KR102585416B1

KR102585416B1 - 브레이크 장치

Info

Publication number: KR102585416B1
Application number: KR1020180155443A
Authority: KR
Inventors: 마사카즈 다케다; 가즈오 하야시; 아츠시 야마모토
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2017-12-28
Filing date: 2018-12-05
Publication date: 2023-10-05
Also published as: TWI774876B; TW201931450A; JP6967276B2; CN110000936B; JP2019119053A; CN110000936A; KR20190080741A

Abstract

(과제) 브레이크 플레이트의 날끝의 평행도를 바람직하게 검사하는 것이 가능한 브레이크 장치를 제공한다.
(해결 수단) 날끝의 상이한 복수의 측정 포인트 각각에 대하여, 테이블의 수평 이동과 면내 회전부의 면내 회전에 의해 검지면이 당해 측정 포인트 바로 아래에 위치하도록 날끝 위치 검출 센서를 배치한 상태에서, 브레이크 플레이트를 소정의 초기 위치로부터 하강시켜, 브레이크 플레이트가 검지면에 접촉 또는 근접했을 때의 초기 위치로부터 브레이크 플레이트의 변위량을 측정하고, 복수의 측정 포인트 중에서 미리 정해진 하나의 측정 포인트에 대한 변위량을 기준 변위량으로 했을 때의 다른 측정 포인트에 있어서의 변위량과 기준 변위량의 차분값의 최대값인 최대 차분값을 구하고, 최대 차분값이 미리 정한 임계값 이내인 경우에, 날끝의 평행도가 충분하다고 판정하고, 최대 차분값이 임계값을 초과하고 있는 경우에, 날끝의 평행도가 충분하지 않다고 판정한다.

Description

브레이크 장치{BREAK APPARATUS}

본 발명은, 취성 재료 기판을 브레이크하는 장치에 관한 것으로, 특히 브레이크 플레이트의 검사에 관한 것이다.

유리 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판, 나아가서는 동종 또는 이종의 취성 재료 기판을 첩합 (貼合) 한 첩합 기판 등의 분단 수법으로서, 취성 재료 기판의 일방 주면 (主面) 에 커터 휠 (스크라이빙 휠) 등의 스크라이브 툴로 스크라이브 라인을 형성한 다음에, 당해 취성 재료 기판의 타방 주면측에 스크라이브 라인을 따라 브레이크 플레이트 (브레이크 바) 를 가압하고, 이로써 스크라이브 라인으로부터 균열을 신전시켜 기판을 브레이크한다 (분단한다) 고 하는 수법이 널리 알려져 있다. 최근, 브레이크시에 취성 재료 기판이 재치 (載置) 되는 테이블이 탄성체로 구성된 브레이크 장치도 공지되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).

일본 공개특허공보 2016-047628호

브레이크 장치에 있어서 취성 재료 기판의 브레이크를 양호하게 실시하려면, 브레이크 플레이트의 날끝이, 테이블과 (혹은 수평 재치된 취성 재료 기판과) 평행할 필요가 있다. 한편으로, 브레이크 플레이트는, 계속적인 사용에 의해 날끝이 마모되는 소모품으로, 적절한 타이밍에 교환된다. 그러므로, 브레이크 장치에 있어서 브레이크의 정밀도를 유지하려면, 신규 브레이크 플레이트를 장착할 때마다 날끝의 평행도를 확인할 것이 요구된다. 또, 계속적인 사용을 실시하던 중 장착부에 느슨해짐이 발생하거나 하여, 당초에는 바람직하게 장착되어 있었던 브레이크 플레이트의 평행도가 열화될 가능성도 있다. 그 때문에, 사용을 계속하는 동안에 있어서도, 정기적으로 날끝의 평행도를 확인할 것이 요구된다.

종래의 평행도의 확인은, 브레이크 장치와는 별개의 독립된 검사 장치를 사용하여, 검사자의 수작업으로 실시되는 것이 통상적이었다. 예를 들어, 물체의 접촉을 압력 변화나 전기적 특성의 변화로서 검지 가능한 접촉 검지 센서를, 브레이크 장치의 스테이지 상의 브레이크 바 하강 위치에 재치한 다음에 브레이크 바를 하강시켜, 접촉 검지 센서가 브레이크 바의 접촉을 검지했을 때의 브레이크 바의 높이를 측정한다, 고 하는 작업을, 날끝의 몇 지점인가에서 반복함으로써 평행도가 확인되고 있었다.

그러나, 이러한 양태는, 측정 지점의 조정이나 브레이크 장치의 조작에 숙련을 요하기 때문에 재현성이나 작업 효율이 나쁘다는 문제가 있는 것 외에, 작업 도중에서 날끝이 검사자의 손에 닿아 검사자가 다칠 우려가 있는 등의 문제도 있었다. 또, 브레이크 장치에 대한 검사 데이터의 축적이라는 면에서도 수고를 요하는 것이었다.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 브레이크 플레이트의 날끝의 평행도를 바람직하게 검사하는 것이 가능한 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1 의 발명은, 브레이크 대상물을 분단하는 브레이크 장치로서, 수평 방향에 있어서 일 방향으로 자유롭게 진퇴할 수 있게 형성된 테이블과, 상기 테이블 상에 형성된, 수평면 내에 있어서 자유롭게 회전할 수 있는 면내 회전부와, 상기 면내 회전부 상에 형성된, 브레이크 대상물이 재치되는 수평한 피재치면을 갖는 스테이지와, 상기 스테이지의 상방에, 날끝이 연직 방향 최하단부에 위치하는 자세로 자유롭게 승강할 수 있게 형성되고, 상기 스테이지에 재치된 상기 브레이크 대상물의 소정 위치에 맞닿게 됨으로써 상기 브레이크 대상물을 상기 소정 위치에서 분단하는 브레이크 플레이트와, 상기 면내 회전부에 있어서 상기 스테이지의 외측 가장자리부보다 외측에, 검지면이 연직 상방을 향하는 자세로 형성되어 이루어지고, 연직 상방으로부터의 상기 날끝의 상기 검지면에 대한 접촉 또는 근접을 검지 가능한 날끝 위치 검출 센서와, 상기 날끝의 평행도 검사를 위한 상기 브레이크 장치의 각 부의 처리 동작을 제어하는 날끝 검사 처리부를 구비하고, 상기 날끝 검사 처리부는, 상기 날끝의 상이한 복수의 측정 포인트 각각에 대하여, 상기 테이블의 수평 이동과 상기 면내 회전부의 면내 회전에 의해 상기 검지면이 당해 측정 포인트 바로 아래에 위치하도록 상기 날끝 위치 검출 센서를 배치한 상태에서, 상기 브레이크 플레이트를 소정의 초기 위치로부터 하강시켜, 상기 브레이크 플레이트가 상기 검지면에 접촉 또는 근접했을 때의 상기 초기 위치로부터 상기 브레이크 플레이트의 변위량을 측정하고, 상기 복수의 측정 포인트에 대한 상기 변위량에 기초하여 상기 날끝의 평행도를 판정하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2 의 발명은, 청구항 1 에 기재된 브레이크 장치로서, 상기 브레이크 플레이트는 수평면 내에 있어서는 고정적으로 형성되어 이루어지고, 상기 테이블의 수평 이동과 상기 면내 회전부의 면내 회전을 동기적으로 실시함으로써, 상기 검지면이 상기 복수의 측정 포인트 중 제 1 측정 포인트 바로 아래로부터 제 2 측정 포인트 바로 아래로 이동할 때의 상대 이동 방향이, 상기 브레이크 플레이트의 날 길이 방향을 따르고 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 3 의 발명은, 청구항 1 또는 청구항 2 에 기재된 브레이크 장치로서, 상기 날끝 검사 처리부는, 상기 복수의 측정 포인트 중에서 미리 정해진 하나의 측정 포인트에 대한 상기 변위량을 기준 변위량으로 했을 때의 다른 측정 포인트에 있어서의 변위량과 상기 기준 변위량의 차분값의 최대값인 최대 차분값을 구하고, 상기 최대 차분값이 미리 정한 임계값 이내인 경우에, 상기 날끝의 평행도가 충분하다고 판정하고, 상기 최대 차분값이 상기 임계값을 초과하고 있는 경우에, 상기 날끝의 평행도가 충분하지 않다고 판정하는 것을 특징으로 한다.

청구항 1 내지 청구항 3 의 발명에 의하면, 종래에 비해 효율적으로 또한 양호한 재현성으로, 나아가서는 검사자의 안전을 확보하면서, 날끝의 평행도를 검사할 수 있다.

특히, 청구항 2 의 발명에 의하면, 검사 시간의 단축을 도모할 수 있다.

도 1 은 브레이크 장치 (100) 의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 2 는 브레이크 장치 (100) 의 동작 제어에 관련된 블록도이다.
도 3 은 날끝의 평행도 검사의 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4 는 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 모습을 나타내는 평면도이다.
도 5 는 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 모습을 나타내는 평면도이다.

＜브레이크 장치의 개요＞

도 1 은, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 의 주요부를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 브레이크 장치 (100) 의 동작 제어에 관련된 블록도이다.

브레이크 장치 (100) 는, 미리 일방 주면에 스크라이브 라인이 형성된 브레이크 대상물 (도시 생략, 이하, 워크라고도 한다) 을 그 스크라이브 라인을 따라 브레이크하는 (분단하는) 장치이다. 브레이크 장치 (100) 는 스테이지 (1) 와, 브레이크 플레이트 (2) 를 주로 구비한다.

스테이지 (1) 는, 그 상면이 균일하게 평탄한 피재치면 (1a) 이 되고, 피재치면 (1a) 을 지지하는 균일하게 평탄한 지지부 (1b) 를 가지고 있으며, 브레이크시에는 이러한 피재치면에 워크가 재치 고정된다.

브레이크 플레이트 (2) 는, 스테이지 (1) 의 상방에, 일 방향 (이하, 날 길이 방향) 으로 연장되는 날끝 (2a) 이 연직 방향 하단부에 위치하는 자세로 형성된, 박판상의 부재이다. 날끝 (2a) 은 대략 2 개의 날면이 소정의 날끝각 (예를 들어 5° ∼ 90°) 을 이룸으로써, 날 길이 방향에 수직인 단면이 삼각 형상을 이루도록 형성되어 이루어진다. 브레이크 플레이트 (2) 는, 도 1 에 있어서는 도시를 생략하지만, 홀더 (2b) (도 3 참조) 에 나사 (2c) (도 3 참조) 에 의해 고정된 다음에, 승강 기구 (3) 에 의해 연직 방향으로 자유롭게 승강할 수 있게 되어 이루어진다. 단, 브레이크 플레이트 (2) 는, 수평면 내에 있어서는 고정적으로 형성된다. 또한, 도 1 에 있어서는, 브레이크 플레이트 (2) 의 날 길이 방향을 x 축으로 하고, 연직 상향을 z 축 정방향으로 하는 오른손 좌표계의 xyz 좌표를 부여하고 있다 (도 3 이후도 마찬가지).

보다 상세하게는, 스테이지 (1) 는 테이블 (4) 상에 형성되어 이루어진다. 테이블 (4) 은, 수평 이동 기구 (5) (예를 들어 볼나사나 리니어 모터 등) 에 의해, 수평면 내에 있어서 브레이크 플레이트 (2) 의 날 길이 방향에 수직인 방향 (도 1 의 경우라면 y 축 방향) 으로 자유롭게 진퇴할 수 있게 되어 이루어진다. 또한, 테이블 (4) 은 수평면 내에서 정역 양 방향으로 자유롭게 회전할 수 있는 면내 회전부 (6) 를 구비하고 있으며, 스테이지 (1) 는 이러한 면내 회전부 (6) 상에 형성되어 있다. 면내 회전부 (6) 는, 스테이지 (1) 의 중앙 위치를 지나 연직 방향으로 연장되는 가상적인 회전축 (C) 을 회전 중심으로 하여 수평면 내에서 회전한다. 이러한 면내 회전부 (6) 의 회전은, 회전 기구 (7) 가 작동함으로써 실현된다.

또, 브레이크 장치 (100) 는, 장치 전체의 동작을 제어하는 제어부 (10) 와, 장치의 조작자가 여러 가지 실행 지시나 데이터 입력 등을 실시하기 위한 입력 조작부 (11) 와, 여러 가지 처리 메뉴나 동작 상태, 처리 경과 및 처리 결과 등을 표시하기 위한 표시부 (12) 와, 장치의 동작 프로그램이나 여러 가지 데이터가 격납되는 기억부 (13) 를 구비한다.

또한, 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 기억부 (13) 에 격납되어 있는 소정의 프로그램이 제어부 (10) 에 의해 실행됨으로써, 일련의 브레이크 처리의 동작을 제어하는 브레이크 처리부 (10a) 가, 제어부 (10) 에 있어서 가상적 구성 요소로서 실현되도록 되어 있다. 브레이크 처리부 (10a) 는, 브레이크 처리에 관련된 장치 각 부의 동작, 구체적으로는, 브레이크 플레이트 (2) 의 승강 동작, 테이블 (4) 의 수평 동작, 및 면내 회전부 (6) 의 회전 동작을 제어한다. 이러한 브레이크 처리부 (10a) 의 제어에 의해, 브레이크 장치 (100) 에 있어서의 브레이크 처리가 가능하게 되어 이루어진다.

이상과 같은 구성을 갖는 브레이크 장치 (100) 에 있어서의 워크의 브레이크 (분단) 에 있어서는, 먼저, 워크가 스크라이브 라인을 하방으로 하는 자세로 스테이지 (1) 의 피재치면 (1a) 에 재치 고정된다. 이러한 재치 고정이 이루어지면, 브레이크 처리부 (10a) 가 수평 이동 기구 (5) 와 회전 기구 (7) 를 제어함으로써, 테이블 (4) 의 수평 이동과 면내 회전부 (6) 의 회전 이동이 적절히 조합되어, 스테이지 (1) 에 재치되어 있는 워크의 위치 결정이 이루어진다. 구체적으로는, 브레이크 플레이트 (2) 의 수평면 내에 있어서의 배치 위치는 일정한 점에서, 분단하고자 하는 스크라이브 라인이 브레이크 플레이트 (2) 의 연직 하방에 위치하도록 워크가 위치 결정된다.

이러한 위치 결정이 이루어지면, 브레이크 처리부 (10a) 의 제어에 따라 승강 기구 (3) 가 연직 상방으로부터 브레이크 플레이트 (2) 를 하강시킨다. 이윽고 그 날끝 (2a) 은 스크라이브 라인의 상방 위치에 있어서 워크에 맞닿는다. 이러한 맞닿음 후에도 이러한 날끝 (2a) 의 하강을 소정 거리 (소정 시간) 계속하면, 스크라이브 라인으로부터 균열이 신전되고, 그 결과, 워크가 분단되도록 되어 있다.

또한, 도 1 에 있어서는, 스테이지 (1) 의 피재치면 (1a) 이 균일하게 평탄하고, 또한, 적어도 그 피재치면 (1a) 전체를 포함하는 부분이 탄성체로 구성되는 경우를 상정하고 있는데, 스테이지 (1) 의 구성은 이것에 한정되는 것은 아니다. 워크가 확실하게 고정되고, 분단이 바람직하게 실시되는 것이라면, 다른 구성이 채용되어도 된다. 예를 들어, 소정 거리 이격된 1 쌍의 지지부 및 피재치면으로 스테이지가 구성되고, 스크라이브 라인이 이들 지지부 사이의 공극 부분에 위치하도록, 워크가 재치되는 양태여도 된다.

또, 스테이지 (1) 가 광학적으로 투명한 부재로 형성되어 있고, 도시하지 않은 카메라로, 스테이지 (1) 의 하방으로부터 피재치면 (1a) 에 재치된 워크의 일방 주면이 관찰 가능하게 되어 있어도 된다.

＜날끝의 평행도 검사＞

다음으로, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서 실시되는 날끝의 평행도 검사에 대하여 설명한다. 도 3 은, 이러한 날끝의 평행도 검사의 모습을 개략적으로 나타내는 도면이다.

본 실시형태에 있어서, 날끝의 평행도란, 브레이크를 실행할 때와 마찬가지로, 스테이지 (1) 의 지지부 (1b) 의 표면을 기준으로 하여, 브레이크 플레이트 (2) 를 날끝 (2a) 이 연직 하방이 되는 방향의 수평 자세로 한 상태에 있어서의, 수평면에 대한 날끝 (2a) 의 기울기의 정도이다. 본 실시형태에 있어서는, 날끝 (2a) 의 상이한 위치에 있어서의 높이의 일치도이다. 즉, 날끝 (2a) 의 상이한 복수의 측정 포인트에서 높이를 측정한 다음에, 그 중 하나의 포인트에 있어서의 날끝 (2a) 의 높이를 기준으로 했을 때의 다른 측정 포인트에 있어서의 높이의 편차량의 최대값에 의해, 평행도를 평가한다. 즉, 이러한 편차량이 작을수록 평행도는 우수한 것이 된다.

평행도의 좋고 나쁨은 브레이크의 정밀도에 직접적으로 관련되는 점에서, 평행도 검사는 통상적으로, 신규 브레이크 플레이트 (2) 를 장착할 때마다 실시된다. 또, 계속적인 사용을 실시하던 중 브레이크 플레이트 (2) 를 홀더 (2b) 에 고정하고 있는 나사 (2c) 에 느슨해짐이 발생하는 등 하여, 당초에는 양호했던 평행도가 열화될 가능성도 있는 점에서, 사용을 계속하는 동안에 있어서도 정기적으로 평행도 검사는 실시된다.

또한, 도 3 에 있어서는 x ＝ x1 ∼ x5 의 5 개 지점의 측정 포인트에서 측정을 실시하는 경우를 예시하고 있지만, 측정 포인트의 개수는 이것에 한정되는 것은 아니다. 그 개수는, 요구되는 평행도의 정밀도나 날끝 (2a) 의 길이 등에 따라 적절히 정해지면 된다.

이상적으로는, 모든 포인트에 있어서의 날끝 (2a) 의 높이 위치가 동일한 것이, 즉 편차량이 0 인 것이 바람직하지만, 실용적으로는, 구해진 편차량이 미리 정한 임계값의 범위 내이면, 평행도는 확보되어 있다고 판정된다.

예를 들어 나사 (2c) 의 느슨해짐 등으로 브레이크 플레이트 (2) 가 홀더 (2b) 에 적절히 장착되어 있지 않은 경우나, 날끝 (2a) 에 결손이 있는 경우 등에는, 당해 편차량이 임계값을 초과한 값으로서 얻어져, 평행도가 확보되어 있지 않다고 판정되게 된다.

브레이크 장치 (100) 는, 이와 같은 날끝 (2a) 의 평행도 검사를 실시하기 위한 구성 요소로서, 날끝 위치 검출 센서 (8) 를 구비한다. 게다가, 기억부 (13) 에 격납되어 있는 소정의 프로그램이 제어부 (10) 에 의해 실행됨으로써, 브레이크 장치 (100) 에 있어서의 날끝의 평행도 검사를 위한 각 부의 처리 동작을 제어하는 날끝 검사 처리부 (10b) 가, 제어부 (10) 에 있어서 가상적 구성 요소로서 실현되도록 되어 있다.

날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 정밀 접촉 측정기라고도 하며, 검지면 (8a) 에 검지 대상물이 접촉했을 때의 힘의 변화로부터, 당해 접촉이 있었음을 검지하는 센서이다. 혹은, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 당해 접촉 (또는 근접) 이 발생했을 때의 전기적 특성의 변화로부터, 당해 접촉 (또는 근접) 이 있었음을 검지하는 센서여도 된다. 또한, 이후에 있어서는, 설명을 간단하게 하기 위해, 날끝 위치 검출 센서 (8) 로서 검지면 (8a) 에 검지 대상물이 근접한 것을 검지하는 것을 사용하는 경우를 포함하여, 검지 대상물이 검지면 (8a) 에 「접촉」했다고 표현하기로 한다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 테이블 (4) 의 면내 회전부 (6) 상으로서, 스테이지 (1) 의 외측 가장자리부보다 더욱 외측의 위치에, 검지면 (8a) 이 연직 상방을 향하는 자세로 형성되어 이루어진다. 보다 상세하게는, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 검지면 (8a) 의 높이 위치가 스테이지 (1) 에 워크가 재치되었을 때의 워크 상면의 높이 위치와 대체로 일치하도록 배치되어 이루어진다.

또, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 면내 회전부 (6) 상에 형성됨으로써, 면내 회전부 (6) 가 수평면 내에서 회전축 (C) 을 회전 중심으로 하여 회전할 때, 이것에 맞춰 회전축 (C) 둘레를 회전하도록 되어 있다.

실제로 평행도 검사가 날끝 검사 처리부 (10b) 에 의한 제어하에서 실시되는 경우에는, 먼저, 브레이크 플레이트 (2) 의 높이를 초기 위치 (혹은 검사 기준 위치) 로 한 상태에서, 검지면 (8a) 이 날끝 (2a) 의 최초의 측정 포인트 (도 3 의 경우라면, x ＝ x1) 바로 아래에 위치하도록, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 배치 위치가 조정된다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 가, 이러한 위치에 배치되면, 도 3 에 있어서 화살표 AR1 로 나타내는 바와 같이 브레이크 플레이트 (2) 가 당해 검지면 (8a) 을 향하여 하강되고, 이윽고 그 날끝 (2a) 이 검지면 (8a) 에 접촉한다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 가 이러한 접촉을 검지하면, 그 취지의 검지 신호가 날끝 검사 처리부 (10b) 에 주어져, 바로 브레이크 플레이트 (2) 의 하강이 정지되고, 브레이크 플레이트 (2) 는 초기 위치로 복귀된다. 그리고, 이 경우에 있어서의 z 축 방향에 있어서의 브레이크 플레이트 (2) 의 초기 위치로부터의 변위량이, 제어부 (10) (날끝 검사 처리부 (10b)) 를 통해서 기억부 (13) 에 기억된다.

x ＝ x1 에 대한 측정이 끝나면, 화살표 AR2 에 나타내는 바와 같이, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는 다음의 측정 포인트 x ＝ x2 에서의 측정을 실시하기 위해 이동된다. 이후, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동과 브레이크 플레이트 (2) 가 검지면 (8a) 과 접촉할 때까지의 변위량의 측정이, 모든 측정 포인트 (x ＝ x1 ∼ x5) 에서 반복된다.

모든 측정 포인트에 대하여 변위량의 측정이 종료되면, 날끝 검사 처리부 (10b) 는, 미리 정한 하나의 측정 포인트 (예를 들어 중간의 측정 포인트) 에 있어서의 변위량을 기준 변위량으로 하여, 다른 측정 포인트에 있어서의 변위량과 기준 변위량의 차분값을 산출한다. 이들 차분값의 최대값 (최대 차분값) 이 미리 정한 임계값 이하이면, 브레이크 플레이트 (2) 는 충분한 평행도를 가지고 있다고 판정된다. 한편, 최대 차분값이 임계값을 초과하고 있는 경우에는, 브레이크 플레이트 (2) 는 평행도가 충분하지 않다고 판정된다. 이들 판정 결과는 표시부 (12) 에 표시된다. 후자의 경우에는, 장착 상태의 재조정 혹은 교환을 재촉하는 표시에 대해서도 적절히 표시되어도 된다.

이와 같이, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 날끝 (2a) 의 평행도 검사가, 날끝 검사 처리부 (10b) 에 의한 제어하에서, 당해 장치에 구비되는 날끝 위치 검출 센서 (8) 를 사용하여 자동적으로 실시되도록 되어 있다. 이로써, 종래와 같은, 브레이크 장치와는 별개의 독립된 검사 장치를 사용한, 검사자의 수작업에 의한 검사에 비해, 검사의 재현성 및 작업 효율의 향상이 실현된다. 또, 검사자의 안전성도 확보된다.

또한, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 이러한 평행도 검사시의, 측정 포인트 간에 있어서의 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 방식에 특징을 갖는다. 도 4 및 도 5 는, 이러한 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동의 모습을 나타내는 평면도이다.

먼저, 날끝 (2a) 의 x ＝ x1 인 측정 포인트에 있어서의 변위량의 측정은, 날끝 위치 검출 센서 (8) 는, 도 4(a) 에 나타내는 바와 같이, 그 검지면 (8a) 이 (바람직하게는 그 중심이) x ＝ x1 바로 아래의 위치에 배치된 상태에서 실시된다.

이러한 측정이 끝나면, 검지면 (8a) 을 x ＝ x2 인 측정 포인트 바로 아래로 이동시키게 되는데, 브레이크 장치 (100) 는 날끝 위치 검출 센서 (8) 혹은 이것이 부설된 테이블 (4) 을 날끝 (2a) 의 날 길이 방향이기도 한 x 축 방향으로 이동시키는 구성을 가지고 있지는 않다. 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동은, 브레이크시의 브레이크 지점의 이동이나 위치 결정시에도 사용되는, 테이블 (4) 의 수평 이동과 면내 회전부 (6) 의 수평면 내에서의 회전 이동을 조합함으로써 실현된다.

보다 구체적으로는, 면내 회전부 (6) 가 회전축 (C) 둘레로 수평면 내 회전하는 것에 의한, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 검지면 (8a) 이 (보다 엄밀하게는 그 중심이), 도 4 에 있어서 이점 쇄선으로 나타내는 회전 궤적 (L) 을 따라 수평면 내에서 θ 회전되는 동작과, 도 4(b) 에 있어서 화살표 AR3 으로 나타내는, 테이블 (4) 의 수평 이동 동작 (도 4(b) 에 있어서는 회전축 (C) 의 이동으로서 대표시키고 있다) 이 조합됨으로써, 검지면 (8a) 은, 도 4(c) 에 나타내는 바와 같이, x ＝ x2 로 이동된다.

이와 같이, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 검지면 (8a) 의 이동이, 테이블 (4) 과 면내 회전부 (6) 의 이동에 의해 실현됨으로써, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서는, 브레이크시에 워크를 위치 결정할 때와 동일한 위치 결정 정밀도로, 평행도 검사시의 측정 포인트의 위치 결정을 실시할 수 있다. 보다 상세하게는, 이러한 위치 결정은, 날끝 위치 검출 센서 (8) (의 검지면 (8a)) 의 회전축 (C) 둘레의 회전 반경이, 날끝 (2a) 에 있어서의 가장 떨어진 측정 포인트 (도 3 ∼ 도 5 의 경우라면 x ＝ x1 과 x ＝ x5) 사이의 거리 (x5 － x1) 의 1/2 배 이상인 경우에 가능한 점에서, 본 실시형태에 관련된 브레이크 장치 (100) 에 있어서도, 이러한 요건을 만족시키도록, 날끝 위치 검출 센서 (8) 가 배치되어 이루어진다.

바람직하게는, 그 때의 면내 회전부 (6) 와 테이블 (4) 의 이동 개시 타이밍, 및 면내 회전부 (6) 의 회전 속도와 테이블 (4) 의 수평 이동 속도가 바람직하게 조정됨으로써, 즉, 면내 회전부 (6) 와 테이블 (4) 의 동작이 동기적으로 이루어짐으로써, 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 검지면 (8a) 은 상대적으로, 날끝 (2a) 의 날 길이 방향인 x 축 방향을 따라 x ＝ x1 로부터 x ＝ x2 를 향하여 직선적으로 이동된다. 이러한 경우, 양자를 별개로 이동시키는 경우에 비해, 단시간에 의한 날끝 위치 검출 센서 (8) 의 이동이 실현된다. 이로써, 검사 시간의 단축이 도모된다.

x ＝ x2 에 있어서의 측정이 종료된 후의 x ＝ x3 으로의 이동도 마찬가지로, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 검지면 (8a) 의 회전 궤적 (L) 을 따른 수평면 내에서의 θ 회전과, 도 5(b) 에 있어서 화살표 AR4 로 나타내는 테이블 (4) 의 수평 이동이 조합됨으로써 이루어진다. 이러한 이동에 대해서도, 바람직하게는, 면내 회전부 (6) 와 테이블 (4) 의 이동 개시 타이밍, 및 면내 회전부 (6) 의 회전 속도와 테이블 (4) 의 수평 이동 속도가 바람직하게 조정됨으로써, 검지면 (8a) 이 상대적으로 x 축 방향을 따라 이동되는 양태로 이루어진다.

또한, 이후의 x ＝ x4, x5 로의 이동에 대해서도, 동일한 양태로 이루어진다.

이상, 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 브레이크 장치에 날끝 위치 검출 센서를 형성하고, 그 날끝 위치 검출 센서를 사용하여 브레이크 플레이트의 날끝의 평행도 검사를 실시하도록 함으로써, 종래에 비해 효율적으로 또한 양호한 재현성으로, 나아가서는 검사자의 안전을 확보하면서, 날끝의 평행도를 검사할 수 있다.

또, 날끝 위치 검출 센서의 이동을, 브레이크시의 워크의 위치 결정에 사용되는 테이블과 면내 회전부의 이동에 의해 실시하기 때문에, 평행도 검사시의 측정 포인트의 위치 결정을, 브레이크시와 동일한 위치 결정 정밀도로 실시할 수 있다. 바람직하게는, 테이블의 수평 이동 동작과 면내 회전부의 회전 동작을 동기시킴으로써, 날끝 위치 검출 센서의 검지면을 상대적으로 날 길이 방향을 따라 이동시킴으로써, 검사 시간의 단축을 도모할 수 있다.

＜변형예＞

상기 서술한 실시형태에 있어서는, 기준 변위량과의 차분값에 기초하여 평행도를 평가하고 있지만, 이 대신에 모든 측정 포인트에 있어서의 변위량끼리의 차분값을 구하고, 이들 차분값의 최대값이 임계값의 범위 내인지 여부에 의해, 평행도를 검사하는 양태여도 된다.

1 : 스테이지
1a : 피재치면
2 : 브레이크 플레이트
2a : 날끝
2b : 홀더
2c : 나사
3 : 승강 기구
4 : 테이블
5 : 수평 이동 기구
6 : 면내 회전부
7 : 회전 기구
8 : 날끝 위치 검출 센서
8a : 검지면
10 : 제어부
11 : 입력 조작부
12 : 표시부
13 : 기억부
10a : 브레이크 처리부
10b : 날끝 검사 처리부
100 : 브레이크 장치
C : (면내 회전부의) 회전축
L : (날끝 위치 검출 센서의 검지면의) 회전 궤적

Claims

브레이크 대상물을 분단하는 브레이크 장치로서,
수평 방향에 있어서 일 방향으로 자유롭게 진퇴할 수 있게 형성된 테이블과,
상기 테이블 상에 형성된, 수평면 내에 있어서 자유롭게 회전할 수 있는 면내 회전부와,
상기 면내 회전부 상에 형성된, 브레이크 대상물이 재치되는 수평한 피재치면을 갖는 스테이지와,
상기 스테이지의 상방에, 날끝이 연직 방향 최하단부에 위치하는 자세로 자유롭게 승강할 수 있게 형성되고, 상기 스테이지에 재치된 상기 브레이크 대상물의 소정 위치에 맞닿게 됨으로써 상기 브레이크 대상물을 상기 소정 위치에서 분단하는 브레이크 플레이트와,
상기 면내 회전부에 있어서 상기 스테이지의 외측 가장자리부보다 외측에, 검지면이 연직 상방을 향하는 자세로 형성되어 이루어지고, 연직 상방으로부터의 상기 날끝의 상기 검지면에 대한 접촉 또는 근접을 검지 가능한 날끝 위치 검출 센서와,
상기 날끝의 평행도 검사를 위한 상기 브레이크 장치의 각 부의 처리 동작을 제어하는 날끝 검사 처리부를 구비하고,
상기 날끝 검사 처리부는,
상기 날끝의 상이한 복수의 측정 포인트 각각에 대하여, 상기 테이블의 수평 이동과 상기 면내 회전부의 면내 회전에 의해 상기 검지면이 당해 측정 포인트 바로 아래에 위치하도록 상기 날끝 위치 검출 센서를 배치한 상태에서, 상기 브레이크 플레이트를 소정의 초기 위치로부터 하강시켜, 상기 브레이크 플레이트가 상기 검지면에 접촉 또는 근접했을 때의 상기 초기 위치로부터 상기 브레이크 플레이트의 변위량을 측정하고,
상기 복수의 측정 포인트에 대한 상기 변위량에 기초하여 상기 날끝의 평행도를 판정하는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 브레이크 플레이트는 수평면 내에 있어서는 고정적으로 형성되어 이루어지고,
상기 테이블의 수평 이동과 상기 면내 회전부의 면내 회전을 동기적으로 실시함으로써, 상기 검지면이 상기 복수의 측정 포인트 중 제 1 측정 포인트 바로 아래로부터 제 2 측정 포인트 바로 아래로 이동할 때의 상대 이동 방향이, 상기 브레이크 플레이트의 날 길이 방향을 따르고 있는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 날끝 검사 처리부는,
상기 복수의 측정 포인트 중에서 미리 정해진 하나의 측정 포인트에 대한 상기 변위량을 기준 변위량으로 했을 때의 다른 측정 포인트에 있어서의 변위량과 상기 기준 변위량의 차분값의 최대값인 최대 차분값을 구하고,
상기 최대 차분값이 미리 정한 임계값 이내인 경우에, 상기 날끝의 평행도가 충분하다고 판정하고, 상기 최대 차분값이 상기 임계값을 초과하고 있는 경우에, 상기 날끝의 평행도가 충분하지 않다고 판정하는 것을 특징으로 하는 브레이크 장치.