KR102592448B1 - 윌킨슨 타입 합성기 및 고주파 전원 장치 - Google Patents
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Abstract
합성 손실에 기인하는 아이솔레이션 저항의 파손의 가능성을 억제하면서, 저비용, 저용적의 윌킨슨 타입 합성기를 제공한다. 고주파 신호가 입력되는 제 1 및 제 2 입력 단자 IN1, IN2와, 출력 단자 OUT와, 제 1 및 제 2 입력 단자에 입력된 고주파 신호를 합성하고, 출력 단자에 출력하는 선로(1)와, 제 1 및 제 2 입력 단자의 사이에 마련되고, 제 1 아이솔레이션 저항(4a), 트랜스(6) 및 제 2 아이솔레이션 저항(4b)이 직렬로 접속된 아이솔레이션부(3)와, 트랜스의 2차 코일(6b)과 접속되고, 2차 코일에 흐르는 전류를 검출하는 검출 회로(7)와, 검출 회로에 의해 검출된 아이솔레이션부에 흐르는 전류가 소정치 이상의 전류인 경우에, 제 1 및 제 2 입력 단자로의 고주파 신호의 입력을 차단하는 제어 신호를 출력하는 판정 회로(8)를 가진다.
Description
본 발명은, 윌킨슨 타입 합성기 및 그것을 이용한 고주파 전원 장치에 관한 것이다.
고주파 신호의 합성을 행하는 회로로서 윌킨슨 타입 합성기가 알려져 있다. 특허 문헌 1에는 고전력용의 윌킨슨 타입 합성기(분배기)가 개시되어 있다. 특허 문헌 1의 도 1에 예시된 윌킨슨 타입 합성기는 2 입력 1 출력의 회로로서, 2개의 입력 단자에 고주파 신호가 입력되면, 출력 단자로부터 합성된 고주파 신호가 출력된다. 2개의 입력 단자의 사이에는 아이솔레이션 저항이 마련되어 있고, 2개의 입력 단자에 입력되는 고주파 신호의 사이에 진폭 차나 위상 차가 있으면 합성 손실이 생기지만, 아이솔레이션 저항은 이 합성 손실을 흡수하는 역할을 이행한다. 이 때문에, 아이솔레이션 저항의 정격 전력을 충분히 크게 해 두지 않으면, 아이솔레이션 저항이 합성 손실에 의해 파손될 가능성이 있다는 취지가 기재되어 있다. 또, 관련하는 선행 기술 문헌으로서 특허 문헌 2~4가 있다.
윌킨슨 타입 합성기를 고주파 전원 장치의 합성기로서 이용하는 경우, 2개의 입력 단자에 입력되는 전력이 각각 크기 때문에, 생길 수 있는 합성 손실도 입력되는 고주파 신호의 전력에 따라 커진다. 이 때문에, 아이솔레이션 저항의 파손을 피하기 위해서는, 정격 전력을 극히 큰 것으로 할 필요가 있다. 그렇지만, 정격 전력이 큰 아이솔레이션 저항을 이용하는 것은 비용 증가로 연결된다. 또 저항 자체의 크기도 커지는 것에 의해, 합성기, 나아가서는 고주파 전원 장치의 대형화로 연결된다.
본 발명의 목적은, 합성 손실에 기인하는 아이솔레이션 저항의 파손의 가능성을 억제하면서, 저비용, 저용적의 윌킨슨 타입 합성기, 혹은 그것을 이용한 고주파 전원 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 윌킨슨 타입 합성기는, 고주파 신호가 입력되는 제 1 및 제 2 입력 단자와, 출력 단자와, 제 1 및 제 2 입력 단자에 입력된 고주파 신호를 합성하고, 출력 단자에 출력하는 선로와, 제 1 및 제 2 입력 단자의 사이에 마련되고, 제 1 아이솔레이션 저항, 트랜스 및 제 2 아이솔레이션 저항이 직렬로 접속된 아이솔레이션부와, 트랜스의 2차 코일과 접속되고, 2차 코일에 흐르는 전류를 검출하는 검출 회로와, 검출 회로에 의해 검출된 아이솔레이션부에 흐르는 전류가 소정치 이상의 전류인 경우에, 제 1 및 제 2 입력 단자로의 고주파 신호의 입력을 차단하는 제어 신호를 출력하는 판정 회로를 가진다.
본 발명에 의하면, 합성 손실에 기인하는 아이솔레이션 저항의 파손의 가능성을 억제하면서, 저비용, 저용적의 윌킨슨 타입 합성기, 또는 그것을 이용한 고주파 전원 장치를 제공하는 것이 가능하게 된다.
상기한 이외의 과제, 구성 및 효과는, 이하의 실시 형태의 설명에 의해 밝혀질 것이다.
도 1은 윌킨슨 타입 합성기의 회로도이다.
도 2는 윌킨슨 타입 합성기의 아이솔레이션부의 조감도이다.
도 3은 아이솔레이션부(일부)의 상면도이다.
도 4는 아이솔레이션부(일부)의 단면도이다.
도 5는 코로나 링의 구조를 나타내는 도면이다.
도 6은 코로나 링의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 저항 프레서(presser) 및 코로나 링 프레서를 실장한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 고주파 전원 장치의 블록도이다.
도 2는 윌킨슨 타입 합성기의 아이솔레이션부의 조감도이다.
도 3은 아이솔레이션부(일부)의 상면도이다.
도 4는 아이솔레이션부(일부)의 단면도이다.
도 5는 코로나 링의 구조를 나타내는 도면이다.
도 6은 코로나 링의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 저항 프레서(presser) 및 코로나 링 프레서를 실장한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 고주파 전원 장치의 블록도이다.
도 1에 본 실시예의 윌킨슨 타입 합성기(10)의 회로도(주요부)를 나타낸다. 합성기(10)는, 입력 단자 IN1, IN2의 각각에 입력되는 고주파 신호가 선로(1)에서 합성되고, 합성된 고주파 신호가 출력 단자 OUT로부터 출력된다. 선로(1)에 의해 전송되는 전력을 최대화하기 위해 캐패시터(2a)~(2e)가 마련되어, 부분 선로간의 임피던스를 정합시키고 있다. 또, 입력 단자 IN1, IN2에 입력되는 고주파 신호의 사이에 진폭 차나 위상 차가 있는(이하, 언밸런스라고 한다) 경우에 생기는 합성 손실을 흡수하기 위한 아이솔레이션부(3)가 입력 단자 IN1과 입력 단자 IN2의 사이에 마련되어 있다. 본 실시예의 윌킨슨 타입 합성기(10)는, 아이솔레이션부(3)에 흐르는 전류에 근거해, 입력 단자 IN1, IN2에 입력되는 고주파 신호의 언밸런스를 검출, 판정하는 기능을 가진다. 이를 위해, 아이솔레이션부(3)에는, 입력 단자 IN1 측에 제 1 아이솔레이션 저항(4a), 입력 단자 IN2 측에 제 2 아이솔레이션 저항(4b)이 마련되고, 제 1 아이솔레이션 저항(4a)과 제 2 아이솔레이션 저항(4b)의 사이에는 트랜스(6)가 직렬로 마련된다. 입력 단자 IN1, IN2에 입력되는 고주파 신호에 언밸런스가 있으면, 트랜스(6)를 구성하는 아이솔레이션부(3)의 선로에 전류가 흐른다. 아이솔레이션부(3)의 선로에 전류가 흐르면, 전자기 유도에 의해 2차 코일(6b)에 유도 전류가 흐른다. 검출 회로(7)는, 2차 코일(6b)에 흐르는 유도 전류의 크기에 따른 DC 전압을 출력하고, 판정 회로(8)는 검출 회로(7)로부터 출력된 DC 전압을 미리 정한 임계치 전압과 비교하고, 임계치 전압을 넘는 경우에는, 입력 단자 IN1, IN2로의 고주파 신호의 입력을 정지시키기 위한 제어 신호를 출력한다. 이것에 의해, 아이솔레이션 저항을 파손시킬 정도의 전류가 아이솔레이션부(3)에 흐르기 전에 입력 단자 IN1, IN2로의 고주파 신호의 입력이 정지되어, 윌킨슨 타입 합성기(10)를 보호할 수가 있다. 또, 아이솔레이션부(3)에 흐르는 전류량의 검출 방법은 임의이며, 판정 회로(8)가 아이솔레이션부에 흐르는 전류가 소정치 이상의 전류인지 아닌지를 판정할 수 있으면 그 검출 방법, 판정 방법은 한정되지 않는다.
또, 제 1 아이솔레이션 저항(4a)의 크기와 제 2 아이솔레이션 저항(4b)의 크기는 동일하고, 또 그 합성 저항이 합성기(10)에 필요한 아이솔레이션 저항의 크기가 되는 값으로 정한다. 또, 후술하는 바와 같이 아이솔레이션 저항(4a), (4b)에는 각각 코로나 링(5a), (5b)이 마련되어 있다. 이 코로나 링은 선로에 대해서 캐패시턴스로서 작용하기 때문에, 캐패시터(2a), (2e)의 용량을 결정할 때는, 코로나 링(5a), (5b)의 영향을 포함해서 결정할 필요가 있다.
도 2에 윌킨슨 타입 합성기(10)의 아이솔레이션부(3)의 실장예(조감도)를 나타낸다. 윌킨슨 타입 합성기(10)는 기준 전위(그라운드 전위) GND가 주어지는 GND 플레이트(11) 상에 실장되어 있다. 아이솔레이션부(3)는 GND 플레이트(11) 상에 배치된 절연 기판(12) 상에 실장되어 있다. 입력 단자 IN2(도 1 참조) 측의 선로(1)와 아이솔레이션 저항(4b)을 연결하는 선로는, 선로 플레이트(13b)와 선로 블록(14b)으로 구성되어 있다. 선로 블록(14b)은 절연 기판(12) 상에 배치되고, 절연 기판(12)에 접하는 면과 대향하는 면에서, 선로 플레이트(13b) 및 아이솔레이션 저항(4b)에 접속되어 있다. 절연 기판(12)에 의해 아이솔레이션부(3)와 GND 플레이트(11)가 절연되어 있다. 또, 선로 블록(14b)을 둘러싸도록 코로나 링(5b)이 절연 기판(12) 상에 배치되어 있다. 코로나 링(5b)은 후술하는 바와 같이, 도체 패턴을 절연 기판으로 사이에 끼워 넣은 구조를 가지고 있다. 상측 절연 기판에 마련된 패턴 개구부로부터 도체 패턴이 노출하고 있고, 접속부(51a2), (57b2)에 의해 아이솔레이션부(3)의 선로(여기에서는, 선로 플레이트(13b))에 접속되어 있다. 중복하는 설명은 생략하지만, 입력 단자 IN1 측의 선로(1)와 아이솔레이션 저항(4a)을 연결하는 선로도 같은 구조를 가지고 있다. GND 플레이트(11), 선로 플레이트(13), 선로 블록(14)은 저 저항의 재료로 하는 것이 바람직하고, 예를 들면 동을 사용한다.
트랜스(6)는, 절연성의 회로 기판(61) 상에 형성되어 있다. 아이솔레이션 저항(4a)의 리드(43a)와 아이솔레이션 저항(4b)의 리드(43b)는 배선(31)(여기에서는 도면을 보기 쉽게 하기 위해, 배선(31)의 일부를 점선으로 나타내고 있다)에 의해 접속된다. 트랜스(6)는, 2차 코일(6b)을 휘감은 둥근 고리 형상의 자석(코어)을 갖고, 배선(31)이 코어를 관통하도록 배치되어 있다. 배선(31)에 전류가 흐르는 것에 의해, 전자기 유도에 의해 2차 코일(6b)에 유도 전류가 흐른다.
아이솔레이션부(3)의 아이솔레이션 저항(4) 부근의 상면도를 도 3에, 도 3의 A-A선에 따른 단면도(단, 회로 기판(61)에 대해서는 생략하고 있다)를 도 4에 나타낸다. 또, 모두 모식도이며, 도면으로서의 알기 쉬움을 우선하기 때문에, 치수 등을 정확하게 재현하는 것은 의도하고 있지 않다. 아이솔레이션 저항(4)은 세라믹 패키지(42)로 보호되고 있고, 도전성의 플랜지부(41)와 리드(43)의 사이를 소정의 저항치로 접속한다. 또, 이러한 부재의 접속은 나사 고정 등에 의해 행할 수가 있고, 접속 방법은 특히 한정되지 않는다.
도 5를 이용하여 코로나 링(5)의 구조를 설명한다. 상단이 상측 절연 기판(51)의 평면도, 하단이 하측 절연 기판(52)의 평면도, 중단이, 상단도의 B-B선에 따른 코로나 링(5)의 단면도이다. 단면도에 보여지는 바와 같이, 코로나 링(5)은 도체 패턴(53)을 상측 절연 기판(51)과 하측 절연 기판(52)으로 사이에 끼워 넣어 구성되어 있다. 상측 절연 기판(51)과 하측 절연 기판(52)은 같은 형상의 개구부를 갖고, 코로나 링(5)의 개구부(54)를 형성한다. 이 예에서는, 개구부(54)에 선로 블록(14)이 배치된다. 선로 블록(14)이 배치되는 위치를 개구부(54) 내의 점선에 의해 나타내고 있다. 또, 도체 패턴(53)의 평면 형상은 링 형상을 하고 있고, 그 평면 형상을 상단, 하단의 절연 기판의 평면도에 있어서 점선에 의해 나타내고 있다. 이와 같이, 코로나 링(5)에 의해, 링 형상의 도체 패턴(53)이 선로 블록(14)을 둘러싸도록 배치된다.
상측 절연 기판(51)에는 접속용 개구(55a), (55b)가 마련되고, 접속용 개구(55a), (55b)로부터 도체 패턴(53)이 노출하고 있다. 도 2, 도 3에 나타나는 바와 같이, 접속용 개구(55a), (55b)에서, 접속부(57a), (57b)에 의해 선로 플레이트(13)와 도체 패턴(53)이 전기적으로 접속된다.
이러한 코로나 링(5)을 아이솔레이션부(3)에 배치하는 것은, 아이솔레이션 저항(4)과 선로의 접속부와 그 근방의 GND 플레이트(11)의 사이에서 방전이 발생하는 것을 억제하기 위해서이다. 도 6에 비교예로서, 코로나 링을 마련하지 않았던 경우의 아이솔레이션부(3)의 아이솔레이션 저항(4) 부근의 상면도 및 단면도(도 4와 마찬가지로 회로 기판(61)에 대해서는 생략하고 있다)를 나타낸다. 비교예에서는 코로나 링(5)을 마련하고 있지 않기 때문에, 선로 플레이트(13) 위에 직접 아이솔레이션 저항(4)을 접촉시키고 있다. 입력 단자 IN1, IN2에 입력되는 고주파 신호에 언밸런스가 생기면, 아이솔레이션부(3)에 전류가 흐르고, 선로와 GND의 사이에 큰 전위차가 발생하는 것에 의해, 선로 플레이트(13)의 아이솔레이션 저항(4)의 플랜지부(41)와 접촉하고 있는 부분과 거기에 근접하고 있는 GND 플레이트(11)의 사이에 코로나 방전(80)이 발생한다. 코로나 방전의 발생을 억제하려면, 아이솔레이션 저항(4)의 플랜지부(41)와 GND 플레이트(11)의 사이의 연면 거리를 길게 하면 좋다. 코로나 방전은 연면 거리가 최단이 되는 경로에서 발생하기 때문에, 이 경우, 절연 기판(12)의 폭(X방향의 길이) 및/또는 두께(Z방향의 길이)를 크게 하는 것으로 억제 가능하지만, 부재의 사이즈를 크게 해 버린다. 그래서, 본 실시예에 있어서는, 아이솔레이션 저항(4)에 코로나 링(5)을 마련하는 것에 의해, 아이솔레이션 저항(4)의 플랜지부(41)와 GND 플레이트(11)의 사이의 연면 거리를 크게 하는 것 없이 코로나 방전이 발생하는 것을 억제하고 있다.
본 실시예의 코로나 링(5)은, 코로나 링 그 자체(코로나 링(5)의 도체 패턴(53))가 새로운 코로나 방전의 발생원이 되지 않도록, 도체 패턴(53)을 절연 기판(51), (52)으로 사이에 끼워 넣은 구조로 하고 있다. 같은 이유로, 선로와 도체 패턴(53)을 전기적으로 접속하기 위한 접속용 개구(55)도 가능한 한 작은 개구 면적으로 하는 것이 바람직하다.
또, 아이솔레이션부(3)에 전류가 흐르면, 아이솔레이션 저항(4) 부근에서 열이 발생한다. 방열성을 높이기 위해, 아이솔레이션 저항이나 선로를 절연 기판에 밀착시키도록, 절연성의 저항 프레서 및 코로나 링 프레서에 의해, 선로 블록(14) 및 코로나 링(5)과 절연 기판(12)을 밀착시키는 것이 바람직하다. 도 7에 아이솔레이션부(3)에 저항 프레서(71), 코로나 링 프레서(72)를 실장한 상태를 나타낸다. 중단에 아이솔레이션부(3)의 아이솔레이션 저항(4) 부근의 상면도(일부의 부재는 생략하고 있다)를 나타내고, 상단에 그 C-C선에 따른 단면도를, 하단에 그 D-D선에 따른 단면도를 나타내고 있다. C-C선에 따른 위치에 저항 프레서(71)가, D-D선에 따른 위치에 코로나 링 프레서(72)가 고정된다. 절연 기판(12)에 전해진 열은 또한 GND 플레이트(11)에 전해져 방열되기 때문에, 절연 기판(12)에는 열전도율이 높은 재료를 이용하는 것이 바람직하다. 그러한 재료로서는, 예를 들면, 질화 알루미늄을 들 수 있다.
또, 본 실시예로서 나타낸 윌킨슨 타입 합성기(10)의 실장은 어디까지나 일례이며, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 본 실장에서는 선로의 상측에서 아이솔레이션 저항(4)의 플랜지부(41)와 전기적 접속을 취하는 접속 저항을 취하고 있지만, 선로의 하측에서 아이솔레이션 저항(4)의 플랜지부(41)와 전기적 접속을 취하도록 해도 좋다. 이 경우, 아이솔레이션 저항(4)의 플랜지부(41)가 직접 절연 기판(12) 상에 배치되게 되므로, 코로나 링(5)은 플랜지부(41)를 둘러싸도록 배치하면 좋다. 이때, 코로나 링(5)의 개구부(54)는 플랜지부(41)에 맞춘 형상으로 한다. 또, 저항 프레서는 아이솔레이션 저항(4)의 플랜지부를 절연 기판(12)에 밀착시키는 형상으로 한다.
또, 저항 프레서(71)와 코로나 링 프레서(72)는 별체로 해도 좋고, 일체로 해도 좋다.
이상 설명한 윌킨슨 타입 합성기(10)는, 특히 고전력(예를 들면, 수십Kw 출력)의 고주파 전원 장치의 합성기에 적당하다. 도 8에 본 실시예의 합성기를 이용한 고주파 전원 장치의 블록도를 나타낸다. 고주파 전원 장치(90)는 제어 회로(91), 여진 증폭 회로(92), 제 1 전력 증폭 회로(93a) 및 제 2 전력 증폭 회로(93b), 합성기(10)를 구비한다.
고주파 신호는 여진 증폭 회로(92)의 발진 회로에 의해 형성할 수가 있고, 이 고주파 신호의 주파수는, 고주파 전원 장치(90)가 부하에 공급하는 고주파에 따라 정할 수가 있고, 예를 들면 13.56MHz나 27.12MHz 등의 ISM 주파수이다. 여진 증폭 회로(92)의 출력 신호는, 전력 증폭 회로(93a), (93b)에 의해 소정 전력으로 된 후, 각각 합성기(10)의 입력 단자 IN1, IN2에 공급되어, 합성된 고주파 신호가 합성기(10)의 출력 단자 OUT로부터 출력된다.
합성기(10)의 판정 회로(8)는 그 아이솔레이션부에 미리 정해진 전류가 흐르고 있는 것을 검출하면, 입력 단자 IN1, IN2로의 고주파 신호의 입력을 정지시키기 위한 제어 신호를 제어 회로(91)에 출력한다. 제어 회로(91)는 이것에 따라, 합성기(10)로의 고주파 신호의 입력을 차단하는 것에 의해, 합성기(10) 및 고주파 전원 장치(90)를 보호할 수가 있다.
본 발명의 실시의 형태에 의하면, 합성 손실에 기인하는 아이솔레이션 저항의 파손의 가능성을 억제하면서, 저비용, 저용적의 윌킨슨 타입 합성기, 또, 이것을 이용한 고주파 전원 장치에 이용 가능하다. 이 출원은, 2019년 3월 15일에 출원된 일본 출원 특원 2019-049153을 기초로 해서 우선권의 이익을 주장하는 것이며, 그 개시된 모두를 인용에 의해 여기에 취입한다.
1:선로, 2:캐패시터, 3:아이솔레이션부, 4:아이솔레이션 저항, 5:코로나 링, 6:트랜스, 6b:2차 코일, 7:검출 회로, 8:판정 회로, 10:윌킨슨 타입 합성기, 11:GND 플레이트, 12:절연 기판, 13:선로 플레이트, 14:선로 블록, 31:배선, 41:플랜지부, 42:세라믹 패키지, 43:리드, 51:상측 절연 기판, 52:하측 절연 기판, 53:도체 패턴, 54:개구부, 55:접속용 개구, 57:접속부, 61:회로 기판, 71:저항 프레서, 72:코로나 링 프레서, 80:코로나 방전, 90:고주파 전원 장치, 91:제어 회로, 92:여진 증폭 회로, 93:전력 증폭 회로.
Claims (6)
- 고주파 신호가 입력되는 제 1 및 제 2 입력 단자와,
출력 단자와,
상기 제 1 및 제 2 입력 단자에 입력된 고주파 신호를 합성하고, 상기 출력 단자에 출력하는 선로와,
상기 제 1 및 제 2 입력 단자의 사이에 마련되고, 제 1 아이솔레이션 저항, 트랜스 및 제 2 아이솔레이션 저항이 직렬로 접속된 아이솔레이션부와,
상기 트랜스의 2차 코일과 접속되고, 상기 2차 코일에 흐르는 전류를 검출하는 검출 회로와,
상기 검출 회로에 의해 검출된 상기 아이솔레이션부에 흐르는 전류가 소정치 이상의 전류인 경우에, 상기 제 1 및 제 2 입력 단자로의 고주파 신호의 입력을 차단하는 제어 신호를 출력하는 판정 회로
를 갖는 윌킨슨 타입 합성기. - 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 아이솔레이션 저항 및 상기 제 2 아이솔레이션 저항의 각각에 코로나 링을 마련한 윌킨슨 타입 합성기. - 제 2 항에 있어서,
기준 전위가 주어지는 GND 플레이트와,
상기 GND 플레이트 상에 배치되고, 상기 아이솔레이션부와 상기 GND 플레이트를 절연하는 절연 기판을 갖고,
상기 제 1 아이솔레이션 저항 및 상기 제 2 아이솔레이션 저항은 각각, 상기 아이솔레이션부의 선로와 접속되는 플랜지부를 갖고,
상기 코로나 링은, 상기 절연 기판 상에, 상기 플랜지부 또는 상기 플랜지부와 접속되는 상기 아이솔레이션부의 선로 부분을 둘러싸도록 배치되는
윌킨슨 타입 합성기. - 제 3 항에 있어서,
상기 코로나 링은, 도체 패턴과 상기 도체 패턴을 사이에 두고 끼워 넣는 상측 절연 기판 및 하측 절연 기판을 갖고 있고,
상기 하측 절연 기판은 상기 절연 기판과 접하도록 배치되고,
상기 상측 절연 기판에는 상기 도체 패턴을 노출시키는 접속용 개구가 마련되고, 상기 접속용 개구에서, 상기 아이솔레이션부의 선로와 상기 도체 패턴이 전기적으로 접속되어 있는
윌킨슨 타입 합성기. - 제 3 항에 있어서,
상기 제 1 아이솔레이션 저항 또는 상기 제 2 아이솔레이션 저항, 또는 상기 제 1 아이솔레이션 저항 또는 상기 제 2 아이솔레이션 저항의 상기 플랜지부와 접속되는 상기 아이솔레이션부의 선로 부분을 상기 절연 기판에 밀착시키는 절연성의 저항 프레서(presser)와,
상기 코로나 링을 상기 절연 기판에 밀착시키는 절연성의 코로나 링 프레서를 가지는
윌킨슨 타입 합성기. - 고주파 신호를 발진하는 여진 증폭 회로와,
상기 여진 증폭 회로가 발진한 고주파 신호의 전력을 증폭하는 제 1 및 제 2 전력 증폭 회로와,
상기 제 1 및 제 2 전력 증폭 회로의 출력이 입력되는 합성기와,
제어 회로를 갖고,
상기 합성기는, 청구항 1에 기재된 윌킨슨 타입 합성기로서, 상기 제 1 및 제 2 전력 증폭 회로의 출력은 각각 상기 제 1 및 제 2 입력 단자에 입력되고,
상기 제어 회로는, 상기 판정 회로로부터의 상기 제어 신호를 받아, 상기 제 1 및 제 2 입력 단자로의 고주파 신호의 입력을 차단하는
고주파 전원 장치.
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