JP6275404B2 - 合成器 - Google Patents
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Description
図5(a)に示すように、冷却するためのフランジ113の上に抵抗体111が置かれ、抵抗体111の両側から抵抗体端子112a,112bが接続される構造となっている。フランジ113には、ヒートシンク(不図示)にねじ止めで固定するための固定穴118があけられている。図5(b)に示すように、このフランジ113は、電気的には抵抗体端子112a,112bや抵抗体111とは繋がっておらず、浮いている状態である。
抵抗体端子112aは、入力端子配線114aを介して合成器の入力端子131aと接続されている。抵抗体端子112bは、入力端子配線114bを介して合成器の入力端子131bと接続されている。フランジ113は、冷却するためヒートシンク117に接続される。ヒートシンク117は、筐体(不図示)と接続されており、電気的には接地されている。入力端子配線114a,114bは銅板などで構成される。
図7に示すように、絶縁部材116によって、ヒートシンク117とフランジ113間は絶縁されるが、フランジ113は電気的に浮いている状態となる。このため、電気的に浮いているフランジ113は、帯電することによって高電圧となり、抵抗体端子112a,112bなどに放電する危険性がある。結局、図7の構成によっても耐圧の問題は解決されていない。
第1の入力端子と、
入力が前記第1の入力端子と電気的に接続される第1のインピーダンス変換器と、
第2の入力端子と、
入力が前記第2の入力端子と電気的に接続される第2のインピーダンス変換器と、
前記第1及び第2のインピーダンス変換器の合成出力を出力する出力端子と、
一方の端子が前記第1の入力端子に電気的に接続される第1の抵抗体と、
一方の端子が前記第2の入力端子に電気的に接続され、他方の端子が前記第1の抵抗体の他方の端子に電気的に接続される第2の抵抗体と、
前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子との間に設けられ、前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子とを電気的に接続する第1の接続部材と、
前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子との間に、前記第1の接続部材と分離されて設けられ、前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子とを電気的に接続する第2の接続部材と、
熱を放熱する放熱部材と、
前記第1の接続部材と前記放熱部材との間、及び前記第2の接続部材と前記放熱部材との間に設けられ、前記第1及び第2の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝える絶縁部材と、
を備えることを特徴とする合成器。
図1に示すように、本実施形態では、アイソレーション抵抗として、互いに直列接続された2つの終端器11a,11bを用いる。そして、一方の終端器11aの外殻(導体)を、フランジ13aを介して、合成器の入力端子31aに繋がる入力端子配線14aに連結する。また、他方の終端器11bの外殻(導体)を、フランジ13bを介して、合成器の入力端子31bに繋がる入力端子配線14bに連結する。そして、フランジ13aとヒートシンク17の間、フランジ13bとヒートシンク17の間を、熱抵抗の小さい絶縁部材16で絶縁する。
また、絶縁部材16は、例えば窒化アルミニウムのような熱伝導率が高く硬い絶縁材料と、例えば薄いシリコーンゴムのような耐熱性と電気絶縁性と熱伝導性とを兼ね備えた薄く柔軟な絶縁材料との積層構造でも良い。絶縁部材16を熱伝導率が高く硬い絶縁材料と薄く柔軟な絶縁材料との積層構造にすれば、熱伝導率が高く硬い絶縁材料の脆性を補うことができる。さらに、絶縁部材16の難燃性が維持できるように、薄く柔軟な絶縁材料は、難燃性の特性も兼ね備えることが好ましい。
以上のように構成することにより、終端器11aの端子12aとフランジ13aとの間で放電することを防止し、また、終端器11bの端子12bとフランジ13bとの間で放電することを防止する。
終端器とは、抵抗器を導体(例えばステンレス等の金属)のコネクタ内に組み込んだものであり、抵抗器の一方の端子を当該終端器の一方の端子とし、抵抗器の他方の端子を当該終端器の他方の端子であるコネクタ外殻と電気的に接続したものである。一般的に、終端器を使う場合は、その外殻を電気的に接地し、入力端子に高周波を入力する。図2の例では、終端器11aの一方の端子が、終端器11aを構成する抵抗体51aの端子12aであり、終端器11aの他方の端子が、終端器11aのコネクタ外殻である。図2(b)に示すように、終端器11aのコネクタ外殻は、導体であるフランジ13aと電気的に接続される。18は、フランジ13を、ヒートシンク(不図示)にねじ止めで固定するための固定穴である。
こうして、入力端子31aと終端器11aの抵抗体51aとが電気的に接続され、入力端子31bと終端器11bの抵抗体51bとが電気的に接続される。つまり、フランジ13aと、ブロック19aと、入力端子配線14aとは、終端器11aの抵抗体51aの一方の端子と入力端子31aとを電気的に接続する第1の接続部材を構成し、フランジ13bと、ブロック19bと、入力端子配線14bとは、終端器11bの抵抗体51bの一方の端子と入力端子31bとを電気的に接続する第2の接続部材を構成する。
換言すると、第1の接続部材は、終端器11aを構成する抵抗体51aの一方の端子と合成器の入力端子31aとの間に設けられ、終端器11aの抵抗体51aの一方の端子と入力端子31aとを電気的に接続する。第2の接続部材は、終端器11bを構成する抵抗体51bの一方の端子と合成器の入力端子31bとの間に、第1の接続部材と分離されて設けられ、終端器11bの抵抗体51bの一方の端子と入力端子31bとを電気的に接続する。
ヒートシンク17は、本実施形態では、合成器の含まれる高周波電源装置の筺体(導体、例えばアルミニウム等の金属製)と別に、筺体に密着するように設けられるが、筺体と別に設けず、筺体をヒートシンク17として構成してもよい。
なお、絶縁部材16は、ブロック19aとヒートシンク17との間用の絶縁部材と、ブロック19bとヒートシンク17との間用の絶縁部材とに、分離して設けてもよい。同様に、ヒートシンク17も、ブロック19aに対応するヒートシンクとブロック19bに対応するヒートシンクとに、分離して設けてもよい。
入力端子配線14a,14bは、それぞれ、合成器の入力端子31a,31bに繋がるため、入力される高周波電圧がかかり高電圧となる。フランジ13a,13bは、それぞれ、ブロック19a,19bを介して入力端子配線14a,14bと繋がるため、高周波電圧がかかり高電圧となる。終端器端子12a,12bと終端器間配線15は、終端器11aの抵抗体51aを介しフランジ13aと繋がり、終端器11bの抵抗体51bを介しフランジ13bと繋がっている。
フランジ13aとフランジ13bとが同じ電圧でない場合は、終端器11a,11bに電流が流れるので、フランジ13aとフランジ13bにかかる電圧よりは低い電圧となるが、やはり、終端器端子12a,12bと終端器間配線15は、高周波電圧がかかり高電圧となる。
つまり、絶縁部材16の上に実装されているものは全て、合成器に入力される高周波電圧の影響を受けた高電圧となる(厳密には配線による抵抗や寄生容量により若干の電圧降下がある)。
合成器の2つの入力端子31a,31bに入力される高周波電圧の位相や振幅に差がある場合は、アイソレーション抵抗の両端に電位差が発生し、電流が流れ、電力を消費する。この消費電力により熱が発生するが、終端器11a,11bの抵抗体51a,51bが発熱すると、フランジ13a,13b、ブロック19a,19b、絶縁部材16を介してヒートシンク17で放熱する。
このように、絶縁部材16は、第1の接続部材とヒートシンク17との間、及び第2の接続部材とヒートシンク17との間に設けられ、抵抗体51a,51bから発生する熱をヒートシンク17へ伝える。
図3において、合成器は、入力端子31a(第1の入力端子)と、その入力が入力端子31aと電気的に接続されるインピーダンス変換器40a(第1のインピーダンス変換器)と、入力端子31b(第2の入力端子)と、その入力が入力端子31bと電気的に接続されるインピーダンス変換器40b(第2のインピーダンス変換器)と、一方の端子が入力端子31aに電気的に接続される抵抗体51a(第1の抵抗体)と、一方の端子が入力端子31bに電気的に接続され、他方の端子が抵抗体51aの他方の端子に電気的に接続される抵抗体51b(第2の抵抗体)と、を備えている。
(a)合成器のアイソレーション抵抗を2つの抵抗で構成し、該2つの抵抗の第1の端子間を接続するとともに、該2つの抵抗の第2の端子を、それぞれ合成器の2つの入力端子に接続するように構成したので、合成器において耐圧強化と冷却とを両立することが可能となり、高出力の高周波電源の合成器を実現することができる。
(b)2つの抵抗を、それぞれ、第1及び第2の接続部材(フランジ)に取り付け、2つの抵抗の第2の端子を、それぞれ、第1及び第2の接続部材(フランジ)を介して、合成器の2つの入力端子に接続するように構成したので、2つの抵抗の第2の端子をそれぞれ合成器の2つの入力端子に接続することが容易になるとともに、2つの抵抗の第2の端子と接続部材(フランジ)との間で放電することを防止することができる。
(c)合成器のアイソレーション抵抗を2つの終端器で構成したので、2つの抵抗の第2の端子を、それぞれ、第1及び第2の接続部材(フランジ)に取り付けることが容易になる。
上記実施形態では、アイソレーション抵抗を2つの終端器で構成したが、アイソレーション抵抗を終端器以外の抵抗器で構成することも可能である。また、上記実施形態では、2つのアイソレーション抵抗の抵抗値を同じ値にしたが、必ずしも同じ値でなくてもよい。
また、上記実施形態では、入力端子が2つの合成器の構成を示したが、3つ、あるいはそれ以上の入力を合成する合成器でもよい。
また、上記実施形態では、合成器に入力する電力が等しい場合の例を示したが、異なる電力を合成する合成器でもよい。
第1の構成は、
第1の入力端子と、
入力が前記第1の入力端子と電気的に接続される第1のインピーダンス変換器と、
第2の入力端子と、
入力が前記第2の入力端子と電気的に接続される第2のインピーダンス変換器と、
前記第1及び第2のインピーダンス変換器の合成出力を出力する出力端子と、
一方の端子が前記第1の入力端子に電気的に接続される第1の抵抗体と、
一方の端子が前記第2の入力端子に電気的に接続され、他方の端子が前記第1の抵抗体の他方の端子に電気的に接続される第2の抵抗体と、
前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子との間に設けられ、前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子とを電気的に接続する第1の接続部材と、
前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子との間に、前記第1の接続部材と分離されて設けられ、前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子とを電気的に接続する第2の接続部材と、
熱を放熱する放熱部材と、
前記第1の接続部材と前記放熱部材との間、及び前記第2の接続部材と前記放熱部材との間に設けられ、前記第1及び第2の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝える絶縁部材と、
を備えることを特徴とする合成器。
なお、第1の構成において、第1の抵抗体と第2の抵抗体の少なくとも一方を、並列接続した複数の抵抗器で構成することが可能である。
前記第1及び第2の抵抗体は、それぞれ、導体の外殻を有する第1及び第2の終端器であり、前記第1及び第2の抵抗体の前記一方の端子は、それぞれ、前記第1及び第2の抵抗体の前記外殻であることを特徴とする合成器。
前記第1の接続部材と前記絶縁部材との間、及び前記第2の接続部材と前記絶縁部材との間に空間が設けられていることを特徴とする合成器。
前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の接続部材とが同電位であり、前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の接続部材とが同電位であることを特徴とする合成器。
前記絶縁部材は、前記第1及び第2の抵抗体の温度が所定値以下になるように、前記第1及び第2の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝えることを特徴とする合成器。
前記絶縁部材は、窒化アルミニウムを含むように構成されることを特徴とする合成器。
前記第1の接続部材は、前記第1の入力端子に取り付けられる第1の入力端子配線と、前記第1の抵抗体に取り付けられる第1のフランジを含み、前記第2の接続部材は、前記第2の入力端子に取り付けられる第2の入力端子配線と、前記第2の抵抗体に取り付けられる第2のフランジを含むことを特徴とする合成器。
第1の入力端子と、
入力が前記第1の入力端子と電気的に接続される第1のインピーダンス変換器と、
第2の入力端子と、
入力が前記第2の入力端子と電気的に接続される第2のインピーダンス変換器と、
前記第1及び第2のインピーダンス変換器の合成出力を出力する出力端子と、
一方の端子が前記第1の入力端子に電気的に接続される第1の抵抗体と、
一方の端子が前記第2の入力端子に電気的に接続され、他方の端子が前記第1の抵抗体の他方の端子に接続される第2の抵抗体と、
を備えることを特徴とする合成器。
前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子との間に設けられ、前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子とを電気的に接続する第1の接続部材と、
前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子との間に、前記第1の接続部材と分離されて設けられ、前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子とを電気的に接続する第2の接続部材と、
熱を放熱する放熱部材と、
前記第1の接続部材と前記放熱部材との間、及び前記第2の接続部材と前記放熱部材との間に設けられ、前記第1及び第2の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝える絶縁部材と、
を備えることを特徴とする合成器。
Claims (2)
- 第1の入力端子と、
入力が前記第1の入力端子と電気的に接続される第1のインピーダンス変換器と、
第2の入力端子と、
入力が前記第2の入力端子と電気的に接続される第2のインピーダンス変換器と、
前記第1及び第2のインピーダンス変換器の合成出力を出力する出力端子と、
一方の端子が前記第1の入力端子に電気的に接続される第1の抵抗体と、
一方の端子が前記第2の入力端子に電気的に接続され、他方の端子が前記第1の抵抗体の他方の端子に電気的に接続される第2の抵抗体と、
前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子との間に設けられ、前記第1の抵抗体の前記一方の端子と前記第1の入力端子とを電気的に接続する第1の接続部材と、
前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子との間に、前記第1の接続部材と分離されて設けられ、前記第2の抵抗体の前記一方の端子と前記第2の入力端子とを電気的に接続する第2の接続部材と、
熱を放熱する放熱部材と、
前記第1の接続部材と前記放熱部材との間、及び前記第2の接続部材と前記放熱部材との間に設けられ、前記第1及び第2の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝える絶縁部材と、
を備えることを特徴とする合成器。 - 請求項1に記載された合成器であって、
前記第1及び第2の抵抗体は、それぞれ、導体の外殻を有する第1及び第2の終端器であり、前記第1及び第2の抵抗体の前記一方の端子は、それぞれ、前記第1及び第2の抵抗体の前記外殻であることを特徴とする合成器。
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