KR102616414B1 - 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims abstract description 372
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims abstract description 372
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 36
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 claims description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 4
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 57
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 27
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 20
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 16
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
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- B65H18/08—Web-winding mechanisms
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- B65H18/103—Reel-to-reel type web winding and unwinding mechanisms
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H35/00—Delivering articles from cutting or line-perforating machines; Article or web delivery apparatus incorporating cutting or line-perforating devices, e.g. adhesive tape dispensers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H37/00—Article or web delivery apparatus incorporating devices for performing specified auxiliary operations
- B65H37/04—Article or web delivery apparatus incorporating devices for performing specified auxiliary operations for securing together articles or webs, e.g. by adhesive, stitching or stapling
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H41/00—Machines for separating superposed webs
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L21/6836—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2701/00—Handled material; Storage means
- B65H2701/30—Handled filamentary material
- B65H2701/37—Tapes
- B65H2701/377—Adhesive tape
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- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
Abstract
본 발명의 목적은 점착시트 부착, 제거, 검사 작업을 자동으로 작업 할 수 있게 하여, 작업 시간 증가 및 작업 에러율 증가에 대응할 수 있는 새로운 구조의 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명은 점착시트를 자동으로 부착, 제거 하기 위해, 직교 로봇 및 카트리지, 점착시트 누름/제거 툴, 모터를 구성하였다. 또한, 상기 작업 시 불량률을 줄이고자 검사 시스템을 적용하였다.
본 발명은 점착시트를 자동으로 부착, 제거 하기 위해, 직교 로봇 및 카트리지, 점착시트 누름/제거 툴, 모터를 구성하였다. 또한, 상기 작업 시 불량률을 줄이고자 검사 시스템을 적용하였다.
Description
본 발명은 반도체, 디스플레이 제조기술 중 기판 이송을 위한 점착척의 점착시트 교체 자동화 시스템에 관한 것이다.
점착척은 현재 디스플레이 산업에서 대량생산체제에 적합한 기판 이송 수단으로써 상기 점착척에 부착되는 점착시트는 기판 이송 횟수에 따라 수명이 줄어들며 이에 주기적으로 교체가 필요하다.
등록특허 제1010588340000호는 점착척의 오염물을 세척하는 기술을 제안하나 이러한 방법도 한계가 있어 일정 시기에 다다르면 점착 시트의 교체를 요한다.
현재 점착 시트를 수작업으로 실시하고 있어 시간과 노력이 들어가면서도 불량발생으로 인한 문제가 있다.
상기 문제에 따라 본 발명은 점착시트 교체를 위해 자동화 설비를 구축하여 생산성 향상 및 작업능률을 확대시키고 자동화에 의해 수작업으로 인해 발생되는 불량률을 감소시키고자 한다.
본발명은,
점착시트 자동부착 시스템으로서,
점착시트를 자동으로 부착하는 카트리지; 및
상기 카트리지를 원하는 곳으로 이동시켜주는 직교로봇;을 포함하고,
상기 카트리지는,
점착제와 부착된 양면 캡톤 테이프와 점착제를 커버하는 이형지가 부착된 롤타입 점착시트 테이프를 공급하는 언와인더;
상기 언와인더로부터 연신된 롤타입 점착시트 테이프로부터 이형지를 분리하는 분리 툴;
상기 분리 툴에 의해 이형지가 분리되어 노출된 점착제를 포함한 점착시트를 가압하여 척 플레이트에 점착시트를 부착하는 부착 롤;
분리된 이형지와 부착 롤에 의해 점착시트 부분이 척 플레이트에 부착 소진된 이후에 부착 롤을 지나 연신된 점착시트 테이프를 감아 회수하는 와인더; 및
상기 부착 롤 근처에 설치된 점착시트 감지 센서;를 포함하여,
상기 점착시트 감지센서에서 점착시트를 감지하고, 언와인더가 구동하여 점착시트가 부착 롤 하단에 오게 한 후, 부착 롤이 하강하여 점착시트를 척 플레이트에 부착시키고,
상기 카트리지가 옆으로 병진운동하여 부착된 점착시트를 가압함과 동시에 소정 간격을 두고 다시 점착시트 부착 동작을 반복할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착 시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 언와인더와 상기 와인더는 동축상에 구간을 달리하여 구성된 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 언와인더는, 상기 점착시트 감지센서에서 점착시트를 감지할 때 까지 점착시트 테이프를 풀도록 구동되고, 점착시트가 감지되면 일시 정지하였다가, 부착 롤 하단에 점착시트가 오도록 구동되는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 점착시트 자동부착시스템은 상기 직교 로봇에 의해 움직일 수 있는 부착 헤드;를 더 포함하고, 상기 카트리지는 상기 부착 헤드에 탈착식으로 결합되며, 상기 부착헤드는 상하 동작으로 상기 부착 롤의 상하 동작을 부여하는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 점착시트 테이프의 장력 유지를 위해,
상기 카트리지는 다수의 가이드 롤과 일부 가이드 롤의 위치 변화에 대해 복원력을 부여하는 스프링을 구비하고,
상기 카트리지와 결합된 부착 헤드는 카트리지의 언와인더의 샤프트를 박자에 맞추어 그립 동작을 단속적으로 실시하는 에어그립퍼를 더 구비하여,
언와인더 회전 후 풀림을 방지하여, 점착시트 테이프의 장력을 유지시키는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 부착헤드는,
상기 와인더에 감기는 이형지와 점착시트가 소진된 테이프가 증가함에 따라 와인더 외측 지름을 실시간으로 측정할 수 있는 두께 감지 센서;를 구비하여 와인더 외경 변화에 연계된 와인더 회전 각도에 따른 점착시트 테이프의 이동거리를 제어하여, 점착 시트의 배열 간격이 동일하게 되는 지점에서 부착 롤이 가압동작을 실시하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 부착 롤에 의해 점착시트를 압착한 후 압착 해제 시 점착시트의 보호필름이 단면 테이프와 함께 점착제로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 부착 헤드는 모터를 구비하여 카트리지의 방향을 변환시킬 수 있으며, 점착시트의 형상에 맞추어 카트리지가 가로 방향 또는 세로 방향으로 회전 변환할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 부착 헤드는, 점착 시트의 부착 또는 제거 상태를 검사하는 검사장치를 더 구비하며, 상기 검사장치는 카트리지의 방향전환 시 동시에 방향 전환이 될 수 있고 카트리지의 높이에 따른 오토포커싱이 가능한 렌즈를 구비하여 카트리지 업다운 높이에 상관없이 점착 시트의 부착 또는 제거 상태를 검사하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 카트리지는 하나 이상의 분리 유닛을 포함하여 점착시트가 소진된 카트리지는 상기 분리 유닛에 의해 자동으로 교체되거나, 점착시트가 소진된 카트리지 자체가 수동 교체되는 것을 특징으로 하는 점착 시트 자동부착 시스템을 제공한다.
또한, 본 발명은,
점착시트를 자동으로 떼어내는 점착시트 자동제거시스템으로서,
단부에 블레이드 형상의 점착시트 제거 툴을 구비한 제거 유닛;
상기 제거유닛을 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇;
상기 제거 유닛에 인접 배치되고, 점착시트 보관함에 연결된 석션호스;
석션된 점착시트를 보관하는 보관함; 및
석션 장치로부터 연신되고 상기 보관함에 연결된 석션 배관;을 포함하여,
척 플레이트에 부착되어있는 점착시트 단부에 상기 점착시트 제거 툴의 블레이드가 놓이고,
상기 제거 툴이 전진 구동되어 점착시트를 척 플레이트에서 떼어 냄과 동시에 석션호스가 점착제를 석션하여 보관함에 보관하며,
상기 석션 장치의 구동은 상기 보관함 내부 압력을 낮추어 상기 석션 호스에 의해 점착시트를 보관함으로 석션되게 하며,
상기 보관함과 상기 석션 배관의 연결부는 점착시트가 통과할 수 없는 크기의 구멍이 형성되어, 기체만 흐를 수 있고,
상기 보관함은 견시창을 구비하여 육안 확인 시 보관함이 꽉 찼을 경우 보관함을 비우고 다시 사용하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 직교로봇에 점착시트 제거 툴 방향전환용 모터를 더 구비하여 점착시트 제거 툴의 방향을 전환시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 점착시트의 두께를 센서로 실시간으로 측정하여 와인더의 회전양을 실시간으로 조절하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 카트리지는,
점착시트의 종류와 모양에 따라 구분하기 위한 바코드가 카트리지에 부착되고, 바코드를 읽어내는 바코드 리더기를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착 시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 점착시트 테이프에 포함된 점착시트는 PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 포함하고, 상기 점착시트에 포함된 점착제는 소정 형상으로 가공된 것임을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
또한, 본 발명은,
PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ 점착제/보호필름 의 적층구조를 갖는 점착제 시트;
상기 점착제 시트를 연신된 상태로 운송하는 컨베이어;
컨베이어 상에 연신된 상기 점착제 시트에 점착제 부분을 소정 형상으로 가공하기 위한 점착제 가공기;
상기 점작제 가공기에 의해 소정 형상으로 가공된 점착제를 포함한 점착제 시트를 회수하는 가공된 점착제 시트 회수롤; 및
상기 점작제 가공기에 의해 소정 형상으로 가공되고 남은 불필요한 점착제 시트를 회수하는 불필요한 점착제 시트 회수롤;을 포함하고,
컨베이어가 구동하고 점착제 가공기가 위아래로 움직여 점착제 시트에서 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름 부분을 소정 형상으로 가공한 후, 불필요한 점착제 시트 부분과 가공된 점착제 시트가 각각 컨베이어에서 위아래로 분리 되어 불필요한 점착제 시트 부분은 불필요한 점착제 시트 회수롤에 감기고, 가공된 점착제 시트는 가공된 점착제 시트 회수롤에 감기며, 불필요하여 제거되는 점착제 시트를 이루는 층은 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름을 포함하고, 소정 형상으로 가공된 양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름 부분이 PET 이형지 상에 존재하는 가공된 점착제 시트는 점착제 시트 회수롤에 감기는 것을 특징으로 하는 점착시트 가공시스템을 제공한다.
상기 점착시트 가공시스템에 의해 가공된 점착제 시트를 공급하는 점착제 롤;
단면 테이프를 공급하는 단면 테이프 롤;
단면 테이프의 한쪽 이형지를 분리하는 이형지 분리롤;
이형지가 분리된 단면 테이프와 상기 가공된 점착제 시트를 합지하는 두개의 합착롤 1과 합착롤 2; 및
합지된 점착시트를 회수하는 점착시트 회수롤;을 포함하고,
점착제 롤에 의해 가공된 점착제 시트는 합착롤 1과 합착롤 2에 공급되고,
단면 테이프는 이형지 분리 롤을 통해 한쪽 이형지가 분리되고 분리 된 이형지는 이형지 회수 롤에 감기고, 이형지가 제거된 단면 테이프는 합착롤 1과 합착롤 2에 공급되어 가공된 점착제 시트와 합지되고, 합지된 점착제 시트는 점착시트 회수롤에 의해 감기며,
합지된 점착시트는,
PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ 점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 점착시트 제조시스템점을 제공한다.
본 발명에 따르면, 점착시트 교체 속도가 수작업 시보다 감소할 뿐만 아니라 검사장치를 통하여 불량률이 감소하여 정교한 작업이 이루어지므로 생산성 향상을 기대할 수 있다.
본 발명에 따르면, 점착시트 부착용 카트리지는 직교로봇에 의해 좌표에서 원하는 곳으로 이동할 수 있고, 척 플레이트 가로 세로 변에 대해 소정 형상으로 가공된 점착제를 일정 방향으로 배향되게 부착하도록 카트리지 자체가 회전 동작할 수 있어, 점착시트를 척 플레이트에 완전자동부착할 수 있어 생산성이 우수하다.
또한, 점착시트가 소진된 카트리지는 점착시트가 충진되어 있는 새 카트리지로 교체할 수 있어, 교체로 인한 공정 중단 시간이 짧다.
또한, 점착시트를 떼어내는 공정도 자동화되어 있으며, 자동제거시스템에 의해 제거된 점착시트는 석션으로 수거되되, 석션장치와 석션호스가 떼어낸 점착시트를 보관하는 보관함을 매개로 연결되어 점착시트는 보관함에 수거되고 석션장치에 유입되지 않는다.
또한, 점착시트 테이프의 제조시스템 역시 점착제 가공기를 포함, 모두 자동화되어 높은 생산성을 보인다.
도 1은 직교 로봇에 대한 모식도이다.
도 2는 점착시트 부착 카트리지 및 점착시트를 플어 놓은 모식도, 점착시트
구조에 대한 모식도 이다.
도 3은 본 발명에 따른 카트리지 자동 교체 시스템을 보여 준다.
도 4는 점착시트 자동 제거 유닛 모식도이다.
도 5는 원자재 점착제의 구조에 대한 모식도이다.
도 6은 양면 캡톤 테이프의 구조에 대한 모식도이다.
도 7은 단면 테이프의 구조에 대한 모식도이다.
도 8은 롤타입의 점착제와 양면 캡톤 테이프를 합지하는 모식도 이다.
도 9는 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제를 PET 이형지와
합지하는 모식도이다.
도 10은 도 10의 합지 된 점착제를 원하는 길이로 자르는 (커팅) 모식도
이다.
도 11은 도 10의 합지 된 점착제를 정밀하게 자르는 (슬리팅)하는 평면도
및 측면도 이다.
도 12는 도 11의 슬리팅 된 점착제를 가공하는 모식도이다.
도 13은 도 12의 가공된 점착제와 단면 테이프를 합지하는 모식도이다.
도 2는 점착시트 부착 카트리지 및 점착시트를 플어 놓은 모식도, 점착시트
구조에 대한 모식도 이다.
도 3은 본 발명에 따른 카트리지 자동 교체 시스템을 보여 준다.
도 4는 점착시트 자동 제거 유닛 모식도이다.
도 5는 원자재 점착제의 구조에 대한 모식도이다.
도 6은 양면 캡톤 테이프의 구조에 대한 모식도이다.
도 7은 단면 테이프의 구조에 대한 모식도이다.
도 8은 롤타입의 점착제와 양면 캡톤 테이프를 합지하는 모식도 이다.
도 9는 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제를 PET 이형지와
합지하는 모식도이다.
도 10은 도 10의 합지 된 점착제를 원하는 길이로 자르는 (커팅) 모식도
이다.
도 11은 도 10의 합지 된 점착제를 정밀하게 자르는 (슬리팅)하는 평면도
및 측면도 이다.
도 12는 도 11의 슬리팅 된 점착제를 가공하는 모식도이다.
도 13은 도 12의 가공된 점착제와 단면 테이프를 합지하는 모식도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 직교 로봇(200)을 평면도로 보여준다.
척 플레이트(100) 상에 부착되는 개개의 점착시트(가공된 점착제 시트(337)를 포함하는 시트)는 수량이 많아 수작업으로 부착 시 상당한 시간 및 인원이 필요하다. 따라서 본 발명은 척 플레이트(100)의 점착시트 부착 속도 증가를 위해 가로, 세로 움직임이 가능하고 속도 및 위치 제어가 가능한 직교 로봇(200)을 적용하는 방안을 제안하였다.
도 2는 본 발명에 따른 점착시트 자동 부착 유닛을 보여준다. 척 플레이트(100)에 점착시트는 소정 크기로 된 것으로 1개씩 개별 부착되게 한다. 이를 위해 롤러를 다수 포함한 카트리지(300)를 구성하고 점착시트 1개씩 척 플레이트에 직접 부착시키는 점착 시트 가압용 부착 롤(308)을 구성하였다. 척 플레이트에 부착될 부분에 해당하는 점착 시트가 소정 간격으로 배열된 점착시트 테이프(338)가 언와인더(305)에서 출발하여 다수의 롤러들을 경유하며, 점착 시트 가압용 부착 롤(308)을 거쳐 언와인더와 동축으로 구성된 와인더로 회귀한다. 즉, 하나의 샤프트 축에 대해 점착시트 테이프가 풀려 부착 롤에 공급되는 언와인더 구간과 점착시트 부분이 소진된 단면 테이프와 이형지를 회수하는 와인더 구간이 축 길이에 따라 나뉘어 존재한다.
도 2의 왼편에는 점착 시트의 부착을 위한 카트리지 구성을 보이고, 중간에는 롤 타입의 점착시트 테이프(338)가 펼쳐진 것을 보여주며(점착시트 테이프 중 도넛형으로 된 점착 시트가 소정 간격으로 배열된 것을 볼 수 있다), 그리고 오른편에는 롤 타입의 점착시트 테이프에 포함된 점착제 시트(337)의 구조를 나타내는 단면도를 보여준다.
단면 테이프(315) 아래 점착시트가 배열되는 곳에 점착제 보호필름(314)이 부착되고, 보호필름(314) 하부에 점착제(313)가 부착되며, 점착제(313) 하부에 양면 캡톤 테이프(312)가 부착되고, 그 하부에 PET 이형지(311)가 부착된다. 이형지(311)는 점착시트 테이프(338) 전면을 덮고 있다. 이러한 점착시트 테이프는 롤형태로 감겨 있고, 언와인더에 장착되어 단부를 부착 롤(308)을 경유하여 와인더(305)에 감기게 연신 배치된다.
본 명세서에서 이형지를 포함한 상태, 이형지를 벗겨낸 상태 모두 점착시트 테이프로 표기하고, 척 플레이트에 부착된 점착제 부분은 점착제와 양면캡톤 테이프로 이를 점착시트로 표기한다. 문맥을 통해 이들은 충분히 구별되고 이해될 수 있다.
직교 로봇(200)에는 카트리지(300)가 탈착식으로 결합될 수 있는 부착 헤드(500)가 연결되어 부착헤드와 카트리지가 함께 특정 좌표에 해당하는 위치로 이동할 수 있고, 부착 헤드는 모터에 연결되어 있다(도 3 참조). 카트리지(300)는 상술한 바와 같이, 하나의 축으로 묶인 와인더, 언와인더(305)와 하단에 점착 시트 가압 부착 롤(308) 및 그외 다수의 가이드 롤러(303~303-5))들을 구비한다.
롤 타입 점착시트 테이프는 언와인더(305)에 장착되고, 초기에 점착시트 테이프를 풀어 PET 이형지(311)를 분리 툴(306)에서 점착시트 테이프에서 분리하여 점착제가 있는 부분은 점착 시트 가압 부착 롤(308)에 감기게 한 후 가이드 롤러들을 지나 와인더(305)에 감고, 분리된 이형지는 가이드 롤러들을 지나 와인더(305)에 감아 세팅하여 준다. 이후 분리툴은 자동으로 이형지를 지속 분리하며 이형지는 와인더에 감긴다.
동작은 다음과 같다.
와인더(305)가 오른쪽으로 돌면서(시계방향) 점착시트 테이프는 PET 이형지(311)를 분리하는 툴(306)에서 PET 이형지(311)와 점착제 부분이 분리되어 이형지는 가이드 롤러(303-1, 303-2,303)를 타고 연신되어 와인더에 감기고, 척플레이트(100)위의 점착 시트 가압 부착 롤(308)에는 PET 이형지 없이 단면 테이프(315) 이하 점착제(313)와 양면 캡톤 테이프(312)까지 있는 점착 시트만이 위치 하게 된다.
이때 점착시트 감지 센서(380)가 점착시트 유무를 감지하며 점착시트가 감지되지 않을 경우에는 감지 시까지 모터가 계속 구동하여 와인더를 소정 속도로 구동시켜 점착시트가 감지될 때 와인더를 일시 정지하게 한다. 이 때 언와인더 또한 동축으로 묶여 있어 정지하게 된다.
점착시트 감지 후 일정 길이만큼 진행하도록 다시 모터가 구동하여 점착시트 가압부착 롤(308) 하단에 점착시트가 위치하게 되고, 실린더(318)가 하강하며 부착 롤(308)이 상기 실린더(318)와 함께 하강하여 점착시트부분을 가압, 척 플레이트(100) 위에 점착시트가 부착 되며, 더욱 강한 힘으로 점착시트를 붙이기 위하여 카트리지(300)가 도 2에서 오른쪽으로 움직이게 된다(병진 운동).
와인더는 모터에 의해 점착시트 부착 롤이 점착시트를 부착한 다음 소정 간격 이동하여 반복적으로 점착시트를 부착할 수 있도록 부착 롤 가압동작 및 카트리지 병진 운동과 연계된 박자에 맞추어 회전 동작과 일시 멈춤 동작을 반복한다.
카트리지(300)는 직교로봇(200)과 결합되어 있는 도 3의 부착 헤드(500)에 결합 되어 있기 때문에 원하는 위치로의 이동이 가능하며, 점착시트 부착 동작 후 실린더(318)가 상승하며 부착 롤(308)도 같이 상승하게 된다.
척플레이트 면에는 양면캡톤 테이프(312)가 접착되고, 양면캡톤 테이프 위에 접착된 점착제(313)가 노출되며, 점착제(313) 위에 있던 보호필름(314)은 단면 테이프(315)에 부착된 상태로 와인더에 감긴다. 양면캡톤 테이프와 점착제 사이의 접착력이 점착제와 보호필름 사이의 접착력보다 강하기 때문이다. 따라서 척 플레이트에는 점착제(313)가 기판을 부착시킬 수 있도록 노출된 상태가 된다.
점착제 부착 시 장력이 느슨하게 풀어질 수 있어 장력 변화에 대응하기 위해 카트리지의 가이드 롤(303) 근처에 스프링(301) 및 뎀퍼(304)를 배치하여 가이드 롤(303)에서 장력을 유지하게 하였고, 헤드부(500) 쪽에는 그리퍼(310)를 적용하여 와인더를 회전시키는 샤프트 부분을 카트리지 이면에서 단속적으로 그립하게 하였다.
스프링(301)은 가이드 롤(303)의 샤프트와 연계되어 언와인더(305)에 이형지와 테이프가 감겨 지름이 증가하면, 그에 따른 테이프 장력 증가로 인해 가이드 롤(303)이 상승,하강할 때 복원력을 제공한다.
와인더 회전 모터(700) 회전 시에는 그리퍼(310)가 오픈되며, 그때 언와인더의 장력이 풀어질 수 있어 뎀퍼(304)로 언와인더의 장력 풀림을 방지해주고, 와인더 회전모터(700)가 멈출 시에는 그리퍼(310)가 클로즈 되어(그립) 장력 풀림을 방지해 준다. 또한, 스프링(301)은 장력이 잡혀 있는 상황에서 척 플레이트(100)에 점착제(313)를 붙일 경우 카트리지에 조립되어 있기 때문에 함께 오른쪽으로 이동하게 되어 약간의 장력 풀림을 유지해준다.
점착제(313)는 부착될 위치에 따라 형상 배열의 방향이 바뀌는데 모터(316)를 이용하여 회전하여 이러한 문제를 해결할 수 있도록 하였으며, 모터(316)는 커플링(317)에 의해 카트리지(300)이 결합 된 부착 헤드(500)에 연결 되어 있다. 즉, 가로 세로의 길이와 형상이 다른 점착시트(예를 들면, 리본 모양의 점착 시트)를 척 플레이트 형상에 따라(척 플레이트의 4변이 가로 세로로 구성됨에 따라) 가로세로 방향을 맞추기 위해 점착 시트의 방향을 모터(316)를 이용하여 전환시킬 수 있다. 즉, 부착헤드에 결합된 카트리지의 진행 방향이 회전될 수 있다. 이를 위해, 점착시트의 모양과 종류를 구분할 수 있는 바코드(309가 카트리지에 형성되어 있고, 장비 내부에 바코드를 리딩할 수 있는 바코드 리더기(309-1)가 구비된다.
와인더 (305)는 시간이 지날수록 사용된 단면 테이프와 이형지가 감겨 외경이 커짐에 따라 이동 거리가 달라져, 점착시트 (313)의 위치가 변한다. 이를 제어하기 위해 실시간으로 외경 두께를 감지할 수 있는 두께 감지 센서(319)를 부착 헤드 부에 적용하였으으며, 이로 인해 외경 변화에 따른 이동거리를 제어하여, 점착 시트의 배열 간격이 항상 동일하게 되는 지점에 부착 롤(308)이 설 수 있도록 하였다.
이와 같이 하여 점착시트를 척 플레이트에 자동 부착할 수 있다.
도 3은 부착 헤드에 구비된 요소들을 상세히 도시하며, 아울러 본 발명에 따른 카트리지 자동 교체 시스템을 보여 준다.
카트리지(300)에서 점착시트가 소진되면 수동으로 점착시트 교체를 해주어야 하며, 이로 인해 설비를 수동 운전으로 전환하여야 하므로 생산 일정이 차질을 줄 가능성이 있다. 이러한 문제점을 보완하고자 점착시트가 구비된 카트리지(300)를 카트리지 적재함(400)에 적재 시키고 카트리지(300)을 자동으로 교체 하는 시스템을 제공한다. 부착헤드(500)는 카트리지(300)를 분리 가능한 하나의 유닛으로 구비하고, 카트리지(300)에 감긴 점착시트 소진 시 다른 카트리지(300)로 교체하여 준다. 교체하는 방법은 다음과 같다.
부착헤드(500)에는 그리퍼(310)과 그리퍼1(310-1), 실린더(320)가 구비 되어 있다. 평상시에는 그리퍼(310)과 그리퍼1(310-1)이 클로즈 되어 있고, 실린더(320)가 전진 되어 있다. 교체 시에는 그리퍼(310)과 그리퍼1이 오픈 되고 실린더(320)가 후진 하면 카트리지(300)는 부착헤드와 완전히 다른 개별 유닛으로 분리 되고, 다른 카트리지(300)를 취부하는 동작은 상기 순서의 역순서를 밟아 자동교체가 이루어 진다.
또한, 자동 교체 시 드물게 점착시트가 모두 소진이 되지 않은 상태에서 카트리지를 교체해야 하는 상황이 생길 수 있으며, 이때 자동 교체 시 장력이 풀리게 되어 남은 점착시트는 사용을 할 수 없게 된다. 이를 방지하고자, 언와인더, 와인더에 연결된 샤프트에 장력이 풀리지 않는 유닛을 적용하여 장력 풀림을 방지 한다.
다음은 점착제를 제거하는 설비에 대해 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 점착제 자동 제거 유닛을 보여준다.
도 2와 동일하게 직교 로봇(200)과 결합되어 있으며 원하는 위치로의 이동이 가능하다.
플레이트(100)에서 점착제(313) 제거 시 한쪽면을 먼저 탈착 후 이동하며 점차적으로 제거하기 때문에 점착제 제거 툴(325)이 약간 비스듬하게 세워져 있어야 한다. 제거 툴(325)은 단부가 블레이드 형상을 이루어 점착 시트와 척 플레이트 경계면에 침투되어 전진함으로써 점착제를 떼어낸다.
제거할 점착제로의 위치 이동 후 실린더(318 - 부착 업다운 실린더와 기능이 같아 도번을 같이 하였을 뿐 별도의 실린더이다. 도면 번호 316과 317 또한 같은 맥락이다.)가 하강하여 직교 로봇(200)이 움직이며 이때 점착시트 제거 툴(325)에 의해 점착제가 제거된다. 제거된 점착제는 다시 사용이 불가능하기에 별도 처리가 필요하며 진공 석션을 통해 제거 된 점착시트를 포집할 수 있도록 점착제 보관함(323)과 석션배관(322), 석션호스(324)를 구성하였다.
석션배관(322)은 석션장치로부터 보관함(323)까지 연결되고, 보관함에 석션 호스가 연결된다. 석션 장치가 구동되면 석션 배관을 통해 보관함 내부가 저압화되고, 이로 인해 석션 호스가 흡입력을 갖게 된다.
따라서 점착시트 제거와 동시에 석션을 진행하여, 보관함(323)에 보관하고, 이때 석션장치에 점착제가 유입 되지 않도록 보관함(323)과 석션 배관의 연결부는 기체만 통과할 수 있도록 작은 구멍을 구비하게 하여 석션기능을 잃지 않되 점착제는 보관함을 벗어날 수 없게 한다. 보관함은 견시창을 구비하며, 견시창을 통해 추후 육안 확인 시 보관함이 꽉 찼을 경우 보관함(323)을 비우고 다시 사용할 수 있다. 석션호스(324) 및 석션배관(322), 점착제 보관함(323), 점착제 제거툴(325)은 모터(316), 커플링(317)을 포함한 헤드(500)에 의해 직교로봇(200)과 결합되어 있으며 원하는 위치로의 이동이 가능하다. 점착제(313) 제거 시에도 방향이 바뀔 수 있어야 하기 때문에, 도 1과 같이 모터(316)를 구비하여 방향 전환이 가능하도록 하였다.
도 3과 도 4에서는 본 발명에 따른 검사장치도 보여준다.
점착제(313) 부착 및 제거가 제대로 되지 않았을 경우를 대비하여 카메라(321)를 설치하였다. 카메라(321)는 헤드(500)에 취부 되어 있으며 (헤드 (500)는 직교로봇 (200)과 결합되어 있는 상태이다.) 카트리지 (300)는 직교 로봇 (200)에 의해 위치 이동 하여 점착제(313)를 부착한 후 해당 위치를 카메라로 촬영하는 동작을 반복하거나 점착제를 소정 구간 부착 완료한 후 일괄적으로 해당 구간에 대해 촬영을 실시할 수 있다. 헤드 (500)는 방향전환이 가능하기 때문에 헤드 (500)에 취부 되어 있는 검사 장치 또한 방향전환이 가능하다.
또한, 점착제(313) 부착 시에는 카트리지(300)가 업다운을 진행하는데 이 때 높이가 달라 카메라 포커싱이 달라진다. 이를 보완하기 위해 카트리지의 높이에 상관없이 오토포커싱(카트리지 업상태에선 업상태 포커싱, 카트리지 다운 상태에선 다운상태 포커싱 자동 조정)이 가능한 렌즈를 구비하여 카트리지 업다운 높이에 상관없이 점착 시트의 부착 상태를 검사한다.
점착제 제거 시에도 부착 시와 마찬가지로 검사를 진행한다. 이 경우, 점착 제 부착 또는 제거 동작과 동시에 촬영하는 방식이 공정시간을 줄이는데 있어서 좀 더 바람직하다.
다음은 점착시트(500) 제조에 대해 설명한다.
도 5는 원자재 점착시트의 구조를 보여 준다.
가장 밑에 하부 이형지 (326)가 위치하며 그 위에 점착제 (313), 또 그 위에 점착제 보호필름 (314)이 위치하는 구조이다.
도 6은 원자재 양면 캡톤 테이프의 구조를 보여 준다.
가장 밑에 양면 캡톤 테이프의 하부 이형지 (329)가 위치하며 그 위에 양면 캡톤 테이프 점착제 (330), 또 그 위에 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 (331)가 위치하는 구조이다.
도 7은 원자재 단면 테이프의 구조를 보여 준다.
가장 밑에 단면 테이프의 하부 이형지 (327)가 위치하며 그 위에 단면으로 된 테이프 점착제(328)가 위치하는 구조이다.
도 8은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 1번째 공정을 보여준다.
공정 준비 작업으로 합지 기계에 가공되지 않은 롤타입의 감겨 있는 원자재 점착시트(점착제(313) 포함)를 점착제 롤(600-1)에 취부 후 점착제 하부 이형지 (326)를 점착제와 분리하여 점착제 하부 이형지 분리 롤(600-2)을 거쳐 점착제 하부 이형지 회수 롤(600)에 고정 시키고 하부 이형지가 제거 된 점착제 시트(332)(보호 필름 포함한 점착제)는 가이드 롤 (600-3)을 거쳐 합착롤 1 (600-4)과 합착롤 2 (600-5)사이에 거치 시킨다.
또한, 양면 캡톤 테이프(312)를 포함한 양면 캡톤 테이프 원자재 롤을 양면 캡톤 테이프 롤 (600-6)에 취부 후 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 (331)를 양면 캡톤 테이프와 분리하여 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 분리 롤 (600-8)을 거쳐 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 회수 롤 (600-7)에 고정 시키고 상부 이형지가 제거 된 양면 캡톤 테이프(333)는 가이드 롤 (600-9)를 거쳐 합착롤 1 (600-4)과 합착롤 2 (600-5)사이에 거치 시킨다.
상기와 같은 공정 준비 작업이 완료 된 후 합지 기계를 가동하게 될 시 모든 롤은 화살표 방향으로 구동하게 되며 합착롤 1 (600-4)과 합착롤 2 (600-5)에 의해 하부 이형지 제거 된 된 점착제 시트(332)와 상부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프 (333)는 합지 된다.
상기에서 합지 된 점착제 시트(334)는 회수롤(600-10)에 의해 감기게 됨과 동시에 합지된 롤타입의 점착제 시트(334)가 된다. 상기에서 롤타입의 점착제 시트(334)는 하부 이형지/양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름의 적층구조를 갖는다.
도 9는 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 2번째 공정을 보여준다.
공정 준비 작업으로 합지 기계에 롤타입 점착제 시트(334)를 점착제 롤(600-11)에 취부 후 양면캡톤 테이프 하부 이형지 (329)를 점착제와 분리하여 하부 이형지 분리 롤(601-7)을 거쳐 양면캡톤 테이프 하부 이형지 회수 롤(601-6)에 고정 시킨다.
또한, 하부 이형지가 제거 된 점착제 시트(334-1)는 가이드 롤 (601-8)를 거쳐 합착롤 1-1 (601-1)과 합착롤 2 (601-2)사이에 거치 시킨다.
또한, PET 이형지(311)를 PET 이형지 롤 (601-3)에 취부 후 가이드 롤 (601-4)를 거쳐 합착롤 1-1 (601-1)과 합착롤 2-1 (601-2)사이에 거치 시킨다. 상기와 같은 공정 준비 작업이 완료 된 후 합지 기계를 가동하게 될 시 모든 롤은 화살표 방향으로 구동하게 되며 PET 이형지(311)는 합착롤 1-1 (601-1)과 합착롤 2-1 (601-2)에 의해 1차 합지 후 하부 이형지가 제거 된 점착제 시트(334)와 합지 된다. 합지 된 점착제 시트 (335)는 회수롤 (601-5)에 의해 감기게 된다. 합지 된 롤타입의 점착제 시트(335)(601-5에 감긴 것)는 PET 이형지/양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름의 적층구조를 갖는다.
도 10은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 3번째 공정을 보여준다.
합지된 롤타입의 점착제 시트(601-5)는 폭이 매우 넓어 적절한 간격으로 잘라 주어야 한다. 커팅 거치대 (605)에 커팅 칼날 (604)을 원하는 간격으로 셋팅 하고 칼날 (604)을 회전 시키면 롤타입의 점착제 시트(601-5)는 화살표 방향으로 이동하며 원하는 간격으로 잘려진다. 본 공정은 상기 2차 합지 공정 후에 실시된다.
도 11은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 시트 가공 4번째 공정을 보여준다.
도 10의 커팅 작업 시 점착제 특성 상 점착제가 울게 되어 간격이 미세하게 틀어져, 이를 보정하기 위하여 슬리팅이라는 정교한 2차 커팅 작업이 필요하다.
도 10의 커팅 작업 후 슬리팅 칼날 (606)이 달려 있는 슬리팅용 봉 (607)에 점착제 시트(602)를 걸어 도 10의 공정과 마찬가지로 슬리팅 봉 (607)과 슬리팅 칼날 (606)이 회전을 하면서 화살표 방향으로 이동하며 미세하게 원하는 간격으로 2차 커팅을 하게 됨과 동시에 회수롤 (603)에 감기게 된다.
도 12는 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 5번째 공정을 보여준다.
본 공정은 롤타입 점착제 가공 4번째 공정 이후 실시되며, 상기 공정이 완료 된 후 점착제 시트(335)(이때 양면 캡톤 테이프의 하부 이형지는 제거되고, PET 이형지와 합지 된 상태이다.)를 원하는 형상으로 가공할 필요가 있으며, 가공 방법은 다음과 같다.
점착제(보호 필름 포함)와 양면 캡톤 테이프, PET 이형지가 합지 된 점착제 시트(335) 단부를 컨베이어에 벨트에 연신 고정하여 놓고 컨베이어 롤러 (611)가 구동 되면, 컨베이어 (610) 또한 구동하게 되며 원하는 형상이 새겨져 있는 점착제 가공기 (612)가 위아래로 움직이며 점착제 시트(335)에 형상을 가공하게 된다(도넛을 찍는 것과 비슷한 공정). 가공 후 불필요한 점착제 시트부분(336)와 가공된 점착제 시트(337)는 컨베이어 (610)에서 위아래로 분리가 되며 불필요한 점착제 시트부분 (336)는 회수롤 (608)에 감기고, 가공된 점착제 시트(337)도 회수롤 (609)에 감기게 된다. 여기서 불필요하여 제거되는 부분을 이루는 층은 보호필름과 점착제, 양면캡톤 테이프 부분이고, 소정 형상으로 가공된 보호필름과 점착제 부분은 양면 캡톤 테이프 및 PET 이형지와 합지 된 상태로 회수롤(608)에 감긴다. 점착제 형상은 원형 등 다양한 기하학적 형상일 수 있다.
도 13은 본 발명에 따른 롤타입 점착제 가공 6번째 공정을 보여준다.
여기서 PET 이형지/양면 캡톤 테이프/점착제/보호필름에서 점착제와 보호필름, 양면캡톤테이프는 소정 형상으로 가공된 상태이다.
공정 준비 작업으로 합지 기계에 단면 테이프 (315)를 단면 테이프 롤(609-3)에 취부 후 이형지 (327)를 점착제(328)와 분리하여 이형지 분리 롤(609-4)을 거쳐 이형지 회수 롤(609-2)에 고정 시킨다.
또한, 이형지가 제거 된 단면 테이프 (328)를 가이드 롤 (609-5)를 거쳐 합착롤 1-2 (609-6)와 합착롤 2-2 (609-7)사이에 거치 시킨다.
또한, 가공된 점착제 시트(337) 를 가공 된 점착제 롤 (609)에 취부 후 가이드롤 (609-1)을 거쳐 합착롤 1-2 (609-6)와 합착롤 2-2 (609-7) 사이에 거치 시킨다.
상기와 같은 공정 준비 작업이 완료 된 후 합지 기계를 가동하게 될 시 모든 롤은 화살표 방향으로 구동하게 되며 단면 테이프 (315)는 이형지 분리 롤 (609-4)을 통해 이형지 (327)는 분리되며 이 때 분리 된 이형지 (327)는 이형지 회수 롤 (609-2)에 감기고, 이형지가 제거된 단면 테이프 (328)는 가이드 롤 (609-5)을 타고 합착롤 1-2 (609-6)과 합착롤 2-2 (609-7)에 의해 가공된 점착제 시트(337)와 합지가 된다. 합지 된 점착시트 테이프 (338)는 회수롤 (620)에 의해 감기게 된다. 점착시트 테이프(338)는 PET 이형지/상,하부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프/ /점착제/보호필름/단면 테이프 적층 구조를 갖는다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
100 : 척 플레이트
200 : 직교 로봇
300 : 카트리지
301 : 스프링
302 : 스프링 고정 블록
303 : 가이드롤러 1
303-1 : 가이드롤러 2
303-2 : 가이드롤러 3
303-3 : 가이드롤러 4
303-4 : 가이드롤러 5
303-5 : 가이드롤러 6
380 : 점착시트 감지 센서
304 : 뎀퍼
305 : 언와인더, 와인더
306 : (이형지) 분리 툴
307 : 카트리지 적재 거치대
308 : 부착 롤
309 : 바코드
309-1 : 바코드 리더기
310 : 그리퍼
310-1 : 그리퍼 1
311 : PET 이형지
312 : 양면캡톤 테이프
313 : 점착제
314 : 점착제 보호필름
315 : 단면 테이프
316 : 회전모터
317 : 커플링
318 : 업다운실린더
319 : 두께 감지 센서
320 : 측면 실린더
321 : 검사 카메라
322 : 석션배관
323 : (점착제) 보관함
324 : 석션호스
325 : 점착제 제거 툴
326 : 점착제 하부 이형지
327 : 단면 테이프 이형지
328 : (단면) 테이프 점착제
329 : 양면 캡톤 테이프 하부 이형지
330 : 양면 캡톤 테이프 점착제
331 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지
332 : 하부 이형지 제거된 점착제 시트
333 : 상부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프
334 : (점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 롤 타입) 점착제 시트
334-1 : 하부 이형지가 제거된 (양면 캡톤 테이프가 합지 된) 점착제 시트
335 : (점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된) 점착제 시트
336 : (가공 후) 불필요한 점착제 시트 부분
337 : 가공 된 점착제 시트
338 : (가공된 점착제와 단면테이프가 합지된) 점착제 시트 테이프
380 : 점착시트 감지 센서
400 : 카트리지 적재함 (자동교체 진행)
500 : 부착 헤드
600 : 점착제 하부 이형지 회수롤
600-1 : 점착제 롤
600-2 : 점착제 하부 이형지 분리롤
600-3 : 점착제 가이드롤
600-4 : 합착롤 1
600-5 : 합착롤 2
600-6 : 양면 캡톤 테이프 롤
600-7 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 회수 롤
600-8 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 분리 롤
600-9 : 양면 캡톤 테이프 가이드 롤
600-10 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제 회수롤
601 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제 가이드 롤
601-1 : 합착롤 1-1
601-2 : 합착롤 2-1
601-3 : PET 이형지 롤
601-4 : PET 이형지 가이드롤
601-5 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가
합지 된 점착제 회수롤
602 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된 점착제 롤을 커팅한 롤
603 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된 점착제 롤을 커팅한 롤을 슬리팅한 롤 회수롤
604 : 커팅칼날
605 : 커팅 거치대
606 : 슬리팅 칼날
607 : 슬리팅용 봉
608 : 가공 후 불필요 점착제 시트 회수 롤
609: 가공 된 점착제 롤
609-1 : 가공 된 점착제 시트 가이드롤
609-2 : 단면 테이프 롤
609-3 : 단면 테이프 이형지 회수 롤
609-4 : 단면 테이프 이형지 분리 롤
609-5 : 단면 테이프 가이드 롤
609-6 : 합착롤 1-2
609-7 : 합착롤 2-2
610 : 컨베이어
611 : 컨베이어 롤러
612 : 점착제 가공기
620 : 가공된 점착제와 단면테이프가 합지된 점착제 롤
700 : 와인더 회전 모터
200 : 직교 로봇
300 : 카트리지
301 : 스프링
302 : 스프링 고정 블록
303 : 가이드롤러 1
303-1 : 가이드롤러 2
303-2 : 가이드롤러 3
303-3 : 가이드롤러 4
303-4 : 가이드롤러 5
303-5 : 가이드롤러 6
380 : 점착시트 감지 센서
304 : 뎀퍼
305 : 언와인더, 와인더
306 : (이형지) 분리 툴
307 : 카트리지 적재 거치대
308 : 부착 롤
309 : 바코드
309-1 : 바코드 리더기
310 : 그리퍼
310-1 : 그리퍼 1
311 : PET 이형지
312 : 양면캡톤 테이프
313 : 점착제
314 : 점착제 보호필름
315 : 단면 테이프
316 : 회전모터
317 : 커플링
318 : 업다운실린더
319 : 두께 감지 센서
320 : 측면 실린더
321 : 검사 카메라
322 : 석션배관
323 : (점착제) 보관함
324 : 석션호스
325 : 점착제 제거 툴
326 : 점착제 하부 이형지
327 : 단면 테이프 이형지
328 : (단면) 테이프 점착제
329 : 양면 캡톤 테이프 하부 이형지
330 : 양면 캡톤 테이프 점착제
331 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지
332 : 하부 이형지 제거된 점착제 시트
333 : 상부 이형지 제거 된 양면 캡톤 테이프
334 : (점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 롤 타입) 점착제 시트
334-1 : 하부 이형지가 제거된 (양면 캡톤 테이프가 합지 된) 점착제 시트
335 : (점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된) 점착제 시트
336 : (가공 후) 불필요한 점착제 시트 부분
337 : 가공 된 점착제 시트
338 : (가공된 점착제와 단면테이프가 합지된) 점착제 시트 테이프
380 : 점착시트 감지 센서
400 : 카트리지 적재함 (자동교체 진행)
500 : 부착 헤드
600 : 점착제 하부 이형지 회수롤
600-1 : 점착제 롤
600-2 : 점착제 하부 이형지 분리롤
600-3 : 점착제 가이드롤
600-4 : 합착롤 1
600-5 : 합착롤 2
600-6 : 양면 캡톤 테이프 롤
600-7 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 회수 롤
600-8 : 양면 캡톤 테이프 상부 이형지 분리 롤
600-9 : 양면 캡톤 테이프 가이드 롤
600-10 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제 회수롤
601 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제 가이드 롤
601-1 : 합착롤 1-1
601-2 : 합착롤 2-1
601-3 : PET 이형지 롤
601-4 : PET 이형지 가이드롤
601-5 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가
합지 된 점착제 회수롤
602 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된 점착제 롤을 커팅한 롤
603 : 점착제와 양면 캡톤 테이프가 합지 된 점착제와 PET 이형지가 합지
된 점착제 롤을 커팅한 롤을 슬리팅한 롤 회수롤
604 : 커팅칼날
605 : 커팅 거치대
606 : 슬리팅 칼날
607 : 슬리팅용 봉
608 : 가공 후 불필요 점착제 시트 회수 롤
609: 가공 된 점착제 롤
609-1 : 가공 된 점착제 시트 가이드롤
609-2 : 단면 테이프 롤
609-3 : 단면 테이프 이형지 회수 롤
609-4 : 단면 테이프 이형지 분리 롤
609-5 : 단면 테이프 가이드 롤
609-6 : 합착롤 1-2
609-7 : 합착롤 2-2
610 : 컨베이어
611 : 컨베이어 롤러
612 : 점착제 가공기
620 : 가공된 점착제와 단면테이프가 합지된 점착제 롤
700 : 와인더 회전 모터
Claims (2)
- 점착시트를 자동으로 떼어내는 점착시트 자동제거시스템으로서,
단부에 블레이드 형상의 점착시트 제거 툴을 구비한 제거 유닛;
상기 제거유닛을 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇;
석션 장치로부터 연신되고 점착시트를 보관하는 보관함에 연결된 석션 배관;
일측 단부가 상기 제거 유닛에 인접 배치되고, 타측 단부는 상기 보관함에 연결된 석션호스; 및
석션호스에 의해 석션된 점착시트를 보관하는 보관함;을 포함하고,
상기 보관함과 상기 석션 배관의 연결부는 기체만 통과시키고 점착시트가 통과할 수 없는 크기의 구멍을 포함하고,
상기 석션 배관은 보관함의 중심부에 도달하고, 상기 석션호스보다 높은 위치에 배치되고,
척 플레이트에 부착되어있는 점착시트 단부에 상기 점착시트 제거 툴의 블레이드가 놓이고,
상기 제거 툴이 전진 구동되어 점착시트를 척 플레이트에서 떼어 내고, 상기 석션 장치의 구동은 상기 석션 배관을 통해 보관함 내부 압력을 낮추어 보관함 내부가 저압화되고, 이로 인해 석션 호스가 흡입력을 갖게 되어 점착시트를 떼어냄과 동시에 석션호스가 떼어 낸 점착시트를 석션하여 보관함에 보관하며,
상기 보관함은 견시창을 구비하여 육안 확인 시 보관함이 꽉 찼을 경우 보관함을 비우고 다시 사용하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템. - 제1항에 있어서, 상기 직교로봇에 점착시트 제거 툴 방향전환용 모터를 더 구비하여 점착시트 제거 툴의 방향을 전환시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020220113202A KR102616414B1 (ko) | 2020-08-12 | 2022-09-07 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200101430A KR102443314B1 (ko) | 2020-08-12 | 2020-08-12 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
| KR1020220113202A KR102616414B1 (ko) | 2020-08-12 | 2022-09-07 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200101430A Division KR102443314B1 (ko) | 2020-08-12 | 2020-08-12 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20220128597A KR20220128597A (ko) | 2022-09-21 |
| KR102616414B1 true KR102616414B1 (ko) | 2023-12-21 |
Family
ID=80494401
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200101430A KR102443314B1 (ko) | 2020-08-12 | 2020-08-12 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
| KR1020220113205A KR102613680B1 (ko) | 2020-08-12 | 2022-09-07 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
| KR1020220113202A KR102616414B1 (ko) | 2020-08-12 | 2022-09-07 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
Family Applications Before (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200101430A KR102443314B1 (ko) | 2020-08-12 | 2020-08-12 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
| KR1020220113205A KR102613680B1 (ko) | 2020-08-12 | 2022-09-07 | 점착척의 점착 시트 교체를 위한 자동화 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (3) | KR102443314B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116403946B (zh) * | 2023-05-24 | 2023-08-04 | 东莞市华越半导体技术股份有限公司 | 一种固晶机固晶头压力预警装置 |
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| WO2019058431A1 (ja) | 2017-09-19 | 2019-03-28 | 株式会社Ｆｕｊｉ | テープ回収装置および部品実装システム |
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Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2764924B2 (ja) * | 1988-06-29 | 1998-06-11 | 松下電器産業株式会社 | 部品供給装置 |
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| KR100833258B1 (ko) * | 2006-10-02 | 2008-05-28 | 주식회사 예선테크 | 표시장치용 가스켓 패드 |
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| KR20090132061A (ko) * | 2008-06-20 | 2009-12-30 | 동우 화인켐 주식회사 | 액정 디스플레이 부재용 점착제전사테이프 |
| JP5134523B2 (ja) * | 2008-12-17 | 2013-01-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 光学フィルム貼付け装置、光学フィルム貼付け方法、および表示用パネルの製造方法 |
| KR101423106B1 (ko) * | 2012-09-28 | 2014-07-25 | 인산디지켐 주식회사 | 다기능성 복합 구조 폼 테이프의 제조 방법 및 제조 장치 |
| JP6264126B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-01-24 | 日立化成株式会社 | ウエハ加工用テープ |
| JP6918499B2 (ja) * | 2017-01-12 | 2021-08-11 | 日東電工株式会社 | テープ貼付けカセットおよびテープ貼付装置 |
-
2020
- 2020-08-12 KR KR1020200101430A patent/KR102443314B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-09-07 KR KR1020220113205A patent/KR102613680B1/ko active IP Right Grant
- 2022-09-07 KR KR1020220113202A patent/KR102616414B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
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| JP2011082438A (ja) | 2009-10-09 | 2011-04-21 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | テープ排出機能付き埃除去装置 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20220128597A (ko) | 2022-09-21 |
| KR20220021085A (ko) | 2022-02-22 |
| KR102613680B1 (ko) | 2023-12-14 |
| KR20220128969A (ko) | 2022-09-22 |
| KR102443314B1 (ko) | 2022-09-16 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| E601 | Decision to refuse application | ||
| AMND | Amendment | ||
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