KR101986932B1 - 점착척의 점착 시트 교체 자동화 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 점착시트 부착, 제거, 검사 작업을 자동으로 작업 할 수 있게 하여, 작업 시간 증가 및 작업 에러율 증가에 대응할 수 있는 새로운 구조의 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명은 점착시트를 자동으로 부착, 제거 하기 위해, 직교 로봇 및 석션패드, 점착제 누름/제거 툴, 모터를 구성하였다. 또한, 상기 작업 시 불량률을 줄이고자 검사 시스템을 적용하였다.

Description

점착척의 점착 시트 교체 자동화 장치{Adhesive Sheet Exchange Device of Adhesive Chuck}
본 발명은 반도체, 디스플레이 제조기술 중 기판 이송을 위한 점착척의 점착시트 교체 자동화 장치에 관한 것이다.
점착척은 현재 디스플레이 산업에서 대량생산체제에 적합한 기판 이송 수단으로써 상기 점착척에 부착되는 점착시트는 기판 이송 횟수에 따라 수명이 줄어들며 이에 주기적으로 교체가 필요하다.
등록특허 제1010588340000호는 점착척의 오염물을 세척하는 기술을 제안하나 이러한 방법도 한계가 있어 일정 시기에 다다르면 점착 시트의 교체를 요한다.
현재 점착 시트를 수작업으로 실시하고 있어 시간과 노력이 들어가면서도 불량발생으로 인한 문제가 있다.
상기 문제에 따라 본 발명의 목적은 점착시트 교체를 위해 자동화 설비를 구축하여 생산성 향상 및 작업능률을 확대시키고 자동화에 의해 수작업으로 인해 발생되는 불량률을 감소시킴에 있다.
본 발명은 점착시트 교체 속도증가를 위해, 가로, 세로로 움직일 수 있는 직교 로봇을 구성하였으며, 점착시트 제거 유닛과 부착 유닛에 모터를 구성하였다.
또한, 부착 및 제거 시 발생하는 불량을 검출하기 위한 검사 장치를 적용하였다.
즉, 본 발명은, 점착시트를 자동으로 부착하는 시스템으로서,
점착시트를 운반하는 컨베이어;
상기 컨베이어 위에 있는 점착시트를 잡아 올리기 위한 석션 패드를 구비하여 점착시트를 고정하여 이송하는 이송용 실린더; 및
상기 이송용 실린더를 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇;을 포함하여,
상기 석션 패드에 흡착 고정된 점착시트를 이송하여 척 플레이트 위에 도착 후, 척 플레이트 위에 점착시트를 내려놓고 석션을 해제하여 점착시트를 자동부착되게 하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 단부에 누름 툴을 구비한 점착 시트 가압용 실린더를 더 구비하고, 상기 가압용 실린더는 상기 직교 로봇에 연결되어 소정 지점으로 이동될 수 있어, 점착시트가 척 플레이트 위에 놓인 곳에 도착하여 상기 가압용 실린더를 이용하여 점착시트를 상기 누름 툴로 가압하여 점착시트의 부착을 강화하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 이송용 실린더는 공압 튜브에 의해 솔레노이드 밸브에 연결되는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 이송용 실린더는 모터를 구비하여 점착시트의 배치 방향을 회전 변환할 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 카메라와 상기 카메라의 방향 전환을 위한 모터를 구비하여 점착 시트의 부착을 검사하는 검사장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템을 제공한다.
또한, 본 발명은,
점착시트를 자동으로 떼어내는 점착시트 자동제거시스템으로서,
단부에 블레이드 형상의 점착시트 제거 툴을 구비한 이송용 실린더; 및
상기 이송용 실린더를 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇;을 포함하여,
척 플레이트에 부착되어있는 점착시트 단부에 상기 점착시트 제거 툴의 블레이드가 놓이고, 상기 이송용 실린더가 전진 구동되어 점착시트를 척 플레이트에서 떼어내는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템을 제공한다.
상기에 있어서, 상기 이송용 실린더는 모터를 더 구비하여 점착시트 제거 툴의 방향을 전환시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템을 제공한다.
본 발명에 따르면, 점착시트 교체 속도가 수작업 시보다 감소할 뿐만 아니라 검사장치를 통하여 불량률이 감소하여 정교한 작업이 이루어지므로 생산성 향상을 기대할 수 있다.
도 1은 직교 로봇에 대한 평면도이다.
도 2는 점착시트 자동 부착 유닛 정면도 및 측면도이다.
도 3은 점착시트 자동 제거 유닛 측면도이다.
도 4는 검사 장치에 관한 측면도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 직교 로봇(200)을 평면도로 보여준다. 척 플레이트(100)의 점착제(500)는 수량이 많아 수작업으로 부착 시 상당한 시간 및 인원이 필요하다. 본 발명은 척 플레이트(100)의 점착시트(500) 부착 속도 증가를 위해 가로, 세로 움직임이 가능하고 속도 및 위치 제어가 가능한 직교 로봇(200)을 이용하는 방안을 제안하였다.
도 2는 본 발명에 따른 점착제 자동 부착 유닛을 보여준다. 척 플레이트(100)에 점착제(500)를 부착하기 위해서는 1개씩 개별로 부착하여야 한다.
도 2의 왼편에는 점착 시트(500)의 부착을 위한 구성을 보이고, 오른편에는 점착시트(500)가 컨베이어로 운반되고, 컨베이어에서 하나씩 들어올려지는 것을 보여준다.
직교 로봇(200)에 연결되어 특정 좌표에 해당하는 위치로 이동할 수 있는 실린더(310)는 모터(370)와 석션 패드(330)를 구비한 점착 시트 이송용이 있고, 누름 툴(320)을 구비한 점착 시트 가압용이 있다.
롤러(410)가 구동하며 컨베이어(420)가 화살표 방향으로 이동하게 되며 점착시트(500)가 석션 패드(330) 위치까지 오게 되면 솔레노이드 밸브(350)와 공압 튜브(340)로 연결된 실린더(310)가 하강하여 점착시트(500)에 대해 석션 (Suction)을 하게 된다. 이때 점착시트(500)는 석션 패드(330)에 부착되며 이송용 실린더(310)가 상승 시 점착시트(500)도 같이 상승하게 된다. 직교 로봇(200)과 결합 되어 있기 때문에 위치 이동이 가능하며 원하는 위치까지 이동 후 실린더(310)가 하강하여 석션 패드(330)의 석션을 해제하면 척 플레이트(100)에 점착제(500)가 부착된다. 점착시트(500) 부착 후 척 플레이트(100)에 보다 강하게 붙이기 위해 점착제 가압용 실린더의 누름 툴(320)이 직교 로봇(200)을 이용하여 점착시트(500) 위치로 움직인 후 가압용 실린더(310)로 하강하여 점착제(500)를 누르게 되며 누른 후 가압용 실린더(310)는 상승하게 된다. 점착시트(500)는 위치에 따라 방향이 바뀌는데 모터(370)를 이용하여 회전하여 이러한 문제를 해결할 수 있도록 하였다. 즉, 가로 세로의 길이와 형상이 다른 점착시트를 척 플레이트 형상에 따라 가로세로 방향을 맞추기 위해 점착 시트의 방향을 모터(370)를 이용하여 전환시킨다.
이와 같이 점착시트를 척 플레이트에 자동 부착할 수 있다.
다음은 점착시트를 탈착 제거하는 설비에 대해 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 점착제 자동 제거 유닛을 보여준다. 도 2와 동일하게 직교 로봇(200)과 결합되어 있으며 원하는 위치로의 이동이 가능하다.
플레이트(100)에서 점착시트(500)를 제거 시 한쪽면을 먼저 탈착 후 이동하며 점차적으로 제거하기 때문에 점착시트 제거 툴(600)이 약간 비스듬하게 세워져 있어야 한다. 제거 툴(600)은 단부가 블레이드 형상을 이루어 점착 시트와 척 플레이트 경계면에 침투되어 전진함으로써 점착시트를 떼어낸다.
제거할 점착시트(500) 위치 이동 후 실린더(310)가 하강하여 직교 로봇(200)이 움직이며 이때 점착시트 제거 툴(600)에 의해 점착시트(500)가 제거된다. 점착시트(500) 제거 시에도 방향이 바뀔 수 있어야 하기 때문에, 도 1과 같이 모터(370)를 구비하여 방향 전환이 가능하도록 하였다.
도 4는 본 발명에 따른 검사장치를 보여준다.
점착시트(500) 부착 및 제거가 제대로 되지 않았을 경우를 대비하여 카메라(700)를 설치하였다. 도 2,3과 마찬가지로 직교 로봇(200)과 결합되어 있으며 검사 시작 위치 이동 후 움직이면서 점착시트(500) 부착 및 제거 위치마다 영상 촬영을 진행한다. 도 1과 도 2에서 설명했듯이 점착시트(500)의 방향이 다르기 때문에 검사 장치 또한 방향전환이 필요하며 모터(370)를 이용하여 방향전환이 가능하도록 하였다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
100 : 척 플레이트
200 : 직교 로봇
310 : 실린더
320 : 점착시트 누름 툴
330 : 석션 패드
340 : 공압 튜브
350: 솔레노이드 밸브
360 : 실린더 부착 플레이트
370 : 모터
410 : 롤러
420 : 컨베이어
500 : 점착시트
600 : 점착시트 제거 툴
700 : 카메라

Claims (7)

  1. 점착시트를 자동으로 부착하는 시스템으로서,
    점착시트를 운반하는 컨베이어;
    상기 컨베이어 위에 있는 점착시트를 잡아 올리기 위한 석션 패드를 구비하여 점착시트를 고정하여 이송하는 이송용 실린더; 및
    상기 이송용 실린더를 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇;을 포함하여,
    상기 석션 패드에 흡착 고정된 점착시트를 이송하여 척 플레이트 위에 도착 후, 척 플레이트 위에 점착시트를 내려놓고 석션을 해제하여 점착시트를 자동부착되게 하고,
    상기 이송용 실린더는 모터를 구비하여 가로 세로의 길이와 형상이 다른 점착시트를 척 플레이트 형상에 따라 가로세로 방향을 맞추기 위해 점착시트의 배치 방향을 회전 변환할 수 있고,
    상기 직교 로봇은 카메라와 상기 카메라의 방향 전환을 위한 모터를 구비하고 점착시트 부착 위치마다 영상 촬영을 진행하여 점착 시트의 부착 상태를 검사하는 검사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.
  2. 제1항에 있어서, 단부에 누름 툴을 구비한 점착 시트 가압용 실린더를 더 구비하고, 상기 가압용 실린더는 상기 직교 로봇에 연결되어 소정 지점으로 이동될 수 있어, 점착시트가 척 플레이트 위에 놓인 곳에 도착하여 상기 가압용 실린더를 이용하여 점착시트를 상기 누름 툴로 가압하여 점착시트의 부착을 강화하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 이송용 실린더는 공압 튜브에 의해 솔레노이드 밸브에 연결되는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동부착시스템.

  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 점착시트를 자동으로 떼어내는 점착시트 자동제거시스템으로서,
    단부에 블레이드 형상의 점착시트 제거 툴을 구비한 이송용 실린더; 및
    상기 이송용 실린더를 원하는 소정의 지점으로 이동시키는 직교 로봇;을 포함하여,
    척 플레이트에 부착되어있는 점착시트 단부에 상기 점착시트 제거 툴의 블레이드가 놓이고, 상기 이송용 실린더가 전진 구동되어 점착시트를 척 플레이트에서 떼어내며,
    상기 이송용 실린더는 모터를 구비하여 점착시트 제거 툴의 방향을 전환시킬 수 있고,
    상기 직교 로봇은 카메라와 상기 카메라의 방향 전환을 위한 모터를 구비하고 점착시트 제거 위치마다 영상 촬영을 진행하여 점착 시트의 제거 상태를 검사하는 검사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 이송용 실린더는 모터를 더 구비하여 점착시트 제거 툴의 방향을 전환시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 점착시트 자동제거시스템.

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