253)의 사이즈보다 클 수 있다.
배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)의 높이가 같다면, 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)의 폭이 다를 수 있다. 즉, 배기 연결관(229)에서 멀어질수록 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)의 폭이 커질 수 있다. 예를 들어, 제2 배기홀(2252)의 폭(W2)은 제1 배기홀(2251)의 폭(W1)보다 크고, 제3 배기홀(2253)의 폭(W3)은 제2 배기홀(2252)의 폭(W2)보다 크고, 제4 배기홀(2254)의 폭(W4)은 제3 배기홀(2253)의 폭(W3)보다 클 수 있다.
한편, 전술한 것과 같이, 제2 격벽(350)이 제1 처리 배스(101)와 제3 처리 배스(103) 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성되어 있다.
제2 배기 유닛(310)은 제1 처리 배스(101)와 제3 처리 배스(103) 사이에 배치되고 제2 격벽(350)과 연결되며, 제2 방향(Y)을 따라 배치된 다수의 배기홀(3251, 3252, 3253, 3254)을 포함하여, 제1 처리 배스(101) 내의 미스트(P5, P6, P7, P8)를 배기할 수 있다.
여기서 도 5를 참고하면, 제1 격벽(250)에는, 출입구(299)의 사이즈를 조절할 수 있는 커버(258)가 설치될 수 있다.
제1 격벽(250)은 출입구(299)를 기준으로 상부에 위치하는 상부 격벽(250a)과, 하부에 위치하는 하부 격벽(250b)을 포함한다. 커버(258)는 상부 격벽(250a)에 설치된 제1 커버(258a)와, 하부 격벽(250b)에 설치된 제2 커버(258b)를 포함한다.
여기서 도 3 및 도 7을 참고하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치(1)의 동작을 정리하면 다음과 같다.
도 3 및 도 7을 참고하면, 제1 처리 배스(101) 내에서 발생된 미스트는 제1 측벽(221) 전면에 설치된 제1 배기 유닛(210)의 다수의 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)을 통해서, 바디(210)의 내부공간으로 흡입된다. 바디(210)의 내부공간을 따라 배기 연결관(229)를 통해서 외부로 배기된다
또한, 제1 측벽(221)에 붙은 약액(B1)은, 제1 연결벽(222)을 따라 이동하고(약액(B2) 참고), 제1 격벽(250)을 따라 이동하여 드랍 방지 구조물(280) 내에 들어간다(약액(B3) 참고).
전술한 것과 같이, 제1 처리 배스(101) 내에 미스트를 제어하여 공정불량을 최소화할 수 있다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의상, 도 1 내지 도 7을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 8을 참고하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 예를 들어, 제2 배기홀(2252)의 사이즈는 제1 배기홀(2251)의 사이즈와 같고, 제3 배기홀(2253)의 사이즈는 제2 배기홀(2252)의 사이즈보다 크고, 제4 배기홀(2254)의 사이즈는 제3 배기홀(2253)의 사이즈와 같을 수 있다.
배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)의 높이가 같다면, 배기홀(2251, 2252, 2253, 2254)의 폭이 다르게 제어될 수 있다. 예를 들어, 제2 배기홀(2252)의 폭(W2)은 제1 배기홀(2251)의 폭(W1)과 같고, 제3 배기홀(2253)의 폭(W3)은 제2 배기홀(2252)의 폭(W2)보다 크고, 제4 배기홀(2254)의 폭(W4)은 제3 배기홀(2253)의 폭(W3)과 같을 수 있다.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의상, 도 1 내지 도 7을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 9를 참고하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 제1 측벽에, 배기홀(2253, 2254)의 사이즈를 조절하기 위한 배기커버(2253a, 2254a)가 설치될 수 있다.
배기커버(2253a, 2254a)를 일방향으로 이동시켜, 배기홀(2253, 2254)의 사이즈를 조절할 수 있다(도면부호 H1, H2 참고). 예를 들어, 각 배기홀(2253, 2254)에서의 압력을 실질적으로 동일하게 하도록, 배기커버(2253a, 2254a)를 조절하여 배기홀(2253, 2254)의 사이즈를 조절한다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의상, 도 1 내지 도 7을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 10을 참고하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 제1 배기 유닛(210)은 제1 격벽(250)의 일측에만 설치되어, 제1 처리 배스(101)에서 발생한 미스트를 배기한다. 제1 배기 유닛(210)은 제2 처리 배스(102)에서 발생한 미스트를 배기하지 않을 수 있다.
마찬가지로, 제2 배기 유닛(310)은 제2 격벽(350)의 일측에만 설치되어, 제1 처리 배스(101)에서 발생한 미스트를 배기한다. 제2 배기 유닛(310)은 제3 처리 배스(103)에서 발생한 미스트를 배기하지 않을 수 있다.
도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의상, 도 1 내지 도 7을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 11을 참고하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 제1 격벽(250)에는, 출입구(299)의 사이즈를 조절할 수 있는 커버(258a)가 설치될 수 있다. 제1 격벽(250)은 출입구(299)를 기준으로 상부에 위치하는 상부 격벽(250a)과, 하부에 위치하는 하부 격벽(250b)을 포함한다. 커버(258a)는 상부 격벽(250a)에만 설치될 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 기판 처리 장치 101: 제1 처리 배스
102: 제2 처리 배스 103: 제3 처리 배스
110: 이송 유닛 120: 약액 공급 유닛
210: 제1 배기 유닛 221: 제1 측벽
222: 제1 연결벽 225: 배기홀
229: 배기 연결관 231: 제2 측벽
232: 제2 연결벽 250: 제1 격벽
310: 제2 배기 유닛

Claims (23)

  1. 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛;
    상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결되며, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배치된 다수의 배기홀을 포함하여, 상기 제1 처리 배스 내의 미스트를 배기하는 제1 배기 유닛을 포함하고,
    상기 제1 배기 유닛은 상기 제2 방향을 따라 길게 설치된 바디와, 상기 바디의 일단과 연결된 배기 연결관을 포함하고,
    상기 배기 연결관과 상기 바디는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 의해 정의되는 평면 상에서 서로 오버랩되지 않는, 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 다수의 배기홀은 제1 배기홀과 제2 배기홀을 포함하고, 상기 제1 배기홀은 제2 배기홀보다 상기 배기 연결관에 가깝고,
    상기 제2 배기홀의 사이즈는 상기 제1 배기홀의 사이즈보다 큰, 기판 처리 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제2 배기홀의 제2 방향의 폭은, 상기 제1 배기홀의 제2 방향의 폭보다 큰, 기판 처리 장치.
  5. 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛;
    상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결되며, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배치된 다수의 배기홀을 포함하여, 상기 제1 처리 배스 내의 미스트를 배기하는 제1 배기 유닛을 포함하고,
    상기 제1 배기 유닛은,
    상기 제1 처리 배스를 향해 상기 제1 격벽보다 돌출된 제1 측벽과,
    상기 제1 측벽과 상기 제1 격벽을 연결하는 제1 연결벽을 포함하고,
    상기 다수의 배기홀은 상기 제1 측벽에 설치된, 기판 처리 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 제1 배기 유닛은,
    상기 제2 처리 배스를 향해 상기 제1 격벽보다 돌출된 제2 측벽과,
    상기 제2 측벽과 상기 제1 격벽을 연결하는 제2 연결벽을 더 포함하고,
    상기 제2 측벽에는 상기 제2 처리 배스 내의 미스트를 배기하기 위한 다수의 배기홀이 설치되는, 기판 처리 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 제1 연결벽과 상기 제1 격벽은 둔각을 이루는, 기판 처리 장치.
  8. 제 5항에 있어서,
    상기 배기홀과 상기 제1 연결벽 사이의 거리는, 1mm 보다 크고 10mm 보다 작은, 기판 처리 장치.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 제1 측벽에, 상기 배기홀의 사이즈를 조절하기 위한 배기커버가 더 설치된, 기판 처리 장치.
  10. 제 5항에 있어서,
    상기 제1 격벽에는 L자 형태의 드랍 방지 구조물을 포함하여, 상기 제1 연결벽을 따라 흘러내리는 약액을 받는, 기판 처리 장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 드랍 방지 구조물은 상기 제1 격벽과 직접 연결된 받침대와, 상기 받침대와 직접 연결되어 상기 흘러내리는 약액을 수용하기 위한 수용벽을 포함하되,
    상기 받침대와 상기 제1 격벽은 둔각을 이루는, 기판 처리 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 드랍 방지 구조물은 제2 방향을 따라 길게 배치되고, 상기 받침대는 기울어져 있는, 기판 처리 장치.
  13. 삭제
  14. 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛;
    상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결되며, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배치된 다수의 배기홀을 포함하여, 상기 제1 처리 배스 내의 미스트를 배기하는 제1 배기 유닛을 포함하고,
    상기 제1 격벽에 설치되어, 상기 출입구의 사이즈를 조절할 수 있는 커버를 더 포함하고,
    상기 제1 격벽은 상기 출입구를 기준으로 상부에 위치하는 상부 격벽과, 하부에 위치하는 하부 격벽을 포함하고,
    상기 커버는 상기 상부 격벽에 설치된 제1 커버와, 상기 하부 격벽에 설치된 제2 커버를 포함하는, 기판 처리 장치.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 제1 방향으로 인접하여 배치된 제1 처리 배스와 제2 처리 배스;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고, 기판이 통과하기 위한 출입구가 형성된 제1 격벽;
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판을 이동시키는 이송 유닛;
    상기 제1 처리 배스 내에 설치되고, 상기 기판에 약액을 제공하는 약액 공급 유닛; 및
    상기 제1 처리 배스와 상기 제2 처리 배스 사이에 배치되고 상기 제1 격벽과 연결되며, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향을 따라 배치된 다수의 배기홀을 포함하여, 상기 제1 처리 배스 내의 미스트를 배기하는 제1 배기 유닛을 포함하고,
    상기 제1 배기 유닛은 제2 방향을 따라 길게 설치된 바디와, 상기 바디의 일단과 연결된 배기 연결관을 포함하고,
    상기 배기 연결관과 상기 바디는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 의해 정의되는 평면 상에서 서로 오버랩되지 않고,
    상기 다수의 배기홀은 상기 바디에 형성되고,
    상기 바디는, 상기 제1 처리 배스를 향해 상기 제1 격벽보다 돌출되고, 상기 다수의 배기홀이 형성된 제1 측벽과, 상기 제1 측벽과 상기 제1 격벽을 연결하는 제1 연결벽을 포함하고,
    상기 제1 연결벽과 상기 제1 격벽은 둔각을 이루는, 기판 처리 장치.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 제1 배기 유닛은, 상기 바디의 일단과 연결된 배기 연결관을 더 포함하고,
    상기 다수의 배기홀은 상기 제2 방향을 따라 배치된 제1 배기홀과 제2 배기홀을 포함하고, 상기 제1 배기홀은 제2 배기홀보다 상기 배기 연결관에 가깝고, 상기 제2 배기홀의 사이즈는 상기 제1 배기홀의 사이즈보다 큰, 기판 처리 장치.
  19. 제 17항에 있어서,
    상기 제1 격벽에는 L자 형태의 드랍 방지 구조물을 포함하여, 상기 제1 연결벽을 따라 흘러내리는 약액을 받는, 기판 처리 장치.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 드랍 방지 구조물은 상기 제1 격벽과 직접 연결된 받침대와, 상기 받침대와 직접 연결되어 상기 흘러내리는 약액을 수용하기 위한 수용벽을 포함하되,
    상기 받침대와 상기 제1 격벽은 둔각을 이루는, 기판 처리 장치.
  21. 제 17항에 있어서,
    상기 제1 격벽에 설치되어, 상기 출입구의 사이즈를 조절할 수 있는 커버를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  22. 삭제
  23. 삭제
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